JPH06341931A - 機器の運転状態監視装置 - Google Patents
機器の運転状態監視装置Info
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- JPH06341931A JPH06341931A JP12888293A JP12888293A JPH06341931A JP H06341931 A JPH06341931 A JP H06341931A JP 12888293 A JP12888293 A JP 12888293A JP 12888293 A JP12888293 A JP 12888293A JP H06341931 A JPH06341931 A JP H06341931A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 機器の運転状態を常時監視して、異常を即時
検出することが可能な機器の運転状態監視装置を得る。 【構成】 半導体製造装置１より出力される毎回の処理
に伴うアナログ状態信号８の波形を、状態波形比較手段
１５により基準波形記憶手段１２に記憶される基準信号
１４の波形と比較し、その比較結果が所定の範囲を超え
て異なる場合は、異常と判断して状態異常表示手段１７
により表示する。
検出することが可能な機器の運転状態監視装置を得る。 【構成】 半導体製造装置１より出力される毎回の処理
に伴うアナログ状態信号８の波形を、状態波形比較手段
１５により基準波形記憶手段１２に記憶される基準信号
１４の波形と比較し、その比較結果が所定の範囲を超え
て異なる場合は、異常と判断して状態異常表示手段１７
により表示する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、機器の運転状態を監
視し、異常と判断された場合には表示して操作者に通報
する機器の運転状態監視装置に関するものである。
視し、異常と判断された場合には表示して操作者に通報
する機器の運転状態監視装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、機器の運転状態が不安定な場
合は、正常な処理を施すことができずに不良品が発生す
る。したがって、常に機器の運転状態が不安定であるか
否かを監視しながら処理を行うことが重要となり、この
種の機器の運転状態監視装置の必要性は、特に半導体製
造装置等において大となってきている。尚、以下の説明
は運転状態を監視される機器として、半導体製造装置を
例に行うものとする。図１１は従来の半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は運転状態を監視される例えばプラズマＣＶＤ装
置等のような半導体製造装置、２はこの半導体製造装置
１内に設けられる処理室、３は搬送装置、４はこの搬送
装置３によって搬送される例えばウエハ等の被処理物、
５は処理室２に供給される原料ガス等の流量を計測する
ガス流量形、６は高周波電源、７はレコ−ダで、例えば
ガス流量形５の検出器から出力される電圧等のアナログ
状態信号８、および例えば高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦ
で出力される電圧等のデジタル状態信号９をそれぞれ入
力し記録用紙７ａに記録する。
合は、正常な処理を施すことができずに不良品が発生す
る。したがって、常に機器の運転状態が不安定であるか
否かを監視しながら処理を行うことが重要となり、この
種の機器の運転状態監視装置の必要性は、特に半導体製
造装置等において大となってきている。尚、以下の説明
は運転状態を監視される機器として、半導体製造装置を
例に行うものとする。図１１は従来の半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は運転状態を監視される例えばプラズマＣＶＤ装
置等のような半導体製造装置、２はこの半導体製造装置
１内に設けられる処理室、３は搬送装置、４はこの搬送
装置３によって搬送される例えばウエハ等の被処理物、
５は処理室２に供給される原料ガス等の流量を計測する
ガス流量形、６は高周波電源、７はレコ−ダで、例えば
ガス流量形５の検出器から出力される電圧等のアナログ
状態信号８、および例えば高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦ
で出力される電圧等のデジタル状態信号９をそれぞれ入
力し記録用紙７ａに記録する。
【０００３】次に上記のように構成される従来の運転状
態監視装置の動作について説明する。まず、被処理物４
は搬送装置３によって処理室２内に搬入され、所望の処
理が施された後、再び搬送装置３によって処理室２外に
搬出され、図示しない次工程を担当する装置へ送出され
ている。そして、このように処理室２内で処理が行われ
ている間、処理室２内には電気、ガス、薬品、水等のよ
うな動力源および反応源が供給されており、これらの処
理条件を所望の状態にするための検出器も具備されてい
る。
態監視装置の動作について説明する。まず、被処理物４
は搬送装置３によって処理室２内に搬入され、所望の処
理が施された後、再び搬送装置３によって処理室２外に
搬出され、図示しない次工程を担当する装置へ送出され
ている。そして、このように処理室２内で処理が行われ
ている間、処理室２内には電気、ガス、薬品、水等のよ
うな動力源および反応源が供給されており、これらの処
理条件を所望の状態にするための検出器も具備されてい
る。
【０００４】このため、処理室２内の状態を示す一要因
としてのガス流量形５で検出される流量によるアナログ
状態信号８、および高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦによる
デジタル状態信号９をそれぞれ取り出し、レコ−ダ７に
よって記録用紙７ａに記録しておき、記録用紙７ａに記
録されたアナログ状態信号８およびデジタル状態信号９
の各波形の変化を、短い周期で定期的にチェックするこ
とにより、半導体製造装置１の運転状態を監視するよう
にしている。
としてのガス流量形５で検出される流量によるアナログ
状態信号８、および高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦによる
デジタル状態信号９をそれぞれ取り出し、レコ−ダ７に
よって記録用紙７ａに記録しておき、記録用紙７ａに記
録されたアナログ状態信号８およびデジタル状態信号９
の各波形の変化を、短い周期で定期的にチェックするこ
とにより、半導体製造装置１の運転状態を監視するよう
にしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造装置
の運転状態監視装置は以上のように構成されているの
で、短い周期で定期的にチェックするとは言うものの、
実際の運転上では不可能に等しく、せいぜい数時間毎の
チェックしか行われていないため、例えば数分間で処理
を完了するような製造機器においては、不良品が多発す
る恐れがあるという問題点があった。
の運転状態監視装置は以上のように構成されているの
で、短い周期で定期的にチェックするとは言うものの、
実際の運転上では不可能に等しく、せいぜい数時間毎の
チェックしか行われていないため、例えば数分間で処理
を完了するような製造機器においては、不良品が多発す
る恐れがあるという問題点があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、機器の運転状態を常時監視して
異常を即時検出することができる機器の運転状態監視装
置を提供することを目的とするものである。
ためになされたもので、機器の運転状態を常時監視して
異常を即時検出することができる機器の運転状態監視装
置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
の機器の運転状態監視装置は、機器の処理状態を表す状
態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
の機器の運転状態監視装置は、機器の処理状態を表す状
態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
【０００８】又、この発明に係る請求項２の機器の運転
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して状態信号の値
が基準値を越えた場合に入力起動信号として送出する入
力起動信号送出手段と、入力起動信号をトリガにして状
態信号の機器の処理が正常な状態の波形を基準信号とし
て記憶する基準波形記憶手段と、状態信号の波形と基準
信号の波形とを入力起動信号をトリガにして順次比較す
る状態波形比較手段とを備えたものである。
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して状態信号の値
が基準値を越えた場合に入力起動信号として送出する入
力起動信号送出手段と、入力起動信号をトリガにして状
態信号の機器の処理が正常な状態の波形を基準信号とし
て記憶する基準波形記憶手段と、状態信号の波形と基準
信号の波形とを入力起動信号をトリガにして順次比較す
る状態波形比較手段とを備えたものである。
【０００９】又、この発明に係る請求項３の機器の運転
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して状態信号の値
が基準値を越え且つその状態が所定の時間継続した場合
に入力起動信号として送出する入力起動信号送出手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して状態信号の値
が基準値を越え且つその状態が所定の時間継続した場合
に入力起動信号として送出する入力起動信号送出手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
【００１０】又、この発明に係る請求項４の機器の運転
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では 基準信号の波形の時間
軸上で所定の時間枠を設定し、時間枠内の基準信号の波
形と、時間枠に対応する時間内の状態信号の波形とを比
較するようにしたものである。
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では 基準信号の波形の時間
軸上で所定の時間枠を設定し、時間枠内の基準信号の波
形と、時間枠に対応する時間内の状態信号の波形とを比
較するようにしたものである。
【００１１】又、この発明に係る請求項５の機器の運転
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では基準信号の波形の時間軸
上で所定の時間枠を設定するとともにこの時間枠内の所
望の値を基準値と設定し、入力起動信号のトリガ時点か
ら基準値になるまでの時間と、時間枠に対応する時間内
で状態信号が基準値になるまでの時間とを比較するよう
にしたものである。
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では基準信号の波形の時間軸
上で所定の時間枠を設定するとともにこの時間枠内の所
望の値を基準値と設定し、入力起動信号のトリガ時点か
ら基準値になるまでの時間と、時間枠に対応する時間内
で状態信号が基準値になるまでの時間とを比較するよう
にしたものである。
【００１２】又、この発明に係る請求項６の機器の運転
状態監視装置は請求項１ないし請求項５のいずれかにお
いて、状態波形比較手段による比較結果が所定の範囲を
越えて異なる場合に、異常と判断して表示するようにし
たものである。
状態監視装置は請求項１ないし請求項５のいずれかにお
いて、状態波形比較手段による比較結果が所定の範囲を
越えて異なる場合に、異常と判断して表示するようにし
たものである。
【００１３】又、この発明に係る請求項７の機器の運転
状態監視装置は、機器の複数の処理状態を表す複数状態
信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして複数の状態信号の機器
の処理が正常な状態の各波形を各基準信号として記憶す
る基準波形記憶手段と、各状態信号の波形を各基準信号
の波形に対してそれぞれ入力起動信号をトリガにして順
次比較を行い、各比較の結果の全てが所定の範囲を越え
て異なる状態信号が存在する場合に異常と判断する状態
波形比較手段とを備えたものである。
状態監視装置は、機器の複数の処理状態を表す複数状態
信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして複数の状態信号の機器
の処理が正常な状態の各波形を各基準信号として記憶す
る基準波形記憶手段と、各状態信号の波形を各基準信号
の波形に対してそれぞれ入力起動信号をトリガにして順
次比較を行い、各比較の結果の全てが所定の範囲を越え
て異なる状態信号が存在する場合に異常と判断する状態
波形比較手段とを備えたものである。
【００１４】
【作用】この発明における機器の運転状態監視装置は、
毎回の処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と
順次比較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる
場合に異常と判断する。
毎回の処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と
順次比較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる
場合に異常と判断する。
【００１５】
実施例１．以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図にお
いて、図１１に示す従来装置と同様な部分は同一符号を
付して説明を省略する。１０はアナログ状態信号８をデ
ジタル化して入力するとともに、デジタル状態信号９は
そのまま若しくは倍率変換を施して入力し入力起動信号
１１を送出する状態信号入力手段である。
る。図１はこの発明の実施例１における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図にお
いて、図１１に示す従来装置と同様な部分は同一符号を
付して説明を省略する。１０はアナログ状態信号８をデ
ジタル化して入力するとともに、デジタル状態信号９は
そのまま若しくは倍率変換を施して入力し入力起動信号
１１を送出する状態信号入力手段である。
【００１６】１２は入力起動信号１１をトリガにして半
導体製造装置１が正常な状態で運転されている場合の状
態信号１３を、状態信号入力手段１０を介して入力し基
準信号１４として記憶する基準波形記憶手段、１５は状
態信号入力手段１０によりデジタル化されて順次入力さ
れた状態信号１６の波形と、基準波形記憶手段１２によ
って記憶される基準信号１４の波形とを比較する状態波
形比較手段、１７はこの状態波形比較手段１５の比較結
果が所定の範囲を越えて異なっている場合は、例えばラ
ンプ１８等で表示する状態異常表示手段である。そし
て、これら１０、１２、１５、１７、１８で運転状態監
視装置２０を構成している。
導体製造装置１が正常な状態で運転されている場合の状
態信号１３を、状態信号入力手段１０を介して入力し基
準信号１４として記憶する基準波形記憶手段、１５は状
態信号入力手段１０によりデジタル化されて順次入力さ
れた状態信号１６の波形と、基準波形記憶手段１２によ
って記憶される基準信号１４の波形とを比較する状態波
形比較手段、１７はこの状態波形比較手段１５の比較結
果が所定の範囲を越えて異なっている場合は、例えばラ
ンプ１８等で表示する状態異常表示手段である。そし
て、これら１０、１２、１５、１７、１８で運転状態監
視装置２０を構成している。
【００１７】次に、上記のように構成された実施例１に
おける半導体製造装置の運転状態監視装置の動作につい
て説明する。まず、半導体製造装置を運転させて被処理
物４を正常な状態で処理し、この状態において状態信号
入力手段で入力されデジタル化された状態信号１３を、
入力起動信号１１をトリガにして基準波形記憶手段１２
に予め基準信号１４として記憶させる。次いで半導体製
造装置１の運転を本格的に開始させ、状態波形比較手段
１５により状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６と、基準波形記憶手段１２で記
憶されている基準信号１４との比較を行う。そして、こ
の比較の結果が所定の範囲を越えて異なっている場合に
は、状態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させ
て作業者に異常を通報するとともに、半導体製造装置１
にフイ−ドバックして運転を一旦停止させる。
おける半導体製造装置の運転状態監視装置の動作につい
て説明する。まず、半導体製造装置を運転させて被処理
物４を正常な状態で処理し、この状態において状態信号
入力手段で入力されデジタル化された状態信号１３を、
入力起動信号１１をトリガにして基準波形記憶手段１２
に予め基準信号１４として記憶させる。次いで半導体製
造装置１の運転を本格的に開始させ、状態波形比較手段
１５により状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６と、基準波形記憶手段１２で記
憶されている基準信号１４との比較を行う。そして、こ
の比較の結果が所定の範囲を越えて異なっている場合に
は、状態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させ
て作業者に異常を通報するとともに、半導体製造装置１
にフイ−ドバックして運転を一旦停止させる。
【００１８】上記のように実施例１によれば、基準波形
記憶手段１２に予め記憶されている基準信号１４と、処
理に伴って状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６とを状態波形比較手段１５で比
較し、比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合は、状
態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させるとと
もに、半導体製造装置１にフイ−ドバックして運転を一
旦停止させるようにしているので、作業者に速やかに通
報することができ、又、作業者が半導体製造装置１に到
着するまでの間の不良品の発生を防止することもでき
る。
記憶手段１２に予め記憶されている基準信号１４と、処
理に伴って状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６とを状態波形比較手段１５で比
較し、比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合は、状
態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させるとと
もに、半導体製造装置１にフイ−ドバックして運転を一
旦停止させるようにしているので、作業者に速やかに通
報することができ、又、作業者が半導体製造装置１に到
着するまでの間の不良品の発生を防止することもでき
る。
【００１９】実施例２．図２はこの発明の実施例２にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図１に示す実施例１と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。１９は例えば
高周波電源６からの実際の高周波出力を平滑処理した電
圧出力等のアナログ状態信号、２１は予め設定された基
準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比較し、アナ
ログ状態信号１９の値が基準値を越えた場合に、入力起
動信号２２として送出する入力起動信号送出手段であ
る。そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２
１で運転状態監視装置３０を構成している。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図１に示す実施例１と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。１９は例えば
高周波電源６からの実際の高周波出力を平滑処理した電
圧出力等のアナログ状態信号、２１は予め設定された基
準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比較し、アナ
ログ状態信号１９の値が基準値を越えた場合に、入力起
動信号２２として送出する入力起動信号送出手段であ
る。そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２
１で運転状態監視装置３０を構成している。
【００２０】上記のように実施例２によれば、入力起動
信号送出手段２１により、予め設定された基準値とアナ
ログ状態信号１９の値とを順次比較し、アナログ状態信
号１９の値が基準値を越えた場合に、入力起動信号２２
として送出するようにしているので、上記実施例１の場
合と同様の効果を得ることは勿論のこと、実施例１にお
けるデジタル状態信号９が取り出せない装置にも適用可
能であるという実用上優れた効果を発揮することができ
る。
信号送出手段２１により、予め設定された基準値とアナ
ログ状態信号１９の値とを順次比較し、アナログ状態信
号１９の値が基準値を越えた場合に、入力起動信号２２
として送出するようにしているので、上記実施例１の場
合と同様の効果を得ることは勿論のこと、実施例１にお
けるデジタル状態信号９が取り出せない装置にも適用可
能であるという実用上優れた効果を発揮することができ
る。
【００２１】実施例３．図３はこの発明の実施例３にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図２に示す実施例２と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。２３は予め設
定された基準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比
較し、アナログ状態信号１９の値が基準値を越え、且つ
その状態が所定の時間継続した場合に、入力起動信号２
４として送出する入力起動信号送出手段である。そし
て、これら１０、１２、１５、１７、１８、２３で運転
状態監視装置４０を構成している。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図２に示す実施例２と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。２３は予め設
定された基準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比
較し、アナログ状態信号１９の値が基準値を越え、且つ
その状態が所定の時間継続した場合に、入力起動信号２
４として送出する入力起動信号送出手段である。そし
て、これら１０、１２、１５、１７、１８、２３で運転
状態監視装置４０を構成している。
【００２２】上記のように実施例３によれば、入力起動
信号手段２３により、予め設定された基準値とアナログ
状態信号１９の値とを順次比較し、アナログ状態信号１
９の値が基準値を越え、且つその状態が所定の時間継続
した場合に、入力起動信号２４として送出するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、アナログ状態信号１９の初期の不安定
な波形や不要の波形を無視できるので、状態波形比較手
段１５における比較が処理上容易になるという実用上優
れた効果を発揮することができる。なお、基準値や時間
経過の設定は、ソフトウエアプログラムで変数値として
取り扱うことにより容易に変更でき、状況に応じた取扱
いが可能となる。
信号手段２３により、予め設定された基準値とアナログ
状態信号１９の値とを順次比較し、アナログ状態信号１
９の値が基準値を越え、且つその状態が所定の時間継続
した場合に、入力起動信号２４として送出するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、アナログ状態信号１９の初期の不安定
な波形や不要の波形を無視できるので、状態波形比較手
段１５における比較が処理上容易になるという実用上優
れた効果を発揮することができる。なお、基準値や時間
経過の設定は、ソフトウエアプログラムで変数値として
取り扱うことにより容易に変更でき、状況に応じた取扱
いが可能となる。
【００２３】実施例４．図４はこの発明の実施例４にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は
状態波形比較手段で、まず図５に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠２５を設定するとともに、この時間枠２５内におけ
る基準信号１４の値に対して上限、下限を決めて許容範
囲２７を設定する。次いで状態信号１６の波形に対し
て、時間軸上で上記時間枠２５に対応する第２の時間枠
２６を設定し、この第２の時間枠２６内で状態信号１６
の値が上記許容範囲２７内に入っているか否かを判定
し、例えば図に示すように許容範囲をはみ出す異常部２
８が検出されると、状態異常表示手段１７へ異常信号が
出力される。なお、１０、１２、１７、１８、２９で運
転状態監視装置５０は構成されている。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は
状態波形比較手段で、まず図５に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠２５を設定するとともに、この時間枠２５内におけ
る基準信号１４の値に対して上限、下限を決めて許容範
囲２７を設定する。次いで状態信号１６の波形に対し
て、時間軸上で上記時間枠２５に対応する第２の時間枠
２６を設定し、この第２の時間枠２６内で状態信号１６
の値が上記許容範囲２７内に入っているか否かを判定
し、例えば図に示すように許容範囲をはみ出す異常部２
８が検出されると、状態異常表示手段１７へ異常信号が
出力される。なお、１０、１２、１７、１８、２９で運
転状態監視装置５０は構成されている。
【００２４】上記のように実施例４によれば、基準信号
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上でそれぞれ対応して所定の範囲を限定する時間枠２５
および第２の時間枠２６を設定し、これら両時間枠２
５、２６内で両信号１４、１６の値を比較するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、比較する範囲を必要な部分、すなわち
両時間枠２５、２６に絞ることができるので、状態波形
比較手段２９における比較が処理上容易となり、実用上
優れた効果を発揮する。
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上でそれぞれ対応して所定の範囲を限定する時間枠２５
および第２の時間枠２６を設定し、これら両時間枠２
５、２６内で両信号１４、１６の値を比較するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、比較する範囲を必要な部分、すなわち
両時間枠２５、２６に絞ることができるので、状態波形
比較手段２９における比較が処理上容易となり、実用上
優れた効果を発揮する。
【００２５】実施例５．図６はこの発明の実施例５にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３１は
状態波形比較手段で、まず図７に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠３２を設定するとともに、この時間枠３２内の基準
信号１４の所望の値を基準値３３と設定し、入力起動信
号１１をトリガとして基準値３３になるまでの時間ｔ1
を測定する。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３１は
状態波形比較手段で、まず図７に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠３２を設定するとともに、この時間枠３２内の基準
信号１４の所望の値を基準値３３と設定し、入力起動信
号１１をトリガとして基準値３３になるまでの時間ｔ1
を測定する。
【００２６】そして、状態信号１６の波形に対しても、
時間軸上で時間枠３２と対応する範囲に第２の時間枠３
４を設定し、入力起動信号１１をトリガとして第２の時
間枠３４内の状態信号１６の値が、基準値３３と同じ値
になるまでの時間ｔ2を測定する。そして両時間ｔ1、ｔ
2を比較して、時間ｔ2が時間ｔ1に対して予め設定され
た時間の許容範囲ｔ0を越えた異常部３５が検出される
と、状態異常表示手段１７へ異常信号が出力される。な
お、１０、１２、１７、１８、３１で運転状態監視装置
６０は構成されている。
時間軸上で時間枠３２と対応する範囲に第２の時間枠３
４を設定し、入力起動信号１１をトリガとして第２の時
間枠３４内の状態信号１６の値が、基準値３３と同じ値
になるまでの時間ｔ2を測定する。そして両時間ｔ1、ｔ
2を比較して、時間ｔ2が時間ｔ1に対して予め設定され
た時間の許容範囲ｔ0を越えた異常部３５が検出される
と、状態異常表示手段１７へ異常信号が出力される。な
お、１０、１２、１７、１８、３１で運転状態監視装置
６０は構成されている。
【００２７】上記のように実施例５によれば、基準信号
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上でそれぞれ対応して所定の範囲を限定する時間枠３２
および第２の時間枠３４を設定し、入力起動信号１１を
トリガにして、時間枠３２内に設定される基準値３３に
なるまでの時間と、第２の時間枠３４内の状態信号１６
の値が基準値３３と同じ値になるまでの時間とを比較し
て、運転状態の異常を検出するようにしているので、上
記実施例４と同様の効果を発揮することができる。
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上でそれぞれ対応して所定の範囲を限定する時間枠３２
および第２の時間枠３４を設定し、入力起動信号１１を
トリガにして、時間枠３２内に設定される基準値３３に
なるまでの時間と、第２の時間枠３４内の状態信号１６
の値が基準値３３と同じ値になるまでの時間とを比較し
て、運転状態の異常を検出するようにしているので、上
記実施例４と同様の効果を発揮することができる。
【００２８】実施例６．図８はこの発明の実施例６にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概念を説明す
るための図である。図において、３６ａ、３６ｂ、３６
ｃ、３６ｄは例えば図１に示すアナログ状態信号８と同
様に、半導体製造装置１から出力される複数の要因の異
なるアナログ状態信号、３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７
ｄは半導体製造装置１が正常に運転されている場合に出
力される各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄを基に設定
される各基準信号の波形、３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３
８ｄは半導体製造装置１の運転に伴って順次出力される
各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄの波形である。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概念を説明す
るための図である。図において、３６ａ、３６ｂ、３６
ｃ、３６ｄは例えば図１に示すアナログ状態信号８と同
様に、半導体製造装置１から出力される複数の要因の異
なるアナログ状態信号、３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７
ｄは半導体製造装置１が正常に運転されている場合に出
力される各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄを基に設定
される各基準信号の波形、３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３
８ｄは半導体製造装置１の運転に伴って順次出力される
各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄの波形である。
【００２９】上記のように実施例６によれば、半導体製
造装置１からそれぞれ要因の異なる複数のアナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄを取り出し、これら各アナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄ毎に各実施例で説明したような方法
で比較し、運転状態を監視するようにしているので運転
状態をあらゆる観点から監視することができ、より正確
な監視が可能になる。
造装置１からそれぞれ要因の異なる複数のアナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄを取り出し、これら各アナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄ毎に各実施例で説明したような方法
で比較し、運転状態を監視するようにしているので運転
状態をあらゆる観点から監視することができ、より正確
な監視が可能になる。
【００３０】実施例７．尚、上記各実施例では、半導体
製造装置１および各運転状態監視装置２０、３０、４
０、５０、６０が１対１で対応している場合について説
明したが、図９に示すように複数の半導体製造装置３９
ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを、これら各半導体製造装
置３９ａ〜３９ｄにそれぞれ対応し、独立した入力信号
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄを有するチャンネル４
１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄを備えた１台の運転状態
監視装置７０で監視するようにしても良く、上記各実施
例と同様の効果を発揮することができる。
製造装置１および各運転状態監視装置２０、３０、４
０、５０、６０が１対１で対応している場合について説
明したが、図９に示すように複数の半導体製造装置３９
ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを、これら各半導体製造装
置３９ａ〜３９ｄにそれぞれ対応し、独立した入力信号
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄを有するチャンネル４
１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄを備えた１台の運転状態
監視装置７０で監視するようにしても良く、上記各実施
例と同様の効果を発揮することができる。
【００３１】実施例８．又、上記各実施例では、半導体
製造装置１における処理の識別ができる場合について説
明したが、図１０に示すように、予め複数の処理に対応
してそれぞれ基準波形４３ａ、４３ｂ、を設定してお
き、半導体製造装置１から順次入力される状態信号波形
４４ａ、４４ｂ、４４ｃを、例えば図５で示した実施例
４におけるような比較方法で各基準波形４３ａ、４３ｂ
とそれぞれ比較し図中○、×印で示す比較結果が、すべ
ての基準波形４３ａ、４３ｂに対しても所定の範囲を越
えて異なる（図中×印で示す）場合、すなわち図８にお
いては状態信号波形４４ｃを異常と判断するようにすれ
ば、処理の識別が得られない場合にも、運転状態の監視
を支障なく行うことが可能になり、実用上優れた効果を
発揮する。
製造装置１における処理の識別ができる場合について説
明したが、図１０に示すように、予め複数の処理に対応
してそれぞれ基準波形４３ａ、４３ｂ、を設定してお
き、半導体製造装置１から順次入力される状態信号波形
４４ａ、４４ｂ、４４ｃを、例えば図５で示した実施例
４におけるような比較方法で各基準波形４３ａ、４３ｂ
とそれぞれ比較し図中○、×印で示す比較結果が、すべ
ての基準波形４３ａ、４３ｂに対しても所定の範囲を越
えて異なる（図中×印で示す）場合、すなわち図８にお
いては状態信号波形４４ｃを異常と判断するようにすれ
ば、処理の識別が得られない場合にも、運転状態の監視
を支障なく行うことが可能になり、実用上優れた効果を
発揮する。
【００３２】実施例９．又、上記各実施例では、被監視
機器として半導体製造装置１を例に説明したが、これに
限定されるものではなく、どのような機器に適用しても
上記各実施例と同様な効果を得ることは言うまでもな
い。
機器として半導体製造装置１を例に説明したが、これに
限定されるものではなく、どのような機器に適用しても
上記各実施例と同様な効果を得ることは言うまでもな
い。
【００３３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば毎回の
処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と順次比
較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合に
異常と判断するようにしたので、機器の運転状態を常時
監視して異常を即時検出することが可能な機器の運転状
態監視装置を提供することができる。
処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と順次比
較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合に
異常と判断するようにしたので、機器の運転状態を常時
監視して異常を即時検出することが可能な機器の運転状
態監視装置を提供することができる。
【図１】この発明の実施例１における半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図２】この発明の実施例２における半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図３】この発明の実施例３における半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図４】この発明の実施例４における半導体製造装置の
運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
【図５】図４に示される状態波形比較手段の比較動作を
説明するための波形図である。
説明するための波形図である。
【図６】この発明の実施例５における半導体製造装置の
運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
【図７】図６に示される状態波形比較手段の比較動作を
説明するための波形図である。
説明するための波形図である。
【図８】この発明の実施例６における半導体製造装置の
運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
【図９】この発明の実施例７における半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示すブロック図である。
運転状態監視装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１０】この発明の実施例８における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
の運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
【図１１】従来の半導体製造装置の運転状態監視装置の
概略構成を示す図である。
概略構成を示す図である。
１ 半導体製造装置（機器） ２ 処理室 ３ 搬送装置 ４ 被処理物 ８ アナログ状態信号 ９ デジタル状態信号 １０ 状態信号入力手段 １１、２２、２４ 入力起動信号 １２ 基準波形記憶手段 １４ 基準信号 １５、２９、３１ 状態波形比較手段 １７ 状態異常表示手段 １８ ランプ ２０、３０、４０、５０、６０、７０ 運転状態監視装
置 ２１、２３ 入力起動信号送出手段 ２５、３２ 時間枠 ２６、３４ 第２の時間枠 ２７ 許容範囲 ２８、３５ 異常部 ３３ 基準値 ３６ａ〜３６ｄ アナログ状態信号 ３７ａ〜３７ｄ 基準信号の波形 ３８ａ〜３８ｄ アナログ状態信号の波形 ３９ａ〜３９ｄ 半導体製造装置 ４１ａ〜４１ｄ チャンネル ４２ａ〜４２ｄ 入力起動信号
置 ２１、２３ 入力起動信号送出手段 ２５、３２ 時間枠 ２６、３４ 第２の時間枠 ２７ 許容範囲 ２８、３５ 異常部 ３３ 基準値 ３６ａ〜３６ｄ アナログ状態信号 ３７ａ〜３７ｄ 基準信号の波形 ３８ａ〜３８ｄ アナログ状態信号の波形 ３９ａ〜３９ｄ 半導体製造装置 ４１ａ〜４１ｄ チャンネル ４２ａ〜４２ｄ 入力起動信号
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 機器の運転状態監視装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、機器の運転状態を監
視し、異常を検出した場合に作業者や機器に対して異常
を通報する機器の運転状態監視装置に関するものであ
る。
視し、異常を検出した場合に作業者や機器に対して異常
を通報する機器の運転状態監視装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、機器の運転状態が不安定な場
合は、正常な処理を施すことができずに不良品が発生す
る。したがって、常に機器の運転状態が不安定であるか
否かを監視しながら処理を行うことが重要となり、この
種の機器の運転状態監視装置の必要性は、特に半導体製
造装置等において大となってきている。尚、以下の説明
は運転状態を監視される機器として、半導体製造装置を
例に行うものとする。図１１は従来の半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は運転状態を監視される例えばプラズマＣＶＤ装
置等のような半導体製造装置、２はこの半導体製造装置
１内に設けられる処理室、３は搬送装置、４はこの搬送
装置３によって搬送される例えばウエハ等の被処理物、
５は処理室２に供給される原料ガス等の流量を計測する
ガス流量計、６は高周波電源、７はレコ−ダで、例えば
ガス流量計５の検出器から出力される電圧等のアナログ
状態信号８、および例えば高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦ
で出力される電圧等のデジタル状態信号９をそれぞれ入
力し記録用紙７ａに記録する。
合は、正常な処理を施すことができずに不良品が発生す
る。したがって、常に機器の運転状態が不安定であるか
否かを監視しながら処理を行うことが重要となり、この
種の機器の運転状態監視装置の必要性は、特に半導体製
造装置等において大となってきている。尚、以下の説明
は運転状態を監視される機器として、半導体製造装置を
例に行うものとする。図１１は従来の半導体製造装置の
運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図におい
て、１は運転状態を監視される例えばプラズマＣＶＤ装
置等のような半導体製造装置、２はこの半導体製造装置
１内に設けられる処理室、３は搬送装置、４はこの搬送
装置３によって搬送される例えばウエハ等の被処理物、
５は処理室２に供給される原料ガス等の流量を計測する
ガス流量計、６は高周波電源、７はレコ−ダで、例えば
ガス流量計５の検出器から出力される電圧等のアナログ
状態信号８、および例えば高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦ
で出力される電圧等のデジタル状態信号９をそれぞれ入
力し記録用紙７ａに記録する。
【０００３】次に上記のように構成される従来の運転状
態監視装置の動作について説明する。まず、被処理物４
は搬送装置３によって処理室２内に搬入され、所望の処
理が施された後、再び搬送装置３によって処理室２外に
搬出され、図示しない次工程を担当する装置へ送出され
ている。そして、このように処理室２内で処理が行われ
ている間、処理室２内には電気、ガス、薬品、水等のよ
うな動力源および反応源が供給されており、これらの処
理条件を所望の状態にするための検出器も具備されてい
る。
態監視装置の動作について説明する。まず、被処理物４
は搬送装置３によって処理室２内に搬入され、所望の処
理が施された後、再び搬送装置３によって処理室２外に
搬出され、図示しない次工程を担当する装置へ送出され
ている。そして、このように処理室２内で処理が行われ
ている間、処理室２内には電気、ガス、薬品、水等のよ
うな動力源および反応源が供給されており、これらの処
理条件を所望の状態にするための検出器も具備されてい
る。
【０００４】このため、処理室２内の状態を示す一要因
としてのガス流量計５で検出される流量によるアナログ
状態信号８、および高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦによる
デジタル状態信号９をそれぞれ取り出し、レコ−ダ７に
よって記録用紙７ａに記録しておき、記録用紙７ａに記
録されたアナログ状態信号８およびデジタル状態信号９
の各波形の変化を、短い周期で作業者が定期的にチェッ
クすることにより、半導体製造装置１の運転状態を監視
するようにしている。
としてのガス流量計５で検出される流量によるアナログ
状態信号８、および高周波電源６のＯＮ／ＯＦＦによる
デジタル状態信号９をそれぞれ取り出し、レコ−ダ７に
よって記録用紙７ａに記録しておき、記録用紙７ａに記
録されたアナログ状態信号８およびデジタル状態信号９
の各波形の変化を、短い周期で作業者が定期的にチェッ
クすることにより、半導体製造装置１の運転状態を監視
するようにしている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体製造装置
の運転状態監視装置は以上のように構成されているの
で、短い周期で定期的にチェックするとは言うものの、
実際の運転上では作業者が常時貼り付くわけにもいか
ず、せいぜい数時間毎のチェックしか行われていないた
め、例えば数分間で処理を完了するような製造機器にお
いては、不良品が多発する恐れがあるという問題点があ
った。
の運転状態監視装置は以上のように構成されているの
で、短い周期で定期的にチェックするとは言うものの、
実際の運転上では作業者が常時貼り付くわけにもいか
ず、せいぜい数時間毎のチェックしか行われていないた
め、例えば数分間で処理を完了するような製造機器にお
いては、不良品が多発する恐れがあるという問題点があ
った。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、機器の運転状態を常時監視して
異常を即時検出することができる機器の運転状態監視装
置を提供することを目的とするものである。
ためになされたもので、機器の運転状態を常時監視して
異常を即時検出することができる機器の運転状態監視装
置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
の機器の運転状態監視装置は、機器の処理状態を表す状
態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
の機器の運転状態監視装置は、機器の処理状態を表す状
態信号をデジタル化して順次入力する状態信号入力手段
と、入力起動信号をトリガにして状態信号の機器の処理
が正常な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形
記憶手段と、状態信号の波形と基準信号の波形とを入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたものである。
【０００８】又、この発明に係る請求項２の機器の運転
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して入力起動信号
を送出する入力起動信号送出手段と、入力起動信号をト
リガにして状態信号の機器の処理が正常な状態の波形を
基準信号として記憶する基準波形記憶手段と、状態信号
の波形と基準信号の波形とを入力起動信号をトリガにし
て順次比較する状態波形比較手段とを備えたものであ
る。
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して入力起動信号
を送出する入力起動信号送出手段と、入力起動信号をト
リガにして状態信号の機器の処理が正常な状態の波形を
基準信号として記憶する基準波形記憶手段と、状態信号
の波形と基準信号の波形とを入力起動信号をトリガにし
て順次比較する状態波形比較手段とを備えたものであ
る。
【０００９】又、この発明に係る請求項３の機器の運転
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して所定の状態が
所定の時間継続した場合に入力起動信号として送出する
入力起動信号送出手段と、入力起動信号をトリガにして
状態信号の機器の処理が正常な状態の波形を基準信号と
して記憶する基準波形記憶手段と、状態信号の波形と基
準信号の波形とを入力起動信号をトリガにして順次比較
する状態波形比較手段とを備えたものである。
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定
された基準値と状態信号の値とを比較して所定の状態が
所定の時間継続した場合に入力起動信号として送出する
入力起動信号送出手段と、入力起動信号をトリガにして
状態信号の機器の処理が正常な状態の波形を基準信号と
して記憶する基準波形記憶手段と、状態信号の波形と基
準信号の波形とを入力起動信号をトリガにして順次比較
する状態波形比較手段とを備えたものである。
【００１０】又、この発明に係る請求項４の機器の運転
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では 基準信号の波形の時間
軸上で所定の時間枠を設定し、時間枠内の基準信号の波
形と、時間枠に対応する時間内の状態信号の波形とを比
較するようにしたものである。
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では 基準信号の波形の時間
軸上で所定の時間枠を設定し、時間枠内の基準信号の波
形と、時間枠に対応する時間内の状態信号の波形とを比
較するようにしたものである。
【００１１】又、この発明に係る請求項５の機器の運転
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では基準信号の波形の時間軸
上で所定の時間枠を設定するとともにこの時間枠内の所
望の値を基準値と設定し、入力起動信号のトリガ時点か
ら基準値になるまでの時間と、状態信号が基準値になる
までの時間とを比較するようにしたものである。
状態監視装置は、請求項１ないし請求項３のいずれかに
おいて、状態波形比較手段では基準信号の波形の時間軸
上で所定の時間枠を設定するとともにこの時間枠内の所
望の値を基準値と設定し、入力起動信号のトリガ時点か
ら基準値になるまでの時間と、状態信号が基準値になる
までの時間とを比較するようにしたものである。
【００１２】又、この発明に係る請求項６の機器の運転
状態監視装置は請求項１ないし請求項５のいずれかにお
いて、状態波形比較手段による比較結果が所定の範囲を
越えて異なる場合に、異常と判断して表示するようにし
たものである。
状態監視装置は請求項１ないし請求項５のいずれかにお
いて、状態波形比較手段による比較結果が所定の範囲を
越えて異なる場合に、異常と判断して表示するようにし
たものである。
【００１３】又、この発明に係る請求項７の機器の運転
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号を複数
の処理状態についてデジタル化して順次入力する状態信
号入力手段と、入力起動信号をトリガにして状態信号の
機器の処理が正常な状態の波形を基準信号として複数の
処理状態について記憶する基準波形記憶手段と、状態信
号の波形を各処理状態毎に記憶された各基準信号の波形
に対してそれぞれ入力起動信号をトリガにして順次比較
を行い、各比較の結果の全てについて所定の範囲を越え
て異なる状態信号が存在する場合に異常と判断する状態
波形比較手段とを備えたものである。
状態監視装置は、機器の処理状態を表す状態信号を複数
の処理状態についてデジタル化して順次入力する状態信
号入力手段と、入力起動信号をトリガにして状態信号の
機器の処理が正常な状態の波形を基準信号として複数の
処理状態について記憶する基準波形記憶手段と、状態信
号の波形を各処理状態毎に記憶された各基準信号の波形
に対してそれぞれ入力起動信号をトリガにして順次比較
を行い、各比較の結果の全てについて所定の範囲を越え
て異なる状態信号が存在する場合に異常と判断する状態
波形比較手段とを備えたものである。
【００１４】
【作用】この発明における機器の運転状態監視装置は、
毎回の処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と
順次比較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる
場合に異常と判断する。
毎回の処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と
順次比較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる
場合に異常と判断する。
【００１５】
【実施例】 実施例１．以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図にお
いて、図１１に示す従来装置と同様な部分は同一符号を
付して説明を省略する。１０はアナログ状態信号８をそ
のまま若しくは倍率変換を施してデジタル化して入力す
る状態信号入力手段である。デジタル状態信号９は入力
起動信号１１として利用する。
る。図１はこの発明の実施例１における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。図にお
いて、図１１に示す従来装置と同様な部分は同一符号を
付して説明を省略する。１０はアナログ状態信号８をそ
のまま若しくは倍率変換を施してデジタル化して入力す
る状態信号入力手段である。デジタル状態信号９は入力
起動信号１１として利用する。
【００１６】１２は入力起動信号１１をトリガにして半
導体製造装置１が正常な状態で運転されている場合に、
状態信号入力手段１０によりデジタル化されて順次入力
された状態信号１３を、基準信号１４として記憶する基
準波形記憶手段、１５は状態信号入力手段１０によりデ
ジタル化されて順次入力された状態信号１６の波形と、
基準波形記憶手段１２によって記憶される基準信号１４
の波形とを比較する状態波形比較手段、１７はこの状態
波形比較手段１５の比較結果が所定の範囲を越えて異な
っている場合は、例えばランプ１８等で表示する状態異
常表示手段である。そして、これら１０、１２、１５、
１７、１８で運転状態監視装置２０を構成している。
導体製造装置１が正常な状態で運転されている場合に、
状態信号入力手段１０によりデジタル化されて順次入力
された状態信号１３を、基準信号１４として記憶する基
準波形記憶手段、１５は状態信号入力手段１０によりデ
ジタル化されて順次入力された状態信号１６の波形と、
基準波形記憶手段１２によって記憶される基準信号１４
の波形とを比較する状態波形比較手段、１７はこの状態
波形比較手段１５の比較結果が所定の範囲を越えて異な
っている場合は、例えばランプ１８等で表示する状態異
常表示手段である。そして、これら１０、１２、１５、
１７、１８で運転状態監視装置２０を構成している。
【００１７】次に、上記のように構成された実施例１に
おける半導体製造装置の運転状態監視装置の動作につい
て説明する。まず、半導体製造装置を運転させて被処理
物４を正常な状態で処理し、この状態において状態信号
入力手段で入力されデジタル化された状態信号１３を、
入力起動信号１１をトリガにして基準波形記憶手段１２
に予め基準信号１４として記憶させる。次いで半導体製
造装置１の運転を本格的に開始させ、状態波形比較手段
１５により状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６と、基準波形記憶手段１２で記
憶されている基準信号１４との比較を行う。そして、こ
の比較の結果が所定の範囲を越えて異なっている場合に
は、状態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させ
て作業者に異常を通報するとともに、半導体製造装置１
にフイ−ドバックして運転を一旦停止させる。
おける半導体製造装置の運転状態監視装置の動作につい
て説明する。まず、半導体製造装置を運転させて被処理
物４を正常な状態で処理し、この状態において状態信号
入力手段で入力されデジタル化された状態信号１３を、
入力起動信号１１をトリガにして基準波形記憶手段１２
に予め基準信号１４として記憶させる。次いで半導体製
造装置１の運転を本格的に開始させ、状態波形比較手段
１５により状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６と、基準波形記憶手段１２で記
憶されている基準信号１４との比較を行う。そして、こ
の比較の結果が所定の範囲を越えて異なっている場合に
は、状態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させ
て作業者に異常を通報するとともに、半導体製造装置１
にフイ−ドバックして運転を一旦停止させる。
【００１８】上記のように実施例１によれば、基準波形
記憶手段１２に予め記憶されている基準信号１４と、処
理に伴って状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６とを状態波形比較手段１５で比
較し、比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合は、状
態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させるとと
もに、半導体製造装置１にフイ−ドバックして運転を一
旦停止させるようにしているので、作業者に速やかに通
報することができ、又、作業者が半導体製造装置１に到
着するまでの間の不良品の発生を防止することもでき
る。
記憶手段１２に予め記憶されている基準信号１４と、処
理に伴って状態信号入力手段１０で順次入力されデジタ
ル化された状態信号１６とを状態波形比較手段１５で比
較し、比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合は、状
態異常表示手段１７によりランプ１８を点滅させるとと
もに、半導体製造装置１にフイ−ドバックして運転を一
旦停止させるようにしているので、作業者に速やかに通
報することができ、又、作業者が半導体製造装置１に到
着するまでの間の不良品の発生を防止することもでき
る。
【００１９】実施例２．図２はこの発明の実施例２にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図１に示す実施例１と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。１９は例えば
高周波電源６からの実際の高周波出力を平滑処理した電
圧出力等のアナログ状態信号、２１は予め設定された基
準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比較し、入力
起動信号２２を送出する入力起動信号送出手段である。
そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２１で
運転状態監視装置３０を構成している。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図１に示す実施例１と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。１９は例えば
高周波電源６からの実際の高周波出力を平滑処理した電
圧出力等のアナログ状態信号、２１は予め設定された基
準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比較し、入力
起動信号２２を送出する入力起動信号送出手段である。
そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２１で
運転状態監視装置３０を構成している。
【００２０】上記のように実施例２によれば、入力起動
信号送出手段２１により、予め設定された基準値とアナ
ログ状態信号１９の値とを順次比較し、入力起動信号２
２を送出するようにしているので、上記実施例１の場合
と同様の効果を得ることは勿論のこと、実施例１におけ
るデジタル状態信号９が取り出せない装置や、取り出す
ための改造に多額の費用がかかる装置等にも適用可能で
あるという実用上優れた効果を発揮することができる。
信号送出手段２１により、予め設定された基準値とアナ
ログ状態信号１９の値とを順次比較し、入力起動信号２
２を送出するようにしているので、上記実施例１の場合
と同様の効果を得ることは勿論のこと、実施例１におけ
るデジタル状態信号９が取り出せない装置や、取り出す
ための改造に多額の費用がかかる装置等にも適用可能で
あるという実用上優れた効果を発揮することができる。
【００２１】実施例３．図３はこの発明の実施例３にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図２に示す実施例２と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。２３は予め設
定された基準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比
較し、所定の状態が所定の時間継続した場合に、入力起
動信号２４として送出する入力起動信号送出手段であ
る。そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２
３で運転状態監視装置４０を構成している。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概略構成を示
す図である。図において、図２に示す実施例２と同様な
部分は同一符号を付して説明を省略する。２３は予め設
定された基準値とアナログ状態信号１９の値とを順次比
較し、所定の状態が所定の時間継続した場合に、入力起
動信号２４として送出する入力起動信号送出手段であ
る。そして、これら１０、１２、１５、１７、１８、２
３で運転状態監視装置４０を構成している。
【００２２】上記のように実施例３によれば、入力起動
信号手段２３により、予め設定された基準値とアナログ
状態信号１９の値とを順次比較し、所定の状態が所定の
時間継続した場合に、入力起動信号２４として送出する
ようにしているので、上記各実施例の場合と同様の効果
を得ることは勿論のこと、アナログ状態信号１９の初期
の不安定な波形や不要の波形を無視できるので、状態波
形比較手段１５における比較が処理上容易になるという
実用上優れた効果を発揮することができる。なお、基準
値や時間経過の設定は、ソフトウエアプログラムで変数
値として取り扱うことにより容易に変更でき、状況に応
じた取扱いが可能となる。
信号手段２３により、予め設定された基準値とアナログ
状態信号１９の値とを順次比較し、所定の状態が所定の
時間継続した場合に、入力起動信号２４として送出する
ようにしているので、上記各実施例の場合と同様の効果
を得ることは勿論のこと、アナログ状態信号１９の初期
の不安定な波形や不要の波形を無視できるので、状態波
形比較手段１５における比較が処理上容易になるという
実用上優れた効果を発揮することができる。なお、基準
値や時間経過の設定は、ソフトウエアプログラムで変数
値として取り扱うことにより容易に変更でき、状況に応
じた取扱いが可能となる。
【００２３】実施例４．図４はこの発明の実施例４にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は
状態波形比較手段で、まず図５に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠２５を設定するとともに、この時間枠２５内におけ
る基準信号１４の値に対して上限、下限を決めて許容範
囲２７を設定する。次いで状態信号１６の波形に対し
て、時間枠２５内で状態信号１６の値が上記許容範囲２
７内に入っているか否かを判定し、例えば図に示すよう
に許容範囲をはみ出す異常部２８が検出されると、状態
異常表示手段１７へ異常信号が出力される。なお、１
０、１２、１７、１８、２９で運転状態監視装置５０は
構成されている。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。２９は
状態波形比較手段で、まず図５に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠２５を設定するとともに、この時間枠２５内におけ
る基準信号１４の値に対して上限、下限を決めて許容範
囲２７を設定する。次いで状態信号１６の波形に対し
て、時間枠２５内で状態信号１６の値が上記許容範囲２
７内に入っているか否かを判定し、例えば図に示すよう
に許容範囲をはみ出す異常部２８が検出されると、状態
異常表示手段１７へ異常信号が出力される。なお、１
０、１２、１７、１８、２９で運転状態監視装置５０は
構成されている。
【００２４】上記のように実施例４によれば、基準信号
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上で所定の範囲を限定する時間枠２５を設定し、この時
間枠２５内で両信号１４、１６の値を比較するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、比較する範囲を必要な部分、すなわち
時間枠２５に絞ることができるので、状態波形比較手段
２９における比較が処理上容易となり、実用上優れた効
果を発揮する。
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上で所定の範囲を限定する時間枠２５を設定し、この時
間枠２５内で両信号１４、１６の値を比較するようにし
ているので、上記各実施例の場合と同様の効果を得るこ
とは勿論のこと、比較する範囲を必要な部分、すなわち
時間枠２５に絞ることができるので、状態波形比較手段
２９における比較が処理上容易となり、実用上優れた効
果を発揮する。
【００２５】実施例５．図６はこの発明の実施例５にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３１は
状態波形比較手段で、まず図７に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠３２を設定するとともに、この時間枠３２内の基準
信号１４の所望の値を基準値３３と設定し、入力起動信
号１１をトリガとして基準値３３になるまでの時間ｔ1
に対して時間ｔ1の変動の許容範囲ｔ0を設定する。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の要部の概略構
成を示す図である。図において、図１に示す実施例１と
同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。３１は
状態波形比較手段で、まず図７に示すように基準信号１
４の波形に対して、時間軸上で所定の範囲を限定する時
間枠３２を設定するとともに、この時間枠３２内の基準
信号１４の所望の値を基準値３３と設定し、入力起動信
号１１をトリガとして基準値３３になるまでの時間ｔ1
に対して時間ｔ1の変動の許容範囲ｔ0を設定する。
【００２６】そして、状態信号１６の波形に対して入力
起動信号１１をトリガとして許容範囲ｔ0での状態信号
１６の値に、基準値３３と同じ値が存在するかを判定す
る。例えば、図に示すように状態信号１６の値が、基準
値３３と同じ値になるまでの時間ｔ2が予め設定された
時間の許容範囲ｔ0を越えていると、異常部３５として
状態異常表示手段１７へ異常信号が出力される。なお、
１０、１２、１７、１８、３１で運転状態監視装置６０
は構成されている。
起動信号１１をトリガとして許容範囲ｔ0での状態信号
１６の値に、基準値３３と同じ値が存在するかを判定す
る。例えば、図に示すように状態信号１６の値が、基準
値３３と同じ値になるまでの時間ｔ2が予め設定された
時間の許容範囲ｔ0を越えていると、異常部３５として
状態異常表示手段１７へ異常信号が出力される。なお、
１０、１２、１７、１８、３１で運転状態監視装置６０
は構成されている。
【００２７】上記のように実施例５によれば、基準信号
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上で所定の範囲を限定する時間枠３２を設定し、入力起
動信号１１をトリガにして、時間枠３２内に設定される
基準値３３になるまでの時間に対する許容範囲を設定
し、この許容範囲内で状態信号１６の値に基準値３３と
同じ値が存在するかを判定して、運転状態の異常を検出
するようにしているので、上記実施例４と同様の効果を
発揮することができる。
１４の波形および状態信号１６の波形に対して、時間軸
上で所定の範囲を限定する時間枠３２を設定し、入力起
動信号１１をトリガにして、時間枠３２内に設定される
基準値３３になるまでの時間に対する許容範囲を設定
し、この許容範囲内で状態信号１６の値に基準値３３と
同じ値が存在するかを判定して、運転状態の異常を検出
するようにしているので、上記実施例４と同様の効果を
発揮することができる。
【００２８】実施例６．図８はこの発明の実施例６にお
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概念を説明す
るための図である。図において、３６ａ、３６ｂ、３６
ｃ、３６ｄは例えば図１に示すアナログ状態信号８と同
様に、半導体製造装置１から出力される複数の要因の異
なるアナログ状態信号、３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７
ｄは半導体製造装置１が正常に運転されている場合に出
力される各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄを基に設定
される各基準信号の波形、３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３
８ｄは半導体製造装置１の運転に伴って順次出力される
各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄの波形である。
ける半導体製造装置の運転状態監視装置の概念を説明す
るための図である。図において、３６ａ、３６ｂ、３６
ｃ、３６ｄは例えば図１に示すアナログ状態信号８と同
様に、半導体製造装置１から出力される複数の要因の異
なるアナログ状態信号、３７ａ、３７ｂ、３７ｃ、３７
ｄは半導体製造装置１が正常に運転されている場合に出
力される各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄを基に設定
される各基準信号の波形、３８ａ、３８ｂ、３８ｃ、３
８ｄは半導体製造装置１の運転に伴って順次出力される
各アナログ状態信号３６ａ〜３６ｄの波形である。
【００２９】上記のように実施例６によれば、半導体製
造装置１からそれぞれ要因の異なる複数のアナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄを取り出し、これら各アナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄ毎に各実施例で説明したような方法
で比較し、運転状態を監視するようにしているので運転
状態をあらゆる観点から監視することができ、より正確
な監視が可能になる。
造装置１からそれぞれ要因の異なる複数のアナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄを取り出し、これら各アナログ状態
信号３６ａ〜３６ｄ毎に各実施例で説明したような方法
で比較し、運転状態を監視するようにしているので運転
状態をあらゆる観点から監視することができ、より正確
な監視が可能になる。
【００３０】実施例７．尚、上記各実施例では、半導体
製造装置１および各運転状態監視装置２０、３０、４
０、５０、６０が１対１で対応している場合について説
明したが、図９に示すように複数の半導体製造装置３９
ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを、これら各半導体製造装
置３９ａ〜３９ｄにそれぞれ対応し、独立した入力信号
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄを有するチャンネル４
１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄを備えた１台の運転状態
監視装置７０で監視するようにしても良く、上記各実施
例と同様の効果を発揮することができる。
製造装置１および各運転状態監視装置２０、３０、４
０、５０、６０が１対１で対応している場合について説
明したが、図９に示すように複数の半導体製造装置３９
ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを、これら各半導体製造装
置３９ａ〜３９ｄにそれぞれ対応し、独立した入力信号
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄを有するチャンネル４
１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄを備えた１台の運転状態
監視装置７０で監視するようにしても良く、上記各実施
例と同様の効果を発揮することができる。
【００３１】実施例８．又、上記各実施例では、半導体
製造装置１における処理の識別ができる場合について説
明したが、図１０に示すように、予め複数の処理に対応
してそれぞれ基準波形４３ａ、４３ｂ、を設定してお
き、半導体製造装置１から順次入力される状態信号波形
４４ａ、４４ｂ、４４ｃを、例えば図５で示した実施例
４におけるような比較方法で各基準波形４３ａ、４３ｂ
とそれぞれ比較し図中○、×印で示す比較結果が、すべ
ての基準波形４３ａ、４３ｂに対しても所定の範囲を越
えて異なる（図中×印で示す）場合、すなわち図８にお
いては状態信号波形４４ｃを異常と判断するようにすれ
ば、処理の識別が得られない場合にも、運転状態の監視
を支障なく行うことが可能になり、実用上優れた効果を
発揮する。
製造装置１における処理の識別ができる場合について説
明したが、図１０に示すように、予め複数の処理に対応
してそれぞれ基準波形４３ａ、４３ｂ、を設定してお
き、半導体製造装置１から順次入力される状態信号波形
４４ａ、４４ｂ、４４ｃを、例えば図５で示した実施例
４におけるような比較方法で各基準波形４３ａ、４３ｂ
とそれぞれ比較し図中○、×印で示す比較結果が、すべ
ての基準波形４３ａ、４３ｂに対しても所定の範囲を越
えて異なる（図中×印で示す）場合、すなわち図８にお
いては状態信号波形４４ｃを異常と判断するようにすれ
ば、処理の識別が得られない場合にも、運転状態の監視
を支障なく行うことが可能になり、実用上優れた効果を
発揮する。
【００３２】実施例９．又、上記各実施例では、被監視
機器として半導体製造装置１を例に説明したが、これに
限定されるものではなく、どのような機器に適用しても
上記各実施例と同様な効果を得ることは言うまでもな
い。
機器として半導体製造装置１を例に説明したが、これに
限定されるものではなく、どのような機器に適用しても
上記各実施例と同様な効果を得ることは言うまでもな
い。
【００３３】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば毎回の
処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と順次比
較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合に
異常と判断するようにしたので、機器の運転状態を常時
監視して異常を即時検出することが可能な機器の運転状
態監視装置を提供することができる。
処理に伴う状態波形を正常な処理時の基準波形と順次比
較し、その比較結果が所定の範囲を越えて異なる場合に
異常と判断するようにしたので、機器の運転状態を常時
監視して異常を即時検出することが可能な機器の運転状
態監視装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施例１における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図２】 この発明の実施例２における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図３】 この発明の実施例３における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
の運転状態監視装置の概略構成を示す図である。
【図４】 この発明の実施例４における半導体製造装置
の運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
の運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
【図５】 図４に示される状態波形比較手段の比較動作
を説明するための波形図である。
を説明するための波形図である。
【図６】 この発明の実施例５における半導体製造装置
の運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
の運転状態監視装置の要部の概略構成を示す図である。
【図７】 図６に示される状態波形比較手段の比較動作
を説明するための波形図である。
を説明するための波形図である。
【図８】 この発明の実施例６における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
の運転状態監視装置の概念を説明するための図である。
【図９】 この発明の実施例７における半導体製造装置
の運転状態監視装置の概略構成を示すブロック図であ
る。
の運転状態監視装置の概略構成を示すブロック図であ
る。
【図１０】 この発明の実施例８における半導体製造装
置の運転状態監視装置の概念を説明するための図であ
る。
置の運転状態監視装置の概念を説明するための図であ
る。
【図１１】 従来の半導体製造装置の運転状態監視装置
の概略構成を示す図である。
の概略構成を示す図である。
【符号の説明】 １ 半導体製造装置（機器）、２ 処理室、３ 搬送装
置、４ 被処理物、８ アナログ状態信号、９ デジタ
ル状態信号、１０ 状態信号入力手段、１１，２２，２
４ 入力起動信号、１２ 基準波形記憶手段、１４ 基
準信号、１５，２９，３１ 状態波形比較手段、１７
状態異常表示手段、１８ ランプ、２０，３０，４０，
５０，６０，７０ 運転状態監視装置、２１，２３ 入
力起動信号送出手段、２５，３２ 時間枠、２６，３４
第２の時間枠、２７ 許容範囲、２８，３５ 異常
部、３３ 基準値、３６ａ〜３６ｄ アナログ状態信
号、３７ａ〜３７ｄ 基準信号の波形、３８ａ〜３８ｄ
アナログ状態信号の波形、３９ａ〜３９ｄ 半導体製
造装置、４１ａ〜４１ｄ チャンネル、４２ａ〜４２ｄ
入力起動信号。
置、４ 被処理物、８ アナログ状態信号、９ デジタ
ル状態信号、１０ 状態信号入力手段、１１，２２，２
４ 入力起動信号、１２ 基準波形記憶手段、１４ 基
準信号、１５，２９，３１ 状態波形比較手段、１７
状態異常表示手段、１８ ランプ、２０，３０，４０，
５０，６０，７０ 運転状態監視装置、２１，２３ 入
力起動信号送出手段、２５，３２ 時間枠、２６，３４
第２の時間枠、２７ 許容範囲、２８，３５ 異常
部、３３ 基準値、３６ａ〜３６ｄ アナログ状態信
号、３７ａ〜３７ｄ 基準信号の波形、３８ａ〜３８ｄ
アナログ状態信号の波形、３９ａ〜３９ｄ 半導体製
造装置、４１ａ〜４１ｄ チャンネル、４２ａ〜４２ｄ
入力起動信号。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正内容】
【図６】
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
Claims (7)
- 【請求項１】 機器の処理状態を表す状態信号をデジタ
ル化して順次入力する状態信号入力手段と、入力起動信
号をトリガにして上記状態信号の上記機器の処理が正常
な状態の波形を基準信号として記憶する基準波形記憶手
段と、上記状態信号の波形と上記基準信号の波形とを上
記入力起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比
較手段とを備えたことを特徴とする機器の運転状態監視
装置。 - 【請求項２】 機器の処理状態を表す状態信号をデジタ
ル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定さ
れた基準値と上記状態信号の値とを比較して上記状態信
号の値が上記基準値を越えた場合に入力起動信号として
送出する入力起動信号送出手段と、上記入力起動信号を
トリガにして上記状態信号の上記機器の処理が正常な状
態の波形を基準信号として記憶する基準波形記憶手段
と、上記状態信号の波形と上記基準信号の波形とを上記
入力起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較
手段とを備えたことを特徴とする機器の運転状態監視装
置。 - 【請求項３】 機器の処理状態を表す状態信号をデジタ
ル化して順次入力する状態信号入力手段と、予め設定さ
れた基準値と上記状態信号の値が上記基準値を越え且つ
その状態が所定の時間継続した場合に入力起動信号とし
て送出する入力起動送出手段と、上記入力起動信号をト
リガにして上記状態信号の上記機器の処理が正常な状態
の波形を基準信号として記憶する基準波形記憶手段と、
上記状態信号の波形と上記基準信号の波形とを上記入力
起動信号をトリガにして順次比較する状態波形比較手段
とを備えたことを特徴とする機器の運転状態監視装置。 - 【請求項４】 状態波形比較手段は、基準信号の波形の
時間軸上で所定の時間枠を設定し、上記時間枠内の上記
基準信号の波形と、上記時間枠に対応する時間内の状態
信号の波形とを比較するようにしたことを特徴とする請
求項１ないし請求項３のいずれかに記載の機器の運転状
態監視装置。 - 【請求項５】 状態波形比較手段は、基準信号の波形の
時間軸上で所定の時間枠を設定するとともに上記時間枠
内の所望の値を基準値と設定し、入力起動信号のトリガ
時点から上記基準値になるまでの時間と、上記時間枠に
対応する時間内で状態信号が上記基準値になるまでの時
間とを比較するようにしたことを特徴とする請求項１な
いし請求項３のいずれかに記載の機器の運転状態監視装
置。 - 【請求項６】 状態波形比較手段による比較結果が所定
の範囲を越えて異なる場合に、異常と判断して表示する
ようにしたことを特徴とする請求項１ないし請求項５の
いずれかに記載の機器の運転状態監視装置。 - 【請求項７】 機器の複数の処理状態を表す信号をデジ
タル化して順次入力する状態信号入力手段と、入力起動
信号をトリガにして上記複数の状態信号の上記機器の処
理が正常な状態の各波形を各基準信号として記憶する基
準波形記憶手段と、上記各状態信号の波形を上記各基準
信号の波形に対してそれぞれ上記入力起動信号をトリガ
にして順次比較を行い、各比較の結果の全てが所定の範
囲を越えて異なる状態信号が存在する場合に異常と判断
する状態波形比較手段とを備えたことを特徴とする機器
の運転状態監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12888293A JPH06341931A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 機器の運転状態監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12888293A JPH06341931A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 機器の運転状態監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06341931A true JPH06341931A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=14995692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12888293A Pending JPH06341931A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 機器の運転状態監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06341931A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002221537A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-08-09 | Tektronix Inc | 試験測定機器及び試験測定方法 |
| JP2005077282A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Mitsubishi Motors Corp | 被試験体の試験装置 |
| JP2013206915A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法及び監視装置 |
| CN115158734A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-10-11 | 苏州优斯登物联网科技有限公司 | 一种设备异常动作监测系统及自动化设备 |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP12888293A patent/JPH06341931A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002221537A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-08-09 | Tektronix Inc | 試験測定機器及び試験測定方法 |
| JP2005077282A (ja) * | 2003-09-01 | 2005-03-24 | Mitsubishi Motors Corp | 被試験体の試験装置 |
| JP2013206915A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法及び監視装置 |
| CN115158734A (zh) * | 2021-10-22 | 2022-10-11 | 苏州优斯登物联网科技有限公司 | 一种设备异常动作监测系统及自动化设备 |
| CN115158734B (zh) * | 2021-10-22 | 2024-01-30 | 苏州优斯登物联网科技有限公司 | 一种设备异常动作监测系统及自动化设备 |
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