JPH069859U - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨装置に対して研磨剤を効率的に供給でき
るようにする。 【構成】 上面に研磨面２を有する定盤１と、この定盤
１上に対向して、揺動アームの先端部に回転可能に設け
られ、保持枠３に保持したガラス板（ワーク）Ｗを貼り
付けるワーク保持部材５とを備え、保持枠３はワークＷ
の四隅を保持する保持部３ａを有し、保持部３ａ以外の
部分では研磨面２との間に充分な隙間３ｂを確保し、研
磨剤を効率的に外部から供給する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はガラス板等の研磨装置に関し、特にワークを保持する保持枠及び定盤 に関する。

【０００２】

【従来の技術】

液晶用基板ガラスは、表面の平坦度が極めて要求されるガラス板であり、通常 、この平坦度を達成するためにフロート式製造装置によって製造したフロート板 ガラスをさらに研磨装置で研磨するようにしている。

【０００３】 このような研磨装置としては、図６に示すように研磨布又は研磨パッド等の研 磨面１０２を有する定盤１０１と、この定盤１０１上に対向してガラス板（ワー ク）Ｗを貼り付けるガラス保持部材１０３とを備え、このガラス保持部材１０３ を揺動アームの先端部に垂下した支軸の下端部にフリー状態で回転可能に取付け た所謂オスカー式研磨機がある。

【０００４】 この研磨装置においては、定盤１０１を一定速度で回転させながら研磨面１０ ２に酸化セリウム等の研磨剤を含むスリラーを定盤の上方から落下させて供給し 、他方ガラス保持部材１０３には図６に示すような保持枠１０４にて保持したワ ークＷを貼り付けて、このワークＷを定盤１０１の研磨面１０２に一定の研磨加 工圧で押し付けるようにしている。

【０００５】 以上において、ガラス保持部材１０３はその中心を軸として自由に回転できる ので、定盤１０１の回転に応じて自由回転しながら定盤上で揺動する。これによ り、ワークＷは研磨面１０２と研磨剤とによって均一な研磨が行われ、ワーク表 面の微小凹凸は研磨とともに消失し、高い平坦度の液晶用基板ガラスが得られる 。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上述したような研磨装置においては、ワークであるガラス板と研磨 面との間に効率よく研磨剤を供給する必要がある。しかしながら、従来のオスカ ー式の研磨装置にあっては、ガラス板をガラス板の厚みより薄く且つ図７に示す ような一定厚の環状の保持枠１０４にて保持してガラス保持部材に貼り付けるの で、ガラス板の厚みが薄くなればなるほど保持枠１０４も薄くしなければならな い。しかしながら、ガラス板を確実に保持するためには保持枠を薄くするにも限 界があり、ガラス板が薄くなるに従って保持枠１０４の面と研磨面１０２との隙 間が薄くなり、研磨液がガラス板と研磨面との間に供給されなくなって研磨効率 が低下して研磨速度が低下する。

【０００７】 またガラス板が大きくなるに従って研磨液を上方から研磨面に落下させて供給 しても、ガラス板全体に供給液が行き渡らないため、同様に研磨液がガラス板と 研磨面との間に供給されなくなって研磨効率が低下して研磨速度が低下する。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決するため、請求項１の考案はワーク保持枠でワークの四隅の みを保持するようにし、請求項２の考案は定盤内に外部から研磨液が供給される 中空部を形成し、この中空部に連通する多数の供給孔から研磨液を研磨面に供給 するようにした。

【０００９】

【作用】

保持枠がワークの四隅のみを保持するので、ガラス板の周囲の大部分について 保持枠と研磨面との隙間を充分確保して研磨剤を充分供給できる。また、定盤内 に外部から研磨液が供給される中空部を形成して、この中空部に連通する多数の 供給孔から研磨液を研磨面に供給するので、ワークが大きくなっても研磨面全体 に研磨剤を供給できる。

【００１０】

【実施例】 以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は請求項１の考案 に係る研磨装置の要部正面図、図２は同装置の保持枠の平面図、図３は同保持枠 の正面図、図４は請求項２の考案に係る研磨装置の定盤の一部断面正面図、図５ は同定盤の平面図である。

【００１１】 この研磨装置は、上面に研磨布又は研磨パッド等を貼付してなる研磨面２を有 する定盤１と、この定盤１上に対向して保持枠３で保持されたガラス板（ワーク ）Ｗをポリウレタン製のバッククロス４等を介して貼り付けるワーク保持部材５ とを備えている。このワーク保持部材５は、図示しない揺動アームの先端部に取 付けている。保持枠３は図２及び図３に示すように四隅を他の部分よりも厚くし てワークＷの四隅を保持する保持部３ａを形成している。

【００１２】 以上のように構成したので、定盤１を一定速度で回転させながら研磨面２上に 酸化セリウム等の研磨剤を含むスリラーを供給し、他方ワーク保持部材５に貼り 付けた保持枠３で保持されたワークＷを定盤１の研磨面２に一定の研磨加工圧で 押し付けることにより、ワーク保持部材５が回転しながら揺動アームの揺動に応 じて定盤１上で揺動する。

【００１３】 このとき、保持枠３の保持部３ａ以外の部分では研磨面２との間に充分な隙間 ３ｂを確保することでできて、研磨剤を効率的に外部から供給することができ、 研磨速度が速くなる。

【００１４】 この場合、ワークＷの四隅以外についてはワークＷが研磨面上で回転して研磨 中でも保持枠３に力を加えないため省略しても不都合はないので、保持枠３自体 は破損しない程度に可能な限り薄くすることができる。

【００１５】 また、保持枠３の保持部３ａの長さは研磨液を効率良くワークＷと研磨面２と の間に入れることができ、かつワークＷを確実に保持できる寸法を選択すればよ く、例えば各１辺が３０mm程度に設定することが好ましいが、ワークＷを確実に 保持できればこれより短くすることができる。

【００１６】 ここで具体的な実施例について説明すると、保持枠３の厚みを保持部３ａでは １．０mm、その他の部分３ｂでは０．８mmとし、バッククロス４の厚みを０．６ mmとすると、厚みが７mmのワークＷが保持枠３から突出す部分は保持部３ａで０ ．３mm、それ以外の部分３ｂで０．５mmとなり、保持枠３と研磨面２との隙間は 充分確保できる。また、保持枠３の保持部３ａのうちの０．４mmでワークＷを保 持するので、研磨中にワークＷが保持枠３を飛出すこともない。

【００１７】 そして、この保持枠３と従来の一定厚さの保持枠を使用し、定盤１及びワーク 保持部材５の各直径をφ８００及びφ６００に、定盤１の回転数１００rpm、研 磨加工圧１２５ｇｆ／cm²として、３００角、厚み０．７mmのガラスを研磨した ところ、一定厚さの保持枠を使用した場合の研磨速度は０．９μ／分であったの に対し、保持枠３を使用した場合の研磨速度は１．２μ／分となり、厚み１．１ mmのガラス板を研磨するときと同様の研磨速度が得られた。

【００１８】 次に、図４及び図５に示す定盤１１は、内部に外部から研磨剤が供給される中 空部１２を形成し、この中空部１２に連通して研磨面１３に研磨剤を供給する多 数の供給孔１４を形成したものである。尚、供給孔１４は中心から外側に向かっ て徐々に外周方向に向かうように形成している。

【００１９】 これによって、定盤１１の多数の供給孔１４から研磨剤が研磨面１３に供給さ れるので、研磨するワークが大きくなった場合での、全体に効率良く研磨剤を供 給することができ、研磨速度が向上する。

【００２０】 そこで、φ５の供給孔１４を２５個形成した定盤１１と中心に１個の供給孔を 形成した定盤とを使用して、定盤１１及びワーク保持部材５の各直径をφ８００ 及びφ６００に、定盤１１の回転数を１００rpm，２００rpm、研磨加工圧１２５ ｇｆ／cm²として、３００角、厚み１．１mmのガラスを研磨したところ、研磨速 度は、定盤の回転数が１００rpmのとき、１個の供給孔を形成した定盤にあって １．２μ／分であったのに対し、２５個の供給孔を形成した定盤１１にあっては １．４μ／分であり、回転数が２００rpmのとき、１個の供給孔を形成した定盤 にあって１．７μ／分であったのに対し、２５個の供給孔を形成した定盤１１に あっては２．２μ／分であった。

【００２１】 この結果からわかるように、本考案の定盤は研磨速度が速くなり、しかも定盤 の回転数が増加するほど研磨速度も速くなり、効率的な研磨を行うことができる 。

【００２２】

【考案の効果】

以上に説明したように本考案によれば、保持枠がワークの四隅を保持するよう にしたので、ガラス板の周囲の大部分について保持枠と研磨面との隙間を充分確 保でき、研磨剤を充分供給できるために研磨速度が速くなって効率的な研磨を行 うことができる。

【００２３】 また、定盤内に外部から研磨液が供給される中空部を形成して、この中空部に 連通する多数の供給孔から研磨液を研磨面に供給するので、ワークが大きくなっ ても研磨面全体に研磨剤を供給できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１の考案に係る研磨装置の一部断面正面
図

【図２】同装置の保持枠の平面図

【図３】図２のＡ−Ａ線断面図

【図４】請求項２の考案に係る研磨装置の定盤の一部断
面正面図

【図５】同定盤の平面図

【図６】従来の研磨装置の一部断面正面図

【図７】従来の研磨装置の保持枠の平面図

【符号の説明】

１、１１…定盤、２、１３…研磨面、３…保持枠、５…
ワーク保持部材、１２…中空部、１４…供給孔。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨面を有する定盤と、この定盤の研磨
   面に対向してワークを保持するワーク保持枠とを備え、
   前記定盤を回転させながら前記ワーク保持枠で保持され
   たワークを研磨面に押し付けて研磨する研磨装置におい
   て、前記保持枠は各辺の中間部に凹部若しくは切欠を設
   け、保持枠の四隅によってワークの四隅を保持すること
   を特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 研磨面を有する定盤と、この定盤の研磨
   面に対向してワークを保持するワーク保持部材とを備
   え、前記定盤を回転させながら前記ワーク保持部材に保
   持されたワークを研磨面に押し付けて研磨する研磨装置
   において、前記定盤内に外部から研磨液が供給される中
   空部を形成し、この中空部に連通して研磨液を前記研磨
   面に供給する多数の供給孔を定盤表面に形成したことを
   特徴とする研磨装置。