JPH02162401A - 生産設備監視装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、生産工程を構成する各生産設備単位で異常を
検出し、不良品が下流工程へ伝搬するのを防止できる生
産設備監視装置に関するものである。

（従来の技術） 従来より、半導体産業のように多量の製品を製造するラ
インにおいては、全製造工程の最後に製品検査工程を配
置する場合が多い。

したがって、工程の途中で発生した不良品であっても発
生段階で抑え込むことができずに以後の工程を流れた最
終段階で発見されることとなる。

このため、どの工程で不良品が発生したか、不良品はど
の設備から発生したか、更に何が不良品発生の原因であ
るかといった不良工程、不良起因の設備の特定及び不良
原因の追及に多大な時間を費やしており、ときにはこれ
らの特定や追及が困難であった。そして、不良起因の設
備の特定等に時間がかかると新たな不良品の発生を余儀
無くされたり、生産歩留まりの低下や、生産品質の低下
等の不具合を招いていた。

（発明が解決しようとする課題） このように、上記従来の生産設備監視装置にあっては、
工程の最終段階で製品をチエツクしていたので、工程の
途中で発生した不良品を検出することができず、不良工
程、不良起因の設備の特定及び不良原因の追及に時間が
かかり、ときには全く困難であるという問題点があった
。その結果、生産歩留まり及び生産品質の低下等の問題
点が発生していた。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであ
り、その目的は各生産設備単位で不良品発生を抑え込む
ことができ、不良工程、不良起因の設備の特定及び不良
原因の追及が容易となる生産設備監視装置を提供するこ
とにある。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明の生産設備監視装置は
、生産工程を構成する各生産設備からの生産結果情報を
リアルタイムに収集する手段と、収集された生産結果情
報中に異常な情報があるか否かを検出する手段と、異常
な情報が検出された場合には、異常発生を報知するとと
もに対応する生産設備に停止指令を出力する手段とを備
えたことを特徴とするものである。

（作用） 上記構成において、各生産設備からの生産結果情報はリ
アルタイムに取込まれており、その生産結果情報中に異
常な情報があれば、その内容が報知されるとともに対応
する生産設備の停止指定が出力される。これにより、不
良品が下位工程に伝搬することが防止される。

（実施例） 第１図は、本発明に係る生産設備監視装置の一実施例の
構成を示すブロック図であり、本装置は半導体製造設備
に適用したものである。

同図に示すように、生産設備監視装置１は伝送路３を介
して生産設備２と接続されており、生産設備２からリア
ルタイムに生産結果情報を収集して異常な情報があれば
、異常ガイダンス表示端末１０で異常の内容を報知する
と共に対応する生産膜６ｆ２に停止指令を出力する。

生産設備監視装置１は、コンピュータで構成され、その
機能上、対生産設備送受信部４と、不良品判定部５と、
許容値保存部６と、リモート停止通知部７と、異常対応
ガイダンス表示制御部８と、ガイダンス情報保存部９と
を備えて構成されている。

対生産設備送受信部４は、生産設備２からの生産結果情
報を伝送路３を介して受信するとともに、異常が発生し
た生産膜ｆａ２に対して伝送路３を介してリモート停止
指令を送信する。

不良品判定部５は、生産設備２より受信した生産結果情
報と許容値保存部６に保存された情報とを比較し、各生
産結果項目毎に異常か否かの判定を行うものである。

許容値保存部６は、各生産設備毎のチエツク項目の許容
値を第２図に示すごとく保存している。

例えば、第２図において、半導体品種Ａのチエツク項目
としてはキズ（傷）、カケ（欠け）、ワレ（割れ）、ハ
ガレ（剥がれ）、フクレ、偏芯、変形等のそれぞれの個
数や操作ミスの回数がどの範囲であれば許容されるかと
いう許容値が保存されている。

リモート停止通知部７は、不良品判定部５で不良品と判
定された製品を生産した生産膜Ｏｉ！２に対してリモー
ト停止指令を自動出力する。

異常対応ガイダンス表示制御部８は、不良品判定部５で
不良品と判定された製品を生産した生産設備２に対する
対応するガイダンス情報をガイダンス情報保存部９から
検索して異常ガイダンス表示端末１０へ表示すべく制御
するものである。

異常ガイダンス表示端末１０は、ＣＲＴデイスプレィ装
置等で構成され、不良品を生産した生産設備に対応する
ガイダンス情報、例えば生産設備２中のどの工程のどの
マシンでどのような異常が発生したかというガイダンス
を表示できる。

次ぎに本実施例の作用を第３図のフローチャートを参照
して説明する。

生産膜Ｒ２において、生産が終了すると生産結果情報が
伝送路３を介して生産設備監視装置１の対生産設備送受
信部４で受信される。

受信された生産結果情報から、不良品判定部５は許容値
保存部６に保存された第２図に示すごとき許容値内に生
産結果情報が入っているか否かをチエツク項目１から順
番にチエツクしていく　（ステップＳＴＩ〜５Ｔ５）。

各チエツク項目において許容値内を外れたものがあると
（ステップ５Ｔ３ＮＯ）　、リモート停止有りとし、そ
のチエツクＮｏ、を保存する（ステップ５Ｔ６）。

このようにして全てのチエツク項目に対して許容値内に
あるか否かが判定され、全てのチエツク項目が完了する
とリモート停止要求がある生産設備２に対してはリモー
ト停止指令が出力されると共に、チエツクＮｏ、に対応
するガイダンスが異常ガイダンス表示端末１０に表示さ
れる（ステップＳＴ７，５Ｔ８）。

このように本実施例においては、生産工程を構成する各
生産設備単位で異常が発生した場合に直ちにその異常が
発生した生産設備をリモート停止させるとともに、対応
するガイダンス表示をするので、不良品が下位工程に伝
搬することはない。

その結果、生産歩留まりや生産品質の低下が防止される
。

以上、本実施例における許容値保存部６は品種毎にチエ
ツク項目許容値を定めるようにしているが、さらに生産
設備毎のチエツク項目を加えるようにすれば各生産設備
の能力に応じた結果を反映でき、より木目細かい不良品
判定が可能となる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の生産設備監視装置によれ
ば、一つの生産設備単位で不良品発生があるか否かを自
動判定し、不良品が発生していればその生産設備の生産
停止及び異常発生を報知するようにしたので、不良品発
生時点において即座に不良品を抑え込むことが可能とな
る。その結果不良工程、不良起因の設備の特定が容易と
なり、生産歩留まり、生産品質の向上が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る生産設備監視装置の一実施例の構
成を示すブロック図、第２図は同実施例の許容値保存部
に保存された判定項目の一例を示す説明図、第３図は同
実施例の作用を説明するためのフローチャートである。 １・・・生産設備監視装置 ２・・・生産設備 ３・・・伝送路 ４・・・対生産設備送受信部 ５・・・不良品判定部 ６・・・許容値保存部 ７・・・リモート停止通信部 ８・・・異常対応ガイダンス表示制御部９・・・ガイダ
ンス情報保存部 １０・・・異常ガイダンス表示端末

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 生産工程を構成する各生産設備からの生産結果情報をリ
   アルタイムに収集する手段と、 収集された生産結果情報中に異常な情報があるか否かを
   検出する手段と、 異常な情報が検出された場合には、異常内容を報知する
   とともに対応する生産設備に停止指令を出力する手段と
   、 を備えたことを特徴とする生産設備監視装置。