JPH07115928B2 - 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法Info
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- JPH07115928B2 JPH07115928B2 JP63112898A JP11289888A JPH07115928B2 JP H07115928 B2 JPH07115928 B2 JP H07115928B2 JP 63112898 A JP63112898 A JP 63112898A JP 11289888 A JP11289888 A JP 11289888A JP H07115928 B2 JPH07115928 B2 JP H07115928B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ホイスカ（whiskers）により強化した酸窒化
珪素（Si2N2O）が主体の繊維強化セラミックスの製造方
法に関する。
珪素（Si2N2O）が主体の繊維強化セラミックスの製造方
法に関する。
［従来の技術］ 近年、切削工具、セラミックバルブ等の自動車エンジン
部材、ガスタービンロータ等の熱機関部材に使用する高
強度、高靱性でかつ耐摩耗性、耐欠損性、耐酸化性、耐
熱性に優れたセラミック材料が求められている。
部材、ガスタービンロータ等の熱機関部材に使用する高
強度、高靱性でかつ耐摩耗性、耐欠損性、耐酸化性、耐
熱性に優れたセラミック材料が求められている。
耐熱性、耐酸化性に優れたセラミック材料の一つとし
て、酸窒化珪素（Si2N2O）が知られている。
て、酸窒化珪素（Si2N2O）が知られている。
酸窒化珪素は、昭和62年窯業協会年会予稿集3A25や、第
25回窯業基礎討論会講演要旨集1A18にみられるように、
Si2N4とSiO2とに金属酸化物の粉末を焼結助剤として添
加し、焼結して製造する方法や、特開昭49−115999や窯
業協会誌75（４）,111〜119（1967）にみられるように
珪素と二酸化珪素との混合物を窒化処理して、酸窒化珪
素の針状結晶や粉末を得る方法が知られている。
25回窯業基礎討論会講演要旨集1A18にみられるように、
Si2N4とSiO2とに金属酸化物の粉末を焼結助剤として添
加し、焼結して製造する方法や、特開昭49−115999や窯
業協会誌75（４）,111〜119（1967）にみられるように
珪素と二酸化珪素との混合物を窒化処理して、酸窒化珪
素の針状結晶や粉末を得る方法が知られている。
また、特開昭54−123110にみられるようにSi3N4とSiO2
とにSiC粉末を加えて焼結し、高温強度の高い酸窒化珪
素焼結体を得ることが知られている。
とにSiC粉末を加えて焼結し、高温強度の高い酸窒化珪
素焼結体を得ることが知られている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の酸窒化珪素焼結体は、耐熱性、耐
酸化性に優れ、比較的高強度であるが、十分な靱性を有
していない。
酸化性に優れ、比較的高強度であるが、十分な靱性を有
していない。
また、Si3N4＋SiO2→2Si2N2Oの反応は緩慢なため、未反
応のα−Si3N4、SiO2が焼結体中に残留し易く、特にSiO
2の残留は、焼結体の熱間特性に悪影響を与え易い。
応のα−Si3N4、SiO2が焼結体中に残留し易く、特にSiO
2の残留は、焼結体の熱間特性に悪影響を与え易い。
一方、反応を促進するために反応焼結時間を長くする
と、酸窒化珪素の分解揮発により生じたポアや、粒成長
しすぎた酸窒化珪素粒により強度の低下を招き易い。
と、酸窒化珪素の分解揮発により生じたポアや、粒成長
しすぎた酸窒化珪素粒により強度の低下を招き易い。
［課題を解決するための手段］ 本発明は上記課題を解決するために次の手段を採用し
た。
た。
即ち、本願の要旨は、 SiCホイスカを含むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイスカを
合計で５〜40重量％と、 Al,Sc,Y及び希土類元素のなかから選ばれた１種または
２種以上の酸化物を合計で0.5〜30重量％と、 SiおよびSiO2からなる珪素成分残部とを主成分とし、 該主成分中のSiCホイスカ及び／又はβ−Si3N4ホイスカ
が合計で５重量％以上である原料粉末による成形体を用
いた繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法であって、 前記成形体を1300〜1500℃の窒素雰囲気中で窒化する窒
化工程と、 前記窒化された成形体を1550〜1900℃、１〜10気圧の窒
素を含む非酸化性雰囲気中で予備焼結体とする予備焼結
工程と、 該予備焼結体を1600〜2000℃、30〜2000気圧の窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼結する緻密化工程とを 備えたことを特徴とする繊維強化酸窒化珪素焼結体の製
造方法にある。
合計で５〜40重量％と、 Al,Sc,Y及び希土類元素のなかから選ばれた１種または
２種以上の酸化物を合計で0.5〜30重量％と、 SiおよびSiO2からなる珪素成分残部とを主成分とし、 該主成分中のSiCホイスカ及び／又はβ−Si3N4ホイスカ
が合計で５重量％以上である原料粉末による成形体を用
いた繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法であって、 前記成形体を1300〜1500℃の窒素雰囲気中で窒化する窒
化工程と、 前記窒化された成形体を1550〜1900℃、１〜10気圧の窒
素を含む非酸化性雰囲気中で予備焼結体とする予備焼結
工程と、 該予備焼結体を1600〜2000℃、30〜2000気圧の窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼結する緻密化工程とを 備えたことを特徴とする繊維強化酸窒化珪素焼結体の製
造方法にある。
ここで、SiCホイスカ、β−Si3N4ホイスカとしては、通
常市販されるものを使用することができ、その代表的形
状は、平均直径0.2〜５μｍ、平均長さ２〜200μｍであ
る。特に、Al、Ca、Mg、Ni、Fe、Co、Mn、Cr、Ｙ等のカ
チオン成分が少なく、くびれ、枝分れ、面欠陥等の少な
いひげ状結晶であると好ましい。
常市販されるものを使用することができ、その代表的形
状は、平均直径0.2〜５μｍ、平均長さ２〜200μｍであ
る。特に、Al、Ca、Mg、Ni、Fe、Co、Mn、Cr、Ｙ等のカ
チオン成分が少なく、くびれ、枝分れ、面欠陥等の少な
いひげ状結晶であると好ましい。
また、このホイスカの表面にBN、カーボン等のコーティ
ングが施してあってもよい。
ングが施してあってもよい。
なお、Si3N4ホイスカには本発明で使用するβ−Si3N4ホ
イスカ以外に、α−Si3N4ホイスカが存在する。しか
し、α−Si3N4ホイスカの使用した場合には、本繊維強
化セラミックスの焼結時に溶融析出過程を経て、β−Si
3N4に転移する。そのため、焼結後にホイスカが存在し
なくなる。したがって、本発明では、α−Si3N4ホイス
カを使用することはできない。
イスカ以外に、α−Si3N4ホイスカが存在する。しか
し、α−Si3N4ホイスカの使用した場合には、本繊維強
化セラミックスの焼結時に溶融析出過程を経て、β−Si
3N4に転移する。そのため、焼結後にホイスカが存在し
なくなる。したがって、本発明では、α−Si3N4ホイス
カを使用することはできない。
本発明では、このホイスカが、原料粉末の５重量％より
少ないと、得られた繊維強化酸窒化珪素焼結体の靱性が
十分ではない。
少ないと、得られた繊維強化酸窒化珪素焼結体の靱性が
十分ではない。
また、SiCホイスカを含むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイ
スカが合計で５重量％より少ないと、焼結時に酸窒化珪
素の分解を抑えることができず、粒成長抑制による焼結
体の高強度化に対する効果もほとんど無い。
スカが合計で５重量％より少ないと、焼結時に酸窒化珪
素の分解を抑えることができず、粒成長抑制による焼結
体の高強度化に対する効果もほとんど無い。
一方、これらが40重量％を超えると焼結性が悪くなり、
所望の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることができな
い。
所望の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることができな
い。
特に、これらの成分が10〜30重量％であると、靱性が高
く、また焼結性が良好であり好ましい。
く、また焼結性が良好であり好ましい。
また、Al、Sc、Ｙ及び希土類元素のなかから選ばれた１
種または２種以上の酸化物が合計で0.5重量％より少な
いと、焼結性が悪くなり所望の繊維強化酸窒化珪素焼結
体を得ることができない。一方、この酸化物が30重量％
を超えると、繊維強化酸窒化珪素焼結体中のガラス成分
が多くなり過ぎて、強度、耐熱性、耐酸化性の低下がみ
られる。
種または２種以上の酸化物が合計で0.5重量％より少な
いと、焼結性が悪くなり所望の繊維強化酸窒化珪素焼結
体を得ることができない。一方、この酸化物が30重量％
を超えると、繊維強化酸窒化珪素焼結体中のガラス成分
が多くなり過ぎて、強度、耐熱性、耐酸化性の低下がみ
られる。
Si及びSiO2は、できるだけ高純度で微細な粉末を用い、
また、SiとSiO2との混合比はモル比でSi:SiO2＝3:1程度
とすることが、緻密で高特性な酸窒化珪素焼結体を得る
上で望ましい。
また、SiとSiO2との混合比はモル比でSi:SiO2＝3:1程度
とすることが、緻密で高特性な酸窒化珪素焼結体を得る
上で望ましい。
前記Al、Sc、Ｙ及び希土類元素の酸化物や、SiO2は初め
から粉末形態で添加してもよいが、それぞれ金属アルコ
キシド溶液及びコロイダルシリカ（シリカゾル）の形態
で混合し、加水分解等の後、仮焼し、これを本発明の原
料粉末としてもよい。
から粉末形態で添加してもよいが、それぞれ金属アルコ
キシド溶液及びコロイダルシリカ（シリカゾル）の形態
で混合し、加水分解等の後、仮焼し、これを本発明の原
料粉末としてもよい。
上記のようにして得られた原料粉末は、必要に応じてバ
インダーを添加し、プレス成形等の通常成形に使用され
る方法で成形体とされる。
インダーを添加し、プレス成形等の通常成形に使用され
る方法で成形体とされる。
窒化工程は、前記成形体中のSi、SiO2及び窒素雰囲気中
の窒素ガスを反応させて、酸窒化珪素とする工程であ
る。
の窒素ガスを反応させて、酸窒化珪素とする工程であ
る。
この窒化工程の処理温度が、1300℃よりも低いと窒化が
十分に進まず、十分な性能の繊維強化酸窒化珪素焼結体
を得ることはできない。
十分に進まず、十分な性能の繊維強化酸窒化珪素焼結体
を得ることはできない。
一方、窒化工程の処理温度が1500℃を超えると原料粉末
中のSiが融けてしまい、成形体の形状を保持することが
できなくなる。
中のSiが融けてしまい、成形体の形状を保持することが
できなくなる。
また、窒化工程における窒素雰囲気の圧力については特
に限定はないが、１気圧程度が好ましい。
に限定はないが、１気圧程度が好ましい。
予備結晶工程は、窒化工程で生成した酸窒化珪素を含む
焼結体を理論密度比で約70％以上とし、続く緻密化工程
での緻密化を可能とする。
焼結体を理論密度比で約70％以上とし、続く緻密化工程
での緻密化を可能とする。
なお、理論密度とは、焼結体の各成分はそのモル比に相
当する体積を占めると仮定した時の各成分の体積の割合
と各成分の真密度との積の和である。そして、理論密度
比とは、この様に算出された理論密度に対する焼結体の
実際の密度の比を百分率で表したものである。
当する体積を占めると仮定した時の各成分の体積の割合
と各成分の真密度との積の和である。そして、理論密度
比とは、この様に算出された理論密度に対する焼結体の
実際の密度の比を百分率で表したものである。
この予備焼結工程では、1550〜1900℃の範囲で焼結する
が、この温度範囲より、焼結温度が低いと必要とされる
程度まで緻密化せず、また逆にこの温度範囲より高いと
前記成形体中の酸窒化珪素が分解してしまう。
が、この温度範囲より、焼結温度が低いと必要とされる
程度まで緻密化せず、また逆にこの温度範囲より高いと
前記成形体中の酸窒化珪素が分解してしまう。
また、予備焼結工程における非酸化性雰囲気は酸窒化珪
素の分解を防ぐために窒素を含むことが必要である。
素の分解を防ぐために窒素を含むことが必要である。
そして、非酸化性雰囲気の圧力が１〜10気圧の範囲で焼
結することにより、所望の理論密度とすることができる
と共に、酸窒化珪素の分解を防ぐことができる。
結することにより、所望の理論密度とすることができる
と共に、酸窒化珪素の分解を防ぐことができる。
緻密化工程は、前記予備焼結工程で得られた予備焼結体
を、さらに1600〜2000℃、30〜2000気圧の窒素を含む非
酸化性雰囲気中で焼結することにより、理論密度比が97
％以上の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得る。
を、さらに1600〜2000℃、30〜2000気圧の窒素を含む非
酸化性雰囲気中で焼結することにより、理論密度比が97
％以上の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得る。
この緻密化工程の温度、圧力の範囲外であると、所望の
特性の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることはできな
い。
特性の繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることはできな
い。
なお、予備焼結工程、緻密化工程で使用される非酸化性
雰囲気としては、窒素のみあるいは窒素とアルゴンの混
合ガスを用いればよい。
雰囲気としては、窒素のみあるいは窒素とアルゴンの混
合ガスを用いればよい。
また、窒化工程、予備焼結工程、緻密化工程は各々独立
して行ってもよいが、温度、圧力等の焼結条件を変更し
ながら、冷却することなく連続して行ってもよい。
して行ってもよいが、温度、圧力等の焼結条件を変更し
ながら、冷却することなく連続して行ってもよい。
さらに、酸化物としてAl2O3を選択した場合、焼結体のS
i2N2O中にAl2O3の一部または全部が固溶してSi2-xAlxO
1+xN2-xで示されるＯ′−サイアロンとなっていても差
し支えない。また、焼結体特性に影響を与えない程度の
Y2Si2O7、CeSi2O7、Ce4.67（SiO4）3O等を含んでもよ
い。
i2N2O中にAl2O3の一部または全部が固溶してSi2-xAlxO
1+xN2-xで示されるＯ′−サイアロンとなっていても差
し支えない。また、焼結体特性に影響を与えない程度の
Y2Si2O7、CeSi2O7、Ce4.67（SiO4）3O等を含んでもよ
い。
［作用・効果］ 本発明の繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法では、 SiO2＋3Si＋2N2→2Si2N2O で示される化学反応により、成形体中のSi、SiO2より酸
窒化珪素を生成する。
窒化珪素を生成する。
そのため、成形体中で酸窒化珪素と、Al、Sc、Ｙ及び希
土類元素のなかから選ばれた１種または２種以上の酸化
物とが十分接触し、酸窒化珪素の焼結を促進され、十分
緻密な繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることができる。
土類元素のなかから選ばれた１種または２種以上の酸化
物とが十分接触し、酸窒化珪素の焼結を促進され、十分
緻密な繊維強化酸窒化珪素焼結体を得ることができる。
また、酸窒化珪素は、1700℃を越えると 3Si2N2O→Si3N4＋3SiO＋N2 の反応によって急速に分解する。
しかし、本発明では、成形体中のホイスカおよび加圧さ
れた窒素を含む非酸化性雰囲気によってSi2N2Oの分解が
抑制される。
れた窒素を含む非酸化性雰囲気によってSi2N2Oの分解が
抑制される。
さらに、ホイスカ成分が焼結時における酸窒化珪素粒の
粒成長を抑制し、高強度化に寄与している。
粒成長を抑制し、高強度化に寄与している。
そして、SiCホイスカあるいはβ−Si3N4ホイスカのクラ
ックディフレクション、プルアウト効果（引き抜き）効
果により、本発明により製造された繊維強化酸窒化珪素
焼結体は高い靱性を有する。
ックディフレクション、プルアウト効果（引き抜き）効
果により、本発明により製造された繊維強化酸窒化珪素
焼結体は高い靱性を有する。
なお、プルアウト効果とは、マトリックスに発生したク
ラック先端の応力場において、マトリックスからホイス
力が引き抜かれることにより、クラック先端の応力集中
を著しく低下させ、靱性を向上させる効果である。
ラック先端の応力場において、マトリックスからホイス
力が引き抜かれることにより、クラック先端の応力集中
を著しく低下させ、靱性を向上させる効果である。
そして、上記構成によって、本発明は、高強度、高靱性
でかつ耐摩耗性、耐欠損性、耐酸化性、耐熱性、耐食性
及び電気絶縁性に優れたセラミック材料である繊維強化
酸窒化珪素焼結体を製造することを可能とした。
でかつ耐摩耗性、耐欠損性、耐酸化性、耐熱性、耐食性
及び電気絶縁性に優れたセラミック材料である繊維強化
酸窒化珪素焼結体を製造することを可能とした。
［実施例］ 本発明の実施例について説明する。
以下に示す各原料を第１表に示す割合で配合し、ボール
ミルを用いエタノール中で16時間均一に分散混合した
後、５重量％のアクリル系バインダを添加し、乾燥し、
造粒して素地粉末を得た。
ミルを用いエタノール中で16時間均一に分散混合した
後、５重量％のアクリル系バインダを添加し、乾燥し、
造粒して素地粉末を得た。
Si粉末： 平均粒径 ２μｍ 純度 99.9％ SiO2粉末： 平均粒径 15nm 純度 99.9％ 見掛比重 約50g/ Al、Sc、Ｙ及び希土類元素の酸化物： 平均粒径 ２μｍ以下 SiC粉末： 平均粒径 1.6μｍ 純度 96％ SiCホイスカ： 平均直径 0.6μｍ 長さ 10〜80μｍ β−Si3N4ホイスカ： 平均直径 １μｍ、 長さ ５〜50μｍ、 上記素地粉末を50×50×7mmの寸法に成形圧1.5t/cm2で
一軸プレス成形して、800℃にて１時間窒素雰囲気中で
脱脂した。
一軸プレス成形して、800℃にて１時間窒素雰囲気中で
脱脂した。
ついで、窒化処理として、１気圧の窒素雰囲気中で1420
℃で20時間保持した。
℃で20時間保持した。
続いて、予備焼結工程として、第１表に示す雰囲気、圧
力、焼結温度で４時間焼結を行い、予備焼結体を得た。
力、焼結温度で４時間焼結を行い、予備焼結体を得た。
さらに、緻密化工程として、この予備焼結体を第１表に
示す雰囲気、圧力、焼結温度で２時間焼結し、最終的な
焼結体を得た。
示す雰囲気、圧力、焼結温度で２時間焼結し、最終的な
焼結体を得た。
得られた焼結体は4mm×3mm×40mmの寸法に研磨加工して
試料とした。
試料とした。
この試料について、室温における抗折強度をJIS−R1601
により、高温（1000℃）における抗折強度をJIS−R1604
により、破壊靱性を荷重10kgでインデンティションマイ
クロフラクチャー法により破壊靱性を測定し、結果を第
１表に記した。
により、高温（1000℃）における抗折強度をJIS−R1604
により、破壊靱性を荷重10kgでインデンティションマイ
クロフラクチャー法により破壊靱性を測定し、結果を第
１表に記した。
なお、本実施例では、原料中にホイスカを含むために、
一軸プレス成形による成形体中でホイスカが配向する。
その影響を調べるために、プレス成形の加圧方向の破壊
靱性（第１表中では加圧と記す）と、それに対して垂直
な方向の破壊靱性（第１表中では垂直と記す）を各々調
べた。
一軸プレス成形による成形体中でホイスカが配向する。
その影響を調べるために、プレス成形の加圧方向の破壊
靱性（第１表中では加圧と記す）と、それに対して垂直
な方向の破壊靱性（第１表中では垂直と記す）を各々調
べた。
試料中の結晶相はＸ線回折を用いて同定し、その結果を
第１表に併せて記した。
第１表に併せて記した。
また、各試料中のホイスカについてはＸ線回折及び光学
顕微鏡、走査型電子顕微鏡による観察の結果、殆どな
く、他の成分と反応することなく、焼結体中に残留、分
散していることが判明した。
顕微鏡、走査型電子顕微鏡による観察の結果、殆どな
く、他の成分と反応することなく、焼結体中に残留、分
散していることが判明した。
さらに、本実施例である試料No.A−１〜Ａ−10の理論密
度比は、いずれも98.5％以上であった。
度比は、いずれも98.5％以上であった。
なお、表中で「緻密化せず」と記載されている試料の理
論密度比は、いずれも90％以下である。
論密度比は、いずれも90％以下である。
第１表から、以下のことが分かった。
試料No.B−１のように、焼結助剤及びSiCホイスカ
を含むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイスカが、含まれない
と、成形体は予備焼結工程で分解揮発してしまい、良好
な焼結体を得ることはできない。
を含むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイスカが、含まれない
と、成形体は予備焼結工程で分解揮発してしまい、良好
な焼結体を得ることはできない。
試料No.B−２〜Ｂ−５のように、SiCホイスカを含
むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイスカが、本願の範囲外で
あると、予備焼結工程で分解揮発したり、あるいは緻密
化工程において十分緻密化せず、良好な焼結体を得るこ
とはできない。
むSiC及び／又はβ−Si3N4ホイスカが、本願の範囲外で
あると、予備焼結工程で分解揮発したり、あるいは緻密
化工程において十分緻密化せず、良好な焼結体を得るこ
とはできない。
試料No.B−６〜Ｂ−８のように、焼結助剤成分が本
願の範囲外であると、緻密化しなかったり、あるいは高
温における抗折強度が大きく低下し、良好な焼結体を得
ることはできない。
願の範囲外であると、緻密化しなかったり、あるいは高
温における抗折強度が大きく低下し、良好な焼結体を得
ることはできない。
試料No.B−10〜Ｂ−11のように、ホイスカの量が本
願の範囲外であると、十分な靱性を発揮せず、良好な焼
結体を得ることはできない。
願の範囲外であると、十分な靱性を発揮せず、良好な焼
結体を得ることはできない。
試料No.C−１〜Ｃ−３のように、緻密化工程におけ
る圧力、焼結温度が本願の範囲外であると、焼結中に分
解揮発したり、あるいは緻密化せず、良好な焼結体を得
ることはできない。
る圧力、焼結温度が本願の範囲外であると、焼結中に分
解揮発したり、あるいは緻密化せず、良好な焼結体を得
ることはできない。
試料No.D−１〜Ｄ−３のように、予備焼結工程にお
ける圧力、焼結温度が本願の範囲外であると、焼結中に
分解揮発したり、あるいは緻密化せず、良好な焼結体を
得ることはできない。
ける圧力、焼結温度が本願の範囲外であると、焼結中に
分解揮発したり、あるいは緻密化せず、良好な焼結体を
得ることはできない。
試料No.A−１〜Ａ−10のように、配合組成、各焼結
条件を本願の範囲内にすることによって、良好の焼結体
を得ることができることが確認された。
条件を本願の範囲内にすることによって、良好の焼結体
を得ることができることが確認された。
Claims (1)
- 【請求項１】SiCホイスカを含むSiC及び／又はβ−Si3N
4ホイスカを合計で５〜40重量％と、 Al,Sc,Y及び希土類元素のなかから選ばれた１種または
２種以上の酸化物を合計で0.5〜30重量％と、 SiおよびSiO2からなる珪素成分残部とを主成分とし、 該主成分中のSiCホイスカ及び／又はβ−Si3N4ホイスカ
が合計で５重量％以上である原料粉末による成形体を用
いた繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法であって、 前記成形体を1300〜1500℃の窒素雰囲気中で窒化する窒
化工程と、 前記窒化された成形体を1550〜1900℃、１〜10気圧の窒
素を含む非酸化性雰囲気中で予備結晶体とする予備焼結
工程と、 該予備焼結体を1600〜2000℃、30〜2000気圧の窒素を含
む非酸化性雰囲気中で焼結する緻密化工程とを 備えたことを特徴とする繊維強化酸窒化珪素焼結体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112898A JPH07115928B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112898A JPH07115928B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01282154A JPH01282154A (ja) | 1989-11-14 |
| JPH07115928B2 true JPH07115928B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=14598262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63112898A Expired - Fee Related JPH07115928B2 (ja) | 1988-05-10 | 1988-05-10 | 繊維強化酸窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115928B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP3169648A1 (fr) * | 2014-07-17 | 2017-05-24 | Safran Ceramics | Procédé de fabrication d'une pièce en matériau composite par synthèse par réaction auto-entretenue a haute température |
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1988
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| EP3169648B1 (fr) * | 2014-07-17 | 2021-06-30 | Safran Ceramics | Procédé de fabrication d'une pièce en matériau composite par synthèse par réaction auto-entretenue a haute température |
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|---|---|
| JPH01282154A (ja) | 1989-11-14 |
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