JPH0694088B2 - ワイヤカツト放電加工装置 - Google Patents
ワイヤカツト放電加工装置Info
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- JPH0694088B2 JPH0694088B2 JP3380586A JP3380586A JPH0694088B2 JP H0694088 B2 JPH0694088 B2 JP H0694088B2 JP 3380586 A JP3380586 A JP 3380586A JP 3380586 A JP3380586 A JP 3380586A JP H0694088 B2 JPH0694088 B2 JP H0694088B2
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- Japan
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- lead screw
- wire
- axis direction
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワイヤカット放電加工装置に関し、特に、被加
工体が設置される加工部分に於てワイヤ電極を一直線状
に張架し、これと被加工体間に加工送りを付与するため
の機構の改良に関する。
工体が設置される加工部分に於てワイヤ電極を一直線状
に張架し、これと被加工体間に加工送りを付与するため
の機構の改良に関する。
ワイヤ電極を用いて、放電加工により被加工体を切断ま
たは切抜き孔明け加工するワイヤカット放電加工装置
は、数値制御装置の発達に伴い長時間の無人運転が可能
となったことと相俟って、今日広く利用されている。
たは切抜き孔明け加工するワイヤカット放電加工装置
は、数値制御装置の発達に伴い長時間の無人運転が可能
となったことと相俟って、今日広く利用されている。
上記の如きワイヤカット放電加工装置に於て、ワイヤ電
極は通常上下二本のアームの各先端に設けられたダイス
等から成る一対のワイヤ電極位置決めガイド間に適度の
張力を持たせて直線状に張架され、加工中は一方のワイ
ヤ電極位置決めガイドから他方のガイドへ向けて一定速
度で走行せしめられるようになっている。両ガイド間の
距離は通常数10cmであり、こゝに被加工体が機台上のク
ロススライドテーブル等に設置されて加工部分が形成さ
れ、加工中はワイヤ電極及び被加工体間に電圧パルスを
印加して放電を生じさせると共に、両者間に両ガイド間
のワイヤ電極の軸と略直角方向の相対的な加工送りを付
与して所望形状の輪郭加工を行なうものである。
極は通常上下二本のアームの各先端に設けられたダイス
等から成る一対のワイヤ電極位置決めガイド間に適度の
張力を持たせて直線状に張架され、加工中は一方のワイ
ヤ電極位置決めガイドから他方のガイドへ向けて一定速
度で走行せしめられるようになっている。両ガイド間の
距離は通常数10cmであり、こゝに被加工体が機台上のク
ロススライドテーブル等に設置されて加工部分が形成さ
れ、加工中はワイヤ電極及び被加工体間に電圧パルスを
印加して放電を生じさせると共に、両者間に両ガイド間
のワイヤ電極の軸と略直角方向の相対的な加工送りを付
与して所望形状の輪郭加工を行なうものである。
而して、上記ワイヤ電極と被加工体間の相対的位置決め
や加工送りは、通常は上記被加工体をクロススライドテ
ーブルに付設した駆動機構によって加工送りを与える構
成のものが殆どであって、これによると加工送りにかな
りのエネルギを必要とし、駆動装置も大型となり、従っ
て大型且つ大重量の被加工体の加工には不向きであっ
た。
や加工送りは、通常は上記被加工体をクロススライドテ
ーブルに付設した駆動機構によって加工送りを与える構
成のものが殆どであって、これによると加工送りにかな
りのエネルギを必要とし、駆動装置も大型となり、従っ
て大型且つ大重量の被加工体の加工には不向きであっ
た。
このような問題を解決するため、加工部分に於てワイヤ
電極を直線状に張架するための二本のアーム等をワイヤ
電極の張架及び更新送り機構ごと被加工体に対して移動
させる構成のものも提案されているが、その場合、アー
ムの取付位置と、その駆動用の親ねじの取付位置と、ワ
イヤ電極の張架位置との相互の位置関係が必ずしも適切
でなかったため、上記親ねじを駆動してアームを移動さ
せるとき、親ねじのピッチ誤差やアームの取付部分に於
ける遊隙又はバックラッシュの影響がワイヤ電極の張架
部分に拡大して伝達され、そのため加工精度が劣化する
という問題があった。
電極を直線状に張架するための二本のアーム等をワイヤ
電極の張架及び更新送り機構ごと被加工体に対して移動
させる構成のものも提案されているが、その場合、アー
ムの取付位置と、その駆動用の親ねじの取付位置と、ワ
イヤ電極の張架位置との相互の位置関係が必ずしも適切
でなかったため、上記親ねじを駆動してアームを移動さ
せるとき、親ねじのピッチ誤差やアームの取付部分に於
ける遊隙又はバックラッシュの影響がワイヤ電極の張架
部分に拡大して伝達され、そのため加工精度が劣化する
という問題があった。
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、その目的とするところは、アツベの原理に基づき比
較的シンプルな構造でありながら、安定且つ高精度の加
工を行ない得るワイヤカット放電加工装置を提供するこ
とにある。
り、その目的とするところは、アツベの原理に基づき比
較的シンプルな構造でありながら、安定且つ高精度の加
工を行ない得るワイヤカット放電加工装置を提供するこ
とにある。
上記の目的は、機台と、上記機台上に一軸〔以下、「Ｙ
軸」という。〕方向に移動自在に支承されたＹ軸方向移
動台と、上記Ｙ軸方向移動台を加工送りする第一の親ね
じ装置と、それぞれの自由端側にワイヤ電極位置決めガ
イドを具備する互いに略平行な一対のアームをその一端
で接続して成り、Ｙ軸方向移動台上に上記一軸と直角な
〔以下、「Ｘ軸」という。〕方向に移動自在に支承され
たワイヤカット放電加工用のメインフレームと、上記メ
インフレームを加工送りする第二の親ねじ装置とを具備
するワイヤカット放電加工装置に於て、上記第一及び第
二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心高を、上記一
対のアームの平均中心高と略一致させることにより達成
される。
軸」という。〕方向に移動自在に支承されたＹ軸方向移
動台と、上記Ｙ軸方向移動台を加工送りする第一の親ね
じ装置と、それぞれの自由端側にワイヤ電極位置決めガ
イドを具備する互いに略平行な一対のアームをその一端
で接続して成り、Ｙ軸方向移動台上に上記一軸と直角な
〔以下、「Ｘ軸」という。〕方向に移動自在に支承され
たワイヤカット放電加工用のメインフレームと、上記メ
インフレームを加工送りする第二の親ねじ装置とを具備
するワイヤカット放電加工装置に於て、上記第一及び第
二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心高を、上記一
対のアームの平均中心高と略一致させることにより達成
される。
上記の如き構成であると、上記Ｙ軸方向移動台を加工送
りする第一の親ねじ装置と、上記メインフレームを加工
送りする第二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心
高、即ち上記Ｙ軸方向移動台の駆動軸並びに上記メイン
フレームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平均
中心高と略一致しているため、駆動時にＹ軸親ねじのピ
ッチ誤差や上記Ｙ軸方向移動台並びにメインフレームの
取付部分等の遊隙等の拡大による精度劣化が上記一対の
アーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して伝達される
ことが少なく、そのため安定且つ高精度の加工が可能と
なるものである。
りする第一の親ねじ装置と、上記メインフレームを加工
送りする第二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心
高、即ち上記Ｙ軸方向移動台の駆動軸並びに上記メイン
フレームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平均
中心高と略一致しているため、駆動時にＹ軸親ねじのピ
ッチ誤差や上記Ｙ軸方向移動台並びにメインフレームの
取付部分等の遊隙等の拡大による精度劣化が上記一対の
アーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して伝達される
ことが少なく、そのため安定且つ高精度の加工が可能と
なるものである。
以下、図面を参照しつゝ本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明にかゝるワイヤカット放電加工装置の一
実施例の要部を示す上面図、第２図は第１図中のII−II
線に沿った方向から見た側面図、第３図は第１図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第１図中のIII−III線に沿って切断したとき
の端面図である。
実施例の要部を示す上面図、第２図は第１図中のII−II
線に沿った方向から見た側面図、第３図は第１図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第１図中のIII−III線に沿って切断したとき
の端面図である。
而して、各図中、１は機台、２は上記機台１上で図中Ｙ
軸方向に移動自在に支承されたＹ軸方向移動台、3,3は
上記Ｙ軸方向移動台２を摺動自在に支承するため機台１
上に固定されたガイドレール、４は上記Ｙ軸方向移動台
２を移動させるための第一の親ねじ装置、５はそれぞれ
の自由端側にワイヤ電極位置決めガイド6a,6bを具備す
る互いに略平行な一対のアーム5a,5bをその一端の接続
部5cで接続して成り、上記Ｙ軸方向移動台１上で上記Ｙ
軸と直角なＸ軸方向に移動自在に支承されたワイヤカッ
ト放電加工用のメインフレーム（第２図参照）、７は上
記メインフレーム５を移動させるための第二の親ねじ装
置、８はワイヤ電極、９は図では省略した載物台上に固
定された被加工体（第２図参照）である。
軸方向に移動自在に支承されたＹ軸方向移動台、3,3は
上記Ｙ軸方向移動台２を摺動自在に支承するため機台１
上に固定されたガイドレール、４は上記Ｙ軸方向移動台
２を移動させるための第一の親ねじ装置、５はそれぞれ
の自由端側にワイヤ電極位置決めガイド6a,6bを具備す
る互いに略平行な一対のアーム5a,5bをその一端の接続
部5cで接続して成り、上記Ｙ軸方向移動台１上で上記Ｙ
軸と直角なＸ軸方向に移動自在に支承されたワイヤカッ
ト放電加工用のメインフレーム（第２図参照）、７は上
記メインフレーム５を移動させるための第二の親ねじ装
置、８はワイヤ電極、９は図では省略した載物台上に固
定された被加工体（第２図参照）である。
なお、ワイヤ電極８を上記一対のワイヤ電極位置決めガ
イド6a及び6b間に一定の張力で張架せしめた状態でこれ
を供給、回収するため、上記メインフレーム２及びアー
ム5a及び5b上、或いは更に機台１と一体の固定部分、例
えば機台１の前縁部近くに立てゝ設けたカバー板上等に
適宜設けられるべきワイヤ電極供給ドラム、各種ガイド
ローラ、キャプスタン、ピンチローラ、ブレーキロー
ラ、ワイヤ電極回収ドラム等から成るワイヤ電極供給、
回収装置や、ワイヤ電極８と被加工体９間に放電用電圧
を印加するための通電ピン等の通電機構、或いは加工部
分に水等の加工液を供給するための装置、その他本発明
の要旨と直接関係のない構成要素は図面の繁雑化を防ぐ
ため図では省略してある。
イド6a及び6b間に一定の張力で張架せしめた状態でこれ
を供給、回収するため、上記メインフレーム２及びアー
ム5a及び5b上、或いは更に機台１と一体の固定部分、例
えば機台１の前縁部近くに立てゝ設けたカバー板上等に
適宜設けられるべきワイヤ電極供給ドラム、各種ガイド
ローラ、キャプスタン、ピンチローラ、ブレーキロー
ラ、ワイヤ電極回収ドラム等から成るワイヤ電極供給、
回収装置や、ワイヤ電極８と被加工体９間に放電用電圧
を印加するための通電ピン等の通電機構、或いは加工部
分に水等の加工液を供給するための装置、その他本発明
の要旨と直接関係のない構成要素は図面の繁雑化を防ぐ
ため図では省略してある。
而して、一対のアーム5a及び5bのそれぞれの自由端に取
り付けられたワイヤ電極位置決めガイド6a及び6b間に一
定の張力で張架せしめられ、かつ所定の速度で連続的若
しくは間欠的に給走されるワイヤ電極８は、被加工体９
と所定の間隙を保って対向せしめられ、両者間に印加さ
れた電圧により放電が生ぜしめられ、これにより加工が
行なわれるようになっている。
り付けられたワイヤ電極位置決めガイド6a及び6b間に一
定の張力で張架せしめられ、かつ所定の速度で連続的若
しくは間欠的に給走されるワイヤ電極８は、被加工体９
と所定の間隙を保って対向せしめられ、両者間に印加さ
れた電圧により放電が生ぜしめられ、これにより加工が
行なわれるようになっている。
而して、被加工体９とワイヤ電極８間の図中Ｘ軸及びＹ
軸方向に沿った加工送りは、Ｙ軸方向移動台２をガイド
レール3,3に沿って図中Ｙ軸方向に移動させると共に、
上記メインフレーム５をＹ軸方向移動台２上で図中Ｘ軸
方向に移動させることによって行なわれる。
軸方向に沿った加工送りは、Ｙ軸方向移動台２をガイド
レール3,3に沿って図中Ｙ軸方向に移動させると共に、
上記メインフレーム５をＹ軸方向移動台２上で図中Ｘ軸
方向に移動させることによって行なわれる。
即ち、Ｙ軸方向移動台２を移動させるための第一の親ね
じ装置４は、Ｙ軸方向移動台２の片側中央部に立ち上が
って設けられた台座2aに一端が固着された親ねじ4aと、
機台１上に設けられたモータ4bと、その回転軸に取り付
けられた歯車4cと、機台１上に設けられたガイドレール
3,3の停止壁3aに回転自在に枢支され、その外周に形成
した外歯歯車が上記歯車4cに噛み合わせられると共に、
その中心軸に沿って形成された雌ねじに上記親ねじ4aが
ねじ込まれた回転ねじ部材4dとから成り、モータ4bを回
転駆動することにより回転ねじ部材4dが回転せしめら
れ、これにより親ねじ4aがその軸方向に移動してＹ軸方
向移動台２がガイドレール3,3上でＹ軸方向に移動せし
められるようになっている。
じ装置４は、Ｙ軸方向移動台２の片側中央部に立ち上が
って設けられた台座2aに一端が固着された親ねじ4aと、
機台１上に設けられたモータ4bと、その回転軸に取り付
けられた歯車4cと、機台１上に設けられたガイドレール
3,3の停止壁3aに回転自在に枢支され、その外周に形成
した外歯歯車が上記歯車4cに噛み合わせられると共に、
その中心軸に沿って形成された雌ねじに上記親ねじ4aが
ねじ込まれた回転ねじ部材4dとから成り、モータ4bを回
転駆動することにより回転ねじ部材4dが回転せしめら
れ、これにより親ねじ4aがその軸方向に移動してＹ軸方
向移動台２がガイドレール3,3上でＹ軸方向に移動せし
められるようになっている。
一方、メインフレーム５を移動させるための第二の親ね
じ装置７は、アーム5a及び5bの接続部5cに設けた雌ねじ
部5dにねじ込み挿通された親ねじ7aと、これを回転させ
るモータ7b等から成り、モータ7bを回転駆動することに
よりメインフレーム５が図中Ｘ軸方向に移動するように
なっている。このとき、上側のアーム5aと下側のアーム
5bは、Ｙ軸方向移動台２のアーム支承用架台部2bに設け
たガイド溝2b−１及びガイド孔2b−２によってそれぞれ
案内され、これによりメインフレーム５の移動時の安定
が保持されるようになっている。
じ装置７は、アーム5a及び5bの接続部5cに設けた雌ねじ
部5dにねじ込み挿通された親ねじ7aと、これを回転させ
るモータ7b等から成り、モータ7bを回転駆動することに
よりメインフレーム５が図中Ｘ軸方向に移動するように
なっている。このとき、上側のアーム5aと下側のアーム
5bは、Ｙ軸方向移動台２のアーム支承用架台部2bに設け
たガイド溝2b−１及びガイド孔2b−２によってそれぞれ
案内され、これによりメインフレーム５の移動時の安定
が保持されるようになっている。
従って、上記第一及び第二の親ねじ装置のモータ4b及び
7bを数値制御装置を用いて予め定められたプログラムに
従って駆動制御することにより、被加工体に対して所望
の加工輪郭線に沿った加工を施すことが可能である。
7bを数値制御装置を用いて予め定められたプログラムに
従って駆動制御することにより、被加工体に対して所望
の加工輪郭線に沿った加工を施すことが可能である。
而して、本発明に於ては、第２図に示す如く、例えば機
台１の上面から計った上記第一の親ねじ装置４の親ねじ
4aの中心高ｈと、第二の親ねじ装置７の親ねじ7aの中心
高ｉを、上記一対のアーム5a及び5bの平均中心高ｊと略
一致するように構成してある。
台１の上面から計った上記第一の親ねじ装置４の親ねじ
4aの中心高ｈと、第二の親ねじ装置７の親ねじ7aの中心
高ｉを、上記一対のアーム5a及び5bの平均中心高ｊと略
一致するように構成してある。
このように構成すれば、上記親ねじ4a及び7aの中心高、
即ち上記Ｙ軸方向移動台の駆動軸並びに上記メインフレ
ームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平均中心
高ｊと略一致しているため、駆動時に於ける上記Ｙ軸方
向移動台２並びにメインフレーム５のガタツキが、上記
一対のアーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して伝達
されることが少なく、ガタツキが発生しても、ワイヤ電
極８は一対のワイヤ電極位置決めガイド6a及び6b間の中
間位置（機台１から高さｊの位置）を中心に微小角度振
動するに過ぎないから、被加工体に対する加工精度の劣
化は最小限に抑制されるものである。
即ち上記Ｙ軸方向移動台の駆動軸並びに上記メインフレ
ームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平均中心
高ｊと略一致しているため、駆動時に於ける上記Ｙ軸方
向移動台２並びにメインフレーム５のガタツキが、上記
一対のアーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して伝達
されることが少なく、ガタツキが発生しても、ワイヤ電
極８は一対のワイヤ電極位置決めガイド6a及び6b間の中
間位置（機台１から高さｊの位置）を中心に微小角度振
動するに過ぎないから、被加工体に対する加工精度の劣
化は最小限に抑制されるものである。
尚、上記には第一の親ねじとして親ねじ4a一本のみを使
用する例を示したが、この親ねじ4aと共に、親ねじ4aと
平行でアーム支承用架台2bの中央部を親ねじ4aと同じ高
さで貫通する親ねじ又はガイド棒を設け、これを親ねじ
4aと同期して回動させたり、案内させることも推奨され
るものである。
用する例を示したが、この親ねじ4aと共に、親ねじ4aと
平行でアーム支承用架台2bの中央部を親ねじ4aと同じ高
さで貫通する親ねじ又はガイド棒を設け、これを親ねじ
4aと同期して回動させたり、案内させることも推奨され
るものである。
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、比較的シンプルな構成でありながら安定且つ高精度
の加工を行ない得るワイヤカット放電加工装置が提供さ
れるものである。
は、比較的シンプルな構成でありながら安定且つ高精度
の加工を行ない得るワイヤカット放電加工装置が提供さ
れるものである。
なお、本発明の構成は叙上の実施例に限定されるもので
なく、例えばＹ軸方向移動台やメインフレーム、親ねじ
装置等の形態やその駆動方式は各種公知のものを利用す
ることが可能であり、本発明はその目的の範囲内に於て
上記の説明から当業者が容易に想到し得るすべての変更
実施例を包摂するものである。
なく、例えばＹ軸方向移動台やメインフレーム、親ねじ
装置等の形態やその駆動方式は各種公知のものを利用す
ることが可能であり、本発明はその目的の範囲内に於て
上記の説明から当業者が容易に想到し得るすべての変更
実施例を包摂するものである。
第１図は本発明にかゝるワイヤカット放電加工装置の一
実施例の要部を示す上面図、第２図は第１図中のII−II
線に沿った方向から見た側面図、第３図は第１図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第１図中のIII−III線に沿って切断したとき
の端面図である。 １……機台 ２……Ｙ軸方向移動台 2a……台座 2b……アーム支承用架台 3,3……ガイドレール ４……第一の親ねじ装置 4a……親ねじ 4b……モータ ５……メインフレーム 5a,5b……アーム 5c……接続部 5d……雌ねじ部 6a,6b……ワイヤ電極位置決めガイド ７……第二の親ねじ装置 7a……親ねじ 7b……モータ ８……ワイヤ電極 ９……被加工体
実施例の要部を示す上面図、第２図は第１図中のII−II
線に沿った方向から見た側面図、第３図は第１図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第１図中のIII−III線に沿って切断したとき
の端面図である。 １……機台 ２……Ｙ軸方向移動台 2a……台座 2b……アーム支承用架台 3,3……ガイドレール ４……第一の親ねじ装置 4a……親ねじ 4b……モータ ５……メインフレーム 5a,5b……アーム 5c……接続部 5d……雌ねじ部 6a,6b……ワイヤ電極位置決めガイド ７……第二の親ねじ装置 7a……親ねじ 7b……モータ ８……ワイヤ電極 ９……被加工体
Claims (1)
- 【請求項１】機台と、上記機台上に一軸〔以下、「Ｙ
軸」という。〕方向に移動自在に支承されたＹ軸方向移
動台と、上記Ｙ軸方向移動台を加工送りする第一の親ね
じ装置と、それぞれの自由端側にワイヤ電極位置決めガ
イドを具備する互いに略平行な一対のアームをその一端
で接続して成り、Ｙ軸方向移動台上に上記一軸と直角な
〔以下、「Ｘ軸」という。〕方向に移動自在に支承され
たワイヤカット放電加工用のメインフレームと、上記メ
インフレームを加工送りする第二の親ねじ装置とを具備
するワイヤカット放電加工装置に於て、 上記第一及び第二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中
心高を、上記一対のアームの平均中心高と略一致させた
ことを特徴とする上記のワイヤカット放電加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3380586A JPH0694088B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ワイヤカツト放電加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3380586A JPH0694088B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ワイヤカツト放電加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193725A JPS62193725A (ja) | 1987-08-25 |
| JPH0694088B2 true JPH0694088B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=12396693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3380586A Expired - Fee Related JPH0694088B2 (ja) | 1986-02-20 | 1986-02-20 | ワイヤカツト放電加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0694088B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6342434B1 (en) | 1995-12-04 | 2002-01-29 | Hitachi, Ltd. | Methods of processing semiconductor wafer, and producing IC card, and carrier |
-
1986
- 1986-02-20 JP JP3380586A patent/JPH0694088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62193725A (ja) | 1987-08-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |