RU2090850C1 - Датчик давления с выемкой для разгрузки от механических напряжений - Google Patents

Датчик давления с выемкой для разгрузки от механических напряжений Download PDF

Info

Publication number
RU2090850C1
RU2090850C1 RU9193051086A RU93051086A RU2090850C1 RU 2090850 C1 RU2090850 C1 RU 2090850C1 RU 9193051086 A RU9193051086 A RU 9193051086A RU 93051086 A RU93051086 A RU 93051086A RU 2090850 C1 RU2090850 C1 RU 2090850C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
housing
rim
outer rim
flange
sensor according
Prior art date
Application number
RU9193051086A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93051086A (ru
Inventor
Майк Дж. Дин
Ли Энн Маттисон
Терранс Ф. Краут
Original Assignee
Роузмаунт Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк. filed Critical Роузмаунт Инк.
Publication of RU93051086A publication Critical patent/RU93051086A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2090850C1 publication Critical patent/RU2090850C1/ru

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
    • G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Использование: относится к датчикам давления. Сущность изобретения: корпус 14 датчика давления имеет канавку или проточку 20. Канавка или проточка 20 обуславливает уменьшение жесткости при изгибе в непосредственной близости от внешнего обода 24 корпуса. Внешний обод 24 корпуса способен отгибаться относительно места зажима со стороны фланца 16. В результате снижаются осевые и радиальные составляющие усилия зажима. Эти усилия передаются с внешнего обода 24 корпуса на преобразователь 12 и могут вызвать его деформацию. Выполнение канавки или проточки 20 снижают эти усилия, снижая таким образом погрешность измерений. 2 с.п. 10 з.п. ф-лы, 7 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к датчикам давления, имеющим корпус, выполненный с возможностью снижения осевых и радиальных усилий зажима, передающихся с этого корпуса на заключенный в нем измерительный преобразователь давления. Усилия зажима создаются фланцами, сжимающими корпус, и могут быть неравномерными и гистерезисными из-за неодинакового теплового расширения фланцев, болтов и корпуса.
Необходимость снижения усилия зажима, деформирующих размещенный в корпусе датчика измерительный преобразователь давления, породила различные усовершенствования конструкции корпуса датчика и способов подвода давления жидкости к измерительному преобразователю. Фланцы, подводящие давление жидкости к преобразователю с сохранением герметичности, обычно создают на корпусе датчика значительные по величине усилия зажима, которые также называют предварительным натягом и которые могут существенно деформировать преобразователь и вызвать ошибки в измерениях.
Большие усилия зажима обычно создаются болтами, стягивающими через фланцы корпус датчика. Эти болты обычно затягивают так, чтобы создаваемое усилие зажима превышало 3000 фунтов (1360 кг), для создания между фланцем и корпусом датчика предварительного натяга, обеспечивающего герметичное примыкание фланца к изолирующей диафрагме при подводе большого давления текучей среды.
Корпус датчика, фланцы и болты обычно бывают выполнены из разных материалов с разными коэффициентами теплового расширения, что приводит к возникновению переменных и неравномерно распределенных осевых и радиальных составляющих усилия зажима из-за неодинакового расширения и сжатия фланцев, корпуса и болтов в некотором диапазоне температур.
Кроме того, наличие взаимного скользящего перемещения между смежными поверхностями фланца и корпуса может привести к появлению радиальных составляющих усилия зажима под действием сил трения. Эти радиальные составляющие имеют гистерезисный характер изменения с температурой вследствие взаимного скользящего перемещения между фланцем и корпусом.
Таким образом, корпус датчика давления должен по возможности обеспечивать разгрузку заключенного в нем измерительного преобразователя от передающихся с него значительных по величине и неравномерно распределенных осевых и радиальных усилий зажима. Кроме того, корпус датчика должен обеспечивать снижение гистерезисных радиальных усилий зажима, возникающих вследствие трения смежных поверхностей корпуса и фланца из-за разного изменения размеров фланца, корпуса и болтов с изменением температуры.
Предметом настоящего изобретения является создание средств снижения жесткости при изгибе, размещенных между внешним и внутренним ободами корпуса датчика, благодаря которым внешний обод получает возможность изгибаться относительно указанных средств, что уменьшает передачу гистерезисных радиальных и осевых усилий зажима с фланца на внешний обод и через него на измерительный преобразователь, размещенный в корпусе.
Согласно настоящему изобретению, датчик давления для измерения давления текучей среды имеет корпус с внешним ободом, окружающим внутренний обод корпуса, ограничивающий отверстие в корпусе. Размещенный в корпусе измерительный преобразователь давления содержит чувствительный элемент, установленный в отверстии корпуса, и формирует выходной сигнал. Фланцевые средства, предназначенные для подвода давления текучей среды к измерительному преобразователю, содержат внешний обод, примыкающий к соответствующему внешнему ободу корпуса, а также внутренний обод, обращенный к соответствующему внутреннему ободу корпуса с образованием зазора между ними. Фланцевые средства имеют канал для подвода давления текучей среды от первого отверстия, выполненного во фланцевых средствах, ко второму отверстию в них, ограниченному их внутренним ободом и подводящему давление жидкости к измерительному преобразователю. В указанном зазоре между внутренними ободами фланцевых средств и корпуса расположены средства уплотнения. Имеются также средства крепления внешнего обода фланцевых средств к внешнему ободу корпуса так, что на внешний обод корпуса действует крепежное усилие со стороны внешнего обода фланцевых средств, а на внутренний обод корпуса через средства уплотнения действует уплотняющее усилие со стороны внутреннего обода фланцевых средств. В корпусе между внешним и внутренним ободами имеются средства снижения жестокости при изгибе, выполненные в виде, по меньшей мере, одной выемки, предназначенной для снижения крепежного усилия, передающегося с внешнего обода корпуса на измерительный преобразователь.
Один из вариантов выполнения изобретения предусматривает возможность изгиба внешнего обода корпуса относительно зоны с пониженной изгибной жестокостью, с тем чтобы уменьшить деформацию измерительного преобразователя. Другой вариант осуществления изобретения предусматривает выполнение средств снижения жесткости при изгибе в виде канавки или проточки, непосредственно примыкающей к внешнему ободу корпуса.
Настоящее изобретение применимо для различных типов датчиков давления: дифференциальных, абсолютных и образцовых и снижает деформацию измерительных преобразователей этих датчиков. Возможно применение различных типов измерительных преобразователей давления, таких как тензометрические, оптические, а также преобразователей, имеющих емкостные ячейки с проводящими пластинами.
На фиг.1А 1С изображены поперечные разрезы частей датчиков давления, выполненных согласно настоящему изобретению;
на фиг.2 показан разрез части датчика давления в разобранном виде;
на фиг.3 показан разрез части датчика по фиг.2 в сборе;
на фиг.4 изображена в аксонометрии часть датчика, показанного на фиг.2;
на фиг. 5 изображен разрез датчика в разобранном виде согласно другому варианту выполнения изобретения;
на фиг.6 изображен увеличенный разрез части датчика, показанного на фиг. 5;
на фиг. 7 изображена в аксонометрии часть датчика согласно второму варианту выполнения изобретения.
На фиг.1А, 1В и 1С показано несколько вариантов выполнения части датчика давления 10, содержащего измерительный преобразователь 12, размещенный в корпусе 14 датчика. Преобразователь 12 преобразует давление текучей среды, действующее со стороны фланца 16 в аналоговый электрический выходной сигнал, о чем будет подробнее сказано ниже. Круговая выемка 20 в виде канавки или проточки располагается в корпусе 14 и разделяет зону изгиба и внешний обод 22. Болт 26 прижимает фланец 16 к внешнему ободу 24, обеспечивая предварительный натяг и создавая большое усилие зажима F1 между фланцем 16 и внешним ободом 24. Фланец 16 и корпус 24 с изменением температуры подвергаются неодинаковому расширению или сжатию, поскольку выполнены из материалов, обладающих различными коэффициентами теплового расширения. Это неодинаковое расширение или сжатие приводит к возникновению осевых и радиальных составляющих усилия зажима F1, которые изменяются с изменением температуры и неравномерно распределяются по корпусу 14. Это неодинаковое расширение или сжатие также создает гистерезисную радиальную составляющую усилия зажима F1 вследствие трения смежных поверхностей фланца 16 и корпуса 14, о чем подробнее сказано ниже. Внешний обод 24 способен отгибаться наружу относительно зоны 22 изгиба, благодаря чему уменьшаются как осевые, так и радиальные составляющие усилия зажима F1, передающиеся с внешнего обода 24 на преобразователь 12, так что выходной сигнал преобразователя более точно отражает истинный перепад давлений.
На фиг.2 изображена часть дифференциального датчика 10 давления, содержащего измерительный преобразователь 12, выполненный согласно патенту США N 3618390 и размещенный в корпусе 14. Преобразователь 12 преобразует перепад давления текучей среды, подаваемого от фланцев 16 и 28 соответственно к гибким изолирующим диафрагмам 18 и 30, в электрический выходной сигнал, отражающий этот перепад давления. В корпусе 14 датчика помещается схема на печатной плате 32, передающая электрический выходной сигнал преобразователя 12 на внутреннюю схему преобразователя (не показана), изолированную от потенциально взрывоопасной среды и формирующую выходной сигнал, отражающий перепад давления P1-P2, например, в виде постоянного тока 4-20 мА, цифрового сигнала или напряжения 1-5 В постоянного тока.
Преобразователь 12 размещен в отверстии 34, выполненном в корпусе 14 датчика. Внутренние ободы 36 и 38 корпуса схватывают кольца 40 и 42, имеющие соответственно выемки 44 и 46. Кольцо 40 приварено к корпусу 14 датчика в зоне 48, ограниченной отверстием 34. Кольцо 42 приварено к крышке 50 в зоне 52. Крышка 50, в свою очередь, приварена к внутреннему ободу 54 в зоне 56.
Фланцы 16 и 28 обеспечивают подвод давлений P1 и P2 текучей среды через каналы (не показаны), проходящие от отверстий 62 и 64 соответственно до отверстий 66 и 68. Внутренние ободы 70 и 72, ограничивающие соответственно отверстия 66 и 68, обращены соответственно к выемкам 44 и 46 с образованием между ними соответствующих зазоров. Уплотняющие кольца 74 и 76 соответственно размещены в этих зазорах для обеспечения герметичного подвода давлений P1 и P2 соответственно от отверстий 66 и 68 к изолирующим диафрагмам 18 и 30. Уплотняющие кольца 74 и 76 могут быть, например, круглого сечения и обычно выполняются из эластичного материала с существенно более низким модулем упругости, чем у внешних ободов 24 и 78, о чем подробнее сказано ниже.
По периферии фланцев 16 и 28 расположены четыре крепежных болта, таких как болты 26 и 80, с четырьмя гайками, такими как 82 и 84, для прижатия уступов 86 и 88, выполненных соответственно во внешних ободах 90 и 92 фланцев, к соответствующим внешним ободам 24 и 78, обеспечивая значительное по величине усилие зажима F1. Крепежные болты 26 и 80 с гайками 82 и 84 обычно затягивают так, чтобы получить усилие зажима или предварительный натяг не менее 3000 фунтов (1360 кг) и обеспечить крепление фланцев 16 и 28 к корпусу датчика при большом перепаде давления в отверстиях 62 и 64. Внутренние ободы 70 и 72 фланцев сжимают уплотнительные кольца 74 и 76, создавая усилие уплотнения F2. Вследствие эластичности уплотняющих колец 74 и 76 усилие уплотнения F2 существенно меньше по величине и легче поддается оценке, чем усилие зажима F1, так что его влияние на измерения давления можно устранить путем калибровки.
Круговые канавки 20 и 94 в корпусе 14 ограничивают соответственно зоны изгиба 22 и 96, охватывающие соответственно внутренние ободы 36 и 38, находящиеся в непосредственной близости соответственно к тонкостенным внешним ободам 24 и 78. Обычно внешние ободы 24 и 78 выходят за границы плоскостей, проходящих через торцы внутренних ободов, соответственно 36 и 38. Площади поперечного сечения зон изгиба 22 и 96 уменьшены соответственно по сравнению с внешними ободами 24 и 78. Канавки 20 и 94 достаточно глубоки для того, чтобы внешние ободы 24 и 78 могли отгибаться соответственно относительно зон изгиба 22 и 96, существенным образом разгружая внутренние ободы 36 и 38, а с ними и чувствительные части преобразователя 12, включая изолирующие диафрагмы 18 и 30, от механических усилий, передающихся с внешних ободов 24 и 78. Для того чтобы усилить эффект разгрузки, возможно использование множества концентрических канавок или ряда канавок, расположенных вплотную друг к другу и охватывающих изолирующие диафрагмы.
Таким образом, ни преобразователь 12, ни внутренние ободы 36 и 38 корпуса, примыкающие соответственно к кольцам 18 и 30, не испытывают существенных деформаций от усилия зажима F1. Погрешности измерений давления преобразователем 12, обусловленные влиянием усилия зажима F1, существенно снижаются, и выходной сигнал преобразователя более точно отражает истинное значение перепада P1 P2 давления жидкости. Следовательно, суженные зоны изгиба 22 и 96 и внешние ободы 24 и 78 существенным образом разгружают преобразователь 12 от усилия зажима F1.
Корпус датчика 14, фланцы 16 и 28 и болты 26 и 80 обычно бывают выполнены из разных материалов, обладающих неодинаковыми коэффициентами теплового расширения. Из-за этой разницы коэффициентов теплового расширения стягивающие усилия от четырех болтов, таких как 26 и 80, изменяются с изменение температуры фланцев 16 и 28, корпуса 14 и болтов 26 и 80. Переменные стягивающие усилия вызывают изменение и неравномерное распределение усилия зажима F1, воздействующего на внешние ободы 24 и 78. Кроме того, фланцы 16 и 28 и корпус 14, обладая различными коэффициентами теплового расширения, вызывают появление радиальной составляющей усилия зажима F1 при изменении своих размеров с изменением температуры. Изменение этого радиального усилия обычно носит гистерезисный характер вследствие трения при взаимном скользящем перемещении сопряженных поверхностей фланцев 16 и 28 и корпуса 14.
Деформация преобразователя 12, вызванная значительным по величине неравномерным и имеющим гистерезис усилием зажима, включающим как осевые, так и радиальные составляющие, существенно уменьшается благодаря выполнению внешних ободов 24 и 78 с возможностью изгиба относительно зон изгиба 22 и 96, как описано выше. Уплотняющее усилие F2, хотя и может несколько изменяться с изменением температуры, невелико и не оказывает серьезного влияния на результаты измерений, осуществляемых с помощью преобразователя 12. Таким образом, погрешность измерений давления, осуществляемых преобразователем 12, проистекающая из неодинакового теплового расширения фланцев 16 и 28, корпуса 14 и болтов 26 и 80, существенно снижается.
На фиг.3 изображен разрез датчика давления в сборе согласно первому варианту его выполнения. Как было описано выше, фланцы 16 и 28 сжимают и изгибают внешние ободы 24 и 78 в направлении от преобразователя 12. Изгиб внешних ободов 24 и 78 показан для наглядности с преувеличением. Как видно из чертежа, преобразователь 12 оказывается в значительной степени разгруженным от больших осевых, а также гистерезисных радиальных составляющих усилие зажима F1, подверженных изменениям под влиянием изменения температуры. Это существенно повышает точность измерений.
На фиг.4 часть дифференциального датчика давления 10 изображена в аксонометрической проекции. Корпус 14 датчика, обычно цилиндрической формы, имеет расположенные концентрично ему внешний обод 24, канавку 20, зону изгиба 22, внутренний обод 36, выемку 44 и изолирующую диафрагму 18.
На фиг. 5 показан второй вариант выполнения дифференциального датчика 100 давления. Измерительный преобразователь 102 расположен в корпусе 104 датчика и воспринимает перепад давления P1 P2 посредством гибких изолирующих диафрагм 106 и 108, аналогично преобразователю 12, выполненному согласно первому варианту. Электронная схема 110 датчика, герметически изолированная от потенциально взрывоопасной атмосферы и соединенная с преобразователем 102, вырабатывает выходной сигнал датчика, отражающий перепад давлений P1 P2, воспринимаемый преобразователем 102. Изолирующие диафрагмы 106 и 108 преобразователя 102 герметично закрывают отверстия 112 и 114, ограниченные внутренними ободами 116 и 117, и лежат, по существу, в одной плоскости. Каналы 118 и 120 подводят давления соответственно P1 и P2 к измерительному преобразователю.
Фланец 122 служит для подвода давления текучей среды P1 и P2 соответственно через каналы 124 и 126 от отверстий 128 и 130 к отверстиям 132 и 134 и далее к изолирующим диафрагмам 106 и 108. Четыре крепежных болта, таких как болты 136 и 138, размещены по периферии фланца 122 и прижимают внешний обод 140 фланца к соответствующему внешнему ободу 142 корпуса. Эластичные уплотнительные кольца 144 и 146, которые могут быть выполнены из пластика, например из политетрафторэтилена, размещены в зазорах между внутренними ободами 148 и 149 фланцев и соответственно приварными кольцами 150 и 151 (как в патенте США N 4792089), размещенными соответственно в выемках 152 и 154, ограничивающих изолирующие диафрагмы 106 и 108. Внутренние ободы 148 и 149 также обеспечивают усилие уплотнения F2, сжимая уплотнительные кольца 144 и 146 и герметично соединяя отверстия 132 и 134 соответственно с отверстиями 112 и 114.
Отдельные канавки 156 и 158, выполненные в корпусе 104, образуют зоны изгиба 160 и 162, расположенные между внешним ободом 142 корпуса и внутренними ободами 116 и 117 с примыкающими к ним изолирующими диафрагмами 106 и 108. Канавки 156 и 158 могут и пересекаться, образуя одну непрерывную канавку, охватывающую оба внутренних обода 116 и 117. Кроме того, для увеличения возможностей изгиба можно использовать ряд параллельных канавок. Канавки 156 и 158 достаточно глубоки для того, чтобы внешний обод 142 под действием усилия зажима F1 отгибался относительно зон изгиба 160 и 162. Как и в варианте, показанном на фиг. 1, значительные по величине и неравномерно распределенные осевые и радиальные составляющие усилия зажима F1, передающиеся с внешнего обода 142 на внутренние ободы 116 и 117 и примыкающие к ним изолирующие диафрагмы 106 и 108, существенно снижаются, так что деформация этих диафрагм существенно уменьшается.
Корпус 104 и фланец 122 могут быть выполнены из различных материалов, имеющих неодинаковые коэффициенты теплового расширения. С изменением температуры происходит неравномерное расширение или сжатие корпуса 104 и фланца 122 и, вследствие этого, скользящее перемещение фланца относительно корпуса. Вследствие трения смежных поверхностей фланца 122 и корпуса 104 это скользящее перемещение носит гистерезисный характер, вызывая появление радиальной составляющей усилия зажима F1, действующей со стороны внешнего обода 142 корпуса 104. Благодаря тому, что внешний обод 142 выполнен с возможностью изгиба относительно зон изгиба 160 и 162, это радиальное гистерезисное усилие существенно снижается, тем самым существенно снижая деформацию изолирующих диафрагм 106 и 108, как и в первом варианте выполнения изобретения.
Уплотняющее усилие F2 может быть значительным по величине, в особенности если уплотняющие кольца 144 и 146 выполнены из политетрафторэтилена. Это вызывает некоторую деформацию изолирующих диафрагм 106 и 108. Однако благодаря тому что площади поверхностей внутренних ободов 116 и 117 и уплотняющих колец 144 и 146 существенно меньше площади поверхности внешнего обода 142, а также благодаря смазывающему эффекту политетрафторэтилена, обуславливающему небольшую величину радиальной составляющей уплотняющего усилия F2, которая вызвана скользящим перемещением фланца 122 относительно уплотняющих колец 144 и 146 и внутренних ободов 116 и 117, погрешность измерений, являющаяся результатом указанной деформации, может быть устранена путем калибровки.
На фиг. 6 изображена в разрезе с увеличением зона 164 датчика, показанная на фиг. 5.
На фиг.7 в аксонометрической проекции изображен датчик давления 100. Канавки 156 и 158 выполнены между внешним ободом 142 и внутренним ободами 116 и 117, охватывающим соответственно изолирующие диафрагмы 106 и 108. Канавки 156 и 158 имеют достаточную глубину для того, чтобы внешний обод 142 мог изгибаться в сторону относительно зон изгиба (не показаны), существенно снижая деформации внутренних ободов 116 и 117 и изолирующих диафрагм 106 и 108, обуславливаемые наличием значительных по величине неравномерных осевых и радиальных гистерезисных составляющих усилия зажима F1, действующего на внешний обод 142 со стороны фланца 122. Оптимальная глубина канавок 156 и 158 находится в пределах от половины до четверти расстояния А, обозначенного на чертеже, причем эти канавки должны охватывать изолирующие диафрагмы 106 и 108 по возможности более полно.
Настоящее изобретение описано со ссылками на конкретные примеры его выполнения, однако очевидно, что возможны и другие варианты выполнения изобретения.

Claims (12)

1. Датчик давления текучей среды, содержащий корпус с внешним ободом, охватывающий внутренний обод, ограничивающий отверстие корпуса, размещенный в корпусе измерительный преобразователь давления, нормирующий выходной сигнал и сообщающийся с отверстием в корпусе, фланцевые средства подвода давления к измерительному преобразователю, имеющие внешний обод, примыкающий к соответствующему внешнему ободу корпуса, и внутренний обод, примыкающий к соответствующему внутреннему ободу корпуса с образованием зазора между ними, канал во фланцевых средствах, подводящий давление жидкости от первого отверстия, образованного во фланцевых средствах, к второму отверстию в них, ограниченному их внутренним ободом, через которое давление подается к измерительному преобразователю, расположенные в указанном зазоре средства уплотнения соединения внутреннего обода корпуса с внутренним ободом фланцевых средств, средства крепления внешнего обода фланцевых средств к внешнему ободу корпуса так, что на внешний обод корпуса действует крепежное усилие со стороны внешнего обода фланцевых средств, а на внутренний обод корпуса через средства уплотнения действует уплотняющее усилие со стороны внутреннего обода фланцевых средств, отличающийся тем, что он снабжен средствами снижения жесткости при изгибе, выполненными в виде по меньшей мере одной выемки в корпусе датчика между внутренним и внешним ободами корпуса для уменьшения передачи крепежного усилия с внешнего обода корпуса на измерительный преобразователь.
2. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что указанная выемка имеет глубину, достаточно большую для возможности отгибания внешнего обода корпуса относительно средств снижения жесткости при изгибе.
3. Датчик по п. 1 или 2, отличающийся тем, что указанная выемка выполнена непосредственно примыкающей к внешнему ободу корпуса.
4. Датчик по пп. 1 3, отличающийся тем, что в нем выемка выполнена в виде по меньшей мере одной канавки, охватывающей внутренний обод корпуса.
5. Датчик по п. 4, отличающийся тем, что в нем указанная канавка имеет V-образную форму поперечного сечения.
6. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что в нем средства уплотнения выполнены эластичными.
7. Датчик по п. 1, отличающийся тем, что в нем внешний обод фланцевых средств охватывает выполненное в них углубление, в которое входит внешний обод корпуса.
8. Датчик по пп. 1 7, отличающийся тем, что в нем измерительный преобразователь выполнен с емкостным чувствительным элементом.
9. Датчик давления текучей среды между первым и вторым источниками давления, создающими первое и второе давления, содержащий корпус с внешним ободом, охватывающим первый и второй внутренние ободы корпуса, ограничивающие соответственно первое и второе отверстия корпуса, первую и вторую изолирующие диафрагмы, плотно перекрывающие первое и второе отверстия в корпусе, размещенный в корпусе измерительный преобразователь давления, формирующий выходной сигнал и соединенный с первой и второй изолирующими диафрагмами, фланцевые средства подвода первого и второго давлений соответственно к первой и второй изолирующим диафрагмам, выполненные с внешним ободом, примыкающим к соответствующему внешнему ободу корпуса, первым и вторым внутренними ободами, примыкающими к соответствующим первому и второму внутренним ободам корпуса с образованием соответственно первого и второго зазоров между ними, первым и вторым каналами, подводящими первое и второе давления от первого и второго отверстий, выполненных во фланцевых средствах, соответственно к третьему и четвертому отверстиям во фланцевых средствах, подводящим первое и второе давления соответственно к первой и второй изолирующим диафрагмам, расположенные соответственно в первом и втором зазорах средства уплотнения соединений первого и второго внутренних ободов корпуса соответственно с первым и вторым внутренними ободами фланцевых средств, средства крепления внешнего обода фланцевых средств к внешнему ободу корпуса с образованием воздействия на внешний обод корпуса крепежного усилия со стороны внешнего обода фланцевых средств, а на первый и второй внутренние ободы корпуса через средства уплотнения воздействия соответственно первого и второго уплотняющих усилий со стороны соответственно первого и второго внутренних ободов фланцевых средств, отличающийся тем, что в нем выполнены средства снижения жесткости при изгибе, выполненные в виде по меньшей мере одной выемки в корпусе между первым в нем отверстием и внешним ободом корпуса для уменьшения передачи крепежного усилия с внешнего обода корпуса на первую изолирующую диафрагму.
10. Датчик по п. 9, отличающийся тем, что в нем средства снижения жесткости при изгибе включают дополнительно по меньшей мере одну выемку в корпусе, охватывающую как первую, так и вторую изолирующие диафрагмы.
11. Датчик по п. 9, отличающийся тем, что в нем площадь поверхности внешнего обода корпуса превышает площадь поверхности первого внутреннего обода корпуса.
12. Датчик по пп. 9 и 10, отличающийся тем, что в нем измерительный преобразователь выполнен с емкостным чувствительным элементом.
RU9193051086A 1990-12-06 1991-11-20 Датчик давления с выемкой для разгрузки от механических напряжений RU2090850C1 (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US624,339 1990-12-06
US624.339 1990-12-06
US07/624,339 US5094109A (en) 1990-12-06 1990-12-06 Pressure transmitter with stress isolation depression
PCT/US1991/008697 WO1992010731A1 (en) 1990-12-06 1991-11-20 Pressure transmitter with stress isolation depression

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93051086A RU93051086A (ru) 1996-05-20
RU2090850C1 true RU2090850C1 (ru) 1997-09-20

Family

ID=24501610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU9193051086A RU2090850C1 (ru) 1990-12-06 1991-11-20 Датчик давления с выемкой для разгрузки от механических напряжений

Country Status (17)

Country Link
US (1) US5094109A (ru)
EP (1) EP0560875B1 (ru)
JP (1) JP3133759B2 (ru)
KR (1) KR100210314B1 (ru)
CN (1) CN1065959C (ru)
AU (1) AU658592B2 (ru)
CA (1) CA2094924A1 (ru)
CZ (1) CZ281734B6 (ru)
DE (1) DE69116894T2 (ru)
FI (1) FI102494B (ru)
HU (1) HU217011B (ru)
MX (1) MX9102237A (ru)
MY (1) MY110245A (ru)
PL (1) PL168589B1 (ru)
RU (1) RU2090850C1 (ru)
WO (1) WO1992010731A1 (ru)
ZA (1) ZA919287B (ru)

Families Citing this family (124)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5248167A (en) * 1991-09-12 1993-09-28 Rosemount Inc. Interchangeable process connection resistant to installation errors
JPH05296867A (ja) * 1992-04-23 1993-11-12 Hitachi Ltd 差圧伝送器
US5349491A (en) * 1992-11-06 1994-09-20 Kavlico Corporation Pre-stressed pressure transducer and method of forming same
EP0695418B1 (en) * 1993-04-23 1998-12-30 Rosemount Inc. Pressure isolator assembly for sanitary processing
US5483834A (en) * 1993-09-20 1996-01-16 Rosemount Inc. Suspended diaphragm pressure sensor
US5424650A (en) * 1993-09-24 1995-06-13 Rosemont Inc. Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance
CA2169824A1 (en) * 1993-09-24 1995-03-30 Roger L. Frick Pressure transmitter isolation diaphragm
US5583294A (en) * 1994-08-22 1996-12-10 The Foxboro Company Differential pressure transmitter having an integral flame arresting body and overrange diaphragm
US5731522A (en) * 1997-03-14 1998-03-24 Rosemount Inc. Transmitter with isolation assembly for pressure sensor
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5637802A (en) 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
US5824909A (en) * 1995-08-04 1998-10-20 Ifm Electronic Gmbh Pressure measuring sensor and apparatus having a seal between a housing and a pressure measuring cell
US8290721B2 (en) * 1996-03-28 2012-10-16 Rosemount Inc. Flow measurement diagnostics
US5668322A (en) * 1996-06-13 1997-09-16 Rosemount Inc. Apparatus for coupling a transmitter to process fluid having a sensor extension selectively positionable at a plurality of angles
US5955675A (en) * 1996-09-30 1999-09-21 Rosemount Inc. Self energizing process seal for process control transmitter
EP0849577B1 (de) * 1996-12-18 2000-06-21 WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. Membran für einen Druckmittler
US6059254A (en) * 1997-03-27 2000-05-09 Rosemount Inc. Process instrument mount
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
US5922965A (en) * 1998-04-28 1999-07-13 Rosemount Inc. Pressure sensor and transmitter having a weld ring with a rolling hinge point
DE19914671A1 (de) * 1999-03-31 2000-11-02 Martin Hess Drucktransmitterinstallation an einer Prozeßleitung einer Prozeßanlage und vormontierter Installationsblock
US6508131B2 (en) 1999-05-14 2003-01-21 Rosemount Inc. Process sensor module having a single ungrounded input/output conductor
US6295875B1 (en) 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6487912B1 (en) 1999-09-28 2002-12-03 Rosemount Inc. Preinstallation of a pressure sensor module
US6571132B1 (en) 1999-09-28 2003-05-27 Rosemount Inc. Component type adaptation in a transducer assembly
WO2001024594A2 (en) 1999-09-28 2001-04-05 Rosemount Inc. Environmentally sealed instrument loop adapter
US7134354B2 (en) * 1999-09-28 2006-11-14 Rosemount Inc. Display for process transmitter
US6510740B1 (en) 1999-09-28 2003-01-28 Rosemount Inc. Thermal management in a pressure transmitter
US6484107B1 (en) 1999-09-28 2002-11-19 Rosemount Inc. Selectable on-off logic modes for a sensor module
US6765968B1 (en) 1999-09-28 2004-07-20 Rosemount Inc. Process transmitter with local databus
US6354024B1 (en) 1999-11-29 2002-03-12 The Louis Berkman Company Snowplow mount
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
US6508129B1 (en) 2000-01-06 2003-01-21 Rosemount Inc. Pressure sensor capsule with improved isolation
WO2001050106A1 (en) 2000-01-06 2001-07-12 Rosemount Inc. Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (mems)
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6546805B2 (en) 2000-03-07 2003-04-15 Rosemount Inc. Process fluid transmitter with an environmentally sealed service block
US6662662B1 (en) 2000-05-04 2003-12-16 Rosemount, Inc. Pressure transmitter with improved isolator system
US6504489B1 (en) 2000-05-15 2003-01-07 Rosemount Inc. Process control transmitter having an externally accessible DC circuit common
US6480131B1 (en) 2000-08-10 2002-11-12 Rosemount Inc. Multiple die industrial process control transmitter
DE10064871A1 (de) * 2000-12-27 2002-07-04 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmessgerät
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
US6684711B2 (en) 2001-08-23 2004-02-03 Rosemount Inc. Three-phase excitation circuit for compensated capacitor industrial process control transmitters
US6675655B2 (en) 2002-03-21 2004-01-13 Rosemount Inc. Pressure transmitter with process coupling
US6839546B2 (en) 2002-04-22 2005-01-04 Rosemount Inc. Process transmitter with wireless communication link
US6848316B2 (en) * 2002-05-08 2005-02-01 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
US7109883B2 (en) * 2002-09-06 2006-09-19 Rosemount Inc. Low power physical layer for a bus in an industrial transmitter
US7773715B2 (en) 2002-09-06 2010-08-10 Rosemount Inc. Two wire transmitter with isolated can output
DE10315630A1 (de) * 2003-04-04 2004-10-28 Wittenstein Ag Getriebe
DE10322017B8 (de) * 2003-05-16 2005-02-24 Sitronic Gesellschaft für elektrotechnische Ausrüstung mbH. & Co. KG Sensoreinheit
US7080558B2 (en) 2003-10-06 2006-07-25 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
US7523667B2 (en) 2003-12-23 2009-04-28 Rosemount Inc. Diagnostics of impulse piping in an industrial process
US7117745B2 (en) * 2004-02-09 2006-10-10 Rosemount Inc. Process seal for process control transmitter
RU2347921C2 (ru) * 2004-03-02 2009-02-27 Роузмаунт Инк. Технологическое устройство с усовершенствованным обеспечением электропитанием
US8538560B2 (en) * 2004-04-29 2013-09-17 Rosemount Inc. Wireless power and communication unit for process field devices
US8145180B2 (en) * 2004-05-21 2012-03-27 Rosemount Inc. Power generation for process devices
US7464721B2 (en) * 2004-06-14 2008-12-16 Rosemount Inc. Process equipment validation
US7036381B2 (en) * 2004-06-25 2006-05-02 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7373831B2 (en) * 2004-06-25 2008-05-20 Rosemount Inc. High temperature pressure transmitter assembly
US7258021B2 (en) * 2004-06-25 2007-08-21 Rosemount Inc. Process transmitter isolation assembly
US7262693B2 (en) * 2004-06-28 2007-08-28 Rosemount Inc. Process field device with radio frequency communication
US8160535B2 (en) * 2004-06-28 2012-04-17 Rosemount Inc. RF adapter for field device
EP1807687B1 (de) * 2004-07-07 2017-09-13 Robert Bosch Gmbh Kraftmesselement
US7680460B2 (en) * 2005-01-03 2010-03-16 Rosemount Inc. Wireless process field device diagnostics
US9184364B2 (en) * 2005-03-02 2015-11-10 Rosemount Inc. Pipeline thermoelectric generator assembly
US7401522B2 (en) * 2005-05-26 2008-07-22 Rosemount Inc. Pressure sensor using compressible sensor body
US7334484B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
EP1896910A1 (en) 2005-06-27 2008-03-12 Rosemount, Inc. Field device with dynamically adjustable power consumption radio frequency communication
JP2007097116A (ja) * 2005-08-29 2007-04-12 Sanyo Electric Co Ltd センサ
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US20070068225A1 (en) * 2005-09-29 2007-03-29 Brown Gregory C Leak detector for process valve
US7415886B2 (en) * 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
US7308830B2 (en) * 2006-01-26 2007-12-18 Rosemount Inc. Pressure sensor fault detection
US7525419B2 (en) * 2006-01-30 2009-04-28 Rosemount Inc. Transmitter with removable local operator interface
US7913566B2 (en) * 2006-05-23 2011-03-29 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing magnetic induction
US8788070B2 (en) 2006-09-26 2014-07-22 Rosemount Inc. Automatic field device service adviser
US8188359B2 (en) * 2006-09-28 2012-05-29 Rosemount Inc. Thermoelectric generator assembly for field process devices
ITMI20070191A1 (it) * 2007-02-05 2008-08-06 Abb Service Srl Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo.
US8898036B2 (en) * 2007-08-06 2014-11-25 Rosemount Inc. Process variable transmitter with acceleration sensor
US7484416B1 (en) 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor
US7497123B1 (en) 2007-12-18 2009-03-03 Rosemount Inc. Direct mount for pressure transmitter with thermal management
FR2926883B1 (fr) * 2008-01-24 2010-02-26 Tokheim Holding Bv Dispositif capteur de pression adapte a des atmospheres explosives ou corrosives
JP5297061B2 (ja) * 2008-03-25 2013-09-25 三菱重工業株式会社 フランジ接合構造
US8250924B2 (en) 2008-04-22 2012-08-28 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing piezoelectric transducer
CN102084307B (zh) * 2008-06-17 2014-10-29 罗斯蒙特公司 用于具有低压本质安全钳的现场设备的rf适配器
US8694060B2 (en) * 2008-06-17 2014-04-08 Rosemount Inc. Form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters
CA2726601C (en) 2008-06-17 2016-08-09 Rosemount Inc. Rf adapter for field device with variable voltage drop
CA2726534C (en) * 2008-06-17 2016-03-22 Rosemount Inc. Rf adapter for field device with loop current bypass
US8929948B2 (en) * 2008-06-17 2015-01-06 Rosemount Inc. Wireless communication adapter for field devices
US7977924B2 (en) * 2008-11-03 2011-07-12 Rosemount Inc. Industrial process power scavenging device and method of deriving process device power from an industrial process
US7870791B2 (en) * 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US8327713B2 (en) 2008-12-03 2012-12-11 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US8015882B2 (en) * 2009-06-04 2011-09-13 Rosemount Inc. Industrial process control pressure transmitter and flange coupling
US9674976B2 (en) * 2009-06-16 2017-06-06 Rosemount Inc. Wireless process communication adapter with improved encapsulation
US8626087B2 (en) * 2009-06-16 2014-01-07 Rosemount Inc. Wire harness for field devices used in a hazardous locations
US8334788B2 (en) * 2010-03-04 2012-12-18 Rosemount Inc. Process variable transmitter with display
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8704538B2 (en) * 2010-07-01 2014-04-22 Mks Instruments, Inc. Capacitance sensors
US8132464B2 (en) 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
US10761524B2 (en) 2010-08-12 2020-09-01 Rosemount Inc. Wireless adapter with process diagnostics
US9207670B2 (en) 2011-03-21 2015-12-08 Rosemount Inc. Degrading sensor detection implemented within a transmitter
EP2694937B1 (en) 2011-04-08 2018-06-06 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator assembly for process devices
US9310794B2 (en) 2011-10-27 2016-04-12 Rosemount Inc. Power supply for industrial process field device
US8776608B2 (en) * 2011-10-31 2014-07-15 Rosemount Inc. Coplanar process fluid pressure sensor module
JP2013185873A (ja) * 2012-03-06 2013-09-19 Azbil Corp 差圧センサ
US8752433B2 (en) 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
US9052240B2 (en) 2012-06-29 2015-06-09 Rosemount Inc. Industrial process temperature transmitter with sensor stress diagnostics
EP2703825B1 (en) * 2012-08-31 2020-01-22 Meggitt SA Force sensor and method for testing its reliability
US9602122B2 (en) 2012-09-28 2017-03-21 Rosemount Inc. Process variable measurement noise diagnostic
JP6058986B2 (ja) * 2012-11-29 2017-01-11 アズビル株式会社 差圧センサ
DE102012113042A1 (de) 2012-12-21 2014-06-26 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Hydraulisches Messwerk mit koplanaren Druckeingängen und Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk
DE102012025070A1 (de) * 2012-12-21 2014-06-26 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Hydraulisches Messwerk mit koplanaren Druckeingängen und Differenzdrucksensor mit einem solchen Messwerk
US9048901B2 (en) 2013-03-15 2015-06-02 Rosemount Inc. Wireless interface within transmitter
US9103739B2 (en) 2013-09-27 2015-08-11 Rosemount Inc. Seal for pressure transmitter for use in industrial process
US9423315B2 (en) * 2013-10-15 2016-08-23 Rosemount Aerospace Inc. Duplex pressure transducers
US10197465B2 (en) * 2017-01-12 2019-02-05 Honeywell International Inc. O-ring internal seal for pressure sensor
US11041773B2 (en) 2019-03-28 2021-06-22 Rosemount Inc. Sensor body cell of a pressure sensor
CN110514351A (zh) * 2019-08-29 2019-11-29 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面差压变送器
CN110514347A (zh) * 2019-08-29 2019-11-29 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面悬浮绝对压力传感器
US11243134B2 (en) 2019-09-30 2022-02-08 Rosemount Inc. Pressure sensing device isolation cavity seal monitoring
US11607589B1 (en) 2020-10-01 2023-03-21 Mark E. Van Denend Device for accurately measuring string bed stiffness in a racket
CN112161731B (zh) * 2020-10-29 2021-12-14 陕西中科启航科技有限公司 一种法兰螺栓拉力和工作载荷在线监测方法
DE102020132960A1 (de) 2020-12-10 2022-06-15 Endress+Hauser SE+Co. KG Differenzdruckmessaufnehmer mit Überlastschutz

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2999385A (en) * 1956-09-17 1961-09-12 Trans Sonics Inc Pressure sensing instrument
US3140613A (en) * 1960-07-26 1964-07-14 Hitachi Ltd Differential pressure transmitters
US4006640A (en) * 1976-02-06 1977-02-08 Honeywell Inc. Seal for process pressure to current transmitter
US4073191A (en) * 1976-12-02 1978-02-14 Yokogawa Electric Works, Ltd. Differential pressure transducer
US4168517A (en) * 1977-11-10 1979-09-18 Lee Shih Y Capacitive pressure transducer
JPS56102445U (ru) * 1980-01-07 1981-08-11
US4572204A (en) * 1984-03-21 1986-02-25 Hewlett-Packard Company Pressure dome with compliant chamber
US4800758A (en) * 1986-06-23 1989-01-31 Rosemount Inc. Pressure transducer with stress isolation for hard mounting
US4852466A (en) * 1987-05-15 1989-08-01 The Foxboro Company Floating diaphragm apparatus
US4905575A (en) * 1988-10-20 1990-03-06 Rosemount Inc. Solid state differential pressure sensor with overpressure stop and free edge construction

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент США N 3618390, кл. G 01 L 9/12, 1971. *

Also Published As

Publication number Publication date
MX9102237A (es) 1992-06-01
DE69116894D1 (de) 1996-03-14
JPH06503420A (ja) 1994-04-14
CA2094924A1 (en) 1992-06-07
AU9082091A (en) 1992-07-08
EP0560875B1 (en) 1996-01-31
PL168589B1 (pl) 1996-03-29
HUT68468A (en) 1995-06-28
CN1065959C (zh) 2001-05-16
MY110245A (en) 1998-03-31
DE69116894T2 (de) 1996-09-05
JP3133759B2 (ja) 2001-02-13
ZA919287B (en) 1992-08-26
FI932535A0 (fi) 1993-06-03
EP0560875A1 (en) 1993-09-22
CS367591A3 (en) 1992-08-12
HU217011B (hu) 1999-11-29
EP0560875A4 (en) 1993-12-15
FI932535A (fi) 1993-06-03
KR930703597A (ko) 1993-11-30
FI102494B1 (fi) 1998-12-15
CZ281734B6 (cs) 1997-01-15
HU9301655D0 (en) 1993-09-28
AU658592B2 (en) 1995-04-27
WO1992010731A1 (en) 1992-06-25
KR100210314B1 (ko) 1999-07-15
FI102494B (fi) 1998-12-15
US5094109A (en) 1992-03-10
CN1062208A (zh) 1992-06-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2090850C1 (ru) Датчик давления с выемкой для разгрузки от механических напряжений
US4942383A (en) Low cost wet-to-wet pressure sensor package
JP2774267B2 (ja) 圧力センサ
JP2696375B2 (ja) 隔離装置
US4358814A (en) Capacitive pressure sensor
EP0211519A2 (en) Capacitive differential pressure transducer
EP0427261B1 (en) Semiconductor pressure sensor connected to a support element
CA2359278A1 (en) Transducer having temperature compensation
CN1284163A (zh) 与介质相容的压力传感器外壳
US4264889A (en) Pressure transducer
JPH07294358A (ja) 圧力感知装置及びその製造方法
US4073191A (en) Differential pressure transducer
US5065129A (en) Pressure sensor and method for calibrating pressure sensors
US4770045A (en) Pressure sensor
JPS63289432A (ja) 圧力センサを組み立てる方法並びに圧力センサ
US4034610A (en) Differential pressure measuring device
US20020040604A1 (en) Pressure sensor
US3762208A (en) Differential pressure transducer
SK279595B6 (sk) Prenášač tlaku na meranie tlaku tekutín
US3324728A (en) Pressure transducer
JPS5855833A (ja) 差圧測定装置
JPS6042351Y2 (ja) 圧力計
JPH0723714Y2 (ja) 圧力センサ
JP3201058B2 (ja) 圧力センサ構造
TH9103B (th) ตัวส่งผ่านความดันอันประกอบร่วมอยู่ด้วยส่วนช่องลึกเพื่อการกันแยกความเค้น