JPH06503420A - 応力遮断用凹部付き圧力トランスミッタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 応力遮断用四部付き圧力ドランスミッタ発明の背景 本発明は、ハウジングからその内部の圧力変換器への軸方向および半径方向締付 は力の伝達を減らすように設計されたハウジングを有する圧力ドランスミッタに 関するものである。

締付は力は、ハウジングに押しつけられたフランジによってもたらされるもので 、フランジ、ボルトおよびハウジング間の熱膨張差のせいで不均等、かつヒステ レチックである場合がある。

圧力ドランスミッタハウジング内に配置された圧力変換器を歪ませる締付は力を 減らす必要性は、圧力ドランスミッタハウジングの改良および圧力変換器に流体 圧力を結合させる方法の改善をもたらしている。圧力変換器に対して流体圧力を 密封形式で結合させるフランジは、通常圧力ドランスミッタハウジングに対して 大きな締付は力を加え、予荷重として知られている前記締付は力は圧力変換器を かなり歪ませて、測定誤差を生じる場合がある。

通常、大きな締付は力はフランジをトランスミッタハウジングに対して押圧する ボルトによってもたらされる。これらのボルトは、通常、フランジを圧力ドラン スミッタハウジングに予荷重するための３０００ボンド以上の締付は力をつくり だして、高い流体圧力を結合する際にフランジが遮断ダイアフラムに密封形態で 結合されたままに保持されるようにするために、回転トルクを加えられる。

さらにトランスミッタハウジング、フランジおよびボルトは通常異なった熱膨張 係数を有する異なった素材でつくられており、この互いに異なる熱膨張係数が一 定の温度範囲でのフランジ、ハウジング、およびボルトの異なった膨張、収縮に より、締付は力の変化し、かつ不均等に分布された軸方向および半径方向の成分 をつくりだす。

さらに、フランジおよびハウジングの接触表面間の滑り作用が、摩擦による半径 方向の締付は力成分をつくりだす場合がある。この半径方向成分は、フランジが ハウジングに沿って滑るので温度に対してヒステレティックである。

大きくて不均等に分布した軸方向および半径方向の締付は力の、ハウジングから 、その内部に配置された圧力変換器への伝達を大幅に減らす圧力ドランスミッタ ハウジングが望まれている。さらに、フランジ、ハウジングおよびボルトの温度 変化によるハウジングとフランジの接触表面間の摩擦に起因するヒステレティッ クは半径方向の締付は力の伝達を減らすトランスミッタハウジングが望まれてい る。

発明の要約 本発明は、トランスミッタハウジングの外縁と内縁の間に配置されたたわみ手段 に関するものであり、前記外縁はたわみ手段を中心としてたわむことができ、フ ランジによってその外縁に対して加えられるヒステレティックな半径方向および 軸方向の締付は力の、ハウジング内部に配置された圧力感知手段に対する前記外 縁からの伝達を低減させる。

本発明は、圧力源からの流体圧力を測定するための圧力変換器と、ハウジング内 縁を取り囲むハウジング外縁を有し、そのハウジング内縁がハウジング開口部を 定義しているハウジングとで構成されている。ハウジング内にある圧力感知手段 は感知出力を提供し、ハウジング開口部に結合された圧力センサ（感知器）を有 している。前記圧力センサに流体圧力を結合するためのフランジ手段は、対応す るハウジング外縁に衝接するフランジ外縁を有している。前記フランジ手段は対 応するハウジング内縁に面しており、それらの間に四部を形成しているフランジ 内縁をも有している。前記フランジ手段はそのフランジ手段内に形成される第１ のフランジ開口部からの流体圧力をフランジ内縁によって規定される第２のフラ ンジ開口部に伝達するための通路を有しており、この第２のフランジ開口部は流 体圧ツノを圧力感知手段に結合する。この凹部にはハウジング内縁をフランジ内 縁に対してシールするためのシール手段が配置されている。このフランジ手段に 対しては、ハウジング外縁がフランジ内縁から固定力を受け、ハウジング内縁が シール手段を介してフランジ内縁からシール力を受けるように、フランジ外縁と ハウジング外縁を一体に固定するためのフランジ手段が固定されている。少なく とも一つの凹部によって規定されるたわみ手段が、ｌ＼ウジング外縁から圧力感 知手段への固定力の伝達を減らすために、ハウジング内でハウジング内縁とハウ ジング外縁の間に配置されている。

本発明の好ましい実施例においては、ハウジング外縁は圧力感知手段の歪みを減 らすために、たわみ手段を中心にたわむことができる。本発明のさらに別の実施 例においては、たわみ手段はハウジング外縁に近接して形成された溝あるいは切 り込みで規定される。

差圧、絶対圧およびゲージ圧などの圧力ドランスミッタは、内部に配置された圧 力変換器に対する歪みを減らすために本発明を実施するのに適している。応力ゲ ージ、光学的および導電電極板容量セルなどの種々のタイプの圧力変換器を用い ることができる。

図面の簡単な説明 図ＩＡ、ＩＢおよびＩＣは本発明による圧力ドランスミッタの一部の断面図であ る。

図２は圧力ドランスミッタの一部分の分解断面図である。

図３は図２のトランスミッタの一部分の組み立て断面図である。

図４は図２のトランスミッタの一部分の斜視図である。

図５は本発明による圧力ドランスミッタの第２実施例の分解断面図である。

図６は図５のトランスミッタの一部分の拡大断面図である。

図７は第２の実施例の一部分の分解斜視図である。

発明の詳細な説明 図ＩＡ、ＩＢおよびＩＣには、それぞれトランスミッタハウジング１４内にある 感知変換器１２で構成された圧力ドランスミッタ１０のある一部分の幾つかの実 施例が示されている。以下により詳細に説明するように、感知変換器１２はフラ ンジ１８から受けた流体圧力を、その圧力を示す電気出力に変換する。

溝あるいは切り込みなどの環状凹部２０が、たわみ領域２２と外縁（リム）２４ を形成しているハウジング１４内に形成されている。ボルト２６はフランジ１６ に予荷重を加えるためにフランジ１６を外縁２４に対【２て押し付けており、外 縁２４に大きな軸方向締付は力Ｆ１をつくりだしている。熱膨張係数を異にする 材料で構成されたフランジ１６とハウジング１４の膨張、収縮は一定の温度範囲 でそれぞれ違っている。このそれぞれ異なる膨張と収縮とが、その温度範囲で、 締付は力Ｆｌの軸方向および半径方向成分を変化させ、ハウジング１４に不均等 に分散させる。

それぞれ異なる膨張と収縮とは、以下に詳細に説明するように、ハウジング１４ 上で滑動するフランジ１Ｂの接触表面間の摩擦によって締付は力Ｆ１のヒステレ ティックな半径方向成分をもつくりだす。外縁２４はたわみ領域２２を中心とし て外側にたわみ、これによって、感知変換器の電気的出力が実際の差圧をより正 確に示すように、外縁２４から感知変換器１２への締付は力Ｆｌの軸方向および 半径方向成分両方の伝達を減らす。

図２には、米国特許３．１３１８．３９０に開示されているような、総括的に１ ２で示されている、トランスミッタハウジング１４内にある感知変換器で構成さ れた差圧トランスミッタｌＯの一部分を示し、ている。感知変換器１２は、フラ ンジ１６および２８からそれぞれ偏向可能な遮断ダイアフラム１８および３０を 通じて印加される流体圧力の差を、その差圧を示す電気的出力に変換する。トラ ンスミッタハウジング１４内にある印刷回路基板３２の回路が、感知変換器１２ の電気的出力を、潜在的に爆発可能性のある環境から密封保護され、４〜２０　 ｍＡ直流、デジタル信号、あるいは１〜５ボルト直流電圧などの、感知された差 圧（Ｐ　ｉ　Ｐ　２　）を示す圧力出力を提供する内部伝送回路（図示せず）に 伝える。

感知変換器１２は、トランスミッタハウジング１４に形成された開口部３４内に 配置される。内縁（リム）３６および３８は、それぞれ凹部４４および４６を有 するハウジング・リング４０および４２を取り囲んでいる。ハウジング・リング ４０は、開口部３４によって形成された領域４８でトランスミッタハウジング１ ４に溶着されている。ハウジング・リング４２は領域５２でふた５０に溶着され ている。ふた５０はさらに、領域５６で内縁５４に溶着されている。

フランジ１６および２８は、それぞれ開口部６２と６４から延びている通路（図 示せず）を介して、それぞれ開口部６６および６８に流体圧力Ｐ　およびＰ２を 伝える。それぞれ開口部６６と６８を形成している内縁７０および７２はそれぞ れ対応する凹部４４および４６に而しており、その間に対応する空隙を形成する 。シール・リング７４と７６はその対応する空隙内に配置され、それぞれ開口部 ６Ｇおよび６８からの流体圧力Ｐ１とＰ２をそれぞれ対応する遮断ダイアフラム １８および３０に伝える。０−リングなどのシール・リング７４および７６は、 通常、以下に述べるように、外縁２４および７８よりかなり低い弾性係数を有す る弾性材料でできている。

図示されているように、ナツト８２および８４と共にフランジ１６および２８の 周辺部を通じて配置されているボルト２Ｂおよび８０を含む四つの締付はボルト および四つのナツトは、それぞれフランジ外縁９０と９２に形成された凹部８６ と８８を、それぞれ対応する外縁２４と７８に押しつけ、外縁２４および７８に 対する大きな締付は力Ｆ１をつくりたしている。締付はボルト２６と８０は、ナ ツト８２および８４と共に、通常はトルクを加えられ、予荷重として知られてい る３０００ポンド以上の締付は力をつくりだし、高いライン圧力あるいは差圧が 開口部６２および６４に加えられた時に、フランジ１６および２８のトランスミ ・ツタハウジング■４に対する結合が保持されるようにする。フランジの内縁７ ０および７２はシール力Ｆ２でシール・リング７４および７６を圧迫する。

シール・リング７４および７６は弾性があるから、シール力Ｆ２は固定力Ｆ２よ りかなり小さく、そしてより予測可能であり、較正によって圧力測定から除去す ることができる。

環状溝２０および９４はトランスミッタハウジング１４において、それぞれ内縁 ３６と３８をそれぞれ取り囲んでいるたわみ領域２２および９６をそれぞれ形成 しており、狭いウェブ状の外縁２４および７８をそれぞれ規定している半径方向 端縁のすぐ近くに形成される。外縁２４および７８は、ハウジングの内縁３６． ３ｇによって規定される平面より外方へ突出しているのが望ましい。

たわみ領域２２および９６はそれぞれ外縁２４および７８と比較してより小さな 断面積を有している。溝２ｏおよび９４は十分な深さを有しているので、外縁２ ４および７８はそれぞれたわみ領域２２と９６を中心としてたわみ、外縁２４お よび７８内の応力を、遮断ダイアフラム１８と３０を含む感知変換器の感知部分 からはもちろん、内縁３６および３８からも、機械的に事実上遮断することがで きる。この遮断効果を強めるために、同心円の溝、あるいは遮断ダイアフラムを その端と端とで取り囲んでいる一連の溝など、複数の溝を用いることもできる。

締付は力Ｆｌの結果としての、変換器１２あるいは、それぞれ遮断ダイアフラム １８および３０に結合されたハウジング・リング４０および４２に隣接したハウ ジング内縁３６および３８に対する歪みは基本的には生じない。締付は力Ｆ１に よって変換器１２の圧力測定にもたらされる誤差が大幅に減少されるので、感知 変換器１２の圧力出力は実際の流体圧力差（Ｐｌ−Ｐ２）をより正確に示すこと になる。こうして、より狭くなったたわみ領域２２．９６および外縁２４．７８ が実質的に感知変換器１２を締付は力ｐｔから遮断する。

トランスミッタハウジング１４、フランジ１Ｂ、２８およびボルト２６．８０は 通常、異なった熱膨張係数を有する材料でできている。熱膨張係数の差は２６お よび８０を含む四つのボルトによるボルト締め力を、フランジ１６．２８、ハウ ジング１４およびボルト２６．８０の温度変化に応じて変化させる。変化するボ ルト締め力は締付は力Ｆｌを変化させ、外縁２４および７８に不均等に分布させ る。さらに、異なった熱膨張係数を有するフランジ１６と２８およびハウジング １４は温度に応じてその寸法を変化させ、外縁２４と７８での締付は力ＰＬに半 径方向成分をつくりだす。

この半径方向の力は、フランジ１６．２８およびハウジング１４の衝合表面の滑 動中の摩擦により、通常はヒステレティックである。

大きく、不均等で、ヒステレティックな軸方向および半径方向の締付は力Ｆ１に よって引き起こされる感知変換器１２の歪みは、上に述べたように、たわみ領域 ２２および９６を中心として偏向する（たわむ）外縁２４および７８を設けるこ とにより、大幅に減らされる。シール力Ｆ２が温度によってわずかに変化する場 合もあるが、シール力Ｆ２はかなり小さく、しかも変換器１２の測定には実質上 向の影響も及ぼさない。したがって、フランジ１６と２８、ハウジング１４およ びボルト２Ｂと８０のそれぞれ異なる熱膨張による圧力測定の誤差は大幅に減ら される。

図３に、圧力ドランスミッタの第１の実施例の組み立て断面図を示しである。上 にも述べたように、フランジ１６と２８は外縁２４と７８を圧迫して、それらを 上述のように感知変換器１２から外側にたわませる。分かり易くするために、図 ３では外縁２４と７８のたわみが誇張して示しである。図にも示されているよう に、温度によって変化する締付は力Ｆｌの大きな軸方向およびヒステレティック な半径方向の成分は感知変換器から実質上遮断され、大幅に精度の高い圧力測定 を可能にしてくれる。

図４は、差圧トランスミッタ１０の一部の斜視図を示している。伝送器ハウジン グ１４はおおむね円筒形で、それぞれ通常はトランスミッタハウジング１４と同 軸状の外縁２４、溝２０、たわみ領域２２、内縁３Ｂ、凹部４４および遮断ダイ アフラム１８を有している。

図５に、差圧トランスミッタ１００の第２の好ましい実施例を示す。感知変換器 １０２は、第１の好ましい実施例で述べた感知変換器１２と同様、トランスミッ タハウジング１０４内に配置されており、それぞれたわむことができる遮断ダイ アフラム１０６および１０ｇに加えられる差圧（Ｐｌ−Ｐ２）を感知する。

潜在的に爆発可能性のある周辺雰囲気から密封遮断されているトランスミッタ回 路１１Ｏは感知変換器１０２に接続されており、感知変換器１０２によって感知 された差圧（Ｐ、−Ｐ２）を示す伝送器出力を発生する。変換器１０２の一部を 形成している遮断ダイアプラム１０６と１０８は、内縁１１Ｂおよび１１７によ って規定される開口部１１２と１１４を覆って密封形態で延びており、基本的に は同一平面上にある。通路１１ｇおよび１２０は圧力Ｐ１とＰ２をそれぞれ感知 変換器１０２に伝える。

フランジ１２２はそれぞれ通路１２４と１２６経由で開口部１２８と１３０から 伝達される流体圧力Ｐ１とＰ２を、それぞれ遮断ダイアフラム１０６と１０８に 対応する開口部１３２と１３４に伝える。ボルト１３Ｂと１３８を含む四本の締 付はボルトはフランジ１２２の周辺部を貫通して延びており、フランジの外縁１ ４０を対応するハウジング外縁１４２に押しっけ、締付はカＦ１を外縁１４２に かけている。ＰＴＦＢなどの、弾性あるいは可塑性のシール・リング１４４と１ ４８は、フランジ内縁１４８および１４９と、参照例として組み入れられている 米国特許４，７９２，０８９に開示されているような、対応する凹部１５２およ び１５４に溶着されている溶着リング１５０および１５１との間に形成される空 隙内にあり、それぞれ遮断ダイアフラムｌｏ６と１０８を取り囲んでいる。フラ ンジ内縁１４８および１４９はまた、シール・リング１４４と１４８を圧縮する 締付は力Ｆ２を提供し、開口部１３２と１３４をそれぞれ開口部１１２と１１４ に密封状態で結合している。

ハウジング１０４内の個別の溝１５Ｂと１５８は、それぞれ遮断ダイアフラム１ ０６および１０８に隣接するハウジングの外縁１４２と内縁１１Ｂおよび１１７ との間にたわみ領域１６ｏおよび１６２を形成している。溝１５６と１５８は交 差させて、内縁１１６と１１７の両方を取り囲む−続きの溝を形成するようにし てもよいし、あるいは、たわみ効果を強めるために複数の平行な溝を構成するよ うにすることもできる。溝１５Ｂと１５８は十分な深さを持っているので、締付 は力Ｆ１はたわみ領域１６０および１８２を中心に外縁１４２をたわませること ができる。図１に関し２て述べたのと同様に、外縁１４２からそれぞれ遮断ダイ アフラム１０６および１０８に隣接した内縁ｌ１８および１１７への、締付は力 Ｆ１の大きく、そして不均一に分布された軸方向および半径方向の成分の伝送は 大幅に減らされるので、遮断ダイアフラム１０６および１０ｇの歪みは大幅に減 らされる。

さらに、ハウジング１０４とフランジ１２２は異なった熱膨張係数を有する材料 で構成することもできる。フランジ１２２は、温度が変化すると、ハウジング１ ０４とフランジ１２２の異なった膨張および収縮のせいでハウジング１０４に対 して滑動する。

この滑動はフランジ１２２とハウジング１０４の衝合表面間の摩擦のためにヒス テレティックであり、ハウジング１０４の外縁１４２で締付は力Ｆ１のヒステレ ティックな半径方向成分をつくりだす。このヒステレティックな半径方向の力は 、たわみ領域１６０および１６２を中心偏向できる外縁１４２の形状によって大 幅に減らされ、本発明の第１の実施例の場合と同様、それぞれ遮断ダイアフラム １０６および１０８に対する歪みを大幅に減らすことができる。

シール力Ｆ２は、特にＰＴＦＥシール・リング１４４および１４６を用いた場合 、非常に大きくなり、それぞれ遮断ダイアフラム１０６と１０８に一定の変形を 引き起こす場合がある。しかしながら、このような変形に起因する圧力測定の誤 差は、第１には縁１１６および１１７とシール・リング１４４および１４８が外 縁１４２よりかなり小さな表面しか持っていないことにより、また第２には、Ｐ ＴＦＥが潤滑効果を持っており、このためにシール・リング１４４と１４６およ び内縁１１Ｂと１１７を介してのフランジ１２２の滑動によるシール力Ｆ２のヒ ステレティックな半径方向の力がかなり小さいことにより、較正を通じて除去す ることができる。

図６は図５に示されている領域１６４の拡大断面図である。

図７は圧力ドランスミッタ１００の斜視図である。溝１５６および１５８はそれ ぞれ外縁１４２と内縁１１６および１１７の間に形成され、それらの内縁はそれ ぞれ遮断ダイアフラム１０６およびｌＯ８を取り囲んでいる。満１５８と１５８ は十分な深さを有しているので、外縁１４２はたわみ領域１８０および１６２（ 図示せず）を中心にたわむことができ、その結果、フランジ１２２によって外縁 １４２に加えられる締付は力ｐｔの大きくて不均等な軸方向およびヒステレティ ックな半径方向成分による、それぞれ内縁ｔｔｅと１１７および遮断ダイアプラ ム１０Ｂと１０８への歪みの影響を大幅に減らすことができる。溝１５６および １５ｇの深さは、理想的には、図７に示されている幅”Ａ”の四分の−から部分 の−の間であり、遮断ダイアフラム１０６および１０８をできるたけ多く取り囲 むようにすべきである。

以−１−では、本発明を好ましい実施例を参照して説明したが、本発明の精神と 範囲を外れることなしに、その形態や詳細部分で変更を行うことができるのは当 業者には明らかであろう。

国際調査報告 フロントページの続き （７２）発明者　クロウス、テランス　エフ。

アメリカ合衆国　５５３４７　ミネソタ州、エデン　ブレイリー、スタンレイ　 トレイル

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. １．ハウジングの開口部を規定するハウジング内縁を取り囲んでいるハウジング 外縁を有するハウジングと；ハウジング内に配置され、ハウジング開口部に結合 されて感知出力を提供する圧力感知手段と； 対応するハウジング外縁に衝合するフランジ外縁を有し、圧力感知手段に流体圧 力を伝えるフランジ手段であって、さらに、対応するハウジング内縁に面してお り、その間に凹部を形成するフランジ内縁、および該フランジ手段内に形成され た第１のフランジ開口部からの流体圧力を、フランジ内縁によって規定された第 ２のフランジ開口部に伝える通路を有していて、前記第２のフランジ開口部が流 体圧力を前記圧力感知手段に伝えるようにされたフランジ手段と；ハウジング内 縁をフランジ内縁に対してシールするための、凹部に配置されたシール手段と； ハウジング外縁がフランジ外縁からの固定力を受け、ハウジング内縁がシール手 段を介してフランジ内縁から加えられるシールカを受けるように、フランジ外縁 とハウジング外縁を一体に固定するための、フランジ手段に結合された固定手段 と； ハウジング外縁から圧力感知手段への固定力の伝達を減らすように、ハウジング 内縁とハウジング外縁との間の少なくとも一つのハウジング内の凹部によって規 定されたたわみ手段とで構成された圧力源からの流体圧力を測定するための圧力 トランスミッタ。
2. ２．凹部が、ハウジング外縁がたわみ手段を中心としてたわむことができるのに 十分な深さである請求の範囲第１項のトランスミッタ。
3. ３．凹部がハウジング外縁に極く近接して形成された請求の範囲第２項のトラン スミッタ。
4. ４．凹部がハウジング内縁を取り囲んでいる少なくとも一つの溝で規定されてい る請求の範囲第１〜３項いずれかのトランスミッタ。
5. ５．凹部がハウジング内縁を取り囲んでいる少なくとも一つの切り込みで規定さ れている請求の範囲第３項のトランスミッタ。
6. ６．シール手段が弾性を持っており、固定力がシールカより大きく、またフラン ジ手段が流体圧力を圧力感知手段に伝達する際、フランジ内縁がハウジング内縁 にシールされた状態に保持されるほど十分に大きい請求の範囲第４項のトランス ミッタ。
7. ７．フランジ外縁が、ハウジング外縁を受け入れるフランジ凹部を取り囲んでい る請求の範囲第６項のトランスミッタ。
8. ８．それぞれが第１および第２のハウジング開口部を規定する第１および第２の ハウジング内縁を取り囲んでいるハウジング外縁を有するハウジングと； それぞれ第１および第２のハウジング開口部を覆って密封状態で配置されている 第１および第２の遮断ダイアフラムと；ハウジング内に配置され、第１および第 ２の遮断ダイアフラムに結合されて感知出力を提供する圧力感知手段と；対応す るハウジング外縁に衝接するフランジ外縁を有し、それぞれ第１および第２の遮 断ダイアフラムに第１と第２の流体圧力を伝達するフランジ手段であって、さら に、対応する第１および第２のハウジング内縁に面しており、それらの間に第１ および第２の凹部を形成する第１および第２のフランジ内縁、および該フランジ 手段内に形成された第１および第２のフランジ開口部からの第１および第２の流 体圧力を、それぞれ第１および第２のフランジ内縁によって規定された第３およ び第４のフランジ開口部に伝達する第１および第２の通路を有していて、前記第 ３および第４のフランジ開口部が、前記第１および第２の流体圧力をそれぞれ前 記第１および第２の遮断ダイアフラムに伝達するようにされたフランジ手段と； 第１および第２のハウジング内縁をそれぞれ第１と第２のフランジ内縁に対して シールするための、第１および第２の凹部に配置されたシール手段と； ハウジング外縁がフランジ外縁からの固定力を受け、第１および第２のハウジン グ内縁が、それぞれシール手段を介して、第１および第２のフランジ内縁から加 えられる第１および第２のシールカを受けるように、フランジ外縁とハウジング 外縁を一体に固定するための、フランジ手段に結合された固定手段と； ハウジング外縁から第１の遮断ダイアフラム手段への固定力の伝達を減らすよう に、第１のハウジング開口部とハウジング外縁の間の少なくとも一つのハウジン グ内の凹部によって規定されたたわみ手段とで構成された、第１および第２の流 体圧力を有する第１および第２の圧力源間の差圧を測定するための圧力トランス ミッタ。
9. ９．たわみ手段が、さらに、第１と第２の遮断ダイアフラム手段を取り囲んでい るハウジング内の少なくともひとつの凹部によって規定された請求の範囲第８項 のトランスミッタ。
10. １０．ハウジング外縁の表面積が第１の内縁の表面積より大きい請求の範囲第９ 項のトランスミッタ。
11. １１．ハウジング開口部を規定する周辺内縁を有するハウジングと； ハウジング内で、ハウジング内縁の周辺部内部に配置され、感知出力を提供し、 ハウジング開口部に結合された圧力感知手段と； フランジ外部周辺縁部と、対応するハウジング内縁に面しているフランジ内縁と を有し、圧力感知手段に流体圧力を伝達するフランジ手段であって、該フランジ 手段内に形成された第１のフランジ開口部からの流体圧力を、フランジ内縁によ って規定された第２のフランジ開口部に伝達するための通路を有しているフラン ジ手段と； フランジがハウジングに固定されている時に、ハウジング内縁をフランジ内縁に 対してシールするシール手段と；第１の方向に作用する固定力でフランジとハウ ジングとを一体に固定する固定手段と； ハウジング内の、少なくとも一つの凹部によってハウジングの内縁から隔離され た狭い周辺縁部を形成するハウジング外縁で構成されたたわみ手段とで構成され 、さらに、前記第２のフランジ開口部が前記流体圧力を圧力感知手段に伝えると 共に、フランジの外側周辺縁部がハウジング外縁と接触し、固定手段によって第 １の方向に作用される固定力に反作用するようにハウジング外縁を係合させ、該 凹部がハウジング外縁から圧力感知手段への固定力の伝送を減らすように作用す る、圧力源からの流体圧力を測定するための圧力トランスミッタ。
12. １２．圧力感知手段が静電容量セル圧力変換器で構成された前記請求の範囲第１ ないし第１１項いずれかのトランスミッタ。