JPH0647482B2 - フロートガラスの表面上に酸化錫被覆を付着させる方法及び装置 - Google Patents

フロートガラスの表面上に酸化錫被覆を付着させる方法及び装置

Info

Publication number
JPH0647482B2
JPH0647482B2 JP63176202A JP17620288A JPH0647482B2 JP H0647482 B2 JPH0647482 B2 JP H0647482B2 JP 63176202 A JP63176202 A JP 63176202A JP 17620288 A JP17620288 A JP 17620288A JP H0647482 B2 JPH0647482 B2 JP H0647482B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
glass
tin oxide
carrier gas
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP63176202A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0196044A (ja
Inventor
アラン ヘネリィ バーン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
PPG Industries Inc
Original Assignee
PPG Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by PPG Industries Inc filed Critical PPG Industries Inc
Publication of JPH0196044A publication Critical patent/JPH0196044A/ja
Publication of JPH0647482B2 publication Critical patent/JPH0647482B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23—Oxides
    • C03C17/245—Oxides by deposition from the vapour phase
    • C03C17/2453—Coating containing SnO2
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/407—Oxides of zinc, germanium, cadmium, indium, tin, thallium or bismuth

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、一般に赤外線反射性被覆ガラス製品の製造技
術に関し、特に、彩色光を示さない高透過性で低い放射
率（emissivity）をもつ赤外線反射性被覆ガラス製品に
関する。
本明細書で使用する「放射率」という用語は、放射によ
り熱を放出する表面の相対的能力を言い、ある表面によ
り発する放射エネルギーの、同じ温度における黒体によ
り発する放射エネルギーに対する比である。
酸化錫の如き透明赤外線反射性膜は、ガラスの如き基体
上に、加熱された表面に熱分解性化合物を適用すること
を含む種々の方法で付着させることができる。透明赤外
線反射性酸化錫膜を形成するのに有用な方法は、サウン
ダーズ（Saunders）その他による米国特許第3,107,177
号、ギラリー（Gillery）による米国特許第3,677,814号
及びワーグナー（Wagner）その他による米国特許第4,26
3,335号に教示されている。
酸化錫膜は約1000〜8000Åの厚さで、特に効果的な赤外
線反射性物体である。しかし、もし厚さが充分均一でな
いと、膜は一般に彩色光性（iridescence）と呼ばれて
いる、見る方向によって多様な干渉色が見える効果を示
す傾向がある。そのような干渉光効果は、殆どの建築用
途に対し、その被覆したガラスを美的に受入れられない
ものにする。彩色光性は薄い膜では観察されないが、そ
れらの膜では、赤外線反射性が不充分で実用にならな
い。同様に、厚いフイルムでは彩色光性は観察されない
が、それらのフイルムは曇ったようになる傾向があり、
比較的透過性が低く、均一に作るのがむずかしい。従っ
て、干渉光効果を遮る種々の方法が開発されてきた。
エドワーズ（Edwards）その他による米国特許第3,681,0
42号には、被覆材料を蒸発させ、その蒸気を熱いキャリ
ヤーガス流中に取り込み、そのガスで運ばれた被覆材料
を、被覆しようとする表面へ送り、然も、その表面を被
覆付着温度にしておくことにより、フロート法ガラスの
表面を被覆することが記載されている。
スチュワート（Stewart）による米国特許第3,710,074号
には、電気的に加熱された多層釉薬付窓ユニットで、封
入された表面上に導電性被覆を有し、ユニットの熱絶縁
性を改良し、伝導性膜の可視光の彩色光性を低下するた
め少なくと0.17の絶対的赤外線反射率を有する選択的反
射性膜を有する窓ユニットが記載されている。
ソプコ（Sopko）その他による米国特許第3,850,679号に
は、熱いガラス表面に、キャリヤー空気、気化した溶剤
及び気化した金属含有被覆反応物の混合物を、2500を越
えるレイノルズ数、及びノズルの特性形状値の少なくと
も1.25倍のノズル対ガラス間隔でノズルから適用するこ
とにより、熱いガラス表面上に金属酸化物被覆を付着さ
せることが記載されている。
ブロス（Bloss）その他による米国特許第3,852,098号に
は、ガラスを加熱し、そのガラスを反応性金属化合物の
蒸気で50〜100％飽和した、ガラスと接触させる直前の
温度にある、ガス状混合物と接触させることによりガラ
ス基体を金属含有膜で被覆することが記載されている。
そのとき、ガス状混合物はガラスによって金属化合物を
反応させるのに充分な温度へ加熱され、それによって膜
が付着する。
ゴールドン（Gordon）による米国特許第4,206,252号に
は、ガラスと被覆との間に連続的に変化する屈折率を有
する層を与えることにより、示される彩色光性が著しく
減少した赤外線反射性材料の第一被覆を有する透明ガラ
ス窓が記載されている。その発明は、そのような窓を製
造する方法にも関する。
ゴールドンによる米国特許第4,294,193号には、ガラス
と赤外線反射性被覆との間の層がガラスから被覆へ連続
的に増大する屈折率を有する、前述の被覆ガラスを製造
するための気相被覆装置が記載されている。その装置
は、一般にガス状反応物から次第に変化する組成物の被
覆を製造するのに適していると記載されている。
ワーグーナー（Wagner）による米国特許第4,325,988号
には、好ましくはジェットミルを用いて、被覆反応物の
塵状粒子からなる噴霧から基体表面に膜を形成する方法
及び装置が記載されている。
ヘネリー（Henery）による米国特許第4,344,986号に
は、キャリヤーガス流中に攪乱が起こされる、粉末被覆
反応物から被覆を付着させる方法が記載されている。
ゴールドンによる米国特許第4,377,613号には、観察さ
れる彩色光性を防ぐように光を反射し、屈折する非常に
薄い被覆系を、赤外線反射性被覆の下に配置することに
より、観察される彩色光性を減少させた、赤外線反射性
材料の被覆をもつガラスシートを有する透明窓構造体が
記載されている。
ソプコによる米国特許第4,401,695号には、キャリヤー
ガスが高体積速度及び低圧で供給される、粉末被覆反応
物のガス流から被覆を付着させる方法及び装置が記載さ
れている。
ラーキン（Larkin）による米国特許第4,144,362号に
は、微粒子の液体モノブチル三塩化錫を用いて、加熱さ
れたガラス物品上に酸化第二錫被覆を形成する方法が記
載されており、この場合、熱分解されていない反応物を
後で再使用するため回収する。
ゴールドンによる米国特許第4,187,366号、第4,206,252
号、及び第4,308,316号には、赤外線反射性材料の第一
被覆をもつガラスシートを有する透明ガラス窓構造体が
記載されており、この場合、第一被覆に起因して観察さ
れる彩色光性が、その観察される彩色光性を防ぐように
光を反射し、屈折する手段を形成する少なくとも二つの
界面を与える特定の屈折率及び厚さをもつ第二被覆によ
って減少されている。
〔本発明の要約〕
本発明は、フロート法ガラス表面上に、まだガラスが非
酸化性雰囲気中錫浴上に支持されている間に、比較的厚
く彩色光性を示さない赤外線反射性酸化錫膜を付着させ
る方法を与える。浴上でガラスを被覆することにより、
ガラス表面温度が高いため、与えられた被覆厚さで一層
低い抵抗、従って低い放射率をもつ酸化錫被覆が与えら
れる。
〔好ましい態様についての記述〕
第１図に関し、連続的フロート法ガラス帯の形態をした
ガラス基体、好ましくは透明ソーダ・石灰・シリカ ガ
ラスが、非酸化性雰囲気、好ましくは窒素中、フロート
浴中の溶融金属、好ましくは錫上に支持されながら水平
状態で被覆位置を通って運ばれて行く。
第２図に例示された被覆装置は、ガラス表面温度が好ま
しくは約621〜677℃（1150〜1250゜F）、最も好ましくは
約649〜677℃（1200〜1250゜F）の範囲にある点でガラス
帯の上に位置する。被覆装置は、キャリヤーガス、好ま
しくは空気、及び被覆反応体、好ましくはブチル三塩化
錫を含むガス流を熱いガラス表面と接触するように送
り、それによって被覆反応体が熱分解し、酸化錫膜を形
成する。
本発明の被覆装置は、被覆反応体導入端、及び被覆しよ
うとするガラス領域の幅と実質的に同じ長さの出口端を
もつ狭い室を有する。その室にはキャリヤーガスと被覆
反応体蒸気との混合物が供給される。室内部に気化用機
構を置くのに必要になる空間を節約するため、被覆反応
体は室に入る前に気化されるのが好ましい。室は、円筒
状の導入端から、被覆すべきガラス表面へ気化した被覆
反応体ガス混合物を向ける狭いスロット型出口端即ちノ
ズルまで、次第に狭くなっているのが好ましい。適当な
ノズルは、ソプコその他による米国特許第3,850,679
号、及びシムハン（Simhan）による米国特許第3,888,64
9号及び第3,942,469号に詳細に記載されている（それら
の記載は参考のためここに入れてある）。最も好ましい
態様として、ノズルの長手方向に沿って被覆反応体蒸気
を均一に分布させ易くするために、室とノズルとの間に
分配器を置く。好ましい分配器は、室の出口端の上に配
置された構造部材で、蒸気がノズルの方へ行くときに通
過する均等な間隔の複数の孔をもつ構造部材である。被
覆反応体蒸気とキャリヤーガスの個々のジェットは、そ
の混合物がノズルから出る前に、拡散されるのが好まし
い。拡散は、ノズルの出口端にある拡散器部材で、ヘネ
リーによる米国特許第4,344,986号の粉末被覆機（coate
r）に示されている緩衝器と形が似ている拡散器部材で
達成してもよい（その特許の記載は参考のためここに入
れてある）。本発明によりフロート浴中で低放射率被覆
を化学的蒸着させるために好ましい被覆反応体は、有機
金属化合物、好ましくは有機錫化合物である。外囲温度
で固体状態で存在する多くの有機金属化合物を、気化及
び化学的蒸着のための溶液として用いてもよい。
種々の脂肪族及びオレフィン系炭化水素及びハロカーボ
ンが、ここに記載した方法を行う際の溶剤として適切で
ある。単一成分溶剤系、特に塩化メチレンを用いた溶剤
系が、本発明で効果的に用いられる。二種類以上の溶剤
を用いた溶剤系も特に有用であることが判明している。
本発明を実施するのに用いることができる幾つかの代表
的な溶剤は、臭化メチレン、四塩化炭素、四臭化炭素、
クロロホルム、ブロモホルム、1,1,1-トリクロロエタ
ン、ペルクロロエチレン、1,1,1-トリクロロエタン、ジ
クロロヨードメタン、1,1,2-トリブロモエタン、トリク
ロロエチレン、トリブロモエチレン、トリクロロモノフ
ルオロエタン、ヘキサクロロエタン、1,1,1,2-テトラク
ロロ-2-フルオロエタン、1,1,2-トリクロロ-1,2-ジフル
オロエタン、テトラフルオロブロモエタン、ヘキサクロ
ロブタジエン、テトラクロロエタン等、及びそれらの混
合物である。他の溶剤、特に、一種類以上の有機極性溶
剤、例えば１〜４個の炭素原子及び一つのヒドロキシル
基を有するアルコールと、一種類以上の芳香族非極性化
合物、例えばベンゼン、トルエン、又はキシレンとの混
合物として用いてもよい。これらの材料は揮発性である
ため、それらの使用は上記好ましいハロゲン化炭化水素
及びハロカーボンを使用するよりも好ましくはないが、
それらは特に経済的な用途を有する。
反応性有機金属塩を有機溶剤に入れた溶液を気化室へ送
ってもよい。気化室は加熱用部材を与えるように構成さ
れており、その加熱用部材は、その部材自体に接触した
液体だけを蒸発するよりも、その部材の周りの空間を、
その空間内の被覆溶液を蒸発させるのに充分な温度へ加
熱する。キャリヤーガスは、被覆用組成物がそれと混合
するのを遮るように、加熱用部材を横切ってそれから離
れるように向け、蒸発速度を増大し、蒸気を加熱用部材
を通って被覆すべき基体へ運ぶ。溶剤及び有機金属被覆
反応体の蒸気を気化器から、図に示された被覆機へ送
る。
本発明による好ましい幾つかの有機金属化合物は外囲温
度で液体であり、溶剤を用いずに使用してもよい。特に
好ましい有機金属化合物は、無色液体のモノブチル三塩
化錫であり、221℃（420゜F）の大気圧沸点、154.4℃（3
10゜F）で0.1気圧の分圧、14.5kcalの気化熱、及び29.4
クラウジュウス／モルの気化エントロピーを特徴とす
る。モノブチル三塩化錫は、分解を避けるため約204℃
（400゜F）より低い、典型的には約196℃（385゜F）の温
度に好ましくは維持された熱キャリヤーガス、典型的に
は空気と接触させることにより気化させるのが好まし
い。適当な気化器はソプコによる米国特許第3,970,037
号及びヘネリーによる米国特許第4,297,971号に詳細に
記載されている（それらの記載は参考のためここに入れ
てある）。
本発明の好ましい態様として、加熱されたキャリヤーガ
スの全体積の一部を、熱油中に浸漬された管状コイルか
らなる気化器中でモノブチル三塩化錫と混合する。次に
キャリヤーガス中の被覆反応体蒸気の濃い飽和混合物
を、被覆反応体がガラス表面へ送られるノズルへ行く途
中で、室中で加熱された付加的キャリヤーガスで希釈す
る。モノブチル三塩化錫にフッ素含有化合物をドープ
し、それから形成された酸化錫膜の伝導度を増大するの
が好ましい。好ましいドープ剤は、好ましくは１〜10重
量％の範囲、最も好ましくは約５重量％のトリフルオロ
酢酸である。
付着した膜が、未反応又は未付着被覆反応体、又は反応
副生成物によって汚染される可能性を出来るだけ少なく
するため、本発明の被覆装置は一体化した排出機構を有
する。被覆場所から未反応被覆反応体、未付着反応生成
物、及び反応副生成物を除去するための排出手段を与え
るため、ノズルの実質的に全長に沿ってノズルに隣接し
た開口を減圧に維持し、新たに被覆した表面も、被覆す
るため近付いて来る表面も、汚染されないようにする。
本発明の化学的蒸着法は通常の境界層を通る被覆反応体
蒸気の拡散には依存しないので、ブロスその他による米
国特許第3,852,098号に記載されているような高い気化
エントロピーをもつ被覆反応体に限定されることはない
（その特許の記載は参考のためここに入れてある）。
本発明による好ましい酸化錫赤外線反射性膜は、約40Ω
／スクエアーより低く、好ましくは25Ω／スクエアー以
下の固有抵抗、及び低い放射率、好ましくは0.2より低
い放射率を有する。膜の厚さは、膜の厚さの関数として
光（luminous）反射率をプロットした光反射率曲線の最
小値に相当するように選択される。本発明によるフロー
ト法ガラスの上に浴中で付着される酸化錫膜の好ましい
厚さは、2500〜3500Åの範囲、最も好ましくは3200Åで
ある。この厚さの酸化錫膜は、第４図に示す如く三次
（third order）青色干渉色を示し、本発明に従って製
造されたとき0.15位の低い放射率を示す。
フロート法浴中で酸化錫被覆を付着させる利点は、膜が
示す抵抗が低く、放射率が低いのみならず、ガラスと浴
中の溶融錫との接触により与えられる基体の温度の均一
性によりもたらされる被覆の均一性の改良、及び更にガ
ラスを加熱することなく得られる一層高い基体被覆温度
によりもたらされる反射歪みの減少がある。
第３図に関し、再循環ポンプ装置(10)中の被覆反応体は
約177℃（350゜F）へ予熱される。キャリヤー空気も、空
気加熱機(20)で約177℃（350゜F）へ予熱される。キャリ
ヤー空気は、4.8mm(3/16in）スロット幅で、スロットの
長さ76.2cm(30in)当たり20標準ft3／分で供給される。
キャリヤー空気速度は、約290〜351m（約950-1150ft）
／分であるのが好ましい。キャリヤー空気は、供給器(3
0)から被覆反応体を空気が本質的に飽和するまで取り込
む。キャリヤー空気・被覆反応体蒸気混合物は、同じく
約177℃（約350゜F）の温度に維持されている被覆用気化
器(40)へ移動し、そこで被覆反応体は完全に気化され
る。気化した被覆反応体とキャリヤー空気との混合物
は、加熱された移送線(50)を通って、第２図に示されて
いる被覆蒸気分配空腔（５）へ移動する。気化した被覆
反応体は孔（６）を通って蒸気空腔（７）へ分配され、
そこからノズル（８）を通って、第１図に示すように、
ガラス表面へ向けれらる。被覆反応体が熱いガラス表面
と熱的に反応してその上に酸化錫膜を形成した後、キャ
リヤー空気、未反応被覆反応体蒸気、及び全ての分解副
生成物は、直ちに制御されたやり方で真空盤(10)の排出
孔（９）を通って排出される。移送線、分配空腔、蒸気
空腔、排出孔及び真空盤は全て循環油熱移動系(11)によ
って約177℃（約350゜F）の一定温度に維持される。
キャリヤー空気、未反応被覆反応体、及び反応副生成物
を排出するのに充分な減圧が排出機構を通して与えられ
る。上流排出孔は約22.2mm（約7/8in）幅で、下流の孔
は約25.4mm（約1in）幅であるのが好ましい。両方とも
排被覆機ノズルの全長に亙っている。次の実施例の被覆
反応体及びキャリヤーガスの流量では、水柱ミリメート
ル（in）で測定した圧力低下は、上流排出孔に対しては
約109mm（約4.3in）、下流排出孔に対しては約94mm（約
3.7in）であるのが好ましい。被覆機ノズルとガラスと
の間の距離は約9.5〜19.1mm（0.375〜0.75in）範囲にあ
るのが好ましく、次の実施例のように約1.3cm（約0.5i
n）であるのが最も好ましい。浴雰囲気は僅かに加圧
の、好ましくは水柱ミリメートルで約1.27〜1.78mm（0.
05〜0.07in）の範囲、最も好ましくは約1.5mm（約0.06i
n）の好ましくは純粋窒素である。次の実施例のよう
に、キャリヤー空気・気化被覆反応体混合物は、ノズル
の長さ30.5mm(1ft)当たりキャリヤーガス0.707m3／分
（25標準ft3／分）中、被覆反応体約18cm3含むのが好ま
しく、薄層流として約2813kg/m2（約4lb/in2）の圧力で
供給されるのが好ましい。ガラスの線速度は広い範囲に
亙って変えることができ、2.5mmガラスに対しては、例
えば約0.76〜7.9m(30〜310in）／分でよい。
本発明は、次の特別な実施例についての記述から一層良
く理解されるであろう。
実施例１ 本発明により製造された酸化錫膜の固有抵抗に対する浴
雰囲気中の水素の影響を例示するため、約2600Åのほぼ
同じ厚さの膜を種々の浴雰囲気中で製造した。3.3mm厚
のソーダ・石灰・シリカフロート法ガラス帯を、約７％
の水素を含む通常の窒素雰囲気中でフロート法浴中の溶
融錫の上に支持しながら被覆した。ガラス帯の上表面
を、循環油熱交換系によって約177℃（約350゜F）の温度
に維持した気化モノブチル三塩化錫で本質的に飽和した
キャリヤー空気と、約664℃（1227゜F）の温度で接触さ
せた。約2600Åの厚さで付着した酸化錫膜は、900Ω／
スクエアーの固有抵抗をもっていた。
実施例２ 前の実施例と同様にしてフロート法ガラス帯を被覆し
た。但し、フロート法浴雰囲気中の水素の量を２％に減
少させた。2600Åの酸化錫被覆の厚さでは、その酸化錫
膜の固有抵抗は、125Ω／スクエアーであった。
実施例３ 前の実施例と同様にしてフロート法ガラス帯を酸化錫で
被覆した。但し、フロート法浴雰囲気は純粋の窒素であ
った。2600Åの厚さで付着した酸化錫膜は、固有抵抗が
25Ω／スクエアーであった。25Ω／スクエアーの固有抵
抗では、その酸化錫膜の放射率は0.20であった。
実施例４ 3.3mm厚のソーダ・石灰・シリカ フロート法ガラス帯
を、純粋窒素雰囲気中でフロート法浴中の溶融錫の上に
支持しながら被覆した。ガラス帯の上表面を、循環油熱
交換系によって約177℃（350゜F）の温度に維持した気化
モノブチル三塩化錫で本質的に飽和した空気と、約664
℃（1227゜F）の温度で接触させた。被覆機ノズルに隣接
した排出機構により空気、未反応モノブチル三塩化錫、
及び全ての熱分解副生成物を、周りの窒素雰囲気を汚染
することなく、被覆場所から除去した。酸化錫膜は、32
00Åの厚さで付着した。膜は約20Ω／スクエアーの表面
固有抵抗をもっていた。被覆は三次の青−緑色を示し、
16％の光反射率をもっていた。被覆したガラスの光透過
率は72％であり、放射率は0.17であった。
上記実施例は本発明を例示するために与えられている
が、被覆される表面を還元性雰囲気に触れないように維
持することの重要さを示している。上記実施例で用いた
装置では、浴雰囲気から水素を除くのが好ましい。しか
し、種々の被覆反応物、被覆機構造、工程条件等が本発
明の範囲に入るものである。水素を含まない浴雰囲気が
好ましいが、例えば、被覆機の周辺を窒素で吹き払うこ
とにより、被覆反応物の反応が行われるガラス表面だけ
から浴雰囲気中の水素を排除するように被覆装置を修正
してもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明によるフロート法ガラス浴での被覆機
の位置を例示する図である。 第２図は、第１図の被覆機の拡大断面図である。 第３図は、第２図の被覆機へ送られるキャリヤーガス、
被覆反応物、及び気化器、熱交換系の概略的流路図であ
る。 第４図は、ｘ及びｙ色度（chromaticity）座標を対応す
るｘ及びｙ軸上で測定した色度図である。観察された色
の波長は周囲に記されている。点Ｃは、光ＣのＣＩＥ
（Commission Internationale de L′Eclairage）によ
る座標を印している。渦巻き状の曲線は、膜の厚さが増
大した酸化錫膜の色度座標をプロットしたものである。
点Ａ及びＢは、本発明の好ましい被覆厚さ範囲に相当す
る厚さを印している。 ５……被覆蒸気分配器、７……蒸気空腔、 ８……ノズル、９……排出孔、 40……気化器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−56819（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−40844（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−34050（ＪＰ，Ａ) 特公 昭55−3309（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭58−27215（ＪＰ，Ｂ２)

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ａ．ガラス基体を熔融金属浴上に支持し、 ｂ．熔融金属浴及びガラス基体上に非酸化性雰囲気を維
    持し、 ｃ．前記熔融金属浴上に支持されていない表面上で、前
    記ガラス基体と被覆反応体として蒸気状の有機錫化合物
    とを接触させ、そして ｄ．ガラス基体が非酸化性雰囲気下、金属浴上に支持さ
    れている間に、前記被覆反応体を酸素含有キャリヤーガ
    スと共に基体表面に供給し、熱的に反応させ、前記ガラ
    ス表面上に酸化錫膜を付着させる、 諸工程からなる、フロートガラス表面上に酸化錫被覆を
    付着させる方法。
  2. 【請求項２】熔融金属が錫を含む、請求項１に記載の方
    法。
  3. 【請求項３】雰囲気が窒素を含む、請求項１に記載の方
    法。
  4. 【請求項４】有機錫化合物がモノブチル三塩化錫からな
    る、請求項１に記載の方法。
  5. 【請求項５】ガラス表面の温度が621〜677℃（1150〜12
    50゜F）の範囲にある、請求項１に記載の方法。
  6. 【請求項６】キャリヤーガスが空気を含む、請求項１に
    記載の方法。
  7. 【請求項７】非酸化性雰囲気中で熔融金属浴によって底
    部表面が支持されたフロートガラス帯の上表面に酸化錫
    膜を付着させる装置において、 ａ．被覆反応体としての有機錫化合物を気化させる機
    構、 ｂ．前記気化された被覆反応体を前記上表面へ酸素含有
    キャリヤーガスと共に送るための機構で、被覆しようと
    する基体表面の幅と実質的に同じ長さのスロット型孔を
    有するノズルを有する送り機構、 ｃ．被覆反応体の分解温度より低い均一な温度に、前記
    送り機構を維持する機構、及び ｄ．前記ノズルに隣接し、前記ノズルの長さに実質的に
    完全に沿ってその上流及び下流の両方に伸びている未反
    応被覆反応体、未付着反応生成物、反応副生成物及びキ
    ャリヤーガスの実質的に全てを除去することができる排
    出機構、を備えた酸化錫膜付着用装置。
JP63176202A 1987-09-30 1988-07-14 フロートガラスの表面上に酸化錫被覆を付着させる方法及び装置 Expired - Lifetime JPH0647482B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US103090 1987-09-30
US07/103,090 US4853257A (en) 1987-09-30 1987-09-30 Chemical vapor deposition of tin oxide on float glass in the tin bath

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0196044A JPH0196044A (ja) 1989-04-14
JPH0647482B2 true JPH0647482B2 (ja) 1994-06-22

Family

ID=22293342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63176202A Expired - Lifetime JPH0647482B2 (ja) 1987-09-30 1988-07-14 フロートガラスの表面上に酸化錫被覆を付着させる方法及び装置

Country Status (22)

Country Link
US (1) US4853257A (ja)
EP (1) EP0309902B1 (ja)
JP (1) JPH0647482B2 (ja)
KR (1) KR950000690B1 (ja)
CN (1) CN1023209C (ja)
AT (1) ATE160136T1 (ja)
AU (1) AU602250B2 (ja)
BR (1) BR8805013A (ja)
CA (1) CA1337165C (ja)
DD (1) DD273623A5 (ja)
DE (1) DE3856068T2 (ja)
DK (1) DK175462B1 (ja)
ES (1) ES2110943T3 (ja)
FI (1) FI110684B (ja)
GR (1) GR3026062T3 (ja)
MX (1) MX164867B (ja)
MY (1) MY100824A (ja)
NZ (1) NZ225000A (ja)
PH (1) PH30684A (ja)
PT (1) PT88553B (ja)
RU (1) RU2046111C1 (ja)
ZA (1) ZA884594B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8093490B2 (en) 2001-12-03 2012-01-10 Nippon Sheet Glass Company, Limited Method for forming thin film, substrate having transparent electroconductive film and photoelectric conversion device using the substrate

Families Citing this family (81)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5675944A (en) * 1990-09-04 1997-10-14 P.P.G. Industries, Inc. Low thermal conducting spacer assembly for an insulating glazing unit and method of making same
DE69305936T3 (de) * 1992-07-11 2004-07-22 Pilkington United Kingdom Ltd., St. Helens Verfahren zur Herstellung von reflektierenden Schichten auf Glas
US5599387A (en) * 1993-02-16 1997-02-04 Ppg Industries, Inc. Compounds and compositions for coating glass with silicon oxide
US5863337A (en) * 1993-02-16 1999-01-26 Ppg Industries, Inc. Apparatus for coating a moving glass substrate
US5356718A (en) * 1993-02-16 1994-10-18 Ppg Industries, Inc. Coating apparatus, method of coating glass, compounds and compositions for coating glasss and coated glass substrates
US5395698A (en) * 1993-06-04 1995-03-07 Ppg Industries, Inc. Neutral, low emissivity coated glass articles and method for making
US5531047A (en) * 1993-08-05 1996-07-02 Ppg Industries, Inc. Glazing unit having three or more glass sheets and having a low thermal edge, and method of making same
US7071133B2 (en) * 1993-11-16 2006-07-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Colored glass compositions and-automotive vision panels with-reduced transmitted-color shift
US5553440A (en) * 1994-10-20 1996-09-10 Ppg Industries, Inc. Multi-sheet glazing unit and method of making same
US5617699A (en) * 1994-10-20 1997-04-08 Ppg Industries, Inc. Spacer for an insulating unit having improved resistance to torsional twist
US5644894A (en) * 1994-10-20 1997-07-08 Ppg Industries, Inc. Multi-sheet glazing unit and method of making same
CO4560356A1 (es) * 1995-02-22 1998-02-10 Elf Atochem Vlissingen Bv Proceso para la produccion de un recubrimiento de proteccion sobre la superficie de un articulo de vidrio o ceramica
US5744215A (en) * 1996-01-04 1998-04-28 Ppg Industries, Inc. Reduction of haze in transparent coatings
US5698262A (en) 1996-05-06 1997-12-16 Libbey-Owens-Ford Co. Method for forming tin oxide coating on glass
US20030039843A1 (en) * 1997-03-14 2003-02-27 Christopher Johnson Photoactive coating, coated article, and method of making same
US7096692B2 (en) * 1997-03-14 2006-08-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Visible-light-responsive photoactive coating, coated article, and method of making same
US20020155299A1 (en) 1997-03-14 2002-10-24 Harris Caroline S. Photo-induced hydrophilic article and method of making same
US6250026B1 (en) 1998-01-30 2001-06-26 Ppg Industries Ohio, Inc. Multi-sheet glazing unit having a single spacer frame and method of making same
WO1999039072A1 (en) 1998-01-30 1999-08-05 Ppg Industries Ohio, Inc. Multi-sheet glazing unit and method of making same
US6289641B1 (en) 1998-01-30 2001-09-18 Ppg Industries Ohio, Inc. Glazing unit having three or more spaced sheets and a single spacer frame and method of making same
US6115989A (en) * 1998-01-30 2000-09-12 Ppg Industries Ohio, Inc. Multi-sheet glazing unit and method of making same
US6436541B1 (en) 1998-04-07 2002-08-20 Ppg Industries Ohio, Inc. Conductive antireflective coatings and methods of producing same
US6596398B1 (en) 1998-08-21 2003-07-22 Atofina Chemicals, Inc. Solar control coated glass
US6797388B1 (en) 1999-03-18 2004-09-28 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby
JP4430194B2 (ja) * 1999-05-31 2010-03-10 日本板硝子株式会社 透明積層体およびこれを用いたガラス物品
JP2001060708A (ja) 1999-06-18 2001-03-06 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透明積層体およびこれを用いたガラス物品
JP2001060702A (ja) 1999-06-18 2001-03-06 Nippon Sheet Glass Co Ltd 光電変換装置用基板およびこれを用いた光電変換装置
US6849328B1 (en) 1999-07-02 2005-02-01 Ppg Industries Ohio, Inc. Light-transmitting and/or coated article with removable protective coating and methods of making the same
JP2001114533A (ja) 1999-10-20 2001-04-24 Nippon Sheet Glass Co Ltd 透明導電膜付きガラス板およびこれを用いたガラス物品
US7361404B2 (en) 2000-05-10 2008-04-22 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated article with removable protective coating and related methods
US6677063B2 (en) 2000-08-31 2004-01-13 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby
US7323249B2 (en) * 2000-08-31 2008-01-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods of obtaining photoactive coatings and/or anatase crystalline phase of titanium oxides and articles made thereby
DE10063180A1 (de) * 2000-12-18 2002-06-27 Bayer Ag Vorrichtung zur Erzeugung von Lichtsignalen
US7232615B2 (en) * 2001-10-22 2007-06-19 Ppg Industries Ohio, Inc. Coating stack comprising a layer of barrier coating
US7259085B2 (en) * 2001-12-03 2007-08-21 Nippon Sheet Glass Company, Limited Method for forming thin film, substrate having thin film formed by the method, and photoelectric conversion device using the substrate
US6733889B2 (en) † 2002-05-14 2004-05-11 Pilkington North America, Inc. Reflective, solar control coated glass article
US20050031876A1 (en) * 2003-07-18 2005-02-10 Songwei Lu Nanostructured coatings and related methods
US8679580B2 (en) 2003-07-18 2014-03-25 Ppg Industries Ohio, Inc. Nanostructured coatings and related methods
US7151532B2 (en) * 2002-08-09 2006-12-19 3M Innovative Properties Company Multifunctional multilayer optical film
CN1777690B (zh) * 2003-03-28 2010-11-03 Ppg工业俄亥俄公司 采用钛与铝材料的混合物涂覆的衬底,制备该衬底的方法和钛与铝金属的阴极靶材
EP1635361B1 (en) * 2003-06-17 2016-08-17 Nippon Sheet Glass Company, Limited Method for producing a photoelectric converter comprising a transparent conductive substrate
WO2005073428A1 (en) * 2004-01-23 2005-08-11 Arkema Inc. Method of depositing film stacks on a substrate
US9051211B2 (en) * 2004-04-27 2015-06-09 Ppg Industries Ohio, Inc. Effects of methods of manufacturing sputtering targets on characteristics of coatings
US20060029754A1 (en) * 2004-08-05 2006-02-09 Medwick Paul A Coated substrate with improved solar control properties
US7431992B2 (en) 2004-08-09 2008-10-07 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated substrates that include an undercoating
US20060046089A1 (en) * 2004-09-01 2006-03-02 O'shaughnessy Dennis J Metal based coating composition and related coated substrates
US7947373B2 (en) * 2004-10-14 2011-05-24 Pittsburgh Glass Works, Llc High luminance coated glass
US7498058B2 (en) * 2004-12-20 2009-03-03 Ppg Industries Ohio, Inc. Substrates coated with a polycrystalline functional coating
US7438948B2 (en) * 2005-03-21 2008-10-21 Ppg Industries Ohio, Inc. Method for coating a substrate with an undercoating and a functional coating
US7473471B2 (en) * 2005-03-21 2009-01-06 Ppg Industries Ohio, Inc. Coating composition with solar properties
US7547106B2 (en) * 2005-07-29 2009-06-16 Ppg Industries Ohio, Inc. Simulated high refractive index glass
US8097340B2 (en) * 2006-02-08 2012-01-17 Ppg Industries Ohio, Inc. Coated substrates having undercoating layers that exhibit improved photocatalytic activity
US8264466B2 (en) * 2006-03-31 2012-09-11 3M Innovative Properties Company Touch screen having reduced visibility transparent conductor pattern
US20070236798A1 (en) * 2006-04-05 2007-10-11 Shelestak Larry J Antireflective coating and substrates coated therewith
US8677782B2 (en) * 2006-07-25 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Method of making glass including surface treatment with aluminum chloride at or just prior to annealing LEHR
US20080022721A1 (en) * 2006-07-25 2008-01-31 Bernd Disteldorf Method of making glass including surface treatment with aluminum chloride at or just prior to annealing lehr
CN101077824B (zh) * 2007-02-14 2011-11-30 中国建材国际工程有限公司 在移动的热玻璃表面沉积氧化锡基薄膜的方法
US20090139164A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-04 Intigral, Inc. Insulating glass unit
US20090139163A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-04 Intigral, Inc. Insulating glass unit
US20090139165A1 (en) * 2007-12-04 2009-06-04 Intigral, Inc. Insulating glass unit
KR20110014653A (ko) * 2008-05-19 2011-02-11 이 아이 듀폰 디 네모아 앤드 캄파니 전자 소자에서 증기 코팅 장치 및 방법
US7998586B2 (en) 2008-11-19 2011-08-16 Ppg Industries Ohio, Inc. Undercoating layers providing improved topcoat functionality
CA2743845A1 (en) 2008-11-19 2010-05-27 Ppg Industries Ohio, Inc. Undercoating layers providing improved topcoat functionality
US20100124642A1 (en) * 2008-11-19 2010-05-20 Ppg Industries Ohio, Inc. Undercoating layers providing improved conductive topcoat functionality
US8133599B2 (en) * 2008-11-19 2012-03-13 Ppg Industries Ohio, Inc Undercoating layers providing improved photoactive topcoat functionality
US8062706B2 (en) 2009-03-31 2011-11-22 Ppg Industries Ohio, Inc. Recovery of monobutyltin trichloride
US8557328B2 (en) 2009-10-02 2013-10-15 Ppg Industries Ohio, Inc. Non-orthogonal coater geometry for improved coatings on a substrate
US20110146768A1 (en) 2009-12-21 2011-06-23 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved underlayer coating
US9224892B2 (en) 2009-12-21 2015-12-29 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved haze and methods of making the same
US9366783B2 (en) 2009-12-21 2016-06-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Silicon thin film solar cell having improved underlayer coating
US8551609B2 (en) 2010-04-27 2013-10-08 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of depositing niobium doped titania film on a substrate and the coated substrate made thereby
EP2688851B1 (en) * 2011-03-23 2019-01-23 Pilkington Group Limited Apparatus for depositing thin film coatings and method of deposition utilizing such apparatus
US8734903B2 (en) 2011-09-19 2014-05-27 Pilkington Group Limited Process for forming a silica coating on a glass substrate
CN102584019B (zh) * 2012-01-31 2014-07-02 绥中滨海经济区红杉科技有限公司 化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法
US9359808B2 (en) 2012-09-21 2016-06-07 Ppg Industries Ohio, Inc. Triple-glazed insulating unit with improved edge insulation
CN103466955B (zh) * 2013-08-20 2015-09-09 秦皇岛玻璃工业研究设计院 一种减反射玻璃的制备方法及其镀膜设备
CN103755149B (zh) * 2013-12-14 2016-04-06 蚌埠玻璃工业设计研究院 一种平板玻璃浮法镀膜设备
RU2567062C1 (ru) * 2014-11-26 2015-10-27 Общество С Ограниченной Ответственностью Управляющая Компания "Ломоносов Капитал" Способ производства продукции из стекла
WO2017137773A1 (en) * 2016-02-12 2017-08-17 Pilkington Group Limited Chemical vapor deposition process for depositing a mixed metal oxide coating and the coated article formed thereby
JP6640781B2 (ja) * 2017-03-23 2020-02-05 キオクシア株式会社 半導体製造装置
JP2022535699A (ja) * 2019-05-20 2022-08-10 ピルキントン グループ リミテッド コーティングされたガラス物品の放射率を低減する方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1282866A (en) * 1968-08-16 1972-07-26 Pilkington Brothers Ltd Improvements in or relating to the production of glass having desired surface characteristics
US3949146A (en) * 1973-08-24 1976-04-06 Rca Corporation Process for depositing transparent electrically conductive tin oxide coatings on a substrate
GB1520124A (en) * 1974-09-18 1978-08-02 M & T Chemicals Inc Process for applying stannic oxide coatings to glass
GB1507996A (en) * 1975-06-11 1978-04-19 Pilkington Brothers Ltd Coating glass
GB1516032A (en) * 1976-04-13 1978-06-28 Bfg Glassgroup Coating of glass
JPS553309A (en) * 1978-06-13 1980-01-11 Denpatsu Fly Ash Apparatus for manufacturing citriccaciddsoluble potassium silicate fertilizer
CH628600A5 (fr) * 1979-02-14 1982-03-15 Siv Soc Italiana Vetro Procede pour deposer en continu, sur la surface d'un substrat porte a haute temperature, une couche d'une matiere solide et installation pour la mise en oeuvre de ce procede.
US4292347A (en) * 1979-12-03 1981-09-29 Ppg Industries, Inc. Pyrolytic coating reactant for defect and durability control
IT1144219B (it) * 1980-06-20 1986-10-29 Bfg Glassgroup Procedimento e dispositivo per formare un rivestimento di metallo o di un composto metallico
CH640571A5 (fr) * 1981-03-06 1984-01-13 Battelle Memorial Institute Procede et dispositif pour deposer sur un substrat une couche de matiere minerale.
JPS5827215A (ja) * 1981-08-08 1983-02-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多出力スイッチング電源の過負荷保護装置
US4584206A (en) * 1984-07-30 1986-04-22 Ppg Industries, Inc. Chemical vapor deposition of a reflective film on the bottom surface of a float glass ribbon
IN164438B (ja) * 1984-12-28 1989-03-18 M & T Chemicals Inc
US4547400A (en) * 1985-02-25 1985-10-15 Ford Motor Company Method of making infrared reflective glass sheet-I
US4548836A (en) * 1985-02-25 1985-10-22 Ford Motor Company Method of making an infrared reflective glass sheet-II
US4661381A (en) * 1985-10-07 1987-04-28 Libbey-Owens-Ford Co. Continuous vapor deposition method for producing a coated glass article
US4721632A (en) * 1986-08-25 1988-01-26 Ford Motor Company Method of improving the conductivity and lowering the emissivity of a doped tin oxide film
GB2209176A (en) * 1987-08-28 1989-05-04 Pilkington Plc Coating glass

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8093490B2 (en) 2001-12-03 2012-01-10 Nippon Sheet Glass Company, Limited Method for forming thin film, substrate having transparent electroconductive film and photoelectric conversion device using the substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0196044A (ja) 1989-04-14
ATE160136T1 (de) 1997-11-15
FI884341A (fi) 1989-03-31
DK543888A (da) 1989-03-31
ZA884594B (en) 1990-02-28
KR890004997A (ko) 1989-05-11
NZ225000A (en) 1990-12-21
DE3856068T2 (de) 1998-05-20
PH30684A (en) 1997-09-16
US4853257A (en) 1989-08-01
GR3026062T3 (en) 1998-05-29
PT88553A (pt) 1989-07-31
EP0309902B1 (en) 1997-11-12
AU602250B2 (en) 1990-10-04
DD273623A5 (de) 1989-11-22
CA1337165C (en) 1995-10-03
DK175462B1 (da) 2004-11-01
EP0309902A3 (en) 1990-03-07
FI884341A0 (fi) 1988-09-21
EP0309902A2 (en) 1989-04-05
MX164867B (es) 1992-09-29
PT88553B (pt) 1994-03-31
ES2110943T3 (es) 1998-03-01
BR8805013A (pt) 1989-05-09
KR950000690B1 (ko) 1995-01-27
RU2046111C1 (ru) 1995-10-20
FI110684B (fi) 2003-03-14
DK543888D0 (da) 1988-09-29
AU2298888A (en) 1989-04-06
CN1023209C (zh) 1993-12-22
DE3856068D1 (de) 1997-12-18
MY100824A (en) 1991-02-28
CN1032434A (zh) 1989-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0647482B2 (ja) フロートガラスの表面上に酸化錫被覆を付着させる方法及び装置
KR920004850B1 (ko) 반사성 필름의 화학적 증착법
KR100577945B1 (ko) 유리에산화주석코팅을형성하는방법
US4859499A (en) Method for coating a substrate with an electrically conductive layer
JPS6210943B2 (ja)
US7740901B2 (en) Low temperature method of making a zinc oxide coated article and the coated article made thereby
IE46333B1 (en) Coating of supports with tin oxide
US4900110A (en) Chemical vapor deposition of a reflective film on the bottom surface of a float glass ribbon
US4600654A (en) Method of producing transparent, haze-free tin oxide coatings
JP2589291B2 (ja) 虹彩抑制方法
US4788079A (en) Method of making haze-free tin oxide coatings
EP0158399B1 (en) Liquid coating composition for producing high quality, high performance fluorine-doped tin oxide coatings
AU576676B2 (en) Method of producing transparent, haze-free tin oxide coatings
JPH046796B2 (ja)
JPH0230765A (ja) 酸化錫被覆の形成方法