JPH0695095A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
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- JPH0695095A JPH0695095A JP26973092A JP26973092A JPH0695095A JP H0695095 A JPH0695095 A JP H0695095A JP 26973092 A JP26973092 A JP 26973092A JP 26973092 A JP26973092 A JP 26973092A JP H0695095 A JPH0695095 A JP H0695095A
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- electrodes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マトリックス形の電極構造を有する液晶表示
装置において、高速応答化及び大画面化に伴う表示品質
を向上すること。 【構成】 一対のガラス基板１１上に順次、下透明電極
１２、透明絶縁膜１３、上透明電極１４及び配向膜１５
が形成されている。そして、電極パターンの配列方向が
互いに直角となるように配向膜１５を内側にし、その間
隙に反強誘電性液晶１６が充填され封止されている。下
透明電極１２と上透明電極１４とが同一電極パターンに
て形成されており、これら電極に交流電圧が印加される
と電極間に形成された透明絶縁膜１３の静電容量は短絡
されたと同様となる。従って、下透明電極１２と上透明
電極１４とのインピーダンスが 1/2の値となる。これに
より、液晶表示装置１００は駆動回路側からの印加電圧
のパルス波形の歪み及び遅延が減少し高速応答化及び大
画面化が可能となる。
装置において、高速応答化及び大画面化に伴う表示品質
を向上すること。 【構成】 一対のガラス基板１１上に順次、下透明電極
１２、透明絶縁膜１３、上透明電極１４及び配向膜１５
が形成されている。そして、電極パターンの配列方向が
互いに直角となるように配向膜１５を内側にし、その間
隙に反強誘電性液晶１６が充填され封止されている。下
透明電極１２と上透明電極１４とが同一電極パターンに
て形成されており、これら電極に交流電圧が印加される
と電極間に形成された透明絶縁膜１３の静電容量は短絡
されたと同様となる。従って、下透明電極１２と上透明
電極１４とのインピーダンスが 1/2の値となる。これに
より、液晶表示装置１００は駆動回路側からの印加電圧
のパルス波形の歪み及び遅延が減少し高速応答化及び大
画面化が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マトリックス形の電極
構造を有する液晶表示装置に関する。
構造を有する液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来、マトリックス形の電極構造を有する
液晶表示装置は、図５に平面図、図６に図５のＢ−Ｂ線
に沿った断面図を示したように構成されている。透光性
絶縁基板であるガラス基板５１上に、通常、ＩＴＯ(Ind
ium Tin Oxide)から成る透明電極５２が形成され、その
上に液晶分子を１方向に配向させるためのポリイミド等
の高分子膜である配向膜５３が形成される。上記透明電
極５２は同一幅、等間隔で平行に形成されている。そし
て、一対のガラス基板５１は、透明電極５２の配列方向
が互いに直角となるように配向膜５３を内側にして一定
の間隔を維持して貼り合わされ、その間隙に液晶５４が
充填される。即ち、透明電極５２は表示面側から見て井
桁状となるように配置され、それぞれ行電極（Ｙ1,Ｙ2,
Ｙ3)、列電極（Ｘ1,Ｘ2,Ｘ3)となる。上述の電極構造か
ら成る液晶表示装置では、行電極及び列電極に走査電圧
パルス及び信号電圧パルスを印加することにより画像表
示が得られる。
液晶表示装置は、図５に平面図、図６に図５のＢ−Ｂ線
に沿った断面図を示したように構成されている。透光性
絶縁基板であるガラス基板５１上に、通常、ＩＴＯ(Ind
ium Tin Oxide)から成る透明電極５２が形成され、その
上に液晶分子を１方向に配向させるためのポリイミド等
の高分子膜である配向膜５３が形成される。上記透明電
極５２は同一幅、等間隔で平行に形成されている。そし
て、一対のガラス基板５１は、透明電極５２の配列方向
が互いに直角となるように配向膜５３を内側にして一定
の間隔を維持して貼り合わされ、その間隙に液晶５４が
充填される。即ち、透明電極５２は表示面側から見て井
桁状となるように配置され、それぞれ行電極（Ｙ1,Ｙ2,
Ｙ3)、列電極（Ｘ1,Ｘ2,Ｘ3)となる。上述の電極構造か
ら成る液晶表示装置では、行電極及び列電極に走査電圧
パルス及び信号電圧パルスを印加することにより画像表
示が得られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したような液晶表
示装置においては、透明電極５２の表示位置が駆動回路
と電気的に接続される表示面の周辺の端子位置から離れ
る程、その電極抵抗により印加されるパルス波形の歪み
や遅延が大きくなり、表示画像の品位が低下する。この
現象は、液晶表示装置の表示面が大きな面積となる程、
顕著に現れる。
示装置においては、透明電極５２の表示位置が駆動回路
と電気的に接続される表示面の周辺の端子位置から離れ
る程、その電極抵抗により印加されるパルス波形の歪み
や遅延が大きくなり、表示画像の品位が低下する。この
現象は、液晶表示装置の表示面が大きな面積となる程、
顕著に現れる。
【０００４】ここで、この問題点に対する対策として
は、透明電極５２の電極抵抗を低抵抗化することが考え
られる。透明電極５２の電極材料として用いられている
ＩＴＯは、通常の金属材料（Ｃu,Ａl 等）に比べて抵抗
が高く、低抵抗化するために膜厚を厚くすると膜応力に
よりマイクロクラックが発生し易くなる。更に、ＩＴＯ
は電極加工時にエッチングレートの不均一性により不良
が発生し易くなり、シート抵抗は10Ω／□程度が限界で
あった。又、ＩＴＯの膜厚を厚くする代わりに、不透明
な上記金属材料（Ｃu,Ａl 等）を透明電極５２の一部に
積層、又、透明電極５２に金属電極を沿わせるなどし
て、結果的に電極抵抗を低抵抗化する方法もある。しか
し、この方法では、製造工程が複雑となると共に光透過
性の悪化を考慮して金属部分の面積を余り大きくするこ
とができないため大きな効果を得ることは無理であっ
た。
は、透明電極５２の電極抵抗を低抵抗化することが考え
られる。透明電極５２の電極材料として用いられている
ＩＴＯは、通常の金属材料（Ｃu,Ａl 等）に比べて抵抗
が高く、低抵抗化するために膜厚を厚くすると膜応力に
よりマイクロクラックが発生し易くなる。更に、ＩＴＯ
は電極加工時にエッチングレートの不均一性により不良
が発生し易くなり、シート抵抗は10Ω／□程度が限界で
あった。又、ＩＴＯの膜厚を厚くする代わりに、不透明
な上記金属材料（Ｃu,Ａl 等）を透明電極５２の一部に
積層、又、透明電極５２に金属電極を沿わせるなどし
て、結果的に電極抵抗を低抵抗化する方法もある。しか
し、この方法では、製造工程が複雑となると共に光透過
性の悪化を考慮して金属部分の面積を余り大きくするこ
とができないため大きな効果を得ることは無理であっ
た。
【０００５】本発明は、上記の課題を解決するために成
されたものであり、その目的とするところは、マトリッ
クス形の電極構造を有する液晶表示装置において、高速
応答化及び大画面化に伴う表示品質を向上することであ
る。
されたものであり、その目的とするところは、マトリッ
クス形の電極構造を有する液晶表示装置において、高速
応答化及び大画面化に伴う表示品質を向上することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の発明の構成は、透明電極を各々形成した一対の透光性
絶縁基板により液晶が挟持されて成るマトリックス形の
電極構造を有する液晶表示装置において、前記透光性絶
縁基板上における前記透明電極は表示面内では透光性絶
縁膜を介して同一の電極パターンで２層以上積層され、
前記表示面の周辺で前記電極パターンの積層方向の各端
子部が電気的に接続されていることを特徴とする。
の発明の構成は、透明電極を各々形成した一対の透光性
絶縁基板により液晶が挟持されて成るマトリックス形の
電極構造を有する液晶表示装置において、前記透光性絶
縁基板上における前記透明電極は表示面内では透光性絶
縁膜を介して同一の電極パターンで２層以上積層され、
前記表示面の周辺で前記電極パターンの積層方向の各端
子部が電気的に接続されていることを特徴とする。
【０００７】
【作用及び効果】上記の手段によれば、液晶表示装置の
駆動回路側から透明電極に交流電圧が印加されると透光
性絶縁膜の静電容量は短絡されたと同様となる。する
と、上記透明電極のインピーダンスは、その電極パター
ンの積層数が例えば、２層であれば２つの同じ抵抗を並
列接続したのと同様で 1/2の値、３層であれば３つの同
じ抵抗を並列接続したのと同様で 1/3の値となる。これ
により、液晶表示装置は駆動回路側からの印加電圧のパ
ルス波形の歪み及び遅延が減少し高速応答化及び大画面
化が可能となる。ここで、透光性絶縁膜の単位面積あた
りの静電容量が液晶の単位面積あたりの静電容量より十
分大きい値（例えば、10倍程度）であるならば、液晶の
急峻な応答を妨げることはない。
駆動回路側から透明電極に交流電圧が印加されると透光
性絶縁膜の静電容量は短絡されたと同様となる。する
と、上記透明電極のインピーダンスは、その電極パター
ンの積層数が例えば、２層であれば２つの同じ抵抗を並
列接続したのと同様で 1/2の値、３層であれば３つの同
じ抵抗を並列接続したのと同様で 1/3の値となる。これ
により、液晶表示装置は駆動回路側からの印加電圧のパ
ルス波形の歪み及び遅延が減少し高速応答化及び大画面
化が可能となる。ここで、透光性絶縁膜の単位面積あた
りの静電容量が液晶の単位面積あたりの静電容量より十
分大きい値（例えば、10倍程度）であるならば、液晶の
急峻な応答を妨げることはない。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。図１は本発明に係る液晶表示装置の断面構成を
示した模式図である。又、図２は片方の透明電極を示し
た部分拡大平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線に沿っ
た断面図である。透光性絶縁基板であるガラス基板（商
品名：コーニング7059）１１上に、先ず、スパッタ装置
を用いてＩＴＯ膜を1500Å成膜した。この時のシート抵
抗は約20Ω／□であった。このＩＴＯ膜に対してフォト
リソグラフィ技術を用いて加工し、下透明電極１２を形
成した。次に、下透明電極１２の表示面の周辺で後述の
上透明電極１４と電気的に接続される下透明電極１２の
電極パターンの端子部を金属マスクにて覆った。この
後、金属マスクで覆われていない下透明電極１２の表示
面にスパッタ装置を用いて酸化珪素(ＳiＯ2)膜を1000Å
成膜し、透光性絶縁膜である透明絶縁膜１３を形成し
た。この透明絶縁膜１３の単位面積あたりの静電容量は
約40nF/cm2であった。
明する。図１は本発明に係る液晶表示装置の断面構成を
示した模式図である。又、図２は片方の透明電極を示し
た部分拡大平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ線に沿っ
た断面図である。透光性絶縁基板であるガラス基板（商
品名：コーニング7059）１１上に、先ず、スパッタ装置
を用いてＩＴＯ膜を1500Å成膜した。この時のシート抵
抗は約20Ω／□であった。このＩＴＯ膜に対してフォト
リソグラフィ技術を用いて加工し、下透明電極１２を形
成した。次に、下透明電極１２の表示面の周辺で後述の
上透明電極１４と電気的に接続される下透明電極１２の
電極パターンの端子部を金属マスクにて覆った。この
後、金属マスクで覆われていない下透明電極１２の表示
面にスパッタ装置を用いて酸化珪素(ＳiＯ2)膜を1000Å
成膜し、透光性絶縁膜である透明絶縁膜１３を形成し
た。この透明絶縁膜１３の単位面積あたりの静電容量は
約40nF/cm2であった。
【０００９】更に、この上にＩＴＯ膜を同様に、1500Å
成膜し、電極パターン加工を行い上透明電極１４を形成
した。このようにして、行電極又は列電極が形成された
一対のガラス基板１１にそれぞれポリイミドをスピンコ
ートし、焼成して配向膜１５を 500Å成膜した。この配
向膜１５面に対してラビング処理（布で擦って液晶に対
する配向性を持たせる処理）を行った。この後、一対の
ガラス基板１１は、配向膜１５を内側とし、形成された
電極パターンの配列方向が互いに直角となるようにし、
間隙が 1.6mmとなるように貼り合わせ、その間隙に反強
誘電性液晶１６を充填し封止して液晶表示装置１００を
製作した。
成膜し、電極パターン加工を行い上透明電極１４を形成
した。このようにして、行電極又は列電極が形成された
一対のガラス基板１１にそれぞれポリイミドをスピンコ
ートし、焼成して配向膜１５を 500Å成膜した。この配
向膜１５面に対してラビング処理（布で擦って液晶に対
する配向性を持たせる処理）を行った。この後、一対の
ガラス基板１１は、配向膜１５を内側とし、形成された
電極パターンの配列方向が互いに直角となるようにし、
間隙が 1.6mmとなるように貼り合わせ、その間隙に反強
誘電性液晶１６を充填し封止して液晶表示装置１００を
製作した。
【００１０】図４は、上述の電極構造を有する液晶表示
装置１００の行電極及び列電極間における等価回路を示
した回路図である。Ｃは単位ユニット（行電極と列電極
との交差面積）あたりの液晶の静電容量、Ｒi は各電極
（行電極又は列電極を形成した上透明電極又は下透明電
極）単位長さあたりの抵抗値、Ｃi は各電極単位長さあ
たりの上下電極間の透明絶縁膜１３の静電容量である。
この行電極と列電極との間に電圧が印加された時、直流
的には各電極単位長さあたりの電気抵抗はＲi である。
ここで、交流的には透明絶縁膜１３の静電容量Ｃi が液
晶の静電容量Ｃより十分大きいとき、上記静電容量Ｃi
は短絡されたと同様に見なすことができる。この場合の
印加されたパルス波形の歪みや遅延を決定する各電極単
位長さあたりのインピーダンスは (1/2)Ｒi となり、従
来と同じ材質・寸法の透明導電膜を透明電極として用い
ても、等価的な電極抵抗を半分とすることができる。更
に、上記透明電極の積層数を３層とすれば、等価的な電
極抵抗は (1/3)Ｒiとなる。
装置１００の行電極及び列電極間における等価回路を示
した回路図である。Ｃは単位ユニット（行電極と列電極
との交差面積）あたりの液晶の静電容量、Ｒi は各電極
（行電極又は列電極を形成した上透明電極又は下透明電
極）単位長さあたりの抵抗値、Ｃi は各電極単位長さあ
たりの上下電極間の透明絶縁膜１３の静電容量である。
この行電極と列電極との間に電圧が印加された時、直流
的には各電極単位長さあたりの電気抵抗はＲi である。
ここで、交流的には透明絶縁膜１３の静電容量Ｃi が液
晶の静電容量Ｃより十分大きいとき、上記静電容量Ｃi
は短絡されたと同様に見なすことができる。この場合の
印加されたパルス波形の歪みや遅延を決定する各電極単
位長さあたりのインピーダンスは (1/2)Ｒi となり、従
来と同じ材質・寸法の透明導電膜を透明電極として用い
ても、等価的な電極抵抗を半分とすることができる。更
に、上記透明電極の積層数を３層とすれば、等価的な電
極抵抗は (1/3)Ｒiとなる。
【００１１】この電極構造に用いられている透明絶縁膜
１３は、下透明電極１２と上透明電極１４とが短絡して
も何ら問題はないので高い耐電圧性は必要としない。し
かし、透明絶縁膜１３は上透明電極１４をエッチング加
工時に下透明電極１２に悪影響を及ぼさない程度の膜厚
とする必要がある。上記製作された液晶表示装置１００
の表示面積は、90×125mm(行電極数 220本、列電極数 9
60本）で、電圧印加により表示面全面において均一な表
示状態が得られた。尚、透明絶縁膜１３は、上述したＳ
iＯ2に限定されるものではなく、積層された場合に応力
の集中が緩和されるような材質のものを選択すれば良
い。
１３は、下透明電極１２と上透明電極１４とが短絡して
も何ら問題はないので高い耐電圧性は必要としない。し
かし、透明絶縁膜１３は上透明電極１４をエッチング加
工時に下透明電極１２に悪影響を及ぼさない程度の膜厚
とする必要がある。上記製作された液晶表示装置１００
の表示面積は、90×125mm(行電極数 220本、列電極数 9
60本）で、電圧印加により表示面全面において均一な表
示状態が得られた。尚、透明絶縁膜１３は、上述したＳ
iＯ2に限定されるものではなく、積層された場合に応力
の集中が緩和されるような材質のものを選択すれば良
い。
【図１】本発明の具体的な一実施例に係る液晶表示装置
の断面構造を示した模式図である。
の断面構造を示した模式図である。
【図２】同実施例装置における片側の透明電極構造を示
した部分拡大平面図である。
した部分拡大平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】同実施例に係る電極間の等価回路を示した回路
図である。
図である。
【図５】従来の液晶表示装置を示した平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
１１…ガラス基板（透光性絶縁基板） １２…下透明電極 １３…透明絶縁膜（透光性絶縁膜） １４…上透明電極 １５…配向膜 １６…反強誘電性液晶 １００…液晶表示装置
Claims (1)
- 【請求項１】 透明電極を各々形成した一対の透光性絶
縁基板により液晶が挟持されて成るマトリックス形の電
極構造を有する液晶表示装置において、 前記透光性絶縁基板上における前記透明電極は表示面内
では透光性絶縁膜を介して同一の電極パターンで２層以
上積層され、前記表示面の周辺で前記電極パターンの積
層方向の各端子部が電気的に接続されていることを特徴
とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973092A JPH0695095A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26973092A JPH0695095A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0695095A true JPH0695095A (ja) | 1994-04-08 |
Family
ID=17476372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26973092A Pending JPH0695095A (ja) | 1992-09-10 | 1992-09-10 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0695095A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6937810B2 (en) | 2000-12-27 | 2005-08-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Amplifying optical fiber, optical fiber amplifier and optical transmission system |
-
1992
- 1992-09-10 JP JP26973092A patent/JPH0695095A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6937810B2 (en) | 2000-12-27 | 2005-08-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Amplifying optical fiber, optical fiber amplifier and optical transmission system |
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