JPH0692649A - ガラス母材の製造装置 - Google Patents
ガラス母材の製造装置Info
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- JPH0692649A JPH0692649A JP26966292A JP26966292A JPH0692649A JP H0692649 A JPH0692649 A JP H0692649A JP 26966292 A JP26966292 A JP 26966292A JP 26966292 A JP26966292 A JP 26966292A JP H0692649 A JPH0692649 A JP H0692649A
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- exhaust
- chamber
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 バーナを移動させながらチャンバ内でスート
堆積を行なう場合に、バーナ位置によらずつねに最適の
排気流量を保ち、チャンバ内の空気の流れを安定化して
スートを均一に堆積する。 【構成】 チャンバ１１内で、回転するターゲット棒１
２の周囲に、トラバースさせられるバーナ２１からのガ
ラス微粒子を堆積させてスート１３を形成する。チャン
バ１１に多数の排気口３１をバーナ２１のトラバース方
向に沿ってアレイ状に配列し、その各々において実際の
排気流量を測定する。バーナ２１の位置をロータリーエ
ンコーダ２６で検出する。コンピュータ４１には、あら
かじめ求めておいたバーナ位置に対する最適排気パター
ンデータが保持されており、コンピュータ４１はこのデ
ータに基づき、バーナ位置及び各排気口３１で測定した
流量に応じて、排気口３１のそれぞれの排気流量を制御
する。
堆積を行なう場合に、バーナ位置によらずつねに最適の
排気流量を保ち、チャンバ内の空気の流れを安定化して
スートを均一に堆積する。 【構成】 チャンバ１１内で、回転するターゲット棒１
２の周囲に、トラバースさせられるバーナ２１からのガ
ラス微粒子を堆積させてスート１３を形成する。チャン
バ１１に多数の排気口３１をバーナ２１のトラバース方
向に沿ってアレイ状に配列し、その各々において実際の
排気流量を測定する。バーナ２１の位置をロータリーエ
ンコーダ２６で検出する。コンピュータ４１には、あら
かじめ求めておいたバーナ位置に対する最適排気パター
ンデータが保持されており、コンピュータ４１はこのデ
ータに基づき、バーナ位置及び各排気口３１で測定した
流量に応じて、排気口３１のそれぞれの排気流量を制御
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＶＡＤ法や外付け法
などのＣＶＤ法でガラス母材を製造する装置に関し、と
くにスート（ガラス微粒子）の堆積工程を行なう装置の
改良に関する。
などのＣＶＤ法でガラス母材を製造する装置に関し、と
くにスート（ガラス微粒子）の堆積工程を行なう装置の
改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＶＡＤ法や外付け法などのＣＶＤ法で
は、バーナより酸水素火炎を生じさせてその中に四塩化
珪素などのガラスの原料ガスを送り込み、加水分解反応
によってガラス微粒子（二酸化珪素の微粒子）を生成
し、これを堆積させて円柱状の多孔質のスートを形成す
る。そして、この多孔質のスートを加熱することによっ
て、透明ガラス化（焼結）処理する。光ファイバ用のガ
ラス母材の場合、バーナに原料ガスとともに屈折率制御
用のドーパント材のガスを送り込んでガラス微粒子を生
成し、これを堆積した多孔質スートを焼結行程で透明ガ
ラス化とともにＯＨ基除去（脱水）を行なう。この光フ
ァイバ用の透明なガラス母材を溶融して線引き紡糸する
ことによって細い光ファイバを作る。
は、バーナより酸水素火炎を生じさせてその中に四塩化
珪素などのガラスの原料ガスを送り込み、加水分解反応
によってガラス微粒子（二酸化珪素の微粒子）を生成
し、これを堆積させて円柱状の多孔質のスートを形成す
る。そして、この多孔質のスートを加熱することによっ
て、透明ガラス化（焼結）処理する。光ファイバ用のガ
ラス母材の場合、バーナに原料ガスとともに屈折率制御
用のドーパント材のガスを送り込んでガラス微粒子を生
成し、これを堆積した多孔質スートを焼結行程で透明ガ
ラス化とともにＯＨ基除去（脱水）を行なう。この光フ
ァイバ用の透明なガラス母材を溶融して線引き紡糸する
ことによって細い光ファイバを作る。
【０００３】従来、このスートの堆積工程は、外気に晒
されることによりＯＨ基や不純物が混入することを避け
るため、外気から遮断されたチャンバ内で行なう。外付
け法では、バーナの火炎中で生成されたガラス微粒子を
ターゲット棒の周囲に付着させるが、そのときターゲッ
ト棒をその軸の周囲に回転するよう保持し、またバーナ
をターゲット棒の軸に沿って移動（トラバース）させる
ことにより、ターゲット棒の周囲に均一にスートが堆積
成長していくようにしている。このようなターゲット
棒、スート及びバーナの周囲を覆うようにチャンバが配
置される。
されることによりＯＨ基や不純物が混入することを避け
るため、外気から遮断されたチャンバ内で行なう。外付
け法では、バーナの火炎中で生成されたガラス微粒子を
ターゲット棒の周囲に付着させるが、そのときターゲッ
ト棒をその軸の周囲に回転するよう保持し、またバーナ
をターゲット棒の軸に沿って移動（トラバース）させる
ことにより、ターゲット棒の周囲に均一にスートが堆積
成長していくようにしている。このようなターゲット
棒、スート及びバーナの周囲を覆うようにチャンバが配
置される。
【０００４】また、このチャンバからの強制排気を行な
い、ターゲット棒に付着しなかった余剰のスートを強制
的に外部に排出するとともにチャンバ内の空気の流れを
整えて安定なデポジションが行われるようにしている。
外付け法の場合、チャンバはターゲット棒に沿った横長
の形状となるため、従来では、ターゲット棒に沿って数
個の排気口を一定間隔で設けて、その各々に流量制御弁
を取り付け、それらを別々に設定することにより、各排
気口での排気ガス流量を適当なものとしている。
い、ターゲット棒に付着しなかった余剰のスートを強制
的に外部に排出するとともにチャンバ内の空気の流れを
整えて安定なデポジションが行われるようにしている。
外付け法の場合、チャンバはターゲット棒に沿った横長
の形状となるため、従来では、ターゲット棒に沿って数
個の排気口を一定間隔で設けて、その各々に流量制御弁
を取り付け、それらを別々に設定することにより、各排
気口での排気ガス流量を適当なものとしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光ファイバ母材の製造装置ではチャンバ内の空気の流れ
を十分に安定させることができず、均一なガラス母材を
作製することが困難であるという問題があった。とくに
外付け法によるガラス母材の製造装置の場合、バーナは
ターゲット棒に沿ってトラバースするため、バーナ位置
によって各排気口での排気流量は変化することになり、
それが原因で最適の排気流量を保つことができず、堆積
したスート表面に凹凸が生じるなどの問題がある。
光ファイバ母材の製造装置ではチャンバ内の空気の流れ
を十分に安定させることができず、均一なガラス母材を
作製することが困難であるという問題があった。とくに
外付け法によるガラス母材の製造装置の場合、バーナは
ターゲット棒に沿ってトラバースするため、バーナ位置
によって各排気口での排気流量は変化することになり、
それが原因で最適の排気流量を保つことができず、堆積
したスート表面に凹凸が生じるなどの問題がある。
【０００６】この発明は、上記に鑑み、バーナ位置によ
らずつねに最適の排気流量を保ち、チャンバ内の空気の
流れを安定化して均一なスートを安定して堆積できるよ
うに改善した、ガラス母材の製造装置を提供することを
目的とする。
らずつねに最適の排気流量を保ち、チャンバ内の空気の
流れを安定化して均一なスートを安定して堆積できるよ
うに改善した、ガラス母材の製造装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明によるガラス母材の製造装置では、ガラス
微粒子を生成するバーナと、該バーナを移動させるトラ
バース装置と、該バーナの炎及びガラス微粒子堆積体を
覆うチャンバと、このチャンバにおいて上記のトラバー
ス方向に沿って配列するよう設けられたアレイ状の多数
の排気口と、該多数の排気口の各々に設けられた排気流
量センサ及び排気流量調整装置と、上記バーナの位置を
検出する位置検出器と、検出されたバーナ位置及び測定
された各排気口での排気流量とに応じて、上記各排気口
の排気流量調整装置を制御する制御装置とを備えること
が特徴となっている。
め、この発明によるガラス母材の製造装置では、ガラス
微粒子を生成するバーナと、該バーナを移動させるトラ
バース装置と、該バーナの炎及びガラス微粒子堆積体を
覆うチャンバと、このチャンバにおいて上記のトラバー
ス方向に沿って配列するよう設けられたアレイ状の多数
の排気口と、該多数の排気口の各々に設けられた排気流
量センサ及び排気流量調整装置と、上記バーナの位置を
検出する位置検出器と、検出されたバーナ位置及び測定
された各排気口での排気流量とに応じて、上記各排気口
の排気流量調整装置を制御する制御装置とを備えること
が特徴となっている。
【０００８】
【作用】バーナからの炎は、バーナがチャンバ内のどこ
に位置しているかによって変化する。そこで、バーナが
チャンバ内でトラバースさせられるとき、その位置に応
じて排気流量のパターンを変えなければ、炎及び空気流
を安定化してスートを均一に堆積することはできない。
そこで、チャンバに、バーナのトラバース方向に並ぶア
レイ状の多数の排気口を設け、その排気口の各々で排気
流量を個別に調整できるようにし、かつ排気口の各々で
実際の排気流量を測定し、検出したバーナ位置と測定し
た各排気口での排気流量とに応じて、多数の排気口のそ
れぞれでの排気流量を制御すれば、バーナの位置にかか
わらず、つねにバーナの炎及び空気流を安定なものとし
てスートを均一に堆積することができるようになる。
に位置しているかによって変化する。そこで、バーナが
チャンバ内でトラバースさせられるとき、その位置に応
じて排気流量のパターンを変えなければ、炎及び空気流
を安定化してスートを均一に堆積することはできない。
そこで、チャンバに、バーナのトラバース方向に並ぶア
レイ状の多数の排気口を設け、その排気口の各々で排気
流量を個別に調整できるようにし、かつ排気口の各々で
実際の排気流量を測定し、検出したバーナ位置と測定し
た各排気口での排気流量とに応じて、多数の排気口のそ
れぞれでの排気流量を制御すれば、バーナの位置にかか
わらず、つねにバーナの炎及び空気流を安定なものとし
てスートを均一に堆積することができるようになる。
【０００９】
【実施例】以下、この発明の好ましい一実施例について
図面を参照しながら詳細に説明する。図１はこの発明の
一実施例を示すもので、この図１に示すように、チャン
バ１１内にはターゲット棒１２が支持されて回転してお
り、その表面周囲にスート１３が堆積している。
図面を参照しながら詳細に説明する。図１はこの発明の
一実施例を示すもので、この図１に示すように、チャン
バ１１内にはターゲット棒１２が支持されて回転してお
り、その表面周囲にスート１３が堆積している。
【００１０】ガラス微粒子生成用バーナ２１は移動ブロ
ック２２に保持されている。この移動ブロック２２はガ
イドシャフト２３によりターゲット棒１２の軸方向（図
の左右方向）に移動自在に保持されている。また、この
移動ブロック２２のナット孔にはスクリューシャフト２
４が螺合しており、このスクリューシャフト２４がモー
ター２５によって回転させられると、移動ブロック２２
が左右に移動させられる。
ック２２に保持されている。この移動ブロック２２はガ
イドシャフト２３によりターゲット棒１２の軸方向（図
の左右方向）に移動自在に保持されている。また、この
移動ブロック２２のナット孔にはスクリューシャフト２
４が螺合しており、このスクリューシャフト２４がモー
ター２５によって回転させられると、移動ブロック２２
が左右に移動させられる。
【００１１】このモーター２５はコンピュータ４１によ
り制御されており、正転と逆転とを繰り返すことによ
り、移動ブロック２２がターゲット棒１２の軸方向に往
復移動（トラバース）するようにされている。このトラ
バースの過程でバーナ２１から発生したガラス微粒子が
回転するターゲット棒１２の周囲に付着する。スクリュ
ーシャフト２４の回転はロータリーエンコーダ２６によ
って検出され、移動ブロック２２つまりバーナ２１の位
置情報がコンピュータ４１に送られる。
り制御されており、正転と逆転とを繰り返すことによ
り、移動ブロック２２がターゲット棒１２の軸方向に往
復移動（トラバース）するようにされている。このトラ
バースの過程でバーナ２１から発生したガラス微粒子が
回転するターゲット棒１２の周囲に付着する。スクリュ
ーシャフト２４の回転はロータリーエンコーダ２６によ
って検出され、移動ブロック２２つまりバーナ２１の位
置情報がコンピュータ４１に送られる。
【００１２】他方、チャンバ１１のバーナ２１と対向す
る側には、バーナ２１のトラバース方向に沿ってアレイ
状に配列された多数の排気口３１が形成されている。こ
れら排気口３１はまとめて１つの吸引装置（図示しな
い）に接続されて排気されている。
る側には、バーナ２１のトラバース方向に沿ってアレイ
状に配列された多数の排気口３１が形成されている。こ
れら排気口３１はまとめて１つの吸引装置（図示しな
い）に接続されて排気されている。
【００１３】これらアレイ状に配列された多数の排気口
３１の各々には、図２に示すように、排気流量を測定す
るための流量センサ３２と、排気流量を制御するための
流量制御弁３３とが設けられている。そして、各流量セ
ンサ３２からの検出信号はコンピュータ４１に送られる
とともに、各流量制御弁３３は、その開度がコンピュー
タ４１により制御される（具体的には弁３３を駆動する
パルスモーターが制御される）。
３１の各々には、図２に示すように、排気流量を測定す
るための流量センサ３２と、排気流量を制御するための
流量制御弁３３とが設けられている。そして、各流量セ
ンサ３２からの検出信号はコンピュータ４１に送られる
とともに、各流量制御弁３３は、その開度がコンピュー
タ４１により制御される（具体的には弁３３を駆動する
パルスモーターが制御される）。
【００１４】そこで、このコンピュータ４１は、モータ
ー２５を制御してバーナ２１をターゲット棒１２の所定
の範囲で往復トラバースさせるとともに、ロータリーエ
ンコーダ２６で検出したバーナ２１の位置、及び各排気
口３１での測定排気流量に応じて排気口３１の各々の流
量制御弁３３を制御する。すなわち、あらかじめ、バー
ナ２１のチャンバ１１内の各位置での炎の振る舞い等か
らバーナ２１の位置に応じて各排気口３１の流量のパタ
ーンを求めておき、そのデータに基づいて、バーナ２１
の検出した位置と実際に排気口３１の各々で測定した流
量とに応じて、各流量制御弁３３の開度を決定する。
ー２５を制御してバーナ２１をターゲット棒１２の所定
の範囲で往復トラバースさせるとともに、ロータリーエ
ンコーダ２６で検出したバーナ２１の位置、及び各排気
口３１での測定排気流量に応じて排気口３１の各々の流
量制御弁３３を制御する。すなわち、あらかじめ、バー
ナ２１のチャンバ１１内の各位置での炎の振る舞い等か
らバーナ２１の位置に応じて各排気口３１の流量のパタ
ーンを求めておき、そのデータに基づいて、バーナ２１
の検出した位置と実際に排気口３１の各々で測定した流
量とに応じて、各流量制御弁３３の開度を決定する。
【００１５】このようにバーナ２１がトラバースしてい
くとき、その位置に応じて多数の排気口３１の各々で最
適な排気量となるので、バーナ２１の炎及びその周囲の
空気の流れが、バーナ２１の位置によらず、つねに安定
したものとなる。その結果、ターゲット棒１２の周囲に
均一にスート１３を堆積することが可能となり、安定し
た特性のガラス母材を作製することができる。
くとき、その位置に応じて多数の排気口３１の各々で最
適な排気量となるので、バーナ２１の炎及びその周囲の
空気の流れが、バーナ２１の位置によらず、つねに安定
したものとなる。その結果、ターゲット棒１２の周囲に
均一にスート１３を堆積することが可能となり、安定し
た特性のガラス母材を作製することができる。
【００１６】なお、上記では排気口３１の各々の排気流
量を流量センサ３２で測定しているが、風速を風速セン
サで測定するようにしてもよい。また、上記は外付け法
によるガラス母材の製造装置に本発明を適用したもので
あるが、バーナを移動させるものであれば、ＶＡＤ法に
よるガラス母材の製造装置にも適用可能である。
量を流量センサ３２で測定しているが、風速を風速セン
サで測定するようにしてもよい。また、上記は外付け法
によるガラス母材の製造装置に本発明を適用したもので
あるが、バーナを移動させるものであれば、ＶＡＤ法に
よるガラス母材の製造装置にも適用可能である。
【００１７】
【発明の効果】この発明のガラス母材の製造装置によれ
ば、バーナを移動させながらチャンバ内でスート堆積を
行なう場合に、バーナ位置によらずつねに最適の排気流
量を保ち、チャンバ内の空気の流れを安定化して均一な
スートを安定して堆積することができる。そのため、光
ファイバ用ガラス母材を作製すると、光ファイバの特性
の安定化に寄与できる。
ば、バーナを移動させながらチャンバ内でスート堆積を
行なう場合に、バーナ位置によらずつねに最適の排気流
量を保ち、チャンバ内の空気の流れを安定化して均一な
スートを安定して堆積することができる。そのため、光
ファイバ用ガラス母材を作製すると、光ファイバの特性
の安定化に寄与できる。
【図１】この発明の一実施例の模式図。
【図２】同実施例の排気口部分を示す模式図。
１１ チャンバ １２ ターゲット部材 １３ スート ２１ ガラス微粒子生成用バーナ ２２ 移動ブロック ２３ ガイドシャフト ２４ スクリューシャフト ２５ モーター ２６ ロータリーエンコーダ ３１ 排気口 ３２ 流量センサ ３３ 流量制御弁 ４１ コンピュータ
Claims (1)
- 【請求項１】 ガラス微粒子を生成するバーナと、該バ
ーナを移動させるトラバース装置と、該バーナの炎及び
ガラス微粒子堆積体を覆うチャンバと、このチャンバに
おいて上記のトラバース方向に沿って配列するよう設け
られたアレイ状の多数の排気口と、該多数の排気口の各
々に設けられた排気流量センサ及び排気流量調整装置
と、上記バーナの位置を検出する位置検出器と、検出さ
れたバーナ位置及び測定された各排気口での排気流量と
に応じて、上記各排気口の排気流量調整装置を制御する
制御装置とを備えることを特徴とするガラス母材の製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966292A JPH0692649A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26966292A JPH0692649A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0692649A true JPH0692649A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17475471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26966292A Pending JPH0692649A (ja) | 1992-09-11 | 1992-09-11 | ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0692649A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
-
1992
- 1992-09-11 JP JP26966292A patent/JPH0692649A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005085146A1 (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法及びガラス母材 |
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