JPH0656477A - グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス - Google Patents
グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラスInfo
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- JPH0656477A JPH0656477A JP4215989A JP21598992A JPH0656477A JP H0656477 A JPH0656477 A JP H0656477A JP 4215989 A JP4215989 A JP 4215989A JP 21598992 A JP21598992 A JP 21598992A JP H0656477 A JPH0656477 A JP H0656477A
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
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- C23C14/08—Oxides
- C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】透明なガラス基板の一方の表面に、膜厚が５〜
２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜である第１層と、該第
１層上に、膜厚が５〜２５ｎｍのステンレスの窒素酸化
物薄膜を第２層として積層し、該第２層上に膜厚が５〜
２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜を第３層として積層し
た、グレー色を有し、電波透過特性を有する熱線遮蔽ガ
ラス。並びに前記被膜した熱線遮蔽膜の可視光透過率が
１０〜６０％で、膜の表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であ
るグレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス。 【効果】ガラスと同程度に電波を効率よく透過させ、高
層建築物等に用いてＴＶ映像でのゴースト現象をなくす
る等電波障害を防ぎ、しかも断熱性能を有し冷暖房効果
をより向上せしめ、かつ色調がグレー色調で太陽の直射
光のぎらつき感が抑えられ、比較的低透視性等、より美
観を呈し、環境に優しく、高居住性とりなり、自動車、
建築用窓等のシェード用にも適する。
２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜である第１層と、該第
１層上に、膜厚が５〜２５ｎｍのステンレスの窒素酸化
物薄膜を第２層として積層し、該第２層上に膜厚が５〜
２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜を第３層として積層し
た、グレー色を有し、電波透過特性を有する熱線遮蔽ガ
ラス。並びに前記被膜した熱線遮蔽膜の可視光透過率が
１０〜６０％で、膜の表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であ
るグレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス。 【効果】ガラスと同程度に電波を効率よく透過させ、高
層建築物等に用いてＴＶ映像でのゴースト現象をなくす
る等電波障害を防ぎ、しかも断熱性能を有し冷暖房効果
をより向上せしめ、かつ色調がグレー色調で太陽の直射
光のぎらつき感が抑えられ、比較的低透視性等、より美
観を呈し、環境に優しく、高居住性とりなり、自動車、
建築用窓等のシェード用にも適する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽直射光を遮蔽す
る、主として自動車等の車輌、建築物等の窓ガラスに用
いる被膜付きの熱線遮蔽ガラスであって、電波を透過す
る性能を有し、直射太陽光のぎらつきを緩和して居住性
を向上せしめるようにできるとともに、比較的低い可視
光透過率を有するものであり、しかもその色調がグレー
色であり、シェードバンド等に有用な単板でも使用でき
る電波透過型熱線遮蔽ガラスに関する。
る、主として自動車等の車輌、建築物等の窓ガラスに用
いる被膜付きの熱線遮蔽ガラスであって、電波を透過す
る性能を有し、直射太陽光のぎらつきを緩和して居住性
を向上せしめるようにできるとともに、比較的低い可視
光透過率を有するものであり、しかもその色調がグレー
色であり、シェードバンド等に有用な単板でも使用でき
る電波透過型熱線遮蔽ガラスに関する。
【０００２】
【従来技術】例えば、特開昭６０−３６３５５号公報に
は可視スペクトル帯域で５〜４０％の透過率および熱線
に対する反射性能を有する板の製法について記載されて
おり、ガラス基板の上に第１層であるＳｎ、Ｔｉ、Ａｌ
等の酸化物層の光学的厚さ２０〜２８０ｎｍ、第２層で
あるＣｒの窒化物層の膜厚１０〜４０ｎｍであること、
あるいは、さらに第３層として誘電体層をそれぞれスパ
ッタ法で成膜してなるものであり、ガラス基板からの反
射色調が、第１層である酸化物層の膜厚を調節すること
により種々得られることが開示されている。
は可視スペクトル帯域で５〜４０％の透過率および熱線
に対する反射性能を有する板の製法について記載されて
おり、ガラス基板の上に第１層であるＳｎ、Ｔｉ、Ａｌ
等の酸化物層の光学的厚さ２０〜２８０ｎｍ、第２層で
あるＣｒの窒化物層の膜厚１０〜４０ｎｍであること、
あるいは、さらに第３層として誘電体層をそれぞれスパ
ッタ法で成膜してなるものであり、ガラス基板からの反
射色調が、第１層である酸化物層の膜厚を調節すること
により種々得られることが開示されている。
【０００３】また例えば、本出願人が既に出願した特開
平３−２０８８３７号公報では単板断熱ガラス板および
その色ガラスを記載しており、ガラス基板からの反射色
調がブルー色系を得るためには、ガラス板のような透明
板の一方の表面に、第１層として膜厚が１０〜３０ｎｍ
のＳｉＯｘまたはＡｌ−ＳｉＯｘ膜、第２層として膜厚
が１０〜４０ｎｍのＴｉＮｘ膜、第３層として膜厚が０
〜２０ｎｍのＴｉＯｘ膜、第４層として膜厚が３０〜５
０ｎｍのＳｉＯｘまたはＡｌ−ＳｉＯｘ膜をそれぞれス
パッタ法で成膜してなるものを開示している。
平３−２０８８３７号公報では単板断熱ガラス板および
その色ガラスを記載しており、ガラス基板からの反射色
調がブルー色系を得るためには、ガラス板のような透明
板の一方の表面に、第１層として膜厚が１０〜３０ｎｍ
のＳｉＯｘまたはＡｌ−ＳｉＯｘ膜、第２層として膜厚
が１０〜４０ｎｍのＴｉＮｘ膜、第３層として膜厚が０
〜２０ｎｍのＴｉＯｘ膜、第４層として膜厚が３０〜５
０ｎｍのＳｉＯｘまたはＡｌ−ＳｉＯｘ膜をそれぞれス
パッタ法で成膜してなるものを開示している。
【０００４】さらに例えば、本出願人が既に出願した特
開平３−２５２３３２号公報では電波低反射の熱線反射
ガラスを記載しており、電波障害を低減したブルー系色
調を呈する熱線反射ガラスを得るためには、透明なガラ
ス基板の一方の表面に、第１層ならびに第３層として有
色誘電体薄膜を積層し、第２層として表面抵抗率が２０
０Ω／口以上の金属薄膜または金属窒化物薄膜を積層し
て成り、該被膜面の反対側から見た反射色調がブルー色
あるいはゴールド色であるもの等を開示している。
開平３−２５２３３２号公報では電波低反射の熱線反射
ガラスを記載しており、電波障害を低減したブルー系色
調を呈する熱線反射ガラスを得るためには、透明なガラ
ス基板の一方の表面に、第１層ならびに第３層として有
色誘電体薄膜を積層し、第２層として表面抵抗率が２０
０Ω／口以上の金属薄膜または金属窒化物薄膜を積層し
て成り、該被膜面の反対側から見た反射色調がブルー色
あるいはゴールド色であるもの等を開示している。
【０００５】さらに例えば、自動車においては運転者の
視界確保および居住性を向上するため、太陽の直射光に
よるぎらつき感を緩和するために前面の風防ガラスにお
いては上部に透過率を低くしたシェードバンドが採用さ
れている。前面の風防ガラスでは合わせガラスが法制化
されているためにシェードバンドは主に合わせガラスの
中間に挟まれるＰＶＢ（ポリブチルビニール）接着層に
着色材を混合して種々の色調のシェ−ドバンドを得てい
る。
視界確保および居住性を向上するため、太陽の直射光に
よるぎらつき感を緩和するために前面の風防ガラスにお
いては上部に透過率を低くしたシェードバンドが採用さ
れている。前面の風防ガラスでは合わせガラスが法制化
されているためにシェードバンドは主に合わせガラスの
中間に挟まれるＰＶＢ（ポリブチルビニール）接着層に
着色材を混合して種々の色調のシェ−ドバンドを得てい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする問題点】前述したような、特
開昭６０−３６３５５号公報、特開平３−２０８８３７
号公報あるいは特開平３−２５２３３２号公報では多層
積層膜の光学干渉によって種々の反射色調を得るもので
あり、この方法ではグレー色の色調は得難いものであっ
た。また特開平３−２５２３３２号公報報等では、金属
薄膜または金属窒化物薄膜の５〜１３ｎｍ程度の薄膜
を、酸化物薄膜等でサンドイッチしたものであって、電
波低反射ガラスではあるものの、表面抵抗率が比較的低
く、その電波低反射性能は鉄筋コンクリート以下ではあ
るとは言え、近年のさらなる電波低反射性能に優れるも
のが望まれつつあり、ガラス並以下の１ｋΩ／□以上の
表面抵抗率が望まれている。
開昭６０−３６３５５号公報、特開平３−２０８８３７
号公報あるいは特開平３−２５２３３２号公報では多層
積層膜の光学干渉によって種々の反射色調を得るもので
あり、この方法ではグレー色の色調は得難いものであっ
た。また特開平３−２５２３３２号公報報等では、金属
薄膜または金属窒化物薄膜の５〜１３ｎｍ程度の薄膜
を、酸化物薄膜等でサンドイッチしたものであって、電
波低反射ガラスではあるものの、表面抵抗率が比較的低
く、その電波低反射性能は鉄筋コンクリート以下ではあ
るとは言え、近年のさらなる電波低反射性能に優れるも
のが望まれつつあり、ガラス並以下の１ｋΩ／□以上の
表面抵抗率が望まれている。
【０００７】さらにＰＶＢ膜に着色材を混合する方法は
自動車の合わせガラスでは採用できるものの単板では使
用できないものであった。さらに現在の傾向として、自
動車の窓ガラス、特に単板で使用されるサイドガラス、
リアーガラスにも居住性の向上のためにシェードバンド
によって太陽の直射光のぎらつき感を緩和したいという
要求が高く、またその色調は自動車の内装品および窓ガ
ラスのガラスと同系統であるグレー色が望まれている。
自動車の合わせガラスでは採用できるものの単板では使
用できないものであった。さらに現在の傾向として、自
動車の窓ガラス、特に単板で使用されるサイドガラス、
リアーガラスにも居住性の向上のためにシェードバンド
によって太陽の直射光のぎらつき感を緩和したいという
要求が高く、またその色調は自動車の内装品および窓ガ
ラスのガラスと同系統であるグレー色が望まれている。
【０００８】
【問題点を解決するための手段】本発明はこのような点
に鑑みてなされたものであり、特定膜厚で色調がグレー
色になる、ステンレスの窒素酸化物薄膜によってグレー
色を発現させ、該薄膜を特定膜厚のタンタル酸化物薄膜
でもってサンドイッチして用いる３層積層膜構成とする
ことで、可視光透過率等を特定範囲、例えば１０％以上
６０％以下で任意に調整せしめることを可能とし、さら
には、熱線遮蔽性能を保持しつつ、耐摩耗性、耐久性を
向上させ、単板で使用できるとともに表面抵抗率が１ｋ
Ω／□以上の電波透過型であり、汚れ等の付着に対して
も容易に拭き取ることのできて単板で使用できるグレー
色電波透過型熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
に鑑みてなされたものであり、特定膜厚で色調がグレー
色になる、ステンレスの窒素酸化物薄膜によってグレー
色を発現させ、該薄膜を特定膜厚のタンタル酸化物薄膜
でもってサンドイッチして用いる３層積層膜構成とする
ことで、可視光透過率等を特定範囲、例えば１０％以上
６０％以下で任意に調整せしめることを可能とし、さら
には、熱線遮蔽性能を保持しつつ、耐摩耗性、耐久性を
向上させ、単板で使用できるとともに表面抵抗率が１ｋ
Ω／□以上の電波透過型であり、汚れ等の付着に対して
も容易に拭き取ることのできて単板で使用できるグレー
色電波透過型熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
【０００９】すなわち、本発明は、透明なガラス基板の
一方の表面に、膜厚が５〜２０ｎｍのタンタルの酸化物
薄膜である第１層と、該第１層の上に、膜厚が５〜２５
ｎｍのステンレスの窒素酸化物薄膜である第２層と、該
第２層の上に第３層として、膜厚が５〜２０ｎｍのタン
タルの酸化物薄膜を被覆積層したことを特徴とするグレ
ー色電波透過型熱線遮蔽ガラス。
一方の表面に、膜厚が５〜２０ｎｍのタンタルの酸化物
薄膜である第１層と、該第１層の上に、膜厚が５〜２５
ｎｍのステンレスの窒素酸化物薄膜である第２層と、該
第２層の上に第３層として、膜厚が５〜２０ｎｍのタン
タルの酸化物薄膜を被覆積層したことを特徴とするグレ
ー色電波透過型熱線遮蔽ガラス。
【００１０】ならびに、前記グレー色電波透過型熱線遮
蔽ガラスにおいて、可視光透過率が１０％から６０％で
あることを特徴とする上述したグレー色電波透過型熱線
遮蔽ガラス。さらに、前記グレー色電波透過型熱線遮蔽
ガラスにおいて、熱線遮蔽膜の表面抵抗率が１ｋΩ／□
以上であることを特徴とする上述したグレー色電波透過
型熱線遮蔽ガラスをそれぞれ提供するものである。
蔽ガラスにおいて、可視光透過率が１０％から６０％で
あることを特徴とする上述したグレー色電波透過型熱線
遮蔽ガラス。さらに、前記グレー色電波透過型熱線遮蔽
ガラスにおいて、熱線遮蔽膜の表面抵抗率が１ｋΩ／□
以上であることを特徴とする上述したグレー色電波透過
型熱線遮蔽ガラスをそれぞれ提供するものである。
【００１１】ここで、前記膜厚が５〜２０ｎｍのタンタ
ルの酸化物薄膜を第１層としたのは、ことに基板のガラ
スと第２層目のステンレスの窒素酸化物薄膜との密着性
を向上させるためであり、あまり厚いと積層膜の光学干
渉により干渉色が生じ、見る角度によって色調が変化す
るため、好ましくは５〜１５ｎｍ程度、より好ましくは
５〜１０ｎｍ程度である。
ルの酸化物薄膜を第１層としたのは、ことに基板のガラ
スと第２層目のステンレスの窒素酸化物薄膜との密着性
を向上させるためであり、あまり厚いと積層膜の光学干
渉により干渉色が生じ、見る角度によって色調が変化す
るため、好ましくは５〜１５ｎｍ程度、より好ましくは
５〜１０ｎｍ程度である。
【００１２】また、前記第１層の上に、膜厚が５〜２５
ｎｍのステンレスの窒素酸化物薄膜を第２層として被膜
したのは、グレー色調を発現させることが可能な耐久性
に優れる膜であるからであり、必要な可視光透過率によ
って膜厚を任意に設定できる。太陽の直射光のぎらつき
を抑えるためには可視光透過率が低い方が好ましいが、
あまり低いと透視性が低くなることから、好ましい膜厚
は６〜２３ｎｍ程度、より好ましくは８〜２０ｎｍ程度
である。
ｎｍのステンレスの窒素酸化物薄膜を第２層として被膜
したのは、グレー色調を発現させることが可能な耐久性
に優れる膜であるからであり、必要な可視光透過率によ
って膜厚を任意に設定できる。太陽の直射光のぎらつき
を抑えるためには可視光透過率が低い方が好ましいが、
あまり低いと透視性が低くなることから、好ましい膜厚
は６〜２３ｎｍ程度、より好ましくは８〜２０ｎｍ程度
である。
【００１３】さらに、ステンレスの窒素酸化物薄膜とし
たのは、前記ステンレスの金属薄膜または窒化物薄膜で
もグレー色は発現できるものの、ステンレスの金属薄膜
では１０ｎｍ程度以下のような非常に薄い膜厚としない
と、ガラス面からの反射率が例えば２０〜２５％程度以
上と高くなるために、その色調はグレーというよりもシ
ルバーまたはゴールド系になり、また可視光透過率が６
０％程度でも表面抵抗率は１ｋΩ／□以下であり、電波
透過性の点で充分とは言い難い。またステンレスの窒化
物薄膜はガラス面の反射率も比較的低くグレー色になる
ものの、表面抵抗率の点でステンレスの金属薄膜よりは
高いものの、１ｋΩ／□以下であり、充分とは言い難い
ものである。
たのは、前記ステンレスの金属薄膜または窒化物薄膜で
もグレー色は発現できるものの、ステンレスの金属薄膜
では１０ｎｍ程度以下のような非常に薄い膜厚としない
と、ガラス面からの反射率が例えば２０〜２５％程度以
上と高くなるために、その色調はグレーというよりもシ
ルバーまたはゴールド系になり、また可視光透過率が６
０％程度でも表面抵抗率は１ｋΩ／□以下であり、電波
透過性の点で充分とは言い難い。またステンレスの窒化
物薄膜はガラス面の反射率も比較的低くグレー色になる
ものの、表面抵抗率の点でステンレスの金属薄膜よりは
高いものの、１ｋΩ／□以下であり、充分とは言い難い
ものである。
【００１４】さらにまた、表面抵抗率の高い材料で比較
的薄い薄膜で可視光透過率の低いものが得られる材料と
してＣｒＮ，ＳｉＣ等があるが、これらは可視光透過
率、表面抵抗率、耐久性等は充分に性能を満足するもの
の、その色調はグレー色と言うよりはむしろブロンズあ
るいはゴールド系であり、所望するグレー色は得られな
いものである。
的薄い薄膜で可視光透過率の低いものが得られる材料と
してＣｒＮ，ＳｉＣ等があるが、これらは可視光透過
率、表面抵抗率、耐久性等は充分に性能を満足するもの
の、その色調はグレー色と言うよりはむしろブロンズあ
るいはゴールド系であり、所望するグレー色は得られな
いものである。
【００１５】このため本発明では、グレー色を発現する
ステンレス系金属薄膜のうち、電波透過型の熱線遮蔽膜
として適応するために、該ステンレス系金属薄膜に微量
の酸素を含む窒素酸化物薄膜とすることによって、表面
抵抗率が１ｋΩ／□以上の電波受信性能に影響を与えな
い電波透過型のグレー色を発現させることを可能とし、
さらに熱線遮蔽機能を保持しつつ、膜の密着性を高め耐
摩耗性、耐久性、耐薬品性等を優れたものとし、単板で
充分使用できるものとするものである。
ステンレス系金属薄膜のうち、電波透過型の熱線遮蔽膜
として適応するために、該ステンレス系金属薄膜に微量
の酸素を含む窒素酸化物薄膜とすることによって、表面
抵抗率が１ｋΩ／□以上の電波受信性能に影響を与えな
い電波透過型のグレー色を発現させることを可能とし、
さらに熱線遮蔽機能を保持しつつ、膜の密着性を高め耐
摩耗性、耐久性、耐薬品性等を優れたものとし、単板で
充分使用できるものとするものである。
【００１６】さらに、前記第２層の上に第３層として、
膜厚が５〜２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜をオーバー
コート被膜したことにより、さらに耐久性等が頑固に向
上し、かつタンタル酸化物薄膜は表面が非常に滑らかで
あるために指紋等の付着が容易に拭き取られ、ガラスの
汚れに対して、効果があるものとなるものであり、好ま
しくは５〜１５ｎｍ程度、より好ましくは５〜１０ｎｍ
程度である。また、前記被膜した熱線遮蔽性能膜の色調
はグレー色を呈することにより、自動車の内装品との調
和、デザイン性は勿論、ビル等の意匠性に優れるととも
に、太陽光の直射のぎらつき感が抑えられ、居住性、環
境に優しいものとなるためである。
膜厚が５〜２０ｎｍのタンタルの酸化物薄膜をオーバー
コート被膜したことにより、さらに耐久性等が頑固に向
上し、かつタンタル酸化物薄膜は表面が非常に滑らかで
あるために指紋等の付着が容易に拭き取られ、ガラスの
汚れに対して、効果があるものとなるものであり、好ま
しくは５〜１５ｎｍ程度、より好ましくは５〜１０ｎｍ
程度である。また、前記被膜した熱線遮蔽性能膜の色調
はグレー色を呈することにより、自動車の内装品との調
和、デザイン性は勿論、ビル等の意匠性に優れるととも
に、太陽光の直射のぎらつき感が抑えられ、居住性、環
境に優しいものとなるためである。
【００１７】さらに可視光透過率を１０％以上６０％以
下としたのは、１０％以下ではガラス面の反射率が２５
％程度以上になり、色調がグレーと言うよりはシルバー
またはゴ−ルドになるためであり、好ましくはガラス面
反射率も１８％程度以下、より好ましくは１５％程度以
下である。またさらに６０％以下としたのは、これ以上
の透過率では太陽の直射光のぎらつき感を充分には緩和
できないし、熱線遮蔽性能でも充分とは言い難いためで
ある。好ましい可視光透過率は２０〜５５％程度、より
好ましくは３０〜５０％程度である。
下としたのは、１０％以下ではガラス面の反射率が２５
％程度以上になり、色調がグレーと言うよりはシルバー
またはゴ−ルドになるためであり、好ましくはガラス面
反射率も１８％程度以下、より好ましくは１５％程度以
下である。またさらに６０％以下としたのは、これ以上
の透過率では太陽の直射光のぎらつき感を充分には緩和
できないし、熱線遮蔽性能でも充分とは言い難いためで
ある。好ましい可視光透過率は２０〜５５％程度、より
好ましくは３０〜５０％程度である。
【００１８】つぎに、ガラス基板としては、無機質はも
ちろん有機質でも透明ガラスであればよく、無色あるい
は着色等でも色調がグレー色調を得やすいものであれば
より好ましいものである。また単板で使用できることは
もとより、複層ガラスあるいは合せガラス等各種板ガラ
ス製品として使用できることは言うまでもない。
ちろん有機質でも透明ガラスであればよく、無色あるい
は着色等でも色調がグレー色調を得やすいものであれば
より好ましいものである。また単板で使用できることは
もとより、複層ガラスあるいは合せガラス等各種板ガラ
ス製品として使用できることは言うまでもない。
【００１９】
【作用】前述したとおり、本発明の単板で使用できるグ
レー色電波透過型熱線遮蔽ガラスは、特定膜厚のタンタ
ルの酸化物薄膜を第１層とし、その上に特定膜厚のステ
ンレスの窒素酸化物薄膜を第２層として被膜積層し、そ
の上に特定膜厚のタンタルの酸化物薄膜を第３層とし、
該第１層と第２層と第３層を巧みに組み合わせるものと
したので、その色調がグレー色調であり、可視光透過率
を１０％〜６０％程度の範囲内で任意にコントロールす
ることができ、しかも該膜は電波透過性能と熱線遮蔽性
能を有しているため太陽光の直射光のぎらつき感がやわ
らげられるために居住性が向上すると共に、ＴＶ，ＦＭ
等の受信性能を損なわず、また電波障害を避けることが
でき、各薄膜の密着性を高め、積層した多層膜全体の耐
摩耗性ならびに耐食性が向上し、耐久性に優れ、単板と
して充分採用できるものとなることはもちろん、タンタ
ルの酸化物薄膜を使用することにより該スパッタ膜につ
いた指紋等の付着に対し容易に拭き取れる等、自動車、
建築物内外の居住性ならびに景観性等環境をより優れた
ものとすることができる、建築物ならびに自動車等で、
ことに直射光のシェードバンド等に有用なグレー色電波
透過型熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
レー色電波透過型熱線遮蔽ガラスは、特定膜厚のタンタ
ルの酸化物薄膜を第１層とし、その上に特定膜厚のステ
ンレスの窒素酸化物薄膜を第２層として被膜積層し、そ
の上に特定膜厚のタンタルの酸化物薄膜を第３層とし、
該第１層と第２層と第３層を巧みに組み合わせるものと
したので、その色調がグレー色調であり、可視光透過率
を１０％〜６０％程度の範囲内で任意にコントロールす
ることができ、しかも該膜は電波透過性能と熱線遮蔽性
能を有しているため太陽光の直射光のぎらつき感がやわ
らげられるために居住性が向上すると共に、ＴＶ，ＦＭ
等の受信性能を損なわず、また電波障害を避けることが
でき、各薄膜の密着性を高め、積層した多層膜全体の耐
摩耗性ならびに耐食性が向上し、耐久性に優れ、単板と
して充分採用できるものとなることはもちろん、タンタ
ルの酸化物薄膜を使用することにより該スパッタ膜につ
いた指紋等の付着に対し容易に拭き取れる等、自動車、
建築物内外の居住性ならびに景観性等環境をより優れた
ものとすることができる、建築物ならびに自動車等で、
ことに直射光のシェードバンド等に有用なグレー色電波
透過型熱線遮蔽ガラスを提供するものである。
【００２０】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００２１】実施例１ 大きさ約３００ｍｍ×３００ｍｍ、厚さ約ＦＬ３．１ｍ
ｍのグレーガラス（ＮＧ３．１）を中性洗剤、水すす
ぎ、イソプロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した
後、ＤＣマグネトロンスパッタリング装置の真空槽内に
セットしてあるステンレスとタンタルのターゲットに対
向して上方を往復できるようセットし、つぎに前記槽内
を真空ポンプで約５×１０-6Ｔｏｒｒ以下までに脱気し
た後、該真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但し、酸
素ガスとアルゴンガスの流量比は１００：０から５０：
５０の範囲にあればよい。）を導入して真空度を約２×
１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記タンタルのターゲットに
約２．０ｋｗの電力を印加し、酸素ガスによるＤＣマグ
ネトロン反応スパッタの中を、前記タンタルターゲット
上方においてスピード約２５０ｍｍ／ｍｉｎで前記板ガ
ラスを搬送することによって約１０ｎｍ厚さのＴａＯｘ
薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した後、タン
タルターゲットへの印加およびガスの供給を停止する。
ｍのグレーガラス（ＮＧ３．１）を中性洗剤、水すす
ぎ、イソプロピルアルコールで順次洗浄し、乾燥した
後、ＤＣマグネトロンスパッタリング装置の真空槽内に
セットしてあるステンレスとタンタルのターゲットに対
向して上方を往復できるようセットし、つぎに前記槽内
を真空ポンプで約５×１０-6Ｔｏｒｒ以下までに脱気し
た後、該真空槽内にアルゴンガスと酸素ガス（但し、酸
素ガスとアルゴンガスの流量比は１００：０から５０：
５０の範囲にあればよい。）を導入して真空度を約２×
１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記タンタルのターゲットに
約２．０ｋｗの電力を印加し、酸素ガスによるＤＣマグ
ネトロン反応スパッタの中を、前記タンタルターゲット
上方においてスピード約２５０ｍｍ／ｍｉｎで前記板ガ
ラスを搬送することによって約１０ｎｍ厚さのＴａＯｘ
薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した後、タン
タルターゲットへの印加およびガスの供給を停止する。
【００２２】次に、板ガラスを前記真空槽内においたま
ま、前記真空層内に窒素ガス約６８ｃｃと酸素ガス約２
ｃｃ（但し窒素ガスと酸素ガスの流量比は９９：１から
９０：１０の範囲であればよい。）を導入して真空度を
約２×１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ステンレスターゲ
ットに約０．５ｋｗの電力を印加し、窒素ガスと酸素ガ
スによるＤＣマグネトロン反応スパッタの中を、前記ス
テンレスターゲット上方においてスピード約９００ｍｍ
／ｍｉｎで搬送することにより、前記板ガラスのＴａＯ
ｘ成膜表面に約５ｎｍ厚さのＳＵＳＮＯｘ薄膜を第２層
として成膜積層した。成膜が完了した後、ステンレスタ
ーゲットへの印加およびガスの供給を停止する。
ま、前記真空層内に窒素ガス約６８ｃｃと酸素ガス約２
ｃｃ（但し窒素ガスと酸素ガスの流量比は９９：１から
９０：１０の範囲であればよい。）を導入して真空度を
約２×１０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記ステンレスターゲ
ットに約０．５ｋｗの電力を印加し、窒素ガスと酸素ガ
スによるＤＣマグネトロン反応スパッタの中を、前記ス
テンレスターゲット上方においてスピード約９００ｍｍ
／ｍｉｎで搬送することにより、前記板ガラスのＴａＯ
ｘ成膜表面に約５ｎｍ厚さのＳＵＳＮＯｘ薄膜を第２層
として成膜積層した。成膜が完了した後、ステンレスタ
ーゲットへの印加およびガスの供給を停止する。
【００２３】次に、板ガラスを前記真空槽内においたま
ま、前記真空層内にアルゴンガスと酸素ガス（但し酸素
ガスとアルゴンガスの流量比は１００：０から５０：５
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約２×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記タンタルターゲットに約
２．０ｋｗの電力を印加し、酸素ガスによるＤＣマグネ
トロン反応スパッタの中を、前記タンタルターゲット上
方においてスピード約２５０ｍｍ／ｍｉｎで搬送するこ
とにより、前記板ガラスのＳＵＳＮＯｘ成膜表面に約１
０ｎｍ厚さのＴａＯｘ薄膜を第３層として成膜積層し
た。成膜が完了した後、タンタルへの印加およびガスの
供給を停止する。すなわち、表１に示すようにした。
ま、前記真空層内にアルゴンガスと酸素ガス（但し酸素
ガスとアルゴンガスの流量比は１００：０から５０：５
０の範囲であればよい。）を導入して真空度を約２×１
０-3Ｔｏｒｒに保持し、前記タンタルターゲットに約
２．０ｋｗの電力を印加し、酸素ガスによるＤＣマグネ
トロン反応スパッタの中を、前記タンタルターゲット上
方においてスピード約２５０ｍｍ／ｍｉｎで搬送するこ
とにより、前記板ガラスのＳＵＳＮＯｘ成膜表面に約１
０ｎｍ厚さのＴａＯｘ薄膜を第３層として成膜積層し
た。成膜が完了した後、タンタルへの印加およびガスの
供給を停止する。すなわち、表１に示すようにした。
【００２４】得られた３層膜を有するグレー色電波透過
型熱線遮蔽ガラスについて、可視光透過率（３８０〜７
８０ｎｍ）、可視光反射率（３８０〜７８０ｎｍ）なら
びに日射透過率（３４０〜１８００ｎｍ）については３
４０型自記分光光度計（日立製作所製）とＪＩＳＺ８７
２２、ＪＩＳＲ３１０６によってそれぞれその光学的特
性を求めた。
型熱線遮蔽ガラスについて、可視光透過率（３８０〜７
８０ｎｍ）、可視光反射率（３８０〜７８０ｎｍ）なら
びに日射透過率（３４０〜１８００ｎｍ）については３
４０型自記分光光度計（日立製作所製）とＪＩＳＺ８７
２２、ＪＩＳＲ３１０６によってそれぞれその光学的特
性を求めた。
【００２５】さらにテーバー試験によるヘーズ（曇り具
合）値の変化量（△Ｈ％）については、テーバー試験機
（ＭＯＤＥＬ ５０３、ＴＡＢＥＲ社製）に膜面を上に
した１０ｃｍ角の試験片をセットし、膜面に荷重５００
ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ）が２箇所で当たる
ようになっているもので、１０００回回転した後、ヘー
ズメーター（日本電色工業製、ＮＤＨ−２０Ｄ）によっ
て測定し、試験前の測定値と対比し、その変化量（△Ｈ
％）をもって表した数値である。
合）値の変化量（△Ｈ％）については、テーバー試験機
（ＭＯＤＥＬ ５０３、ＴＡＢＥＲ社製）に膜面を上に
した１０ｃｍ角の試験片をセットし、膜面に荷重５００
ｇのかかった摩耗輪（ＣＳ−１０Ｆ）が２箇所で当たる
ようになっているもので、１０００回回転した後、ヘー
ズメーター（日本電色工業製、ＮＤＨ−２０Ｄ）によっ
て測定し、試験前の測定値と対比し、その変化量（△Ｈ
％）をもって表した数値である。
【００２６】次に、耐薬品性のうち耐酸試験について
は、常温で１規定の塩酸溶液中に前記試験片を約６時間
浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したものであり、
耐アルカリ試験については、常温で１規定の水酸化ナト
リウム溶液に試験片を約６時間浸漬した後、膜の劣化状
態を見てＪＩＳＲ３２２１により判断したものであり、
それぞれ○印はほとんど劣化が見られなかったもの、×
印は劣化が明らかに目立ったものである。
は、常温で１規定の塩酸溶液中に前記試験片を約６時間
浸漬した後、膜の劣化状態を見て判断したものであり、
耐アルカリ試験については、常温で１規定の水酸化ナト
リウム溶液に試験片を約６時間浸漬した後、膜の劣化状
態を見てＪＩＳＲ３２２１により判断したものであり、
それぞれ○印はほとんど劣化が見られなかったもの、×
印は劣化が明らかに目立ったものである。
【００２７】さらに表面抵抗率については、１０5 Ω／
口以下のものは四探針抵抗測定装置ＲＴ−８（ＮＡＰＳ
ＯＮ社製）によって、１０5 Ω／口〜１０5 ＭΩ／口の
ものは三菱油化製表面高抵抗計（ＨＩＲＥＳＴＡ ＨＴ
−２１０）によって測定したものである。
口以下のものは四探針抵抗測定装置ＲＴ−８（ＮＡＰＳ
ＯＮ社製）によって、１０5 Ω／口〜１０5 ＭΩ／口の
ものは三菱油化製表面高抵抗計（ＨＩＲＥＳＴＡ ＨＴ
−２１０）によって測定したものである。
【００２８】表２より明らかなように、グレー色を発現
しながら、優れた居住性をもって、耐摩耗性、耐食性、
耐候性、耐久性を有し、自動車、建築物等の窓ガラス、
ことに直射光を遮るシェード部に有用な電波透過型熱線
遮蔽になり所期のめざすグレー色電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスを得た。
しながら、優れた居住性をもって、耐摩耗性、耐食性、
耐候性、耐久性を有し、自動車、建築物等の窓ガラス、
ことに直射光を遮るシェード部に有用な電波透過型熱線
遮蔽になり所期のめざすグレー色電波透過型熱線遮蔽ガ
ラスを得た。
【００２９】実施例２〜５ 実施例１と同様の方法で、表１に示す３層膜およびその
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同様の評価手段で行い、その結果を表２
に示す。
各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で示した測
定法等によって同様の評価手段で行い、その結果を表２
に示す。
【００３０】得られた３層膜を有するグレー色電波透過
型熱線遮蔽ガラスは、実施例１と同様に優れた所期の光
学特性等各物性を示した。なお、実施例２〜５につい
て、第１層および第３層のＴａＯｘ薄膜は、実施例１と
同様の方法で成膜し、他の条件は一定として、搬送スピ
ードを変更することにより所望の膜厚を得ており、搬送
スピード約５００ｍｍ／ｍｉｎで約５ｎｍ、約２５０ｍ
ｍ／ｍｉｎで約１０ｎｍ、約１７７ｍｍ／ｍｉｎで約１
５ｎｍ、約１２５ｍｍ／ｍｉｎで約２０ｎｍを得た。ま
た第２層のＳＵＳＮＯｘ薄膜も実施例１の第２層目と同
様の方法で成膜し、搬送スピードを変更することで所望
の膜厚を得ており、搬送スピード約９００ｍｍ／ｍｉｎ
で約５ｎｍ、約５６３ｍｍ／ｍｉｎで約８ｎｍ、約３７
５ｍｍ／ｍｉｎで約１２ｎｍ、約３００ｍｍ／ｍｉｎで
約１５ｎｍ、約１８０ｍｍ／ｍｉｎで約２５ｎｍを得
た。
型熱線遮蔽ガラスは、実施例１と同様に優れた所期の光
学特性等各物性を示した。なお、実施例２〜５につい
て、第１層および第３層のＴａＯｘ薄膜は、実施例１と
同様の方法で成膜し、他の条件は一定として、搬送スピ
ードを変更することにより所望の膜厚を得ており、搬送
スピード約５００ｍｍ／ｍｉｎで約５ｎｍ、約２５０ｍ
ｍ／ｍｉｎで約１０ｎｍ、約１７７ｍｍ／ｍｉｎで約１
５ｎｍ、約１２５ｍｍ／ｍｉｎで約２０ｎｍを得た。ま
た第２層のＳＵＳＮＯｘ薄膜も実施例１の第２層目と同
様の方法で成膜し、搬送スピードを変更することで所望
の膜厚を得ており、搬送スピード約９００ｍｍ／ｍｉｎ
で約５ｎｍ、約５６３ｍｍ／ｍｉｎで約８ｎｍ、約３７
５ｍｍ／ｍｉｎで約１２ｎｍ、約３００ｍｍ／ｍｉｎで
約１５ｎｍ、約１８０ｍｍ／ｍｉｎで約２５ｎｍを得
た。
【００３１】比較例１ 実施例１と同様の方法で、板ガラス搬送スピード約５０
０ｍｍ／ｍｉｎで第１層目としてＴａＯｘ薄膜約５ｎｍ
を成膜した。次にステンレスターゲットを使用し、アル
ゴンガス圧約２×１０-3Ｔｏｒｒで印加電力約０．２ｋ
ｗにおいて、板ガラス搬送スピード約１１５０ｍｍ／ｍ
ｉｎで膜厚約１０ｎｍのＳＵＳ薄膜を得た。さらに第１
層と同様にして板ガラス搬送スピード約５００ｍｍ／ｍ
ｉｎで膜厚５ｎｍのＴａＯｘ薄膜を第３層とし、表１に
示すように成膜積層した。該膜構成において、実施例１
と同様の測定法、同様の評価手段で行い、その結果は表
２に示すように、実施例に比して、例えば表面抵抗率が
低く、１ｋΩ／□以下であって、電波透過型としては鉄
筋コンクリート並あるいはそれ以下であり、所望の特性
に対し充分とは言い難い。
０ｍｍ／ｍｉｎで第１層目としてＴａＯｘ薄膜約５ｎｍ
を成膜した。次にステンレスターゲットを使用し、アル
ゴンガス圧約２×１０-3Ｔｏｒｒで印加電力約０．２ｋ
ｗにおいて、板ガラス搬送スピード約１１５０ｍｍ／ｍ
ｉｎで膜厚約１０ｎｍのＳＵＳ薄膜を得た。さらに第１
層と同様にして板ガラス搬送スピード約５００ｍｍ／ｍ
ｉｎで膜厚５ｎｍのＴａＯｘ薄膜を第３層とし、表１に
示すように成膜積層した。該膜構成において、実施例１
と同様の測定法、同様の評価手段で行い、その結果は表
２に示すように、実施例に比して、例えば表面抵抗率が
低く、１ｋΩ／□以下であって、電波透過型としては鉄
筋コンクリート並あるいはそれ以下であり、所望の特性
に対し充分とは言い難い。
【００３２】比較例２〜６ 第１層および第３層のＴａＯｘ薄膜は、実施例１と同様
の方法で成膜し、他の条件は一定として、搬送スピード
を変更することにより所望の膜厚を得ており、搬送スピ
ード約５００ｍｍ／ｍｉｎで約５ｎｍ、約２５０ｍｍ／
ｍｉｎで約１０ｎｍを得た。
の方法で成膜し、他の条件は一定として、搬送スピード
を変更することにより所望の膜厚を得ており、搬送スピ
ード約５００ｍｍ／ｍｉｎで約５ｎｍ、約２５０ｍｍ／
ｍｉｎで約１０ｎｍを得た。
【００３３】また第２層も実施例１と同様の方法で成膜
し、ＳＵＳＮｘ薄膜はステンレスターゲットを使用し、
窒素ガス圧約２×１０-3Ｔｏｒｒで印加電力約０．５ｋ
ｗにおいて、搬送スピード約４１５ｍｍ／ｍｉｎで約１
０ｎｍ、約３４５ｍｍ／ｍｉｎで約１２ｎｍ、約１３８
ｍｍ／ｍｉｎで約３０ｎｍを得た。ＣｒＮｘ薄膜はクロ
ムターゲットを使用し、窒素ガス圧約２×１０-3Ｔｏｒ
ｒで印加電力約０．４ｋｗにおいて、搬送スピード約２
００ｍｍ／ｍｉｎで約１５ｎｍを得た。ＳｉＣ薄膜はＳ
ｉＣターゲットを使用し、アルゴンガス圧約２×１０-3
Ｔｏｒｒで印加電圧約１．０ｋｗにおいて、搬送スピー
ド約４８０ｍｍ／ｍｉｎで約２０ｎｍを得た。
し、ＳＵＳＮｘ薄膜はステンレスターゲットを使用し、
窒素ガス圧約２×１０-3Ｔｏｒｒで印加電力約０．５ｋ
ｗにおいて、搬送スピード約４１５ｍｍ／ｍｉｎで約１
０ｎｍ、約３４５ｍｍ／ｍｉｎで約１２ｎｍ、約１３８
ｍｍ／ｍｉｎで約３０ｎｍを得た。ＣｒＮｘ薄膜はクロ
ムターゲットを使用し、窒素ガス圧約２×１０-3Ｔｏｒ
ｒで印加電力約０．４ｋｗにおいて、搬送スピード約２
００ｍｍ／ｍｉｎで約１５ｎｍを得た。ＳｉＣ薄膜はＳ
ｉＣターゲットを使用し、アルゴンガス圧約２×１０-3
Ｔｏｒｒで印加電圧約１．０ｋｗにおいて、搬送スピー
ド約４８０ｍｍ／ｍｉｎで約２０ｎｍを得た。
【００３４】このような方法によって、表１に示すよう
な３層の積層膜を得、その膜構成において、実施例１と
同様の測定法、同様の評価手段で行い、その結果を表２
にそれぞれ示す。
な３層の積層膜を得、その膜構成において、実施例１と
同様の測定法、同様の評価手段で行い、その結果を表２
にそれぞれ示す。
【００３５】それぞれ、各実施例に比して、これらにお
いては、例えば表面抵抗率が低く、１ｋΩ／□以下であ
って、電波透過型としては鉄筋コンクリート並あるいは
それ以下であり、所望の特性に対し充分とは言い難い。
いては、例えば表面抵抗率が低く、１ｋΩ／□以下であ
って、電波透過型としては鉄筋コンクリート並あるいは
それ以下であり、所望の特性に対し充分とは言い難い。
【００３６】またはその色調はグレーとは言えず、所望
の色調とは言い難い。
の色調とは言い難い。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【表２】
【００３９】
【発明の効果】以上前述したように、本発明はスパッタ
法で、特定膜厚のステンレスの窒素酸化物薄膜と特定膜
厚のタンタルの酸化物薄膜を特異に適宜巧みに組み合わ
せて積層膜に構成せしめたことにより、直射光のぎらつ
き感を抑える熱線遮蔽ガラスであって、耐摩耗性、耐食
性ならびに耐久性に優れ、電波透過性がよく、通常のフ
ロートガラス並の電波低反射率であり、高層建築物周辺
に対し電波障害を発現するようなこともなく、環境に優
しい、色調がグレー色を呈する居住性のよい、単板ガラ
スはもちろん合せガラスあるいは複層ガラス等として使
用し得る、太陽の直射光によるぎらつき感を遮蔽する熱
線遮蔽ガラスとしてはもちろん、自動車あるいは建築物
の窓ガラスとして使用されるシェード用としても有用な
グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラスを効率よく提供する
ものである。
法で、特定膜厚のステンレスの窒素酸化物薄膜と特定膜
厚のタンタルの酸化物薄膜を特異に適宜巧みに組み合わ
せて積層膜に構成せしめたことにより、直射光のぎらつ
き感を抑える熱線遮蔽ガラスであって、耐摩耗性、耐食
性ならびに耐久性に優れ、電波透過性がよく、通常のフ
ロートガラス並の電波低反射率であり、高層建築物周辺
に対し電波障害を発現するようなこともなく、環境に優
しい、色調がグレー色を呈する居住性のよい、単板ガラ
スはもちろん合せガラスあるいは複層ガラス等として使
用し得る、太陽の直射光によるぎらつき感を遮蔽する熱
線遮蔽ガラスとしてはもちろん、自動車あるいは建築物
の窓ガラスとして使用されるシェード用としても有用な
グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラスを効率よく提供する
ものである。
Claims (3)
- 【請求項１】 透明なガラス基板の一方の表面に、膜厚
が５〜２０ｎｍのタンタル酸化物薄膜である第１層と、
該第１層の上に、膜厚が５〜２５ｎｍのステンレスの窒
素酸化物薄膜を第２層として被膜し、さらに第３層とし
て５〜２０ｎｍのタンタル酸化物薄膜を被覆積層したこ
とを特徴とするグレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス。 - 【請求項２】 前記グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス
において、可視光透過率が１０％から６０％であること
を特徴とする請求項１記載のグレー色電波透過型熱線遮
蔽ガラス。 - 【請求項３】 前記グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス
において、熱線遮蔽膜の表面抵抗率が１ｋΩ／□以上で
あることを特徴とする請求項１記載のグレー色電波透過
型熱線遮蔽ガラス。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21598992A JP3211986B2 (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス |
| US08/105,581 US5501780A (en) | 1992-08-13 | 1993-08-13 | Heat insulating glass with multilayer coating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21598992A JP3211986B2 (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656477A true JPH0656477A (ja) | 1994-03-01 |
| JP3211986B2 JP3211986B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=16681567
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21598992A Expired - Fee Related JP3211986B2 (ja) | 1992-08-13 | 1992-08-13 | グレー色電波透過型熱線遮蔽ガラス |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5501780A (ja) |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010103914A1 (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | セントラル硝子株式会社 | 酸化タンタル薄膜及び薄膜積層体 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3225006B2 (ja) * | 1997-07-10 | 2001-11-05 | 株式会社小糸製作所 | 車輌用灯具 |
| DE19730884A1 (de) * | 1997-07-18 | 1999-01-21 | Leybold Ag | Verfahren zum Beschichten eines Substrates mit Chromoxinitrid |
| US6103074A (en) * | 1998-02-14 | 2000-08-15 | Phygen, Inc. | Cathode arc vapor deposition method and apparatus |
| WO2007098708A1 (fr) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Shenzhen Commonpraise Solar Co., Ltd | Couches à absorption sélective de lumière et leur procédé de fabrication |
| GB0711628D0 (en) * | 2007-06-18 | 2007-07-25 | Pilkington Group Ltd | A method of production of a bent, coated, laminated glazing, and a resultant glazing |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH595458A5 (ja) * | 1975-03-07 | 1978-02-15 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
| US4048039A (en) * | 1975-03-07 | 1977-09-13 | Balzers Patent Und Beteiligungs-Ag | Method of producing a light transmitting absorbing coating on substrates |
| DE3311815C3 (de) * | 1983-03-31 | 1997-12-04 | Leybold Ag | Verfahren zum Herstellen von Scheiben |
| US4786784A (en) * | 1987-02-17 | 1988-11-22 | Libbey-Owens-Ford Co. | Method for producing an electrically heated window assembly and resulting article |
| GB2208390B (en) * | 1987-08-06 | 1991-03-27 | Plessey Co Plc | Thin film deposition process |
| DE3729432A1 (de) * | 1987-09-03 | 1989-03-16 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur herstellung einer maske fuer strahlungslithographie |
| JPH03208837A (ja) * | 1990-01-08 | 1991-09-12 | Central Glass Co Ltd | 単板断熱ガラス板およびその色ガラス |
| JPH03252332A (ja) * | 1990-02-28 | 1991-11-11 | Central Glass Co Ltd | 電波低反射の熱線反射ガラス |
| JP2796756B2 (ja) * | 1990-08-30 | 1998-09-10 | ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社 | ホログラムスケール |
| JP2570239B2 (ja) * | 1991-07-30 | 1997-01-08 | オムロン株式会社 | 実装部品検査用データ生成方法およびその方法の実施に用いられる実装部品検査装置 |
-
1992
- 1992-08-13 JP JP21598992A patent/JP3211986B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-08-13 US US08/105,581 patent/US5501780A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010103914A1 (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | セントラル硝子株式会社 | 酸化タンタル薄膜及び薄膜積層体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5501780A (en) | 1996-03-26 |
| JP3211986B2 (ja) | 2001-09-25 |
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