JPH06309620A - 磁気ヘッド - Google Patents

磁気ヘッド

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JPH06309620A
JPH06309620A JP5100940A JP10094093A JPH06309620A JP H06309620 A JPH06309620 A JP H06309620A JP 5100940 A JP5100940 A JP 5100940A JP 10094093 A JP10094093 A JP 10094093A JP H06309620 A JPH06309620 A JP H06309620A
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JP
Japan
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magnetic
layer
glass
magnetic head
film
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JP5100940A
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Hiroyuki Hasegawa
博幸 長谷川
Takeshi Takahashi
高橋  健
Akihiro Ashida
晶弘 芦田
Terumasa Sawai
瑛昌 沢井
Hiromi Takeda
裕美 武田
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/187Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11B5/1875"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
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    • Y10T428/1171Magnetic recording head with defined laminate structural detail

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  • Manufacturing & Machinery (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 スペーシングロスが発生しない磁気ヘッドを
提供すること。 【構成】 フェライトよりなる1対の対向する磁気コア
半体1a、1bの対向面の夫々に被着された金属磁性膜
2を有する磁気ヘッドにおいて、前記各金属磁性膜2の
表面のそれぞれにホウ珪酸を主成分とするガラス層4と
Cr層4とを順次被着して磁気ギャップ層を形成し、前
記Cr層4同士を突き合わせて接合したことを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はVTR、DAT、FD
D、HDD等に用いられる高保磁力の磁気記録媒体に高
密度に情報を記録再生するのに使用される磁気ヘッドに
関する。
【0002】
【従来の技術】従来、VTR等の磁気記録装置には、フ
ェライトを用いた磁気ヘッドが使用されてきた。しか
し、情報を高密度に記録再生しようとすれば、記録媒体
の抗磁力(以下、Hcという)を高めることが必要であ
り、Hcが80kA/mを越えるようなメタルテープが
用いられるようになっている。このため、磁気ヘッドの
磁気飽和を回避する目的から、磁気コアの一部にセンダ
スト合金、Co系超構造窒化合金、Fe系窒化合金等の
高い飽和磁束密度(以下、Bsという)で透磁率が高い
金属軟磁性材料を用いた磁気ヘッドが開発されている。
【0003】従来例の磁気ヘッドの構造を図5に基づい
て説明する。図5は、従来例を摺動面側から見た図であ
る。図5に示すように、フェライトより成る1対の対向
する磁気コア半体11a、11bのそれぞれのギャップ
形成面上にスパッタ、蒸着法等で高Bsの金属磁性膜1
2を形成したメタルインギャップヘッド(以下、MIG
ヘッドという)がある。このMIGヘッドでは、それぞ
れの金属磁性膜12を覆うようにSiO2 層13が主ギ
ャップ層として設けられ、このSiO2 層13の表面に
は、更に、SiO2 層13を覆うようにそれぞれCr層
14が設けられており、このCr層14を対向させた状
態で、接合ガラス15により融着し、ギャップ接合して
いる。この場合、Cr層14は、SiO2 層13がギャ
ップ接合時に溶融した接合ガラス15と反応するのを防
止し、金属磁性膜12表面の磁気特性の劣化や接合ガラ
ス15内の発泡を防ぎ、また、接合ガラスの濡れ性を良
くする働きがある。また、SiO2 層13は、金属磁性
膜12の元素がCr層14中に拡散して金属磁性膜12
の特性が劣化するのを防ぐ働きがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
の構成では、金属磁性膜12の表面には主ギャップ材と
してSiO2 層13が用いられているが、このSiO2
層13は軟化温度1700℃、ビッカース硬度720k
g/mm2 である。これに対してフェライトのビッカー
ス硬度は700kg/mm2 程度で、金属磁性膜12の
ビッカース硬度は650kg/mm2 以下であり主ギャ
ップ材がもっとも硬い構成になっている。
【0005】図6に、従来の磁気ヘッドに磁気テープ2
0を摺動させた場合の磁気ヘッドの断面図を示す。上述
のようにSiO2 層13を主ギャップ材に用いた従来例
の磁気ヘッドにおいては、磁気テープ20の走行に伴っ
て、最も軟らかい金属磁性膜12が選択的に摩耗するた
めに、SiO2 層13と金属磁性膜12の間に偏摩耗と
よばれる段差が発生し、結果的に磁気ギャップと磁気テ
ープ20の間に偏摩耗分の空隙が生じ、磁気ヘッド出力
は偏摩耗分のスペーシングロスにより低下するという問
題点があった。
【0006】本発明は、上記の問題点を解決し、スペー
シングロスが発生しない磁気ヘッドを提供することを課
題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
上記の課題を解決するために、フェライトよりなる1対
の対向する磁気コア半体の対向面の夫々に被着された金
属磁性膜を有する磁気ヘッドにおいて、前記各金属磁性
膜の表面のそれぞれにホウ珪酸を主成分とするガラス層
とCr層とを順次被着して磁気ギャップ層を形成し、前
記Cr層同士を突き合わせて接合したことを特徴とす
る。
【0008】又、本発明の磁気ヘッドは、上記の課題を
解決するために、金属磁性膜は、Fe合金もしくはCo
合金もしくはFeCo合金から成る組成物をTで表し、
Nb、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo、W、Cr、M
n、Re、Ruから選ばれる少なくとも1種類以上の元
素からなる組成物をMで表し、aとbとcとを原子比と
し、 0.70≦a≦0.95 0.05≦b≦0.30 0.015≦c≦0.20 a+b+c=1.0 とした場合に、平均組成が一般式TaMbNcで表さ
れ、且つ、アモルファス合金または微結晶合金層とその
窒化物層とが交互に積層された、あるいは膜厚方向に少
なくとも窒素の組成が変調されている窒化アモルファス
合金または窒化微結晶合金からなることが好適である。
【0009】又、本発明の磁気ヘッドは、上記の課題を
解決するために、ホウ珪酸を主成分とするガラス層は、
ビッカース硬度が650kg/mm2 以下で、且つ、軟
化温度が550℃以上であることが好適である。
【0010】
【作用】本発明の磁気ヘッドでは、1対の対向する磁気
コア半体の対向面の夫々に金属磁性膜を被着し、各金属
磁性膜の表面のそれぞれにホウ珪酸を主成分とするガラ
ス層とCr層とを順次被着して磁気ギャップ層を形成
し、これらのCr層同士を突き合わせて接合ガラスによ
り接合してギャップ形成を行っている。
【0011】上記の磁気ギャップ層を形成するガラス層
には、軟化温度が高いガラスが必要で、軟化温度が高い
ことによって、金属磁性膜と硬質ガラス層間の反応を抑
制でき、また、Cr層によって接合ガラスとガラス層間
の反応を抑制できるため、劣化が少ない特性を実現でき
る。この条件を満足するガラスは極めて限られ、従来例
ではSiO2 が使用されているが、前記のように、Si
2 層はビッカース硬度が約720kg/mm2 と大き
いので、ビッカース硬度が650kg/mm2以下の金
属磁性膜が偏摩耗するという問題点があった。これに対
して、本発明の磁気ヘッドでは、限られたガラスの中か
ら、軟化温度が高くて、ビッカース硬度が金属磁性膜に
近いガラスとして、ホウ珪酸を主成分とするガラスを選
択使用して、製造時の製品の特性劣化が少なく、且つ、
偏摩耗が少ない磁気ヘッドを得ている。
【0012】特に、本発明の磁気ヘッドでは、ギャップ
層に用いるホウ珪酸を主成分とするガラスとして、ビッ
カース硬度が650kg/mm2 以下で、且つ、軟化温
度が550℃以上のホウ珪酸ガラスを主成分としたガラ
スを用いているので、軟化温度が550℃以上あって、
金属磁性膜とホウ珪酸を主成分とするガラス層間の反応
を抑制でき、また、Cr層によって接合ガラスとホウ珪
酸を主成分とするガラス層間の反応を抑制できるため、
劣化が少ない特性を実現できる。そして、ギャップ層の
ビッカース硬度が650kg/mm2 以下なので、金属
磁性膜の650kg/mm2 以下、及び、フェライトの
約690kg/mm2 に比べて同等以下になり、磁気テ
ープ走行により発生する金属磁性層とギャップ層間の偏
摩耗による段差が小さく、安定したインターフェイスが
実現し、スペーシングロスによる電磁変換特性の劣化も
少ない。
【0013】又、磁気ヘッド用の金属磁性膜は、高い飽
和磁束密度と、高い透磁率と、高い結晶化温度を有する
ことが必要であるが、本発明の磁気ヘッドでは、Fe合
金もしくはCo合金もしくはFeCo合金から成る組成
物をTで表し、Nb、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo、
W、Cr、Mn、Re、Ruから選ばれる少なくとも1
種類以上の元素からなる組成物をMで表し、aとbとc
とを原子比とし、 0.70≦a≦0.95 0.05≦b≦0.30 0.015≦c≦0.20 a+b+c=1.0 とした場合に、平均組成が一般式TaMbNcで表さ
れ、且つ、アモルファス合金または微結晶合金層とその
窒化物層とが交互に積層された、あるいは膜厚方向に少
なくとも窒素の組成が変調されている窒化アモルファス
合金または窒化微結晶合金からなる金属磁性膜を使用し
てこれを達成している。
【0014】
【実施例】本発明の磁気ヘッドの一実施例を図1〜図4
に基づいて説明する。
【0015】図1は、本発明の磁気ヘッドの一実施例を
摺動面側からみた図である。主磁路を構成する磁気コア
半体1a,1bは酸化物磁性材料であるフェライトから
なる。磁気コア半体1a,1bがギャップ面を隔てて対
向している対向面には、フェライトよりも高いBsと、
高い透磁率と、高い結晶化温度を有する金属磁性膜2が
スパッタ、蒸着法等により形成されている。金属磁性膜
2として本実施例では、CoNbZrとCoNbZrN
とを20nmずつ交互に積層した膜厚3μm(ギャップ
対向面上)のCoNbZr組成変調窒化合金膜を用いて
いる。金属磁性膜2の表面には、金属磁性膜を完全に覆
い隠すように、主ギャップ材としてホウ珪酸を主成分と
するガラス層3がスパッタ法等により形成されている。
このホウ珪酸を主成分とするガラス層3の表面にはCr
層4がホウ珪酸を主成分とするガラス層3を完全に覆い
隠すように形成されている。
【0016】磁気ヘッドはCr層4同士を突き合わせた
状態で接合ガラス5によってギャップ接合されている。
このとき接合ガラス5には低融点ガラスを用いる。Cr
層4には、接合ガラス5とホウ珪酸を主成分とするガラ
ス層3とがギャップ接合時に溶融して、その下にある金
属磁性膜2と反応を起こすことを防止し、また、ギャッ
プ接合時に接合ガラス5の流れ性を改善して発泡を抑止
する役割がある。ホウ珪酸を主成分とするガラス層3
は、金属磁性膜2中の元素がCr層4中に拡散して金属
磁性膜2の表面に磁気的劣化層が生じることを防ぐ働き
をする。
【0017】図2に本発明の磁気ヘッドに磁気テープ2
0を摺動させた場合の磁気ヘッドの断面図を示す。本発
明の磁気ヘッドにおいては、ビッカース硬度が650k
g/mm2 以下のホウ珪酸ガラスを主成分とするガラス
層3を主ギャップ材に用いているので、磁気テープ20
が走行した場合でも金属磁性膜2とホウ珪酸ガラスを主
成分とするガラス層3とがほぼ同じ速度で摩耗するため
に、ホウ珪酸ガラスを主成分とするガラス層3と金属磁
性膜2との間に偏摩耗とよばれる段差が発生しないた
め、磁気テープ20は磁気ギャップ部表面に沿って、ス
ペーシングロスが極めて少ない状態で安定走行するた
め、優れた電磁変換特性を示す。
【0018】図3に本発明の磁気ヘッドと従来例の磁気
ヘッドとにおける磁気ギャップ部表面の偏摩耗量の磁気
テープ走行時間依存性を示す。前述した通り従来例の磁
気ヘッドでは磁気テープ走行にともなって、磁気ギャッ
プ部の偏摩耗が進行し、最大30nm程度の偏摩耗が生
じるが、本発明の磁気ヘッドでは磁気ギャップ部の偏摩
耗は5nm以下のままで安定しており、きわめて良好な
テープヘッドインターフェイスが実現している。
【0019】図4に本発明の磁気ヘッドと従来の磁気ヘ
ッドとにおける磁気ヘッド出力の磁気テープ走行時間依
存性を示す。図3の結果から容易に想像できるように、
従来例の磁気ヘッドでは磁気テープ走行にともなって、
偏摩耗が進行し、その結果スペーシングロスが増大し電
磁変換特性が劣化するが、本発明の磁気ヘッドでは偏摩
耗が少ないために極めて良好な電磁変換特性を実現して
いる。
【0020】尚、本発明の磁気ヘッドは、上記の実施例
に限らず種々の態様が可能である。
【0021】例えば、金属磁性膜の組成は、実施例のも
のに限らず、請求項2に記載の組成のものが使用でき
る。
【0022】
【発明の効果】本発明の磁気ヘッドは、磁気ギャップの
主ギャップ材として、ホウ珪酸ガラスを主成分とするガ
ラス層を使用しているので、このガラス層の高い軟化温
度によって、金属磁性膜とこのガラス層間の反応を抑制
でき、また、Cr層によって接合ガラスとこのガラス層
間の反応を抑制できるため、製造工程での金属磁性膜の
劣化を少なくできる。又、このガラス層のビッカース硬
度は、金属磁性体及びフェライトのビッカース硬度に比
べて同等以下であるので、磁気テープの走行によって発
生する金属磁性層とこのガラス層間の段差が小さく、安
定したインターフェイスが実現し、スペーシングロスに
よる電磁変換特性の劣化が少ないという効果を奏する。
【0023】そして、ホウ珪酸を主成分とするガラス層
の、ビッカース硬度が650kg/mm2 以下で、且
つ、軟化温度が550℃以上であると、特に優れた特性
が得られる。
【0024】又、本発明の磁気ヘッドは、金属磁性膜を
請求項3に記載する組成を有するように構成すると、高
い飽和磁束密度と、高い透磁率と、高い結晶化温度を有
し、優れた電磁変換特性が得られるという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気ヘッドの一実施例の摺動面の平面
図である。
【図2】本発明の磁気ヘッドと磁気テープとの断面図で
ある。
【図3】本発明の磁気ヘッドと従来例の磁気ヘッドとの
磁気ギャップ部の段差の時間変化を比較した図である。
【図4】本発明の磁気ヘッドと従来例の磁気ヘッドとの
出力の時間変化を比較した図である。
【図5】従来例の磁気ヘッドの摺動面の平面図である。
【図6】従来例の磁気ヘッドと磁気テープとの断面図で
ある。
【符号の説明】
1a,1b 磁気コア半体 2 金属磁性膜 3 ホウ珪酸を主成分とするガラス層 4 Cr層 5 接合ガラス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沢井 瑛昌 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 武田 裕美 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フェライトよりなる1対の対向する磁気
    コア半体の対向面の夫々に被着された金属磁性膜を有す
    る磁気ヘッドにおいて、前記各金属磁性膜の表面のそれ
    ぞれにホウ珪酸を主成分とするガラス層とCr層とを順
    次被着して磁気ギャップ層を形成し、前記Cr層同士を
    突き合わせて接合したことを特徴とする磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 金属磁性膜は、Fe合金もしくはCo合
    金もしくはFeCo合金から成る組成物をTで表し、N
    b、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo、W、Cr、Mn、
    Re、Ruから選ばれる少なくとも1種類以上の元素か
    らなる組成物をMで表し、aとbとcとを原子比とし、 0.70≦a≦0.95 0.05≦b≦0.30 0.015≦c≦0.20 a+b+c=1.0 とした場合に、平均組成が一般式TaMbNcで表さ
    れ、且つ、アモルファス合金または微結晶合金層とその
    窒化物層とが交互に積層された、あるいは膜厚方向に少
    なくとも窒素の組成が変調されている窒化アモルファス
    合金または窒化微結晶合金からなる請求項1に記載の磁
    気ヘッド。
  3. 【請求項3】 ホウ珪酸を主成分とするガラス層は、ビ
    ッカース硬度が650kg/mm2 以下で、且つ、軟化
    温度が550℃以上である請求項1又は2に記載の磁気
    ヘッド。
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