JP2653011B2 - インダクトシン基板 - Google Patents

インダクトシン基板

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F21/00—Variable inductances or transformers of the signal type
    • H01F21/02—Variable inductances or transformers of the signal type continuously variable, e.g. variometers
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電磁誘導方式により変
位量を検出する変位センサに用いるインダクトシン基
板、特にそのコイルパターンに関する。
【０００２】
【従来の技術】インダクトシン基板を用いた変位センサ
は、センサ本体に固定されるスケール部と、検出対象に
追随するスライダ部の双方にインダクトシン基板が設け
られており、一方のインダクトシン基板のコイルパター
ンへ交流を流し、電磁誘導作用により他方のインダクト
シン基板のコイルパターンへ誘起される電圧で検出対象
の変位量を検出している。
【０００３】このインダクトシン基板に形成されるコイ
ルパターンは、検出精度を向上させ、あるいは装置を小
型化する目的で、種々の形状のものが開発されており、
例えば図２に示すコイルパターンでは、スケール部のイ
ンダクトシン基板に互いに１／４ピッチ空間位相をずら
せた２つのコイルパターンを形成し、この２つのコイル
パターンに互いに９０度位相の異なる正弦波電流を通電
することで、検出精度を向上させている。
【０００４】また、例えば特開平２−２７５３１４号公
報「インダクトシン基板」に開示された発明では、図３
に示すように、スケール部のインダクトシン基板に互い
に１／４ピッチ空間位相をずらせた２つのコイルパター
ンを、それぞれ図３（ａ），（ｂ）に示すように２往復
以上とした形状、すなわち、パス数をそれぞれ２往復以
上とし、スライダ部のインダクトシン基板のコイルパタ
ーンがこの２つのコイルパターンと重なり合う形状と
し、コイルパターンＡ，Ｂに互いに９０度位相の異なる
Ａ相とＢ相の正弦波電流を通電し、発生した磁界により
スライダ部のインダクトシン基板のコイルパターンに誘
起される電圧と、スケール部のインダクトシン基板のコ
イルパターンに印加した正弦波電圧との位相のずれか
ら、検出対象の変位量を検出することとし、さらに検出
精度を向上させることとしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にスケール部のインダクトシン基板に２つのコイルパタ
ーンを形成する場合、従来の構成では２つのコイルパタ
ーンの長さが異なるためインピーダンスが相違し、９０
度位相の異なる同一振幅の交流電圧を印加した場合でも
それぞれのコイルパターンに発生する磁界は同じ状態に
はならず、正確な変位量の検出ができないという問題点
があった。特にコイルパターンのパス数が増加すればす
るほど、この傾向が顕著になる。
【０００６】本発明の目的は、２つのコイルパターンを
用いて互いに９０度位相の異なる正弦波電圧を印加する
場合でも、互いに同じ状態の磁界を発生し正確な変位量
を検出できるインダクトシン基板を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、スケール部
のインダクトシン基板の、変位検出方向上交互に１／４
ピッチ空間位相をずらせて形成配設される２つのコイル
パターンのインピーダンスを、コイル端部に遊びのパタ
ーンを設ける等の手段を用いて互いに等しくしたことを
特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、本発明について実施例によって説明す
る。図１（ａ），（ｂ）は、本発明におけるスケール部
のインダクトシン基板のコイルパターンの実施例を示す
図で、図１（ａ）はパス数を２往復とした例、図１
（ｂ）はパス数を３往復とした例で、１１ａ，１２ａ，
１１ｂ，１２ｂは１／４ピッチ空間位相をずらせて配設
した２つのコイルパターンのそれぞれの端部に、２つの
コイルパターンの長さを等しくするために設けた、いわ
ゆる遊びのパターン部分である。
【０００９】２つのコイルパターンＡ，Ｂの一方または
双方に、このように遊びのパターン部分を設けて、それ
ぞれの長さを等しくすることにより、２つのコイルパタ
ーンＡ，Ｂは、その全域に渡って幅と長さを同じくする
ことができ、インピーダンスを等しくすることができ、
２つのコイルパターンＡ，Ｂに互いに９０度位相のずれ
た正弦波電圧を印加することで、２つのコイルパターン
Ａ，Ｂによって発生するそれぞれの磁界を同じ状態にす
ることができ、正確な変位量の検出ができるようにな
る。
【００１０】図１（ｃ）は、本発明において１／４ピッ
チ空間位相をずらせて配設した２つのコイルパターンの
うち長さの短い方のコイルパターンＢの端部にのみ遊び
のパターンを設けて２つのコイルパターンＡ，Ｂの長さ
を同一にし、２つのコイルパターンＡ，Ｂのインピーダ
ンスを等しくする実施例を示す図である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明のインダクト
シン基板は、スケール部のインダクトシン基板の２つの
コイルパターンに、その端部に遊びのパターンを設ける
等の手段により双方のコイルパターンのインピーダンス
を等しくすることにより、２つのコイルパターンで発生
するそれぞれの磁界を同じ状態にすることができ、正確
な変位量の検出が可能となる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】従来のスケール部のインダクトシン基板のコイ
ルパターンの一例を示す図である。
【図３】従来のスケール部のインダクトシン基板のコイ
ルパターンの他の例を示す図である。
【符号の説明】
１１ 遊びのパターン部分 １２ 遊びのパターン部分

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 電磁誘導方式の変位センサのセンサ本体
    に固定されるスケール部に用いられ、変位検出方向上交
    互に１／４ピッチ空間位相をずらせて形成配設され、そ
    れぞれ９０度位相の異なる正弦波電流が通電される２つ
    のコイルパターンを有するインダクトシン基板におい
    て、 上記２つのコイルパターンのうち長さの短い方のコイル
    パターンの端部に遊びのパターンを設けて２つのコイル
    パターンの長さを同一にし、２つのコイルパターンのイ
    ンピーダンスを等しくする手段を備えたことを特徴とす
    るインダクトシン基板。
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