KR100730501B1 - 웨이퍼 접착 장치와 웨이퍼 접착 방법 및 웨이퍼 연마방법 - Google Patents
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- 웨이퍼의 피접착면의 중심을 둘러싸는 모든 접착면적의 적어도 50% 이상의 영역 내에서 상기 피접착면상의 임의의 점을 포함하는 근방에서 상기 피접착면이 볼록면을 형성하도록 상기 웨이퍼의 피연마면의 주변 부분에서만, 흡반 구조를 갖는 복수 개의 유지구에 의해 진공 흡착 유지하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 웨이퍼 접착장치가 웨이퍼의 피접착면에 접촉되는 접촉부재를 갖고, 그 접촉부재의 웨이퍼 유지면의 웨이퍼 접촉 영역이 상기 웨이퍼 접촉 영역의 중심을 둘러싸고 또한 웨이퍼의 모든 접착면적의 적어도 50% 이상에 걸친 영역 내에서, 상기 웨이퍼 접촉 영역상의 임의의 점을 포함하는 근방에서 볼록면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 웨이퍼 접착장치가 웨이퍼의 피접착면에 접촉되는 접촉부재를 갖고, 그 접촉부재의 웨이퍼 유지면의 웨이퍼 접촉 영역이 상기 웨이퍼 접촉 영역의 중심을 둘러싸고 또한 웨이퍼의 모든 접착면적의 적어도 50% 이상에 걸친 영역 내에서, 상기 웨이퍼 접촉 영역의 임의의 점의 법선을 포함하여 상기 웨이퍼 접촉 영역의 중심을 통과하는 평면과 상기 웨이퍼 접촉 영역과의 교선의 곡율 반경의 값으로 5m 내지 1000m 사이인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 4 항에 있어서,웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 상기 접촉부재가 웨이퍼의 피접착면이 볼록면을 형성하도록 압력 부가 수단에 의해 변형 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 압력 부가 수단은 에어 공급배출 장치로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
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- 제 4 항에 있어서,웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 접촉부재에 웨이퍼를 진공 흡착 유지하기 위한 배기용의 미세 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 4 항에 있어서,웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 접촉부재의 웨이퍼 유지면상에 형성된 홈을 통해 웨이퍼를 진공 흡착 유지하도록 구성된 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 10 항 또는 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 접촉부재가 세라믹인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 10 항 또는 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 접촉부재가 고분자 재료인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
- 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 10 항 또는 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 웨이퍼의 피연마면에 접촉되는 접촉부재가 금속재료로 구성되고, 적어도 그 웨이퍼 유지면이 비금속 재료로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착장치.
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- 웨이퍼의 피접착면의 중심을 둘러싸는 모든 접착면적의 적어도 50% 이상의 영역 내에서 상기 피접착면상의 임의의 점을 포함하는 근방에서 상기 피접착면이 볼록면을 형성하도록 상기 웨이퍼의 피연마면의 주변 부분에서만, 흡반 구조를 갖는 복수 개의 유지구에 의해 진공 흡착 유지하는 웨이퍼 접착 장치를 사용하여 웨이퍼 유지반에 웨이퍼를 접착하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
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- 제 21 항에 있어서,웨이퍼의 피접착면의 고저 차가 20㎛ 내지 1000㎛ 사이가 되도록 웨이퍼를 유지하여 접착하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
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- 제 21 항에 기재된 접착 방법으로 웨이퍼를 웨이퍼 유지반에 접착하는 단계와,상기 웨이퍼를 연마하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 연마방법.
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- 제 21 항에 있어서,상기 웨이퍼 유지반은, 세라믹제의 기재와 웨이퍼를 접착하는 면이 글래스층으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
- 제 21 항에 있어서,상기 웨이퍼 유지반은, 세라믹제의 기재와 웨이퍼 접착측에 설치한 글래스제 플레이트로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 글래스층의 두께가 0.05mm에서 2mm의 사이인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
- 제 29 항에 있어서,상기 글래스제 플레이트의 두께가 1mm에서 20mm의 사이인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
- 제 28 항 내지 제 31 항 중 어느 한 항에 있어서,글래스가 붕규산 글래스인 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
- 제 21 항에 있어서,상기 웨이퍼 유지반은, 배치(batch)식 연마장치에 사용되는 웨이퍼 유지반이고, 웨이퍼 유지부가 기체에 대하여 회전 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 웨이퍼 접착방법.
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