JPH0697161B2

JPH0697161B2 - アブソリユ−ト直線位置検出装置

Info

Publication number: JPH0697161B2
Application number: JP60184082A
Authority: JP
Inventors: 渉市川; 裕二松木
Original assignee: 株式会社エスジ−
Priority date: 1985-08-23
Filing date: 1985-08-23
Publication date: 1994-11-30
Anticipated expiration: 2009-11-30
Also published as: JPS6244603A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、位置決めシステム等で用いられるアブソリ
ュート直線位置検出装置に関し、特に、アブソリュート
で検出し得る範囲を拡大するようにしたものに関する。

〔従来の技術〕

本出願人の出願に係る実開昭58−136718号には、ロッド
部において磁性体と非磁性体を長手方向に所定ピッチで
交互に繰返し設け、このロッド部に近接して１次コイル
及び２次コイルを含む磁気式センサ（検出ヘッド）を設
け、検出対象たる機械的直線変位に応じてロッド部をセ
ンサに対して相対的に変位させ、センサに対するロッド
部のアブソリュート位置に応じた出力信号をセンサから
得るようにしたものが開示されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、そこにおいて、アブソリュートで検出し得る範
囲は、ロッド部における磁性体と非磁性体の繰返しの１
ピッチ分の長さに限定されてしまうという問題点があっ
た。

この発明は上述の問題点を解決するためになされたもの
で、アブソリュート直線検出可能範囲を拡大することが
できるようにしたアブソリュート直線位置検出装置を提
供しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る位置検出装置は、直線変位方向に関して
その配列が徐々に斜行する磁気応答パターンを所定の物
質により配置して成る部材と、該部材に近接して相対的
に直線変位可能に設けられ、該部材の周囲に等間隔で配
置された複数の誘導形検出ヘッド極を有しており、該部
材の相対的直線変位に応じて前記磁気応答パターンに最
も近接する前記検出ヘッド極が変化し、各検出ヘッド極
は前記磁気応答パターンの近接に応答して前記直線変位
の関数である誘導出力信号を生じ、前記各検出ヘッド極
は前記誘導出力信号の関数が逆相の特性を示す極同士で
対を成しており、対を成す極同士の出力を差動結合して
前記各検出ヘッド極の誘導出力信号を合成した出力信号
を生ずる誘導形検出ヘッドとを具えたことを特徴とする
ものである。

〔作用〕

従来のものは磁性体と非磁性体を同じ幅で交互に繰返し
設けるものであったため、その１ピッチ分の長さを長く
することはできなかった。これに対して本発明では、直
線変位方向に関してその配列が徐々に斜行する磁気応答
パターンを設けたため、その変化の１サイクルの長さを
実用上十分な長さまで長くすることができる。誘導形検
出ヘッドからは、このヘッドとパターンとの対応関係に
応じた出力信号が生ずるので、このパターンの変化の１
サイクルの範囲でアブソリュート位置検出が可能であ
る。

〔実施例〕

以下添付図面を参照してこの発明の一実施例を詳細に説
明しよう。

第１図において、ロッド部１は、該ロッド部１に近接し
て設けられた検出ヘッド２に対して相対的に長手方向
（軸方向）に直線変位可能であり、その直線変位方向に
関して配列位置が次第に変化するパターン1aを所定の物
質によりその周囲に配置してある。そのようなパターン
1aは例えば螺旋状の線条である。検出ヘッド２は、ロッ
ド部１に対する直線位置関係に応じて前記パターン1aに
関するその対応関係が変化し、その対応関係に応じた出
力信号を生ずる誘導形の検出ヘッドである。第２図によ
く示されているように、検出ヘッド２は、端部を内側に
向けた４つの凸極PA〜PDを90度の間隔で設けた磁性体コ
ア2aと、このコア2aの各極に巻かれた１次コイル2A₁〜2
D₁及び２次コイル2A₂〜2D₂とを具備しており、各極PA〜
PDの端部によって囲まれた空間にロッド部１が挿入され
ている。ロッド部１の螺旋パターン1aの１サイクルの長
さすなわちリード長Ｌは比較的長く設定されており、例
えば検出対象の全長範囲に対応する。

ロッド部１においてパターン1aを構成する物質は、検出
ヘッド２の磁界に対するその物質の侵入度に応じて異な
る磁気抵抗変化を生ぜしめるような物質である。そのよ
うな物質としては、ロッド部１の他の部分1bよりも相対
的に良導電体から成るもの、あるいは磁性体から成るも
の、を用いるとよい。

ロッド部１におけるパターンの部分1aを銅のような良導
電体により構成し、他の部分1bをこの良導電体に比べて
導電性の低いもの（例えば鉄）により構成した場合につ
いて考える。検出ヘッド２の各極の１次コイル2A₁〜2D₁
による磁束は、各極PA〜PDが配された角度位置において
ロッド部１の径方向に夫々生じる。パターンを構成する
螺旋線条1aの１リード長Ｌの範囲において、ヘッド２の
各極PA〜PDに対する線条1aの位置は、該ヘッド２に対す
るロッド部１の直線位置に応じて異なるものとなる。磁
束が線条1aの一部を貫くとき、その部分で渦電流が流
れ、それに応じた磁気抵抗変化が該磁束が通る磁気回路
に生じる。従って、ヘッド２の各極PA〜PDの磁気抵抗
は、線条1aの１サイクルの長さＬを１サイクルとして変
化し、その変化の位相は、各極毎にL/4の距離分だけず
れるものとなる。このように、各極PA〜PDは４相の磁気
抵抗変化を示し、仮に各相をＡ〜Ｄなる符号で区別する
ものとする。この場合、Ａ相に対応する極PAの磁気抵抗
変化をコサイン相とすると、Ｂ相に対応する極PBはサイ
ン相、Ｃ相に対応する極PCはマイナスコサイン相、Ｄ相
に対する極PDはマイナスサイン相となる。

この磁気抵抗の大きさに応じて、検出ヘッド２に対応す
るロッド部１の位置を、パターン1aの１サイクルの長さ
Ｌの範囲内でのアブソリュート値にて検出することがで
きる。この検出を位相方式によって行う場合について説
明すると、A,C相の１次コイル2A₁,2C₁を正弦信号sin ω
ｔによって励磁し、B,D相の１次コイル2B₁,2D₁を余弦信
号cos ωｔによって励磁する。すると、各２次コイル2A
₂〜2D₂の誘起電圧を合成した検出ヘッド出力信号Ｙとし
て、Ｙ＝K sin（ωｔ＋α） ……（１）なる交流信号を得ることができる。ここで、αはパター
ン1aの１リード長Ｌの範囲内のロッド部１の位置Ｘに対
応する位相角であり、なる関係にすることがきる。こうして、検出ヘッド出力
信号Ｙの基準交流信号sin ωｔに対する位相シフト量α
が、パターン1aの１リード長Ｌの範囲内でのロッド部１
の直線位置Ｘを示すものとなる。この位相シフト量α
は、適宜の手段によってディジタル又はアナログ的に測
定することができる。

位相方式によって検出ヘッド出力信号Ｙを生じさせ、こ
の出力信号における位相ずれ量αをディジタルで測定す
るための電気回路の一例を第３図に示す。

第３図において、発振部10は基準の正弦信号sin ωｔと
余弦信号cos ωｔを発生する回路、位相差検出回路11は
上記位相ずれαを夫々測定するための回路である。クロ
ック発振器12から発振されたクロックパルスCPがカウン
タ13でカウントされる。カウンタ13は例えばモジュロＭ
（Ｍは任意の整数）であり、そのカウント値がレジスタ
14に与えられる。カウンタ13の4/M分周出力からは、ク
ロックパルスCPを4/M分周したパルスPcが取り出され、1
/2分周用のフリップフロップ15のＣ入力に与えられる。
このフリップフロップ15のＱ出力から出たパルスPbがフ
リップフロップ16に加わり、出力から出たパルスPaが
フリップフロップ17に加わり、これら16及び17の出力が
ローパスフィルタ18,19及び増幅器20,21を経由して、余
弦信号cos ωｔと正弦信号sin ωｔが得られ、検出ヘッ
ド２の各相Ａ〜Ｄの１次コイル2A₁〜2D₁に印加される。
カウンタ13におけるＭカウントがこれら基準信号cos ω
t,sin ωｔの２πラジアン分の位相角に相当する。すな
わち、カウンタ13の１カウント値はの位相角を示している。

検出ヘッド２の２次コイル2A₂〜2D₂の合成出力信号Ｙは
増幅器22を介してコンパレータ23に夫々加わり、該信号
Ｙの正・負極性に応じた方形波信号が該コンパレータ23
から夫々出力される。このコンパレータ23の夫々の出力
信号の立上りに応答して立上り検出回路24からパルスＴ
が出力され、このパルスＴに応じてカウンタ13のカウン
ト値をレジスタ14にロードする。その結果、検出ヘッド
出力信号Ｙにおける位相ずれαに応じたディジタル値Dx
がレジスタ14に取り込まれる。こうして、所定範囲Ｌ内
の直線位置をアブソリュートで示すデータDxを得ること
ができる。

ロッド部１に配置するパターンの形状は上述のものに限
らず、どのようなものでもよい。例えば、第４図に示す
ような、２条ねじ式の２つの線条1a₁,1a₂から成ってい
てもよい。この場合、ロッド部１の横断面において180
度対称の２箇所に線条1a₁,1a₂が位置するので、検出ヘ
ッド２は第５図に示すような８極型コアから成るものと
するとよい。８極型コアはA,B,C,D相に対応する極を２
組づつ含み、同一相が180度対称の位置にあるものであ
る。各極には前述と同様に１次及び２次コイルが巻けれ
ており、位相方式で検出を行う場合はA,C相とB,D相とで
は夫々90度位相のずれた交流信号（例えば正弦信号と余
弦信号）で励磁を行う。この場合、同一相が180度対称
位置にあるため、ヘッド２の中心とロッド部１の中心が
多少ずれていても、それによる誤差が生じない。

検出ヘッド２は、前述のような４極型あるいは８極型の
ものに限らず、３極型あるいは６極型あるいは12極型な
ど、その他適宜の極数とすることができる。第６図は、
その一例として６極型のヘッド２を示したものである。
その場合、位相検出方式のための１次コイル励磁交流信
号は、正弦信号と余弦信号のように90度位相のずれた信
号ではなく、sin ωｔとsin（ωｔ−60）あるいはsin
（ωｔ−120）あるいはsin（ωｔ−240）など、60度位
相がずれた交流信号あるいはその倍角だけ位相がずれた
交流信号、その他適宜位相角だけずれた交流信号を用い
る。また、その場合、それに対応するパターンは、180
度対称に同一相の極がない場合は第１図に示すような１
条ねじ式の線条1aから成るものを用いてもよく、180度
対称に同一相の極がある場合は第４図に示すような２条
ねじ式の線条1a₁,1a₂から成るものを用いてもよい。第
６図では２条ねじ式の螺旋線条1a₁,1a₂のパターンがロ
ッド部１に設けられるものとしている。

また、検出ヘッド２は、第２図、第５図、第６図に示し
たように各極が共通のコア素材によって連続しているも
のに限らず、第７図のように各極毎に分離されたＵ字形
のコア３〜６から成るものであってもよい。各コア３〜
６は２つの端部を持ち、一方の端部から出て他方の端部
に入る磁束がロッド部１の表面において（少なくともパ
ターンが配置された面において）径方向を指向して通過
する。

また、螺旋状のパターンは必らずしも滑らかな線条1a,1
a₁,1a₂から成るものである必要なはく、第８図に示すよ
うにステップ状に配置されたパターン1a′から成ってい
てもよく、全体として螺旋に近似した変化を示すもので
あればよい。

上述では、パターンを配置するロッド部１は丸棒形状で
あるが、これは角棒その他任意の形状であってもよい。
第９図はロッド部１を角棒形状とした例を示すもので、
（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は横断面図、
である。丸棒の場合と同様に、１つの線条1aを角棒の周
囲に斜めに（螺旋状に）回わすことによりパターンを配
置するようにしてよい。

また、パターンの形態は、直線変位方向に関して面積が
次第に変化するようなものであってもよい。第10図はそ
の一例を示すもので、断面正方形の角形ロッド部１の４
側面の各々に菱形のパターン1a−D₁,1a−D₂,1a−D₃,1a
−D₄を配置したものである。隣接する面における菱形パ
ターン1a−D₁,1a−D₂…の配置はその１サイクル長Ｌの1
/4づつずれている。（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図、
（ｃ）は検出ヘッド２の部分の横断面図である。（ｃ）
に示されているように、検出ヘッド２の各極PA〜PDの横
幅が角形ロッド部１の一面の横幅に対応するようにすれ
ば、直線変位に応じたパターンの面積の変化を適確に検
知することができる。

角形ロッド部１におけるパターンの形状は第11図に示す
ような三角形1a−Ｔとすることもできる。なお、第10
図、第11図に示すような菱形又は三角形のパターンは丸
棒のロッド部１においても採用することができる。

次に、パターン配置部材1,におけるパターンの形成法に
ついていくつかの例を挙げて説明する。パターン1aを構
成する良導電体あるいは磁性体の物質は、適宜の表面加
工処理技術（例えば、めっき、溶射、焼付、塗装、溶
着、蒸着、電鋳、フォトエッチングなど）を用いて付着
若しくは形成させるようにするとよい。最近では、その
種の加工処理技術を用いて微細なパターンでも形成でき
るマイクロ加工技術が確立されているので、そのような
技術を用いて精密なパターン形成を行うことができる。

第12図は、ロッド部１の基材1cの周囲に銅のような良導
体物質でパターン1aを形成し、その上からクロームめっ
きのような表面コーティング1dを設けた例を示してい
る。この場合のパターン形成法としては、基材1cの全周
に銅めっきを施し、その後不要部分をエッチング等の除
去技術により取除くことにより残された銅めっき部分に
より所望のパターン1aが形成されるようにする。そして
最後に表面仕上げのためにクロームめっき等の表面コー
ティング1dを施す。基材1cは鉄のような磁性体を用いれ
ば磁束の通りを良くするので好適である。しかし、プラ
スチック等の樹脂、その他のものを基材1cとして用いる
こともできる。その場合、予め成形されたプラスチック
基材1cの表面に銅等の金属膜をめっきするようにしても
よいし、あるいは、金型キャビティに電鋳で銅等の金属
膜を予め形成し、その後プラスチックを射出成形して金
属膜と一体化するようにしてもよい。

ところで、第12図に示すように表面コーティング1dをパ
ターン1aの間の凹みに埋めるようにすると、その部分で
どうしてもコーティング1dが沈み、仕上げ表面が滑らか
にならないことが多い。そこで、第13図に示すように、
各パターン1aの間の凹みを適宜の充填物1eで充填し、そ
の上から表面コーティング1dを施すようにするとよい。
充填物1eとしては、例えばニッケルめっきなどを用いる
ことができる。

なお、基材1cに銅等の金属膜をめっきし、その後所望の
パターンでエッチングする場合、エッチング薬剤によっ
て基材1cの表面が侵されるおそれがある。特に基材1cが
鉄等の金属である場合その問題が大きい。そのような問
題を解決するために、第14図に示すように、基材1cの表
面全体にエッチング薬剤に対して耐性を示す所定の物質
1f（例えば樹脂）の薄膜を形成し、その上から銅めっき
等を施し、更に所定のエッチングを行ってパターン1aを
形成するようにするとよい。

パターンを構成する物質は、銅又はアルミニウム又はそ
の他良導電体物質又はそれらの混合物若しくは化合物、
のように渦電流損によって磁気抵抗変化を生ぜしめるも
のに限らず、導磁量の変化により磁気抵抗変化を生ぜし
める磁性体物質（例えば鉄あるいはその化合物又は混合
物）であってもよい。そのような磁性体によりパターン
を構成する場合も上述と同様の種々の表面加工技術によ
りパターン形成を行うことができる。

また、第15図に示すように、ロッド部１の基材1cを鉄等
の磁性体で作成し、その基材1cの表面に所望のパターン
に応じた凹所を加工形成し、この凹所に銅等の良導電体
1aを充填することにより所望のパターン形成を行うよう
にしてもよい。この場合、導電体1aのパターンの間に基
材1cの凸部である磁性体が侵入し、その部分では渦電流
損が少なくなることにより磁気抵抗が小さくなることに
加えて、磁性体の突出によりより一層磁気抵抗を小さく
することができ、相乗的効果によりロッド部の変位に対
するセンサ出力信号の応答精度を上げることができる。
また、第16図に示すように、磁性体から成るロッド部１
の基材1cの表面に所望のパターンに応じた突出部1aを加
工形成し、この突出部1aを磁性体から成るパターン部と
してもよい。その場合は、渦電流損ではなく、導磁量に
応じた磁気抵抗変化を生じさせることができる。

また、パターン配置部材に配置するパターンは可視的に
明瞭に区別し得るようになっている必要はなく、視覚的
には他の部分と明瞭に区別できなくても、磁気的性質に
おいて他の部分と区別し得るものであれば、例えば、ロ
ッド部１等のパターン配置部材の基材をステンレスによ
って構成し、このステンレス基材上を所望のパターンに
従って局部的にレーザ等により加熱することによりその
被加熱部分を磁性体化することができ、これにより基材
とパターンは同じステンレスを素材とするものであって
も、パターンの部分を磁性体とし、その他の部分を非磁
性体とすることができる。

パターンを配置したロッド部又はその他の部材は、位置
検出対象である機械又は装置の一部であってよい。例え
ば、流体圧シリンダのピストンロッド位置を検出する装
置に本発明を応用する場合、ピストンロッドを本発明に
おけるパターン配置部材として利用する。あるいは、機
械の移動体をガイドするためのガイド棒を本発明におけ
るパターン配置部材として利用し、移動体に連動して検
出ヘッドの方が該ガイド棒（つまりパターン配置部材）
に沿って移動するようになっていてもよい。

第17図は本発明をピストンロッド位置検出装置として利
用した一例を示す略図であり、29は流体圧シリンダの本
体、30はピストン、31はピストンロッドである。ピスト
ンロッド31にはその全長にわたってほぼ１サイクルの変
化を示す螺旋状の線条パターン31aが配置されており、
このパターン31aを検知する検出ヘッド２がシリンダ本
体29の開口端側に固定されている。検出ヘッド２の出力
信号は変換回路32に与えられ、ピストンロッド31の全ス
トローク範囲にわたるアブソリュート位置を示すデータ
Dxが得られる。位相方式の場合、変換回路32は第３図に
示すような回路である。このようなストロークの全長に
わたるアブソリュート位置検出データDxは、任意の形態
で利用することができる。複数のストローク位置及び範
囲にわたる位置決めその他の制御信号を得るようにする
場合、所望のストローク位置又は範囲に対応するメモリ
33内のアドレス位置又は範囲にそれらのストローク位置
又は範囲に対応する制御信号を書込んでおき、該メモリ
33のアドレス入力にアブソリュート位置検出データDxを
入力して書込まれた制御信号を読み出すようにすること
が可能である。この場合、例えばメモリ33の１アドレス
の語長が８ビットならば、その各ビットをリミットスイ
ッチ又はカムスイッチの出力に対応させて該メモリ33の
記憶データのプログラムを行うことができ、そうすると
８種類のストローク位置又は範囲に対応するスイッチ出
力信号を該メモリ33から読み出すことができる。メモリ
33としては、EPROMのような読み書き可能なメモリを用
いるとよい。

なお、上記各実施例では位相方式によって位置検出デー
タを求めるように説明したが、通常の差動トランスで知
られているように電圧方式によって位置に応じた電圧レ
ベルを持つ位置検出データを求めるようにしてもよい。
その場合は、１次コイル励磁用の交流信号に位相差を設
定する必要はない。

また、パターンの設け方は、１サイクルに限らず１サイ
クル未満又は数サイクルであってもよい。

なお、上記各実施例において、検出ヘッドにおける各相
毎の１次コイルと２次コイルは必らずしも別々のコイル
である必要はなく、実開昭58−2621号あるいは実開昭58
−39507号に示されたもののように共通であってもよ
い。

〔発明の効果〕

以上の通り、この発明によれば、検出ヘッドに対して相
対的に直線変位する部材において直線変位方向に関して
その配列が徐々に斜行する磁気応答パターンの変化の１
サイクルを比較的長くとることができ、該１サイクル長
に対応するアブソリュート直線位置検出可能範囲を比較
的長くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は同実施例の検出ヘッドの横断面図、第３図は同実施例の検出ヘッドに励磁用交流信号を供給
するための回路と該検出ヘッドの出力信号の電気的位相
を検出して位置検出データを求める回路の一例を示す電
気的ブロック図、第４図はロッド部に配置するパターンの別の例として２
条ねじ式の螺旋線条のパターンを示す斜視図、第５図は第４図のパターンを検知するために用いる検出
ヘッドの別の例を示すもので、８極型ヘッドの横断面
図、第６図は検出ヘッドの別の実施例を示すもので、６極型
ヘッドの横断面図、第７図は検出ヘッドの更に別の例を示すもので、各極毎
に分離されたコア構造から成るものの横断面図、第８図はロッド部に配置する螺旋状のパターンの別の例
を示すもので、ステップ状に変化するようにしたものの
側面図、第９図（ａ）は断面正方形のロッド部に配置されたパタ
ーンの一例を示す正面図、（ｂ）はその底面図、（ｃ）
はその横断面図、第10図（ａ）は断面方形のロッド部に配置されたパター
ンの別の例を示す正面図、（ｂ）はその底面図、（ｃ）
は検出ヘッドの横断面図、第11図は断面方形のロッド部に配置されたパターンの更
に別の例を示す正面図、第12図乃至第16図はパターン配置部材上におけるパター
ン形成法の具体例を夫々示す断面図、第17図は流体圧シリンダのピストンロッド位置検出に適
用したこの発明の一実施例を示す概略図、である。１……ロッド部、1a,1a₁,1a₂,1a′,1a−D₁〜1a−D₄,…
…パターン、２……検出ヘッド、2AD₁〜2D₁……１次コ
イル、2A₂〜2D₂……２次コイル。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直線変位方向に関してその配列が徐々に斜
行する磁気応答パターンを所定の物質により配置して成
る部材と、該部材に近接して相対的に直線変位可能に設けられ、該
部材の周囲に等間隔で配置された複数の誘導形検出ヘッ
ド極を有しており、該部材の相対的直線変位に応じて前
記磁気応答パターンに最も近接する前記検出ヘッド極が
変化し、各検出ヘッド極は前記磁気応答パターンの近接
に応答して前記直線変位の関数である誘導出力信号を生
じ、前記各検出ヘッド極は前記誘導出力信号の関数が逆
相の特性を示す極同士で対を成しており、対を成す極同
士の出力を差動結合して前記各検出ヘッド極の誘導出力
信号を合成した出力信号を生ずる誘導形検出ヘッドとを具えたアブソリュート直線位置検出装置。
【請求項２】前記パターンは、検出対象範囲のほぼ全域
に対応する長さ範囲を１サイクルとして前記変化を示す
ものである特許請求の範囲第１項記載のアブソリュート
直線位置検出装置。
【請求項３】前記パターンを構成する前記所定の物質
は、前記部材の他の部分の材質よりも相対的に良導電体
から成るものである特許請求の範囲第１項記載のアブソ
リュート直線位置検出装置。
【請求項４】前記パターンを構成する前記所定の物質
は、磁性体から成るものである特許請求の範囲第１項記
載のアブソリュート直線位置検出装置。
【請求項５】前記部材の基材が磁性体から成り、磁性体
から成る前記パターンはこの基材上において突出部とし
て加工形成されるものである特許請求の範囲第４項記載
のアブソリュート直線位置検出装置。
【請求項６】前記部材の基材が磁性体から成り、前記パ
ターンに対応する形状をこの基材において凹所として形
成し、この凹所に前記良導電体を埋設して前記パターン
を構成させた特許請求の範囲第３項記載のアブソリュー
ト直線位置検出装置。
【請求項７】前記部材は、その基材上に前記所定の物質
により前記パターンを形成し、その上から所定の表面コ
ーティングを施したものである特許請求の範囲第１項記
載のアブソリュート直線位置検出装置。
【請求項８】前記部材は、その基材上に前記所定の物質
により前記パターンを幾分突出させて形成し、該パター
ンの間の凹所に所定の充填物質を充填させて該パターン
の上面と該充填物質の上面の高さをほぼ揃え、更にその
上から全体に表面コーティングを施したものである特許
請求の範囲第１項記載のアブソリュート直線位置検出装
置。
【請求項９】前記検出ヘッドは、前記パターンの変化の
１サイクルの範囲につき、該パターンとの対応位置に応
じて異なる電気的位相ずれを示す出力信号を生ずるもの
である特許請求の範囲第１項乃至第８項の何れかに記載
のアブソリュート直線位置検出装置。
【請求項１０】前記部材の基材と前記パターンが同じ物
質から成り、該基材におけるパターン配置箇所に対して
局部的に所定の処理を加えることにより該箇所の磁気的
性質を変更し、これにより該箇所を前記パターンと成す
ようにした特許請求の範囲第１項記載のアブソリュート
直線位置検出装置。
【請求項１１】前記基材はステンレススチールから成
り、前記所定の処理は加熱処理であり、前記箇所を磁性
体に変更することにより前記パターンが磁性体によって
構成されるようにした特許請求の範囲第10項記載のアブ
ソリュート直線位置検出装置。
【請求項１２】前記部材は、流体圧シリンダのピストン
ロッドであり、前記検出ヘッドを該シリンダの本体側に
固定し、該ピストンロッドの位置を検出するようにした
特許請求の範囲第１項記載のアブソリュート直線位置検
出装置。