JPH08210883A - 異常判定方法および異常判定機能つき検査装置 - Google Patents
異常判定方法および異常判定機能つき検査装置Info
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- JPH08210883A JPH08210883A JP5167695A JP5167695A JPH08210883A JP H08210883 A JPH08210883 A JP H08210883A JP 5167695 A JP5167695 A JP 5167695A JP 5167695 A JP5167695 A JP 5167695A JP H08210883 A JPH08210883 A JP H08210883A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】前工程で異常が発生していたり検査装置自体に
異常が発生している場合に、迅速にその状態を知り得る
ようにすることを目的とする。 【構成】被検査物の良否を検査する検査工程によって所
定数の被検査物が検査された結果、良品と判断された被
検査物の数もしくは不良品と判断された被検査物の数又
はそれらの比率が所定範囲外になった場合に異常である
と判定することを特徴とする異常判定方法である。
異常が発生している場合に、迅速にその状態を知り得る
ようにすることを目的とする。 【構成】被検査物の良否を検査する検査工程によって所
定数の被検査物が検査された結果、良品と判断された被
検査物の数もしくは不良品と判断された被検査物の数又
はそれらの比率が所定範囲外になった場合に異常である
と判定することを特徴とする異常判定方法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば密封検査、重量
検査、金属検査など、被検査物の良否を検査する工程に
おいて、良品の数もしくは不良品の数やそれらの比率が
所定範囲外になった場合に、検査工程自体もしくはその
前工程に異常があると判定することを特徴とする異常判
定方法および異常判定機能つき検査装置に関するもので
ある。
検査、金属検査など、被検査物の良否を検査する工程に
おいて、良品の数もしくは不良品の数やそれらの比率が
所定範囲外になった場合に、検査工程自体もしくはその
前工程に異常があると判定することを特徴とする異常判
定方法および異常判定機能つき検査装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】密封検査装置、重量検査装置、金属検査
装置などの、各種検査装置において被検査物を検査した
結果、異常に頻繁に不良品が排出された場合、当該検査
装置もしくはその前工程の被検査物の処理装置に異常が
あることが経験則から知られている。
装置などの、各種検査装置において被検査物を検査した
結果、異常に頻繁に不良品が排出された場合、当該検査
装置もしくはその前工程の被検査物の処理装置に異常が
あることが経験則から知られている。
【０００３】例えば、前工程に包装装置が設けられ、当
該包装装置に続いて密封検査装置が設けられている場
合、異常に頻繁に不良品が排出されると、前記包装装置
に故障が発生しているか、当該密封検査装置自体に故障
が発生しているか、もしくは当該密封検査装置の設定デ
ータの入力ミスが発生していることが考えられる。
該包装装置に続いて密封検査装置が設けられている場
合、異常に頻繁に不良品が排出されると、前記包装装置
に故障が発生しているか、当該密封検査装置自体に故障
が発生しているか、もしくは当該密封検査装置の設定デ
ータの入力ミスが発生していることが考えられる。
【０００４】また、過去には不良品がある程度発生して
いたものが、前工程を変更しないにもかかわらず、突然
不良品が発生しなくなった場合、検査装置自体に故障が
発生しているか、もしくは当該検査装置の設定データの
入力ミスが発生していることなど、検査装置自体に異常
があることが、これも経験則から知られている。
いたものが、前工程を変更しないにもかかわらず、突然
不良品が発生しなくなった場合、検査装置自体に故障が
発生しているか、もしくは当該検査装置の設定データの
入力ミスが発生していることなど、検査装置自体に異常
があることが、これも経験則から知られている。
【０００５】一般に、被検査物の歩留率は一日間を通し
て、場合によっては恒常的に何パーセントも変化するこ
とはない。従って、従来は１日に数個の不良品しか発生
しなかったものが突然１時間に数個の不良品が発生した
場合には、被検査物自体に不具合が生じていることの他
に、検査装置自体やその設定データに異常がある場合が
考えられる。
て、場合によっては恒常的に何パーセントも変化するこ
とはない。従って、従来は１日に数個の不良品しか発生
しなかったものが突然１時間に数個の不良品が発生した
場合には、被検査物自体に不具合が生じていることの他
に、検査装置自体やその設定データに異常がある場合が
考えられる。
【０００６】近年、マイクロコンピュータの発達と少量
多品種生産に対応するため、メモリが内蔵され、各被検
査物毎の良否判断基準値などの設定データを、前記メモ
リに予め格納しておいて、バッテリによってバックアッ
プしている検査装置が普及している。
多品種生産に対応するため、メモリが内蔵され、各被検
査物毎の良否判断基準値などの設定データを、前記メモ
リに予め格納しておいて、バッテリによってバックアッ
プしている検査装置が普及している。
【０００７】このような検査装置にあっては、前記メモ
リ内から目的の被検査物に対応する設定データを選択し
て使用するものであるが、操作性の簡便化から、被検査
物の種類の切換設定は簡単なパネル操作にてなされるよ
うに構成されているものが多い。
リ内から目的の被検査物に対応する設定データを選択し
て使用するものであるが、操作性の簡便化から、被検査
物の種類の切換設定は簡単なパネル操作にてなされるよ
うに構成されているものが多い。
【０００８】しかしながら、切換設定が容易なことか
ら、休憩時間中などにおいて、担当者でない者が誤って
種類の切替スイッチを押しても気づかないことがあり得
る。
ら、休憩時間中などにおいて、担当者でない者が誤って
種類の切替スイッチを押しても気づかないことがあり得
る。
【０００９】その結果、実際に流れている製品と選択さ
れている設定データとが対応しておらず、見かけ上大量
の不良品がでる可能性がある。この場合、実際に設定さ
れたデータと本来選択されるべき設定データが大きく乖
離しているときは、操作者がその異変に容易に気づき所
定の設定データに戻せるが、実際の設定データと本来選
択されるべき設定データとの差が僅かであるときには、
操作者も気付かず、そのままとなってしまう恐れがあ
る。
れている設定データとが対応しておらず、見かけ上大量
の不良品がでる可能性がある。この場合、実際に設定さ
れたデータと本来選択されるべき設定データが大きく乖
離しているときは、操作者がその異変に容易に気づき所
定の設定データに戻せるが、実際の設定データと本来選
択されるべき設定データとの差が僅かであるときには、
操作者も気付かず、そのままとなってしまう恐れがあ
る。
【００１０】また、過去に毎日数個の不良品が発生して
いたものが、製造工程などを改善しないのに数日にわた
って不良品が全く発生しない場合には検査装置自体に問
題が発生している可能性がある。
いたものが、製造工程などを改善しないのに数日にわた
って不良品が全く発生しない場合には検査装置自体に問
題が発生している可能性がある。
【００１１】この場合、不良品を検査装置にかけて手動
で検査すればよいが、複数の製造ラインで同一製品を製
造し検査している現場では、１ラインが前述のような症
状を起こしていても気付き難く、後刻気付いた場合には
大量の製品を再検査しなければならず大きな時間的無駄
が発生することになる。
で検査すればよいが、複数の製造ラインで同一製品を製
造し検査している現場では、１ラインが前述のような症
状を起こしていても気付き難く、後刻気付いた場合には
大量の製品を再検査しなければならず大きな時間的無駄
が発生することになる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、従来に
おいては、前工程でトラブルが発生していたり検査装置
自体に異常が発生していても気付かず、大量の不良品を
排出したり、また不良品を市場に出荷して始めて問題に
気付くことがあり得た。
おいては、前工程でトラブルが発生していたり検査装置
自体に異常が発生していても気付かず、大量の不良品を
排出したり、また不良品を市場に出荷して始めて問題に
気付くことがあり得た。
【００１３】本発明は係る従来の技術の課題に鑑みてな
されたもので、前工程で異常が発生していたり、検査装
置自体に異常が発生している場合に、容易にその状態を
知り得るようにし、迅速に対応ができるようにしたもの
である。
されたもので、前工程で異常が発生していたり、検査装
置自体に異常が発生している場合に、容易にその状態を
知り得るようにし、迅速に対応ができるようにしたもの
である。
【００１４】
【課題を解決するための手段】第１の主要な発明は、被
検査物の良否を検査する検査工程によって所定数の被検
査物が検査された結果、良品と判断された被検査物の数
もしくは不良品と判断された検査物の数が所定範囲外に
なった場合に、異常であると判定することを特徴とする
異常判定方法である。
検査物の良否を検査する検査工程によって所定数の被検
査物が検査された結果、良品と判断された被検査物の数
もしくは不良品と判断された検査物の数が所定範囲外に
なった場合に、異常であると判定することを特徴とする
異常判定方法である。
【００１５】第２の主要な発明は、被検査物の良否を検
査する検査工程によって所定数の被検査物が検査された
結果、良品と判断された被検査物の数と不良品と判断さ
れた検査物の数との比率が所定範囲外になった場合に異
常であると判定することを特徴とする異常判定方法であ
る。
査する検査工程によって所定数の被検査物が検査された
結果、良品と判断された被検査物の数と不良品と判断さ
れた検査物の数との比率が所定範囲外になった場合に異
常であると判定することを特徴とする異常判定方法であ
る。
【００１６】第３の主要な発明は、被検査物の良否を検
査する検査手段と、被検査物の検査数を計数する係数手
段と、被検査物の全数と良品の数もしくは不良品の数と
を比較してその比率を求める比率検出手段と、前記比率
検出手段によって検出された比率が所定範囲外になった
場合に異常であると判定する異常判定手段とが具備され
ていることを特徴とする異常判定機能つき検査装置であ
る。
査する検査手段と、被検査物の検査数を計数する係数手
段と、被検査物の全数と良品の数もしくは不良品の数と
を比較してその比率を求める比率検出手段と、前記比率
検出手段によって検出された比率が所定範囲外になった
場合に異常であると判定する異常判定手段とが具備され
ていることを特徴とする異常判定機能つき検査装置であ
る。
【００１７】第４の主要な発明は、被検査物の良否を検
査する検査手段と、被検査物の検査数を計数する係数手
段と、良品の数と不良品の数とを比較してその比率を求
める比率検出手段と、前記比率検出手段によって検出さ
れた比率が所定範囲外になった場合に異常であると判定
する異常判定手段とが具備されていることを特徴とする
異常判定機能つき検査装置である。
査する検査手段と、被検査物の検査数を計数する係数手
段と、良品の数と不良品の数とを比較してその比率を求
める比率検出手段と、前記比率検出手段によって検出さ
れた比率が所定範囲外になった場合に異常であると判定
する異常判定手段とが具備されていることを特徴とする
異常判定機能つき検査装置である。
【００１８】
【作用】第１の主要な発明では、経験則に基づいて予め
設定された良品の数や不良品の数を基準値（所定値）と
し、実際に検査が実行された結果、その良品の数や不良
品の数が前記基準値の範囲外になった場合には、前工程
もしくは検査工程などに異常があると判定するものであ
る。
設定された良品の数や不良品の数を基準値（所定値）と
し、実際に検査が実行された結果、その良品の数や不良
品の数が前記基準値の範囲外になった場合には、前工程
もしくは検査工程などに異常があると判定するものであ
る。
【００１９】第２の主要な発明では、経験則に基づいて
予め設定された良品率や不良品率を基準値（所定値）と
し、実際に検査が実行された結果、その良品率や不良品
率が前記基準値の範囲外になった場合には、前工程もし
くは検査工程などに異常があると判定するものである。
予め設定された良品率や不良品率を基準値（所定値）と
し、実際に検査が実行された結果、その良品率や不良品
率が前記基準値の範囲外になった場合には、前工程もし
くは検査工程などに異常があると判定するものである。
【００２０】なお、検査工程等に異常が発生し、良品と
判断された被検査物の数の比率が所定値以上となった場
合（不良品が異常に減少した場合）に、異常であると判
定してもよく、前工程や検査工程等に異常が発生し、不
良品と判断された被検査物の数の比率が所定値以上とな
った場合（不良品が異常に増加した場合）に、異常であ
ると判定してもよい。
判断された被検査物の数の比率が所定値以上となった場
合（不良品が異常に減少した場合）に、異常であると判
定してもよく、前工程や検査工程等に異常が発生し、不
良品と判断された被検査物の数の比率が所定値以上とな
った場合（不良品が異常に増加した場合）に、異常であ
ると判定してもよい。
【００２１】第３の主要な発明では、被検査物の全数と
良品の数、又は全数と不良品の数とを比較してその比率
を求め、当該比率が基準値（所定値）の範囲外になった
場合に異常であると判定するものである。
良品の数、又は全数と不良品の数とを比較してその比率
を求め、当該比率が基準値（所定値）の範囲外になった
場合に異常であると判定するものである。
【００２２】第４の主要な発明では、良品の数と不良品
の数とを比較してその比率を求め、当該比率が基準値
（所定値）の範囲外になった場合に異常であると判定す
るものである。
の数とを比較してその比率を求め、当該比率が基準値
（所定値）の範囲外になった場合に異常であると判定す
るものである。
【００２３】
【実施例】図はいずれも本発明の実施例としての重量検
査装置を示し、図１は概念図で図２はブロック図であ
る。
査装置を示し、図１は概念図で図２はブロック図であ
る。
【００２４】図１において、各コンベアは、その被検査
物１の搬送面が左から右方向に移動するものであって、
上流側にある左端のコンベア２は、被検査物１の包装等
の処理を行う前工程から前記被検査物１を重量検査装置
に搬送する前段コンベアであり、当該前段コンベア２の
下流側（右側）には、被検査物１を計量コンベア４上に
搬送するための搬入コンベア３が接続されている。
物１の搬送面が左から右方向に移動するものであって、
上流側にある左端のコンベア２は、被検査物１の包装等
の処理を行う前工程から前記被検査物１を重量検査装置
に搬送する前段コンベアであり、当該前段コンベア２の
下流側（右側）には、被検査物１を計量コンベア４上に
搬送するための搬入コンベア３が接続されている。
【００２５】また前記搬入コンベア３の下流側には、被
検査物１の重量を測定し検査するための、ロードセル５
上に搭載された計量コンベア４が接続され、これらのロ
ードセル５と計量コンベア４によって重量検査装置の主
要部が構成されている。そして、前記計量コンベア４の
下流側には、不良品と判断された被検査物１を外部に排
出するためのエアジェットノズル（選別ノズル）６が備
えられた選別コンベア７が接続されている。
検査物１の重量を測定し検査するための、ロードセル５
上に搭載された計量コンベア４が接続され、これらのロ
ードセル５と計量コンベア４によって重量検査装置の主
要部が構成されている。そして、前記計量コンベア４の
下流側には、不良品と判断された被検査物１を外部に排
出するためのエアジェットノズル（選別ノズル）６が備
えられた選別コンベア７が接続されている。
【００２６】前記選別コンベア７の下流側に被検査物１
の良品を後工程に搬送するための後段コンベア８が接続
されており、前記搬入コンベア３、計量コンベア４およ
び選別コンベア７によって重量検査装置全体が構成され
ている。
の良品を後工程に搬送するための後段コンベア８が接続
されており、前記搬入コンベア３、計量コンベア４およ
び選別コンベア７によって重量検査装置全体が構成され
ている。
【００２７】前記搬入コンベア３と計量コンベア４との
間には、前記被検査物１の存在を検出するフォトセンサ
９が設けられている。
間には、前記被検査物１の存在を検出するフォトセンサ
９が設けられている。
【００２８】なお、図示はしないが各コンベアには夫々
モータが装着されている。
モータが装着されている。
【００２９】次に図２に従って制御部等について説明す
る。前記計量コンベア４が搭載されているロードセル５
のブリッジはＤＣ電源が接続されると共に、バックアッ
プ用にバッテリにも接続されており、これらから択一的
に電力が供給されている。
る。前記計量コンベア４が搭載されているロードセル５
のブリッジはＤＣ電源が接続されると共に、バックアッ
プ用にバッテリにも接続されており、これらから択一的
に電力が供給されている。
【００３０】また、前記ロードセル５のブリッジは、ア
ンプ、フィルタ回路、サンプルホールド回路（Ｓ／Ｈ）
およびＡＤ変換回路を介してバスラインに接続されてお
り、前記ブリッジからの出力信号は各種の処理が施され
た後、ＡＤ変換されて前記バスラインを経由して各部に
供給されることになる。
ンプ、フィルタ回路、サンプルホールド回路（Ｓ／Ｈ）
およびＡＤ変換回路を介してバスラインに接続されてお
り、前記ブリッジからの出力信号は各種の処理が施され
た後、ＡＤ変換されて前記バスラインを経由して各部に
供給されることになる。
【００３１】前記バスラインにはＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡ
Ｍが接続されると共に、Ｉ／Ｏインターフェースを介し
て、ディスプレイ、プリンタ、キーボード、選別ノズル
（エアジェットノズル６）、フォトセンサ９、ブザー、
回転灯および前段インターロック回路などが接続されて
いる。これらの構成は、基本的には、周知である通常の
重量検査装置の回路と異なるところはない。
Ｍが接続されると共に、Ｉ／Ｏインターフェースを介し
て、ディスプレイ、プリンタ、キーボード、選別ノズル
（エアジェットノズル６）、フォトセンサ９、ブザー、
回転灯および前段インターロック回路などが接続されて
いる。これらの構成は、基本的には、周知である通常の
重量検査装置の回路と異なるところはない。
【００３２】ここでキーボードは設定データ、不良品
率、個数等を設定するのに使用され、ディスプレイは、
通常は計量値を、異常時には警告文や異常内容を標示す
るものである。また異常などが発生し、前工程の動作を
停止させる必要が生じた場合には、前段インターロック
回路が動作して前工程の動作が停止される。
率、個数等を設定するのに使用され、ディスプレイは、
通常は計量値を、異常時には警告文や異常内容を標示す
るものである。また異常などが発生し、前工程の動作を
停止させる必要が生じた場合には、前段インターロック
回路が動作して前工程の動作が停止される。
【００３３】ＲＡＭにはシフトレジスタ部、カウンタ
部、設定データ部などが設けられており、設定するデー
タとしては、被検査物数Ｎ、上限不良率（上限不良数）
Ｕ、下限不良率Ｌがある。
部、設定データ部などが設けられており、設定するデー
タとしては、被検査物数Ｎ、上限不良率（上限不良数）
Ｕ、下限不良率Ｌがある。
【００３４】そして、Ｎビットのシフトレジスタに、良
品の場合には「０」を、不良品の場合には「１」を順次
入力していくと、シフトレジスタ内には例えば「０００
１００１・・００」などのデータが順次格納される。こ
の様にして、「１」の数をカウントして、その値が上限
不良数Ｕと下限不良数Ｌと範囲以外である場合には異常
であると判定して、直ちに装置を停止させると共に、前
記ディスプレイ、ブザー、回転灯などによって操作者に
異常状況を報知する。
品の場合には「０」を、不良品の場合には「１」を順次
入力していくと、シフトレジスタ内には例えば「０００
１００１・・００」などのデータが順次格納される。こ
の様にして、「１」の数をカウントして、その値が上限
不良数Ｕと下限不良数Ｌと範囲以外である場合には異常
であると判定して、直ちに装置を停止させると共に、前
記ディスプレイ、ブザー、回転灯などによって操作者に
異常状況を報知する。
【００３５】なお、計算スピードを上げるために、別途
不良品用のカウンタを設け、不良品が排出される都度カ
ウンタを「＋１」し、また前記シフトレジスタから溢れ
押し出されてきたデータが「１」の場合には不良品カウ
ンタを「−１」する。かようにすると、常時最新のＮ個
についての不良品率をリアルタイムに把握することが可
能となる。
不良品用のカウンタを設け、不良品が排出される都度カ
ウンタを「＋１」し、また前記シフトレジスタから溢れ
押し出されてきたデータが「１」の場合には不良品カウ
ンタを「−１」する。かようにすると、常時最新のＮ個
についての不良品率をリアルタイムに把握することが可
能となる。
【００３６】そして、不良品カウンタの値が上限不良数
Ｕに達した場合には異常であると判定して、前述と同様
に、直ちに装置を停止させると共に、前記ディスプレ
イ、ブザー、回転灯などによって操作者に異常状況を報
知する。
Ｕに達した場合には異常であると判定して、前述と同様
に、直ちに装置を停止させると共に、前記ディスプレ
イ、ブザー、回転灯などによって操作者に異常状況を報
知する。
【００３７】なお、不良品の数が下限不良数Ｌを下回る
状態を検出する場合は、シフトレジスト内のＮ個までは
全て良品である「０」が格納されているので、Ｎ個の検
査が終了した時点からスタンバイする。
状態を検出する場合は、シフトレジスト内のＮ個までは
全て良品である「０」が格納されているので、Ｎ個の検
査が終了した時点からスタンバイする。
【００３８】本実施例では不良品の個数によって異常か
否かの判断を行っているが、被検査物の全数と良品の
数、もしくは良品の数と不良品の数とを比較してその比
率を求め、その比率が所定範囲外になった場合に異常で
あると判定してもよく、また良品の数と不良品の数とを
比較してその比率を求め、その比率が所定範囲外になっ
た場合に異常であると判定してもよい。
否かの判断を行っているが、被検査物の全数と良品の
数、もしくは良品の数と不良品の数とを比較してその比
率を求め、その比率が所定範囲外になった場合に異常で
あると判定してもよく、また良品の数と不良品の数とを
比較してその比率を求め、その比率が所定範囲外になっ
た場合に異常であると判定してもよい。
【００３９】また、本発明は重量検査装置のみならず、
被検査物の良否を検査するためのあらゆる検査装置に適
用することが可能である。
被検査物の良否を検査するためのあらゆる検査装置に適
用することが可能である。
【００４０】
【発明の効果】いずれの発明においても、前工程でトラ
ブルが発生してしたり検査装置自体に異常が発生した場
合、直ちにその状態を把握できるので速やかに対処で
き、大量の不良品を排出したり、不良品を市場に出荷し
て始めて問題に気付くということはなくなる。
ブルが発生してしたり検査装置自体に異常が発生した場
合、直ちにその状態を把握できるので速やかに対処で
き、大量の不良品を排出したり、不良品を市場に出荷し
て始めて問題に気付くということはなくなる。
【００４１】従って、出荷する製品の品質向上と、製品
検査作業の効率化を図ることができる。
検査作業の効率化を図ることができる。
【図１】本発明の実施例装置の概念図である。
【図２】本発明の実施例装置の制御ブロック図である。
１ 被検査物 ２ 前段コンベア ３ 搬入コンベア ４ 計量コンベア ５ ロードセル ６ エアジェットノズル（選別ノズル） ７ 選別コンベア ８ 後段コンベア ９ フォトセンサ
Claims (9)
- 【請求項１】被検査物の良否を検査する検査工程によっ
て所定数の被検査物が検査された結果、良品と判断され
た被検査物の数もしくは不良品と判断された検査物の数
が所定範囲外になった場合に、異常であると判定するこ
とを特徴とする異常判定方法。 - 【請求項２】被検査物の良否を検査する検査工程によっ
て所定数の被検査物が検査された結果、良品と判断され
た被検査物の数と不良品と判断された検査物の数との比
率が所定範囲外になった場合に異常であると判定するこ
とを特徴とする異常判定方法。 - 【請求項３】良品と判断された被検査物の数の比率が所
定値以上となった場合に、異常であると判定することを
特徴とする請求項２記載の異常判定方法。 - 【請求項４】不良品と判断された被検査物の数の比率が
所定値以上となった場合に、異常であると判定すること
を特徴とする請求項２記載の異常判定方法。 - 【請求項５】被検査物の良否を検査する検査手段と、被
検査物の検査数を計数する係数手段と、被検査物の全数
と良品の数もしくは不良品の数とを比較してその比率を
求める比率検出手段と、前記比率検出手段によって検出
された比率が所定範囲外になった場合に異常であると判
定する異常判定手段とが具備されていることを特徴とす
る異常判定機能つき検査装置。 - 【請求項６】被検査物の良否を検査する検査手段と、被
検査物の検査数を計数する係数手段と、良品の数と不良
品の数とを比較してその比率を求める比率検出手段と、
前記比率検出手段によって検出された比率が所定範囲外
になった場合に異常であると判定する異常判定手段とが
具備されていることを特徴とする異常判定機能つき検査
装置。 - 【請求項７】異常であると判定された場合、当該判定結
果を異常信号として出力する異常判定出力手段が備えら
れ、前記異常判定出力手段からの異常信号によって、異
常であるとの判定結果を報知する異常判定報知手段が備
えられている請求項５もしくは請求項６記載の異常判定
機能つき検査装置。 - 【請求項８】異常判定出力手段からの異常信号によっ
て、検査手段の検査動作を停止させる検査動作停止手段
および警報を発する警報手段が備えられている請求項７
記載の異常判定機能つき検査装置。 - 【請求項９】検査手段の前工程に被検査物を処理する被
検査物処理手段が設けられ、異常判定出力手段からの異
常信号によって、前記被検査物処理手段の処理動作を停
止させる処理動作停止手段および警報を発する警報手段
が備えられている請求項７記載の異常判定機能つき検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5167695A JPH08210883A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 異常判定方法および異常判定機能つき検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5167695A JPH08210883A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 異常判定方法および異常判定機能つき検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08210883A true JPH08210883A (ja) | 1996-08-20 |
Family
ID=12893492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5167695A Pending JPH08210883A (ja) | 1995-01-31 | 1995-01-31 | 異常判定方法および異常判定機能つき検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08210883A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008014718A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Murata Mfg Co Ltd | 特性測定装置 |
| JP2009109295A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Ckd Corp | 流量検定故障診断装置、流量検定故障診断システム、流量検定故障診断方法及び流量検定故障診断プログラム |
| JP2018017538A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 大和製衡株式会社 | 重量選別機 |
| CN108680580A (zh) * | 2018-05-03 | 2018-10-19 | 浙江海顺新能源有限公司 | 一种全自动硅片检测分选装置 |
| CN114527718A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-05-24 | 江苏鑫亿鼎石英科技股份有限公司 | 一种石英砂数据化智能生产控制系统 |
-
1995
- 1995-01-31 JP JP5167695A patent/JPH08210883A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7853416B2 (en) | 2007-10-29 | 2010-12-14 | Ckd Corporation | Flow rate verification failure diagnosis apparatus, flow rate verification failure diagnosis system, flow rate verification failure diagnosis method, and control program product for flow rate verification failure diagnosis |
| JP2018017538A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | 大和製衡株式会社 | 重量選別機 |
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| CN114527718A (zh) * | 2022-02-25 | 2022-05-24 | 江苏鑫亿鼎石英科技股份有限公司 | 一种石英砂数据化智能生产控制系统 |
| CN114527718B (zh) * | 2022-02-25 | 2024-01-09 | 江苏鑫亿鼎石英科技股份有限公司 | 一种石英砂数据化智能生产控制系统 |
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