JPS62193725A - ワイヤカツト放電加工装置 - Google Patents

ワイヤカツト放電加工装置

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JPS62193725A
JPS62193725A JP3380586A JP3380586A JPS62193725A JP S62193725 A JPS62193725 A JP S62193725A JP 3380586 A JP3380586 A JP 3380586A JP 3380586 A JP3380586 A JP 3380586A JP S62193725 A JPS62193725 A JP S62193725A
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lead screw
axis
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wire electrode
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Kiyoshi Inoue
潔 井上
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワイヤカット放電加工装置に関し、特に、被加
工体が設置される加工部分に於てワイヤ電極を一直線状
に張架し、これと被加工体間に加工送りを付与するため
の機構の改良に関する。
〔従来の技術〕
ワイヤ電極を用いて、放電加工により被加工体を切断ま
たは切抜き孔明は加工するワイヤカット放電加工装置は
、数値制御装置の発達に伴い長時間の無人運転が可能と
なったことと相俟って、今日広く利用されている。
上記の如きワイヤカット放電加工装置に於て、ワイヤ電
極は通常上下二本のアームの各先端に設けられたダイス
等から成る一対のワイヤ電極位置決めガイド間に適度の
張力を持たせて直線状に張架され、加工中は一方のワイ
ヤ電極位置決めガイドから他方のガイドへ向けて一定速
度で走行せしめられるようになっている。両ガイド間の
距離は通常数10cmであり、こ−に被加工体が機台上
のりロススライドテーブル等に設置されて加工部分が形
成され、加工中はワイヤ電極及び被加工体間に電圧パル
スを印加して放電を生じさせると共に、両者間に両ガイ
ド間のワイヤ電極の軸と略直角方向の相対的な加工送り
を付与して所望形状の輪郭加工を行なうものである。
而して、上記ワイヤ電極と被加工体間の相対的位置決め
や加工送りは、通常は上記被加工体をクロススライドテ
ーブルに付設した駆動機構によって加工送りを与える構
成のものが殆どであって、これによると加工送りにかな
りのエネルギを必要とし、駆動装置も大型となり、従っ
て大型且つ大重量の被加工体の加工には不向きであった
このような問題を解決するため、加工部分に於てワイヤ
電極を直線状に張架するための二本のアーム等をワイヤ
電極の張架及び更新送り機構ごと被加工体に対して移動
させる構成のものも提案されているが、その場合、アー
ムの取付位置と、その駆動用の親ねじの取付位置と、ワ
イヤ電極の張架位置との相互の位置関係が必ずしも適切
でなかったため、上記親ねじを駆動してアームを移動さ
せるとき、親ねじのピンチ誤差やアームの取付部分に於
ける遊隙又はハックラッシュの影響がワイヤ電極の張架
部分に拡大して伝達され、そのため加工精度が劣化する
という問題があった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、その目的とするところは、アツベの原理に基づき比
較的シンプルな構造でありながら、安定且つ高精度の加
工を行ない得るワイヤカット放電加工装置を提供するこ
とにある。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の目的は、機台と、上記機台上に一軸〔以下、「Y
軸」という。〕方向に移動自在に支承されたY軸方向移
動台と、上記Y軸方向移動台を加工送りする第一の親ね
じ装置と、それぞれの自由端側にワイヤ電極位置決めガ
イドを具備する互いに略平行な一対のアームをその一端
で接続して成り、Y軸方向移動台上に上記一軸と直角な
〔以下、「X軸」という。〕方向に移動自在に支承され
たワイヤカット放電加工用のメインフレームと、上記メ
インフレームを加工送りする第二の親ねじ装置とを具備
するワイヤカット放電加工装置に於て、上記第一及び第
二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心高を、上記一
対のアームの平均中心高と略一致させることにより達成
される。
〔作 用〕
上記の如き構成であると、上記Y軸方向移動台を加工送
りする第一の親ねじ装置と、」−記メインフレームを加
工送りする第二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中心
高、即ち上記Y軸方向移動台の駆動軸並びに」二記メイ
ンフレームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平
均中心高と略一致しているため、駆動時にY軸親ねじの
ピッチ誤差や上記Y軸方向移動台並びにメインフレーム
の取付部分等の遊隙等の拡大による精度劣化が上記一対
のアーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して伝達され
ることが少なく、そのため安定且つ高精度の加工が可能
となるものである。
〔実 施 例〕
以下、図面を参照しつ\本発明を具体的に説明する。
第1図は本発明にか\るワイヤカット放電加工装置の一
実施例の要部を示す上面図、第2図は第1図中の■−■
線に沿った方向から見た側面図、第3図は第1図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第1図中の■−■線に沿って切断したときの
端面図である。
而して、各図中、1は機台、2は上記機台1上で図中Y
軸方向に移動自在に支承されたY軸方向移動台、3.3
は上記Y軸方向移動台2を摺動自在に支承するため機台
1上に固定されたガイドレール、4は上記Y軸方向移動
台2を移動させるための第一の親ねじ装置、5はそれぞ
れの自由端側にワイヤ電極位置決めガイド6a、 6b
を具備する互いに略平行な一対のアーム5a、 5bを
その一端の接続部5cで接続して成り、上記Y軸方向移
動台1上で上記Y軸と直角なX軸方向に移動自在に支承
されたワイヤカット放電加工用のメインフレーム(第2
図参照)、7は上記メインフレーム5を移動させるため
の第二の親ねじ装置、8はワイヤ電極、9は図では省略
した載物台上に固定された被加工体(第2図参照)であ
る。
なお、ワイヤ電極8を上記一対のワイヤ電極位置決めガ
イド6a及び6b間に一定の張力で張架せしめた状態で
これを供給、回収するため、上記メインフレーム2及び
アーム5a及び5b上、或いは更に機台1と一体の固定
部分、例えば機台1の前縁部近くに立て一般けたカバー
板上等に適宜設けられるべきワイヤ電極供給ドラム、各
種ガイドローラ、キャプスタン、ピンチローラ、ブレー
キローラ、ワイヤ電極回収ドラム等から成るワイヤ電極
供給、回収装置や、ワイヤ電極8と被加工体9間に放電
用電圧を印加するための通電ピン等の通電機構、或いは
加工部分に水等の加工液を供給するための装置、その信
奉発明の要旨と直接関係のない構成要素は図面の繁雑化
を防ぐため図では省略しである。
而して、一対のアーム5a及び5bのそれぞれの自由端
に取り付けられたワイヤ電極位置決めガイド6a及び6
b間に一定の張力で張架せしめられ、かつ所定の速度で
連続的若しくは間欠的に給止されるワイヤ電極8は、被
加工体9と所定の間隙を保って対向せしめられ、両者間
に印加された電圧により放電が生ぜしめられ、これによ
り加工が行なわれるようになっている。
而して、被加工体9とワイヤ電極8間の図中X軸及びY
軸方向に沿った加工送りは、Y軸方向移動台2をガイド
レール3,3に沿って図中Y軸方向に移動させると共に
、上記メインフレーム5をY軸方向移動台1上で図中X
軸方向に移動させることによって行なわれる。
即ち、Y軸方向移動台1を移動させるための第一の親ね
じ装置4は、Y軸方向移動台1に設けられた雌ねじブロ
ック2aにねじ込み挿通された親ねじ4aと、これを回
転させるモータ4b等から成り、モータ4bを回転駆動
することによりY軸方向移動台1がガイドレール3.3
に沿って図中Y軸方向に移動するようになっている。
一方、メインフレーム5を移動させるための第二の親ね
じ装置7は、アーム5a及び5bの接続部5cに設けた
哩ねじ部5dにねじ込み挿通された親ねじ7aと、これ
を回転させるモータ7b等から成り、モータ7bを回転
駆動することによりメインフレーム5が図中X軸方向に
移動するようになっている。
このとき、上側のアーム5aと下側のアーム5bは、Y
軸方向移動台2のアーム支承用架台部2bに設けたガイ
ド溝2b−1及びガイド孔2b−2によってそれぞれ案
内され、これによりメインフレーム5の移動時の安定が
保持されるようになっている。
従って、上記第一及び第二の親ねじ装置のモータ4b及
び7bを数値制御装置を用いて予め定められたプログラ
ムに従って駆動制御することにより、被加工体に対して
所望の加工輪郭線に沿った加工を施すことが可能である
而して、本発明に於ては、第2図に示す如く、例えば機
台1の上面から計った上記第一の親ねじ装置4の親ねじ
4aの中心高りと、第二の親ねじ装置7の親ねじ7aの
中心高iを、上記一対のアーム5a及び5bの平均中心
高jと略一致するように構成しである。
このように構成すれば、上記親ねじ4a及び7aの中心
高、即ち上記Y軸方向移動台の駆動軸並びに上記メイン
フレームの駆動軸が、いずれも上記一対のアームの平均
中心高jと略一致しているため、駆動時に於ける上記Y
軸方向移動台2並びにメインフレーム5のガタッキが、
上記一対のアーム間に張架されたワイヤ電極に拡大して
伝達されることが少なく、ガタッキが発生しても、ワイ
ヤ電極8は一対のワイヤ電極位置決めガイド6a及び6
b間の中間位置(機台1から高さjの位置)を中心に微
小角度振動するに過ぎないから、被加工体に対する加工
精度の劣化は最小限に抑制されるものである。
尚、上記には第一の親ねじとして親ねじ4a一本のみを
使用する例を示したが、この親ねじ4aと共に、親ねじ
4aと平行でアーム支承用架台2bの中央部を親ねじ4
aと同じ高さで貫通する親ねじ又はガイド棒を設け、こ
れを親ねじ4aと同期して回動させたり、案内させるこ
とも推奨されるものである。
〔発明の効果〕
本発明は叙上の如く構成されるから、本発明によるとき
は、比較的シンプルな構成でありながら安定且つ高精度
の加工を行ない得るワイヤカット放電加工装置が提供さ
れるものである。
なお、本発明の構成は叙上の実施例に限定されるもので
なく、例えばY軸方向移動台やメインフレーム、親ねじ
装置等の形態やその駆動方式は各種公知のものを利用す
ることかり能であり、本発明はその目的の範囲内に於て
上記の説明から当業者が容易に想到し得るすべての変更
実施例を包摂するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にか\るワイヤカット放電加工装置の一
実施例の要部を示す上面図、第2図は第1図中のn−n
線に沿った方向から見た側面図、第3図は第1図に示し
たワイヤカット放電加工装置のメインフレーム及び一対
のアームを第1図中の■−■線に沿って切断したときの
端面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 機台と、上記機台上に一軸〔以下、「Y軸」という。〕
    方向に移動自在に支承されたY軸方向移動台と、上記Y
    軸方向移動台を加工送りする第一の親ねじ装置と、それ
    ぞれの自由端側にワイヤ電極位置決めガイドを具備する
    互いに略平行な一対のアームをその一端で接続して成り
    、Y軸方向移動台上に上記一軸と直角な〔以下、「X軸
    」という。〕方向に移動自在に支承されたワイヤカット
    放電加工用のメインフレームと、上記メインフレームを
    加工送りする第二の親ねじ装置とを具備するワイヤカッ
    ト放電加工装置に於て、 上記第一及び第二の親ねじ装置のそれぞれの親ねじの中
    心高を、上記一対のアームの平均中心高と略一致させた
    ことを特徴とする上記のワイヤカット放電加工装置。
JP3380586A 1986-02-20 1986-02-20 ワイヤカツト放電加工装置 Expired - Fee Related JPH0694088B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6342434B1 (en) 1995-12-04 2002-01-29 Hitachi, Ltd. Methods of processing semiconductor wafer, and producing IC card, and carrier

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6342434B1 (en) 1995-12-04 2002-01-29 Hitachi, Ltd. Methods of processing semiconductor wafer, and producing IC card, and carrier
US6573158B2 (en) 1995-12-04 2003-06-03 Hitachi, Ltd. Methods of processing semiconductor wafer and producing IC card, and carrier
US6589855B2 (en) 1995-12-04 2003-07-08 Hitachi, Ltd. Methods of processing semiconductor wafer and producing IC card, and carrier

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