JP2002149222A - 製品の生産ラインにおける品質管理方法および品質管理システム - Google Patents
製品の生産ラインにおける品質管理方法および品質管理システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製品の生産ラインにおける品質特性の傾向ま
たは揺らぎを早急に検知し、品質トラブルの発生を未然
に防ぐ。 【解決手段】 製品の品質特性の傾向であるＱＣトレン
ドまたはＱＣ揺らぎを検知するための管理項目として、
同種類のＱＣデータ相互間の差分の絶対値または同種類
のＳＰＣデータ相互間の差分の絶対値を用いる。ＱＣデ
ータ相互間の差分としては、例えば同一ロット内または
同一ウェハ内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大
値と最小値の差分を用いる。また、ＳＰＣデータ相互間
の差分としては、例えば同一の製造工程または製造装置
にて前後して処理された２つのロットの、それぞれのＱ
Ｃデータの測定平均値の差分を用いる。これら差分の絶
対値は、予め設定された管理値をもとに管理され、管理
値を越えた場合にはアラームが出され、関連部門に報知
される。
たは揺らぎを早急に検知し、品質トラブルの発生を未然
に防ぐ。 【解決手段】 製品の品質特性の傾向であるＱＣトレン
ドまたはＱＣ揺らぎを検知するための管理項目として、
同種類のＱＣデータ相互間の差分の絶対値または同種類
のＳＰＣデータ相互間の差分の絶対値を用いる。ＱＣデ
ータ相互間の差分としては、例えば同一ロット内または
同一ウェハ内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大
値と最小値の差分を用いる。また、ＳＰＣデータ相互間
の差分としては、例えば同一の製造工程または製造装置
にて前後して処理された２つのロットの、それぞれのＱ
Ｃデータの測定平均値の差分を用いる。これら差分の絶
対値は、予め設定された管理値をもとに管理され、管理
値を越えた場合にはアラームが出され、関連部門に報知
される。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、主に半導体装置の
生産ラインにおいて、任意の製造工程または製造装置の
処理結果に関連する製品の品質特性の実測検査データを
収集・監視し、品質トラブルの発生を未然に防ぐことが
可能な製品の生産ラインにおける品質管理方法及び品質
管理システムに関する。
生産ラインにおいて、任意の製造工程または製造装置の
処理結果に関連する製品の品質特性の実測検査データを
収集・監視し、品質トラブルの発生を未然に防ぐことが
可能な製品の生産ラインにおける品質管理方法及び品質
管理システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の生産ラインは、成膜、写真
製版等の加工処理工程と、膜厚検査、現像検査等の検査
工程より構成されており、品質の安定化及び生産性の向
上を図るためには製品の品質管理方法の確立が必須であ
る。近年では、各々のロットのロット名、工程名及び品
種、完了日時等の実績データや、任意の製造工程または
製造装置による処理が完了したロットの品質特性の実測
検査データ、またはそれらを統計処理した統計データ、
処理条件やメンテナンス状況等の装置データ、さらに停
電、断水または空調等の動力データ等を収集してデータ
ベースとして構築し、集中的に管理する品質管理方法が
一般的に確立されつつある。このような従来の方法で
は、例えば各々のロットにおける実測検査データの測定
平均値が予め設定された管理値を越えないように監視さ
れると共に、管理値を越えた場合には異常と判定してア
ラームが出され、関連部門によって原因究明及び対策が
施されていた。
製版等の加工処理工程と、膜厚検査、現像検査等の検査
工程より構成されており、品質の安定化及び生産性の向
上を図るためには製品の品質管理方法の確立が必須であ
る。近年では、各々のロットのロット名、工程名及び品
種、完了日時等の実績データや、任意の製造工程または
製造装置による処理が完了したロットの品質特性の実測
検査データ、またはそれらを統計処理した統計データ、
処理条件やメンテナンス状況等の装置データ、さらに停
電、断水または空調等の動力データ等を収集してデータ
ベースとして構築し、集中的に管理する品質管理方法が
一般的に確立されつつある。このような従来の方法で
は、例えば各々のロットにおける実測検査データの測定
平均値が予め設定された管理値を越えないように監視さ
れると共に、管理値を越えた場合には異常と判定してア
ラームが出され、関連部門によって原因究明及び対策が
施されていた。
【０００３】具体的な異常判定方法として、例えば特開
平９−５０９４９号公報では、生産管理計算システムの
生産／品質監視用計算機において、図４に示すような
Ａ、Ｂ、Ｃの３種類の判定パターンを用いる方法が提案
されている。パターンＡは実測データの測定平均値等の
実績値が管理基準データの上限値または下限値をオーバ
ーした場合（図４（ａ））、パターンＢは実績値が管理
基準データの中心値に対して連続して片寄っている場合
（図４（ｂ））、パターンＣは実績値が管理基準データ
の中心値に対して連続して傾いている場合（図４
（ｃ））を、それぞれ異常と判定するものである。図５
は、上記パターンＣにより異常と判定された寸法データ
の測定平均値の推移を示している。
平９−５０９４９号公報では、生産管理計算システムの
生産／品質監視用計算機において、図４に示すような
Ａ、Ｂ、Ｃの３種類の判定パターンを用いる方法が提案
されている。パターンＡは実測データの測定平均値等の
実績値が管理基準データの上限値または下限値をオーバ
ーした場合（図４（ａ））、パターンＢは実績値が管理
基準データの中心値に対して連続して片寄っている場合
（図４（ｂ））、パターンＣは実績値が管理基準データ
の中心値に対して連続して傾いている場合（図４
（ｃ））を、それぞれ異常と判定するものである。図５
は、上記パターンＣにより異常と判定された寸法データ
の測定平均値の推移を示している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の品
質管理方法では、製品の品質特性の異常を判定するため
に、主に測定平均値等の統計データを監視していたが、
測定平均値が管理値の上限値または下限値をオーバーし
た場合には、そのロットはすでに不良品となっている場
合も多く、品質トラブルまたは装置トラブル等を未然に
防ぐことは困難であった。また、原因究明が困難な品質
トラブルが発生した場合には、装置停止またはロット停
止の期間が長期に渡り、生産性が低下するという問題が
あった。また、前述の特開平９−５０９４９号公報で提
案されたように、寸法データ等の測定平均値が連続して
傾いている現象を把握するためには、複数のロット（図
５では８ロット）の測定平均値を必要とするため、トラ
ブル発生への対策が遅くなり、多くの不良ロットを作り
被害が大きくなるという問題があった。
質管理方法では、製品の品質特性の異常を判定するため
に、主に測定平均値等の統計データを監視していたが、
測定平均値が管理値の上限値または下限値をオーバーし
た場合には、そのロットはすでに不良品となっている場
合も多く、品質トラブルまたは装置トラブル等を未然に
防ぐことは困難であった。また、原因究明が困難な品質
トラブルが発生した場合には、装置停止またはロット停
止の期間が長期に渡り、生産性が低下するという問題が
あった。また、前述の特開平９−５０９４９号公報で提
案されたように、寸法データ等の測定平均値が連続して
傾いている現象を把握するためには、複数のロット（図
５では８ロット）の測定平均値を必要とするため、トラ
ブル発生への対策が遅くなり、多くの不良ロットを作り
被害が大きくなるという問題があった。
【０００５】本発明は、上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、製品の生産ラインにおける品質
特性の傾向または揺らぎを早急に検知し、品質トラブル
の発生を未然に防ぐことが可能な品質管理方法及び品質
管理システムを提供することを目的とする。
ためになされたもので、製品の生産ラインにおける品質
特性の傾向または揺らぎを早急に検知し、品質トラブル
の発生を未然に防ぐことが可能な品質管理方法及び品質
管理システムを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる製品の生
産ラインにおける品質管理方法は、製品の生産ラインに
おいて、任意の製造工程または製造装置の処理結果に関
連する製品の品質特性の実測検査データを収集・蓄積
し、実測検査データ及び実測検査データを統計処理した
統計データの変動を監視することにより製品の品質特性
を評価・管理する品質管理方法であって、製品の品質特
性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目とし
て、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値また
は同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用いるも
のである。また、実測検査データ相互間の差分として、
同一ロット内の複数の測定点における実測検査データの
最大値と最小値の差分を用いるものである。また、統計
データ相互間の差分として、同一の製造工程または製造
装置にて前後して処理された２つのロットの、それぞれ
の実測検査データの測定平均値の差分を用いるものであ
る。さらに、実測検査データ相互間の差分及び統計デー
タ相互間の差分の絶対値は、予め設定された管理値をも
とに管理され、この管理値を越えた場合にはアラームが
出され、関連部門に報知されるものである。
産ラインにおける品質管理方法は、製品の生産ラインに
おいて、任意の製造工程または製造装置の処理結果に関
連する製品の品質特性の実測検査データを収集・蓄積
し、実測検査データ及び実測検査データを統計処理した
統計データの変動を監視することにより製品の品質特性
を評価・管理する品質管理方法であって、製品の品質特
性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目とし
て、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値また
は同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用いるも
のである。また、実測検査データ相互間の差分として、
同一ロット内の複数の測定点における実測検査データの
最大値と最小値の差分を用いるものである。また、統計
データ相互間の差分として、同一の製造工程または製造
装置にて前後して処理された２つのロットの、それぞれ
の実測検査データの測定平均値の差分を用いるものであ
る。さらに、実測検査データ相互間の差分及び統計デー
タ相互間の差分の絶対値は、予め設定された管理値をも
とに管理され、この管理値を越えた場合にはアラームが
出され、関連部門に報知されるものである。
【０００７】また、本発明に係わる品質管理システム
は、製品の生産ラインにおいて、製品のロット名、工程
名及び品種、完了日時等の実績データや、検査工程にて
得られる品質特性の実測検査データを収集・蓄積する品
質特性データ登録処理手段と、各々のロットに対してそ
の製造方法、異常判定方法及び管理値上限・下限、異常
の場合の処置方法等が登録されている管理条件登録処理
手段と、品質特性データ登録処理手段より実測検査デー
タを受け取り、統計処理を施して必要な統計データを得
ると共に、実測検査データ及び統計データの変動を連続
的に監視し、且つ管理条件登録処理手段から各々のロッ
トの異常判定方法に関する情報を受け取り、その方法に
従って各々のロットの品質特性の異常の有無を判定する
品質特性異常判定処理手段と、品質特性異常判定処理手
段による判定結果を関連部門に報知する通知・表示処理
手段を備え、品質特性異常判定処理手段は、製品の品質
特性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目とし
て、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値また
は同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用い、こ
れら差分の絶対値が予め設定された管理値を越えた場合
にはアラームを出すものである。
は、製品の生産ラインにおいて、製品のロット名、工程
名及び品種、完了日時等の実績データや、検査工程にて
得られる品質特性の実測検査データを収集・蓄積する品
質特性データ登録処理手段と、各々のロットに対してそ
の製造方法、異常判定方法及び管理値上限・下限、異常
の場合の処置方法等が登録されている管理条件登録処理
手段と、品質特性データ登録処理手段より実測検査デー
タを受け取り、統計処理を施して必要な統計データを得
ると共に、実測検査データ及び統計データの変動を連続
的に監視し、且つ管理条件登録処理手段から各々のロッ
トの異常判定方法に関する情報を受け取り、その方法に
従って各々のロットの品質特性の異常の有無を判定する
品質特性異常判定処理手段と、品質特性異常判定処理手
段による判定結果を関連部門に報知する通知・表示処理
手段を備え、品質特性異常判定処理手段は、製品の品質
特性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目とし
て、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値また
は同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用い、こ
れら差分の絶対値が予め設定された管理値を越えた場合
にはアラームを出すものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下に、本発明の
実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明
の実施の形態１による半導体装置の生産ラインにおける
品質管理システムの中で、特に品質特性の傾向または揺
らぎを管理するＱＣトレンド管理システムの構成を示す
ブロック図である。本実施の形態におけるＱＣトレンド
管理システムは、ロット名（以下ロットＮｏ. と記す）
及び工程、品種、完了日時等の実績データや、検査工程
にて得られる品質特性の実測検査データ（以下ＱＣデー
タと称す）を収集・蓄積するＱＣデータ登録処理手段１
と、各々のロットに対してその製造方法、判定方法及び
管理値上限・下限、異常の場合の処置方法等が登録され
ている管理条件登録処理手段２と、ＱＣデータ登録処理
手段１よりＱＣデータを受け取り、統計処理を施して必
要な統計データ（以下ＳＰＣデータと称す）を得ると共
に、ＱＣデータ及びＳＰＣデータの変動を連続的に監視
し、且つ管理条件登録処理手段２から各々のロットの異
常判定方法に関する情報を受け取り、その方法に従って
各々のロットの品質特性の異常の有無を判定する品質特
性異常判定処理手段であるトレンド判定処理手段３、ト
レンド判定処理手段３による判定結果を製造装置担当者
またはロット担当者等のいる関連部門に報知する通知・
表示処理手段４により構成されている。
実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明
の実施の形態１による半導体装置の生産ラインにおける
品質管理システムの中で、特に品質特性の傾向または揺
らぎを管理するＱＣトレンド管理システムの構成を示す
ブロック図である。本実施の形態におけるＱＣトレンド
管理システムは、ロット名（以下ロットＮｏ. と記す）
及び工程、品種、完了日時等の実績データや、検査工程
にて得られる品質特性の実測検査データ（以下ＱＣデー
タと称す）を収集・蓄積するＱＣデータ登録処理手段１
と、各々のロットに対してその製造方法、判定方法及び
管理値上限・下限、異常の場合の処置方法等が登録され
ている管理条件登録処理手段２と、ＱＣデータ登録処理
手段１よりＱＣデータを受け取り、統計処理を施して必
要な統計データ（以下ＳＰＣデータと称す）を得ると共
に、ＱＣデータ及びＳＰＣデータの変動を連続的に監視
し、且つ管理条件登録処理手段２から各々のロットの異
常判定方法に関する情報を受け取り、その方法に従って
各々のロットの品質特性の異常の有無を判定する品質特
性異常判定処理手段であるトレンド判定処理手段３、ト
レンド判定処理手段３による判定結果を製造装置担当者
またはロット担当者等のいる関連部門に報知する通知・
表示処理手段４により構成されている。
【０００９】半導体装置の生産ラインでは、任意の製造
工程または製造装置の処理結果に関連する製品の品質特
性の検査を行う検査工程が随所に設けられている。これ
らの検査工程にて得られるＱＣデータや、ロットＮｏ.
及び工程名、品種、完了日時等の実績データは、ＱＣデ
ータ登録処理手段１により収集・蓄積され、必要な統計
処理を施すことにより、測定平均値、標準偏差、最大
値、最小値等のＳＰＣデータが得られる。これらのＳＰ
Ｃデータの変動を連続的に監視することにより製品の品
質特性を評価・管理する方法は従来と同様であるので、
本実施の形態では説明を省略する。本実施の形態では、
製品の品質特性の傾向（以下ＱＣトレンドと称す）また
は品質特性の揺らぎ（以下ＱＣ揺らぎと称す）を検知す
るための管理項目として、同種類のＱＣデータ相互間の
差分の絶対値または同種類のＳＰＣデータ相互間の差分
の絶対値を用いることを特徴としている。ＱＣデータ相
互間の差分としては、例えば同一ロット内または同一ウ
ェハ内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大値と最
小値の差分を用いる。また、ＳＰＣデータ相互間の差分
としては、例えば同一の製造工程または製造装置にて前
後して処理された２つのロットの、それぞれのＱＣデー
タの測定平均値の差分を用いる。ＱＣデータ相互間及び
ＳＰＣデータ相互間の差分の絶対値は、管理条件登録処
理手段２にて予め設定された管理値をもとに管理され、
管理値を越えた場合にはアラームが出され、通知、表示
処理手段４により製造装置担当者またはロット担当者等
のいる関連部門に報知される。
工程または製造装置の処理結果に関連する製品の品質特
性の検査を行う検査工程が随所に設けられている。これ
らの検査工程にて得られるＱＣデータや、ロットＮｏ.
及び工程名、品種、完了日時等の実績データは、ＱＣデ
ータ登録処理手段１により収集・蓄積され、必要な統計
処理を施すことにより、測定平均値、標準偏差、最大
値、最小値等のＳＰＣデータが得られる。これらのＳＰ
Ｃデータの変動を連続的に監視することにより製品の品
質特性を評価・管理する方法は従来と同様であるので、
本実施の形態では説明を省略する。本実施の形態では、
製品の品質特性の傾向（以下ＱＣトレンドと称す）また
は品質特性の揺らぎ（以下ＱＣ揺らぎと称す）を検知す
るための管理項目として、同種類のＱＣデータ相互間の
差分の絶対値または同種類のＳＰＣデータ相互間の差分
の絶対値を用いることを特徴としている。ＱＣデータ相
互間の差分としては、例えば同一ロット内または同一ウ
ェハ内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大値と最
小値の差分を用いる。また、ＳＰＣデータ相互間の差分
としては、例えば同一の製造工程または製造装置にて前
後して処理された２つのロットの、それぞれのＱＣデー
タの測定平均値の差分を用いる。ＱＣデータ相互間及び
ＳＰＣデータ相互間の差分の絶対値は、管理条件登録処
理手段２にて予め設定された管理値をもとに管理され、
管理値を越えた場合にはアラームが出され、通知、表示
処理手段４により製造装置担当者またはロット担当者等
のいる関連部門に報知される。
【００１０】以下に、半導体装置の生産ラインにおける
差分データによるＱＣトレンド管理方法について具体的
に説明する。まず、ＱＣデータ相互間の差分として、同
一ロット内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大値
と最小値の差分を用いた例について、図２を用いて説明
する。図２（ａ）は、エッチング工程を通過したロット
のウェハに対して測定したある電圧値のデータを示す図
である。横軸はロットＮｏ. 、縦軸は電圧Ｖ（ｍＶ）を
示し、Ａは中心値、Ｂはロット内での最大値、Ｃはロッ
ト内での最小値の推移を示している。なお、図中横軸に
平行な３本の直線は、上から順にそれぞれ中心値Ａに対
する管理値上限、目標値であるターゲット値、中心値Ａ
に対する管理値下限を示している。また、図２（ｂ）は
図２（ａ）と対応するロットについて、同一ロット内の
測定点における最大値Ｂと最小値Ｃの差分Ｒ（ｍＶ）を
示す図であり、差分Ｒの管理値上限は１００ｍＶであ
る。図２（ａ）では、ロットＮｏ. ００７及びロットＮ
ｏ. ０１０の中心値Ａは管理値の上限、下限の範囲内に
あるため、従来の方法であれば異常とはみなされず、ア
ラームは出されない。しかし、本実施の形態によれば、
図２（ｂ）に示すように、ロットＮｏ. ００７及びロッ
トＮｏ. ０１０の最大値と最小値の差分Ｒは管理値上限
を越えておりアラームが出されるため、関連部門に報知
され適当な処置が施される。
差分データによるＱＣトレンド管理方法について具体的
に説明する。まず、ＱＣデータ相互間の差分として、同
一ロット内の複数の測定点におけるＱＣデータの最大値
と最小値の差分を用いた例について、図２を用いて説明
する。図２（ａ）は、エッチング工程を通過したロット
のウェハに対して測定したある電圧値のデータを示す図
である。横軸はロットＮｏ. 、縦軸は電圧Ｖ（ｍＶ）を
示し、Ａは中心値、Ｂはロット内での最大値、Ｃはロッ
ト内での最小値の推移を示している。なお、図中横軸に
平行な３本の直線は、上から順にそれぞれ中心値Ａに対
する管理値上限、目標値であるターゲット値、中心値Ａ
に対する管理値下限を示している。また、図２（ｂ）は
図２（ａ）と対応するロットについて、同一ロット内の
測定点における最大値Ｂと最小値Ｃの差分Ｒ（ｍＶ）を
示す図であり、差分Ｒの管理値上限は１００ｍＶであ
る。図２（ａ）では、ロットＮｏ. ００７及びロットＮ
ｏ. ０１０の中心値Ａは管理値の上限、下限の範囲内に
あるため、従来の方法であれば異常とはみなされず、ア
ラームは出されない。しかし、本実施の形態によれば、
図２（ｂ）に示すように、ロットＮｏ. ００７及びロッ
トＮｏ. ０１０の最大値と最小値の差分Ｒは管理値上限
を越えておりアラームが出されるため、関連部門に報知
され適当な処置が施される。
【００１１】次に、ＳＰＣデータ相互間の差分として、
同一の製造工程または製造装置にて前後して処理された
２つのロットの、それぞれのＱＣデータの測定平均値の
差分を用いた例について、図３を用いて説明する。図３
（ａ）は、エッチング工程を通過したロットのウェハに
対して測定したある電圧値のデータの測定平均値を示す
図である。横軸はロットＮｏ. 、縦軸は電圧Ｖ（ｍＶ）
を示し、横軸に平行な３本の直線は、図２（ａ）と同様
に上から順にそれぞれ測定平均値の管理値上限、ターゲ
ット値、測定平均値の管理値下限を示している。また、
図３（ｂ）は図３（ａ）と対応するロットについて、そ
のロットと前ロットの測定平均値の差分値Ｒｓ（ｍＶ）
を示す図であり、差分Ｒｓの管理値上限は５ｍＶであ
る。図３（ａ）では、ロットＮｏ. ０１８及びロットＮ
ｏ. ０２０の測定平均値は管理値の上限、下限の範囲内
にあるため、従来の方法であれば異常とはみなされず、
アラームは出されない。しかし、本実施の形態によれ
ば、図３（ｂ）に示すように、ロットＮｏ. ０１８及び
ロットＮｏ. ０２０の前ロットとの測定平均値の差分Ｒ
ｓは管理値上限を越えておりアラームが出されるため、
関連部門に報知され適当な処置が施される。なお、管理
項目の緊急度についても予め設定可能であり、緊急度の
レベルに応じてポケットベル（登録商標）や電子メール
等、報知手段を選択することができる。
同一の製造工程または製造装置にて前後して処理された
２つのロットの、それぞれのＱＣデータの測定平均値の
差分を用いた例について、図３を用いて説明する。図３
（ａ）は、エッチング工程を通過したロットのウェハに
対して測定したある電圧値のデータの測定平均値を示す
図である。横軸はロットＮｏ. 、縦軸は電圧Ｖ（ｍＶ）
を示し、横軸に平行な３本の直線は、図２（ａ）と同様
に上から順にそれぞれ測定平均値の管理値上限、ターゲ
ット値、測定平均値の管理値下限を示している。また、
図３（ｂ）は図３（ａ）と対応するロットについて、そ
のロットと前ロットの測定平均値の差分値Ｒｓ（ｍＶ）
を示す図であり、差分Ｒｓの管理値上限は５ｍＶであ
る。図３（ａ）では、ロットＮｏ. ０１８及びロットＮ
ｏ. ０２０の測定平均値は管理値の上限、下限の範囲内
にあるため、従来の方法であれば異常とはみなされず、
アラームは出されない。しかし、本実施の形態によれ
ば、図３（ｂ）に示すように、ロットＮｏ. ０１８及び
ロットＮｏ. ０２０の前ロットとの測定平均値の差分Ｒ
ｓは管理値上限を越えておりアラームが出されるため、
関連部門に報知され適当な処置が施される。なお、管理
項目の緊急度についても予め設定可能であり、緊急度の
レベルに応じてポケットベル（登録商標）や電子メール
等、報知手段を選択することができる。
【００１２】以上のように、本実施の形態におけるＱＣ
トレンド管理システムによれば、従来の品質管理システ
ムの問題点を解決することが可能である。すなわち、従
来例に示したようなＳＰＣデータを用いた品質管理方法
では、例えば各々のロットの測定平均値等が管理値の上
限または下限を越えた時に初めてアラームが出され、装
置停止、ロット停止等の処置がとられていたため、すで
に多くのロットが不良品となっていたり、装置停止ある
いはロット停止に伴う生産性の低下が問題となっていた
が、本実施の形態におけるＱＣトレンド管理システムに
よれば、ＱＣデータ相互間またはＳＰＣデータ相互間の
差分の絶対値を監視することにより、製品のＱＣトレン
ドまたはＱＣ揺らぎを早急に検知して早期対策を施すこ
とができるため、品質トラブルの発生を未然に防ぐこと
が可能である。
トレンド管理システムによれば、従来の品質管理システ
ムの問題点を解決することが可能である。すなわち、従
来例に示したようなＳＰＣデータを用いた品質管理方法
では、例えば各々のロットの測定平均値等が管理値の上
限または下限を越えた時に初めてアラームが出され、装
置停止、ロット停止等の処置がとられていたため、すで
に多くのロットが不良品となっていたり、装置停止ある
いはロット停止に伴う生産性の低下が問題となっていた
が、本実施の形態におけるＱＣトレンド管理システムに
よれば、ＱＣデータ相互間またはＳＰＣデータ相互間の
差分の絶対値を監視することにより、製品のＱＣトレン
ドまたはＱＣ揺らぎを早急に検知して早期対策を施すこ
とができるため、品質トラブルの発生を未然に防ぐこと
が可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、製品の
品質特性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目
として、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値
または同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用い
ることにより、製品の品質特性の傾向または揺らぎを早
急に検知して早期対策を施すことができるため、品質ト
ラブルの発生を未然に防ぐことが可能となり、品質の安
定化及び生産性の向上が図られる。
品質特性の傾向または揺らぎを検知するための管理項目
として、同種類の実測検査データ相互間の差分の絶対値
または同種類の統計データ相互間の差分の絶対値を用い
ることにより、製品の品質特性の傾向または揺らぎを早
急に検知して早期対策を施すことができるため、品質ト
ラブルの発生を未然に防ぐことが可能となり、品質の安
定化及び生産性の向上が図られる。
【図１】 本発明の実施の形態１におけるＱＣトレンド
管理システムの構成を示すブロック図である。
管理システムの構成を示すブロック図である。
【図２】 本発明の実施の形態１における差分データに
よるＱＣトレンド管理方法を示す図である。
よるＱＣトレンド管理方法を示す図である。
【図３】 本発明の実施の形態１における差分データに
よるＱＣトレンド管理方法を示す図である。
よるＱＣトレンド管理方法を示す図である。
【図４】 従来の品質管理方法における異常判定パター
ンを示す図である。
ンを示す図である。
【図５】 従来の品質管理方法において異常と判定され
た寸法データの測定平均値の推移を示す図である。
た寸法データの測定平均値の推移を示す図である。
１ ＱＣデータ登録処理手段、２ 管理条件登録処理手
段、３ トレンド判定処理手段、４ 通知、表示処理手
段。
段、３ トレンド判定処理手段、４ 通知、表示処理手
段。
Claims (5)
- 【請求項１】 製品の生産ラインにおいて、任意の製造
工程または製造装置の処理結果に関連する製品の品質特
性の実測検査データを収集・蓄積し、上記実測検査デー
タ及び上記実測検査データを統計処理した統計データの
変動を監視することにより製品の品質特性を評価・管理
する品質管理方法であって、製品の品質特性の傾向また
は揺らぎを検知するための管理項目として、同種類の上
記実測検査データ相互間の差分の絶対値または同種類の
上記統計データ相互間の差分の絶対値を用いることを特
徴とする製品の生産ラインにおける品質管理方法。 - 【請求項２】 実測検査データ相互間の差分として、同
一ロット内の複数の測定点における実測検査データの最
大値と最小値の差分を用いることを特徴とする請求項１
記載の製品の生産ラインにおける品質管理方法。 - 【請求項３】 統計データ相互間の差分として、同一の
製造工程または製造装置にて前後して処理された２つの
ロットの、それぞれの実測検査データの測定平均値の差
分を用いることを特徴とする請求項１記載の製品の生産
ラインにおける品質管理方法。 - 【請求項４】 実測検査データ相互間の差分及び統計デ
ータ相互間の差分の絶対値は、予め設定された管理値を
もとに管理され、上記管理値を越えた場合にはアラーム
が出され、関連部門に報知されることを特徴とする請求
項１〜請求項３に記載の製品の生産ラインにおける品質
管理方法。 - 【請求項５】 製品の生産ラインにおいて、製品のロッ
ト名、工程名及び品種、完了日時等の実績データや、検
査工程にて得られる品質特性の実測検査データを収集・
蓄積する品質特性データ登録処理手段、 各々のロットに対してその製造方法、異常判定方法及び
管理値上限・下限、異常の場合の処置方法等が登録され
る管理条件登録処理手段、 上記品質特性データ登録処理手段より上記実測検査デー
タを受け取り、統計処理を施して必要な統計データを得
ると共に、上記実測検査データ及び上記統計データの変
動を連続的に監視し、且つ上記管理条件登録処理手段か
ら各々のロットの異常判定方法に関する情報を受け取
り、その方法に従って各々のロットの品質特性の異常の
有無を判定する品質特性異常判定処理手段、 上記品質特性異常判定処理手段による判定結果を関連部
門に報知する通知・表示処理手段を備え、 上記品質特性異常判定処理手段は、製品の品質特性の傾
向または揺らぎを検知するための管理項目として、同種
類の上記実測検査データ相互間の差分の絶対値または同
種類の上記統計データ相互間の差分の絶対値を用い、こ
れら差分の絶対値が予め設定された管理値を越えた場合
にはアラームを出すことを特徴とする品質管理システ
ム。
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