JPH0721513A

JPH0721513A - 磁気ヘッド

Info

Publication number: JPH0721513A
Application number: JP15922593A
Authority: JP
Inventors: Yoko Kato; 洋子加藤; Fusashige Tokutake; 房重徳竹; Seiji Kumagai; 静似熊谷; Junichi Honda; 順一本多
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1993-06-29
Filing date: 1993-06-29
Publication date: 1995-01-24

Abstract

(57)【要約】【目的】基板の耐摩耗性，加工性を向上し、磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩留
りを向上する。【構成】一対の基板３，５、４，６により軟磁性金属
材料よりなる金属磁性膜１，２が膜厚方向より挟み込ま
れてなる磁気コア半体７，８が前記金属磁性膜１，２の
端面を突き合わせるようにして接合一体化され、これら
金属磁性膜１，２の端面間に磁気ギャップｇが形成され
ている磁気ヘッドにおいて、基板３，４，５，６の磁気
記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａ側の少なくとも
磁気ギャップｇ近傍部を非磁性単結晶フェライトで構成
し、その磁気記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａに
おける面方位を｛１００｝とする。この時、非磁性単結
晶フェライトの磁気記録媒体摺接方向Ｍにおける結晶方
位を〈１００〉としても良い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ等に搭載される磁気ヘッドに関し、特に高密度磁
気記録用ヘッドとして好適な磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダー等に搭
載される高周波特性に優れる高密度記録用の磁気ヘッド
として軟磁性金属膜を金属磁性膜として用いたもの、或
いは膜厚の薄い軟磁性金属薄膜を絶縁膜を介して何層に
も積層してなる、いわゆる積層磁性膜を金属磁性膜とし
て用いた磁気ヘッドの開発が行われている。かかる磁気
ヘッドの一例として、上記積層磁性膜を非磁性材料より
なる基板によって膜厚方向より挟み込んでなる磁気コア
半体同士を、積層磁性膜の端面同士を互いに突き合わせ
るようにして接合一体化した、いわゆるラミネートタイ
プの磁気ヘッドが挙げられる。

【０００３】なお、上記磁気ヘッドの金属磁性膜を形成
する軟磁性金属膜を構成する材料としては、センダスト
（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ），Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ，Ｆｅ
−Ｓｉ，パーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ），Ｆｅ系アモルファ
ス，Ｃｏ系アモルファス，窒素系微結晶材料，炭素系微
結晶材料等の軟磁性材料が挙げられ、一方の基板を構成
する材料としては、チタン酸カルシウム系セラミック等
の非磁性材料が挙げられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な磁気ヘッドにおいては、実使用上、以下のような不都
合が生じる。すなわち、金属磁性膜を形成する軟磁性材
料と基板を構成する非磁性材料の摩耗特性が異なること
から、実使用時、磁気記録媒体摺接面における基板の偏
摩耗が生じ易く、磁気ヘッドの磁気記録媒体への当たり
特性を大きく損なうこととなる。また、製品寿命の観点
からも基板の偏摩耗は好ましいものではない。

【０００５】そこで、基板の偏摩耗を防ぐべく、基板を
構成する非磁性材料として高硬度の材料、例えばチタン
酸アルミニウム等を用いることが行われているが、硬度
の高い材料は加工性が低く、形成される磁気ヘッドの製
造歩留りを著しく低下させることとなる。

【０００６】また、非磁性材料として加工性の良好な非
磁性多結晶フェライトを用いることも提案されている
が、十分な耐摩耗性を得ることが難しい。

【０００７】さらに、非磁性材料として非磁性単結晶フ
ェライトを用いることも提案されているが、その面方位
や結晶方位によって得られる特性が大きく異なり、特性
の制御が困難である。

【０００８】そこで、本発明は従来の実情に鑑みて提案
されたものであり、耐摩耗性，加工性が良好な基板を提
供し、磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩
留りの向上された磁気ヘッドを提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明者等が鋭意検討した結果、非磁性単結晶フェ
ライトの｛１００｝面の耐摩耗性が非常に良好であるこ
とが判明した。また、非磁性単結晶フェライトの｛１０
０｝面において、被摺接物を〈１００〉方向に摺接した
場合の耐摩耗性が特に良好であることを見い出した。

【００１０】すなわち、本発明は、一対の基板により軟
磁性金属材料よりなる金属磁性膜が膜厚方向より挟み込
まれてなる磁気コア半体同士が、前記金属磁性膜の端面
を互いに突き合わせるようにして接合一体化され、これ
ら金属磁性膜の端面間に磁気ギャップが形成されてなる
磁気ヘッドにおいて、上記基板の磁気記録媒体摺接面側
の少なくとも磁気ギャップ近傍部を非磁性単結晶フェラ
イトで構成し、その磁気記録媒体摺接面における面方位
を｛１００｝とすることを特徴とするものである。

【００１１】また、本発明は上述のような磁気ヘッドに
おいて、非磁性単結晶フェライトの磁気記録媒体摺接方
向における結晶方位を〈１００〉とすることを特徴とす
るものである。

【００１２】

【作用】本発明においては、基板の磁気記録媒体摺接面
側の少なくとも磁気ギャップ近傍部を非磁性単結晶フェ
ライトで構成し、その磁気記録媒体摺接面における面方
位を｛１００｝としていることから、基板の耐摩耗性が
向上する。

【００１３】また、本発明においては、非磁性単結晶フ
ェライトの磁気記録媒体摺接方向における結晶方位を
〈１００〉としていることから基板の耐摩耗性が更に向
上する。

【００１４】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。本実施例の磁
気ヘッドは、図１に示すように、金属磁性膜１，２がそ
の膜厚方向より非磁性単結晶フェライトよりなる第１の
基板３，４と第２の基板５，６によって挟み込まれてな
る一対の磁気コア半体７，８からなり、これら磁気コア
半体７，８が上記金属磁性膜１，２の端面同士を互いに
突き合わせるようにして接合一体化されて構成されてお
り、これら磁気コア半体７，８の突き合わせ面、すなわ
ち金属磁性膜１，２の端面間に磁気ギャップｇが形成さ
れている。

【００１５】上記のように磁気コア半体７，８は、主コ
アとなる金属磁性膜１，２とこれを膜厚方向より挾み込
む第１の基板３，４と第２の基板５，６とから構成さ
れ、該第２の基板５，６の一主面に被着形成される金属
磁性膜１，２を挾み込むようにして第１の基板３，４が
積層されることにより接合一体化されている。

【００１６】上記金属磁性膜１，２は、高周波特性を向
上させる目的で膜厚の薄い軟磁性金属薄膜が絶縁膜を介
して積層されてなる積層メタル膜とされている。なお、
上記第２の基板５，６と金属磁性膜１，２との界面に
は、これらの付着力の向上並びに反応防止として機能す
る下地膜が成膜されていても良い。

【００１７】上記金属磁性膜１，２を形成する軟磁性金
属薄膜を構成する材料としては、センダスト（Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ）やＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｓｉ、パ
ーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ）、Ｆｅ系又はＣｏ系のアモルフ
ァス、窒素系及び炭素系微結晶材料等が挙げられる。ま
た、一方の絶縁膜としては、例えばＳｉＯ₂，Ｔａ₂Ｏ
₅等の酸化物膜やＳｉ₃Ｎ₄等の窒化物膜等が使用され
る。さらに、下地膜には、第２の基板５，６と金属磁性
膜１，２の付着力を高める必要性から、ＳｉＯ ₂，Ｔａ
₂Ｏ₅等の酸化物膜、Ｓｉ₃Ｎ₄等の窒化物膜、Ｃｒ，
Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金属膜及びそれらの合金膜、或い
はそれらを組合わせた積層膜等が使用される。

【００１８】また、上記のような第１の基板３，４と第
２の基板５，６は、図示しないガラス膜によって接合一
体化されており、第１の基板３，４及び第２の基板５，
６とガラス膜間にはこれらの反応防止等のために下地膜
が形成されていても良い。上記ガラス膜には、低融点ガ
ラスをスパッタリングして形成したもの、或いはフリッ
トガラスをスピンコーティング等によって塗布して形成
したものが使用でき、上記下地膜には、軟磁性金属薄膜
１，２または第１の基板３，４とガラス膜の反応防止等
を目的として、ＳｉＯ₂，Ｔａ₂Ｏ₅等の酸化物膜、Ｓ
ｉ₃Ｎ₄等の窒化物膜、Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金
属膜及びこれらの合金膜、或いはそれらを組合わせた積
層膜等が使用できる。

【００１９】そして、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、第１の基板３，４及び第２の基板５，６は、前述の
ように非磁性単結晶フェライトよりなり、磁気記録媒体
摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにおける面方位が｛１０
０｝とされている。また、図中矢印Ｍで示す磁気記録媒
体摺接方向における｛１００｝面の結晶方位は〈１０
０〉とされている。上記非磁性フェライト材としては、
Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト材等が使用されるが、その組成
を調整することによってキュリー点を室温以上に設定
し、非磁性としている。

【００２０】さらに、この磁気ヘッドにおいては、磁気
コア半体７，８の突き合わせ面側にコイルを巻装するた
めのコイル巻装溝９，１０が設けられ、また、磁気記録
媒体に対する当たりを確保するために磁気記録媒体と摺
接する磁気記録媒体摺接面に段差が設けられている。

【００２１】このように構成された本実施例の磁気ヘッ
ドにおいては、金属磁性膜１，２を膜厚方向より挟み込
む非磁性単結晶フェライトよりなる基板３，４，５，６
の磁気記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにおける
面方位が｛１００｝とされていることから基板３，４，
５，６の磁気記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａに
おける耐摩耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用
時に基板３，４，５，６の偏摩耗が発生しにくい。ま
た、図中矢印Ｍで示す磁気記録媒体摺接方向における
｛１００｝面の結晶方位が〈１００〉とされていること
から磁気記録媒体摺動面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにおけ
る耐摩耗性が更に向上され、基板の偏摩耗が更に抑えら
れる。さらに、これらのことから本実施例の磁気ヘッド
の磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩留り
を向上することができる。また、上記のような非磁性単
結晶フェライトは加工性も良好であり、生産性を向上さ
せ、製造歩留りを向上させることも可能である。

【００２２】そこで本実施例の磁気ヘッドの効果を確認
すべく、以下のような実験を行った。すなわち、本実施
例の磁気ヘッドの他に、基板としてチタン酸カルシウム
系セラミック，非磁性多結晶フェライトを用いた磁気ヘ
ッドを作製し、これらの磁気ヘッドの走行試験を行い、
各磁気ヘッドの基板の摩耗量を測定した。また、本実施
例の磁気ヘッドと同様に、基板として非磁性単結晶フェ
ライトを用い、磁気記録媒体摺接面における面方位を
｛１００｝とした磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体摺
接方向を〈１００〉方向以外としたものについても走行
試験を行い、基板の摩耗量の測定を行った。なお、磁気
記録媒体としては、塗布型の磁気テープを用い、環境条
件を温度３０℃，相対湿度８０％とした。結果を図２に
示す。

【００２３】図中縦軸は、基板摩耗量を示し、横軸は磁
気記録媒体の走行時間を示す。また、図中２点鎖線は、
基板としてチタン酸カルシウム系セラミックを用いた磁
気ヘッドの結果を示し、図中１点鎖線は基板として非磁
性フェライトの多結晶を用いた磁気ヘッドの結果を示
し、図中点線と実線で区分される斜線で示す領域は基板
として非磁性単結晶フェライトを用い、磁気記録媒体摺
接面における面方位を｛１００｝とした磁気ヘッドの結
果を示し、実線は本実施例の磁気ヘッドの結果を示す。

【００２４】図２の結果を見てわかるように、基板とし
て非磁性単結晶フェライトを用い、磁気記録媒体摺接面
における面方位を｛１００｝とすることにより、耐摩耗
性を大幅に向上させることが可能であることが確認され
た。また、磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面
の結晶方位を〈１００〉とすることにより、耐摩耗性を
更に向上させることが可能であることも確認された。

【００２５】従って、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、基板の耐摩耗性が大幅に向上され、基板の偏摩耗が
抑えられることから、磁気記録媒体との当たり特性，製
品寿命，製品歩留りが向上されることが確認された。

【００２６】本発明を適用した磁気ヘッドの実施例とし
ては、上述の磁気ヘッドの他に以下に示すような磁気ヘ
ッドも挙げられる。例えば、図３に示すように、磁気ギ
ャップｇが所定のアジマス角を有して形成され、金属磁
性膜１１，１２が図中矢印Ｍで示す磁気記録媒体摺接方
向に対して斜め方向に延在しており、上記金属磁性膜１
１，１２を非磁性単結晶フェライトよりなる第１の基板
１３，１４、第２の基板１５，１６によって膜厚方向か
ら挟み込んで形成されるものである。

【００２７】本実施例の磁気ヘッドにおいても、基板１
３，１４，１５，１６の磁気記録媒体摺接面１３ａ，１
４ａ，１５ａ，１６ａにおける面方位が｛１００｝とさ
れていることから、基板１３，１４，１５，１６の耐摩
耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用時の基板１
３，１４，１５，１６の偏摩耗が発生しにくくなってい
る。また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップｇがアジマス角を有していることから、図中Ｍで示
す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶方
位を〈１００〉とすることは困難となる。そこで、本実
施例の磁気ヘッドにおいては、基板１３，１４，１５，
１６の磁気ギャップ形成面の法線方向における結晶方位
を〈１００〉としているが、このような構成としても基
板１３，１４，１５，１６の耐摩耗性を更に向上させ、
基板１３，１４，１５，１６の偏摩耗を更に抑えること
が可能である。また、これらのことから、本実施例の磁
気ヘッドの磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製
品歩留りを向上することができる。さらに、上記のよう
な非磁性単結晶フェライトは加工性も良好であり、生産
性を向上させ、製造歩留りを向上させることも可能であ
る。

【００２８】また、これまで述べてきたような金属磁性
膜を非磁性フェライト材である基板によって膜厚方向よ
り挟み込んだ形状の磁気ヘッドにおいては、さらなる高
密度記録が求められており、これを達成すべくトラック
幅をさらに狭くする、すなわち金属磁性膜の幅をさらに
狭めることが進められている。しかしながら、このよう
に金属磁性膜の幅を狭めて行くと、磁路を構成するコア
断面積の減少によってヘッド効率が劣化してしまう。

【００２９】そこで、コア断面積の確保によってヘッド
効率の劣化を防止すべく、基板として非磁性フェライト
材と磁性フェライト材の接合材を用いることが提案され
ている。すなわち、基板の磁気記録媒体摺接面側を非磁
性フェライト材にて構成し、残部を磁性フェライト材に
よって構成する。この方法によれば、狭トラック化した
場合でも、基板の磁性フェライト材よりなる部分が補助
コアとして機能し、コア断面積が充分に確保されること
から、非磁性フェライト材のみよりなる基板を用いた磁
気ヘッドに比べてヘッド効率の劣化を抑制することがで
きる。

【００３０】さらに、上記のような金属磁性膜を非磁性
フェライト材である基板によって膜厚方向より挟み込ん
だ形状の磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドの磁気記録媒
体に対する当たりを確保するためには、磁気記録媒体摺
接面における面方位が｛１００｝である非磁性単結晶フ
ェライトよりなる部分を金属磁性膜の磁気ギャップ近傍
部に磁気記録媒体摺接方向に幅２００μｍ以上で設けれ
ば良いことが確認されている。

【００３１】本発明は、上記のような磁気ヘッドにも適
応可能である。すなわち、本実施例の磁気ヘッドは、図
４に示すように、金属磁性膜２１，２２がその膜厚方向
より非磁性フェライト材と磁性フェライト材の接合材よ
りなる第１の基板２３，２４と第２の基板２５，２６に
よって挟み込まれてなる一対の磁気コア半体２７，２８
からなり、これら磁気コア半体２７，２８が上記金属磁
性膜２１，２２の端面同士を互いに突き合わせるように
して接合一体化されて構成されており、これら磁気コア
半体２７，２８の突き合わせ面、すなわち金属磁性膜２
１，２２の端面間に磁気ギャップｇが形成されている。

【００３２】本実施例の磁気ヘッドにおいては、第１の
基板２３，２４及び第２の基板２５，２６が、前述のよ
うに非磁性フェライト材と磁性フェライト材の接合材に
より構成され、磁気記録媒体摺接面２３ａ，２４ａ，２
５ａ，２６ａ側が非磁性単結晶フェライト２９，３１，
３３，３５にて構成され、残部が磁性フェライト材３
０，３２，３４，３６によって構成されている。そし
て、非磁性単結晶フェライト２９，３１，３３，３５の
磁気記録媒体摺接面２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａに
おける面方位は｛１００｝とされており、図中矢印Ｍで
示す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶
方位は〈１００〉とされている。なお、磁性フェライト
材３０，３２，３４，３６は、単結晶，多結晶のいずれ
によって構成されても良い。

【００３３】本実施例の磁気ヘッドにおいても、基板２
３，２４，２５，２６の磁気記録媒体摺接面２３ａ，２
４ａ，２５ａ，２６ａ側の非磁性単結晶フェライト２
９，３１，３３，３５の磁気記録媒体摺接面２３ａ，２
４ａ，２５ａ，２６ａにおける面方位が｛１００｝とさ
れていることから、基板２３，２４，２５，２６の耐摩
耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用時の基板２
３，２４，２５，２６の偏摩耗が発生しにくくなってい
る。また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、図中Ｍで
示す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶
方位を〈１００〉としていることから基板２３，２４，
２５，２６の耐摩耗性を更に向上させ、基板２３，２
４，２５，２６の偏摩耗を更に抑えることが可能であ
る。また、これらのことから、本実施例の磁気ヘッドの
磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩留りを
向上することができる。さらに、上記のような非磁性単
結晶フェライトは加工性も良好であり、生産性を向上さ
せ、製造歩留りを向上させることも可能である。そし
て、本実施例の磁気ヘッドにおいては、前述のように、
基板の磁性フェライト材よりなる部分が補助コアとして
機能し、コア断面積が充分に確保されることから、非磁
性フェライト材のみよりなる基板を用いた磁気ヘッドに
比べてヘッド効率の劣化を抑制することができ、高密度
記録を達成することが可能となる。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、基板の磁気記録媒体摺接面側の少なくと
も磁気ギャップ近傍部を非磁性単結晶フェライトによっ
て構成し、その磁気記録媒体摺接面における面方位を
｛１００｝としていることから、基板の耐摩耗性が向上
され、基板の偏摩耗を防止することができる。また、本
発明においては、非磁性単結晶フェライトの磁気記録媒
体摺接方向における結晶方位を〈１００〉としているこ
とから基板の耐摩耗性が更に向上され、基板の偏摩耗を
更に防止することができる。さらに、これらのことか
ら、本発明の磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり特
性，製品寿命，製品歩留りを向上することができる。ま
た、上記のような非磁性単結晶フェライトは加工性も良
好であり、生産性を向上させ、製造歩留りを向上させる
ことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した磁気ヘッドの一実施例を示す
斜視図である。

【図２】磁気記録媒体の走行時間と基板摩耗量の関係を
示す図である。

【図３】本発明を適用した磁気ヘッドの他の実施例を示
す斜視図である。

【図４】本発明を適用した磁気ヘッドのさらに他の実施
例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１，２，１１，１２，２１，２２・・金属磁性膜３，４，５，６，１３，１４，１５，１６，２３，２
４，２５，２６・・基板３ａ，４ａ，５ａ，６ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１
６ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａ・・磁気記録媒
体摺接面７，８，２７，２８・・・磁気コア半体２９，３１，３３，３５・・・非磁性単結晶フェライト
材３０，３２，３４，３６・・・磁性フェライト材ｇ・・・磁気ギャップＭ・・・磁気記録媒体摺接方向

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【手続補正書】

【提出日】平成６年１月１０日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】明細書

【発明の名称】磁気ヘッド

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばビデオテープレ
コーダ等に搭載される磁気ヘッドに関し、特に高密度磁
気記録再生用ヘッドとして好適な磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ビデオテープレコーダー等に搭
載される高周波特性に優れる高密度記録再生用の磁気ヘ
ッドとして軟磁性金属膜を金属磁性膜として用いたも
の、或いは膜厚の薄い軟磁性金属薄膜を絶縁膜もしくは
非磁性金属膜を介して何層にも積層してなる、いわゆる
積層磁性膜を金属磁性膜として用いた磁気ヘッドの開発
が行われている。かかる磁気ヘッドの一例として、上記
積層磁性膜を非磁性材料よりなる基板によって膜厚方向
より挟み込んでなる磁気コア半体同士を、積層磁性膜の
端面同士を互いに突き合わせるようにして接合一体化し
た、いわゆるラミネートタイプの磁気ヘッドが挙げられ
る。

【０００４】

【０００９】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに本発明者等が鋭意検討した結果、非磁性単結晶フェ
ライトの｛１００｝面の耐摩耗性が非常に良好であるこ
とが判明した。また、非磁性単結晶フェライトの｛１０
０｝面において、被摺接物を＜１００＞方向に摺接した
場合の耐摩耗性が特に良好であることを見い出した。

【００１１】また、本発明は上述のような磁気ヘッドに
おいて、非磁性単結晶フェライトの磁気記録媒体摺接方
向における結晶方位を略＜１００＞とすることを特徴と
するものである。

【００１２】

【００１３】また、本発明においては、非磁性単結晶フ
ェライトの磁気記録媒体摺接方向における結晶方位を略
＜１００＞としていることから基板の耐摩耗性が更に向
上する。

【００１４】

【００１６】上記金属磁性膜１，２は、高周波特性を向
上させる目的で膜厚の薄い軟磁性金属薄膜が絶縁膜を介
して積層されてなる積暦メタル膜とされている。なお、
上記第２の基板５，６と金属磁性膜１，２との界面に
は、これらの付着力の向上並びに反応防止として機能す
る下地膜が成膜されていても良い。

【００１７】上記金属磁性膜１，２を形成する軟磁性金
属薄膜を構成する材料としては、センダスト（Ｆｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ）やＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ、Ｆｅ−Ｓｉ、パ
ーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ）、Ｆｅ系又はＣｏ系のアモルフ
ァス、窒素系及び炭素系微結晶材料等が挙げられる。ま
た、一方の絶縁膜としては、例えばＳｉＯ_２，Ｔａ_２Ｏ
_５等の酸化物膜やＳｉ_３Ｎ_４等の窒化物膜等もしくは非
磁性金属膜及びそれらを組み合わせたものが使用され
る。さらに、下地膜には、第２の基板５，６と金属磁性
膜１，２の付着力を高める必要性から、ＳｉＯ_２，Ｔａ
_２Ｏ_５等の酸化物膜、Ｓｉ_３Ｎ_４等の窒化物膜、Ｃｒ，
Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金属膜及びそれらの合金膜、或い
はそれらを組合わせた積層膜等が使用される。

【００１８】また、上記のような第１の基板３，４と第
２の基板５，６は、図示しないガラス膜によって接合一
体化されており、第１の基板３，４及び第２の基板５，
６とガラス膜間にはこれらの反応防止等のために下地膜
が形成されていても良い。上記ガラス膜には、低融点ガ
ラスをスパッタリングして形成したもの、或いはフリッ
トガラスをスピンコーティング等によって塗布して形成
したものが使用でき、上記下地膜には、軟磁性金属薄膜
１，２または第１の基板３，４とガラス膜の反応防止等
を目的として、ＳｉＯ_２，Ｔａ_２Ｏ_５等の酸化物膜、Ｓ
ｉ_３Ｎ_４等の窒化物膜、Ｃｒ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｐｔ等の金
属膜及びこれらの合金膜、或いはそれらを組合わせた積
層膜等が使用できる。

【００１９】そして、本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、第１の基板３，４及び第２の基板５，６は、前述の
ように非磁性単結晶フェライトよりなり、磁気記録媒体
摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにおける面方位が｛１０
０｝とされている。また、図中矢印Ｍで示す磁気記録媒
体摺接方向における｛１００｝面の結晶方位は略＜１０
０＞とされている。上記非磁性フェライト材としては、
Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト材等が使用されるが、その組成
を調整することによってキュリー点を室温以上に設定
し、非磁性としている。

【００２１】このように構成された本実施例の磁気ヘッ
ドにおいては、金属磁性膜１，２を膜厚方向より挟み込
む非磁性単結晶フェライトよりなる基板３，４，５，６
の磁気記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにおける
面方位が｛１００｝とされていることから基板３，４，
５，６の磁気記録媒体摺接面３ａ，４ａ，５ａ，６ａに
おける耐摩耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用
時に基板３，４，５，６の偏摩耗が発生しにくい。ま
た、図中矢印Ｍで示す磁気記録媒体摺接方向における
｛１００｝面の結晶方位が略＜１００＞とされているこ
とから磁気記録媒体摺動面３ａ，４ａ，５ａ，６ａにお
ける耐摩耗性が更に向上され、基板の偏摩耗が更に抑え
られる。さらに、これらのことから本実施例の磁気ヘッ
ドの磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩留
りを向上することができる。また、上記のような非磁性
単結晶フェライトは加工性も良好であり、生産性を向上
させ、製造歩留りを向上させることも可能である。

【００２２】そこで本実施例の磁気ヘッドの効果を確認
すべく、以下のような実験を行った。すなわち、本実施
例の磁気ヘッドの他に、基板としてチタン酸カルシウム
系セラミック，非磁性多結晶フェライトを用いた磁気ヘ
ッドを作製し、これらの磁気ヘッドの走行試験を行い、
各磁気ヘッドの基板の摩耗量を測定した。また、本実施
例の磁気ヘッドと同様に、基板として非磁性単結晶フェ
ライトを用い、磁気記録媒体摺接面における面方位を
｛１００｝とした磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体摺
接方向を＜１００＞方向以外としたものについても走行
試験を行い、基板の摩耗量の測定を行った。なお、磁気
記録媒体としては、塗布型の磁気テープを用い、環境条
件を温度３０℃，相対湿度８０％とした。結果を図２に
示す。

【００２４】図２の結果を見てわかるように、基板とし
て非磁性単結晶フェライトを用い、磁気記録媒体摺接面
における面方位を｛１００｝とすることにより、耐摩耗
性を大幅に向上させることが可能であることが確認され
た。また、磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面
の結晶方位を＜１００＞とすることにより、耐摩耗性を
更に向上させることが可能であることも確認された。

【００２７】本実施例の磁気ヘッドにおいても、基板１
３，１４，１５，１６の磁気記録媒休摺接面１３ａ，１
４ａ，１５ａ，１６ａにおける面方位が｛１００｝とさ
れていることから、基板１３，１４，１５，１６の耐摩
耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用時の基板１
３，１４，１５，１６の偏摩耗が発生しにくくなってい
る。また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、磁気ギャ
ップｇがアジマス角を有していることから、図中Ｍで示
す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶方
位を＜１００＞とすることは困難となる。そこで、本実
施例の磁気ヘッドにおいては、基板１３，１４，１５，
１６の磁気ギャップ形成面の法線方向における結晶方位
を＜１００＞としているが、このような構成としても基
板１３，１４，１５，１６の耐摩耗性を更に向上させ、
基板１３，１４，１５，１６の偏摩耗を更に抑えること
が可能である。また、これらのことから、本実施例の磁
気ヘッドの磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製
品歩留りを向上することができる。さらに、上記のよう
な非磁性単結晶フェライトは加工性も良好であり、生産
性を向上させ、製造歩留りを向上させることも可能であ
る。

【００３２】本実施例の磁気ヘッドにおいては、第１の
基板２３，２４及び第２の基板２５，２６が、前述のよ
うに非磁性フェライト材と磁性フェライト材の接合材に
より構成され、磁気記録媒体摺接面２３ａ，２４ａ，２
５ａ，２６ａ側が非磁性単結晶フェライト２９，３１，
３３，３５にて構成され、残部が磁性フェライト材３
０，３２，３４，３６によって構成されている。そし
て、非磁性単結晶フェライト２９，３１，３３，３５の
磁気記録媒体摺接面２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａに
おける面方位は｛１００｝とされており、図中矢印Ｍで
示す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶
方位は略＜１００＞とされている。なお、磁性フェライ
ト材３０，３２，３４，３６は、単結晶，多結晶のいず
れによって構成されても良い。

【００３３】本実施例の磁気ヘッドにおいても、基板２
３，２４，２５，２６の磁気記録媒体摺接面２３ａ，２
４ａ，２５ａ，２６ａ側の非磁性単結晶フェライト２
９，３１，３３，３５の磁気記録媒体摺接面２３ａ，２
４ａ，２５ａ，２６ａにおける面方位が｛１００｝とさ
れていることから、基板２３，２４，２５，２６の耐摩
耗性が向上されており、磁気ヘッドの実使用時の基板２
３，２４，２５，２６の偏摩耗が発生しにくくなってい
る。また、本実施例の磁気ヘッドにおいては、図中Ｍで
示す磁気記録媒体摺接方向における｛１００｝面の結晶
方位を略＜１００＞としていることから基板２３，２
４，２５，２６の耐摩耗性を更に向上させ、基板２３，
２４，２５，２６の偏摩耗を更に抑えることが可能であ
る。また、これらのことから、本実施例の磁気ヘッドの
磁気記録媒体との当たり特性，製品寿命，製品歩留りを
向上することができる。さらに、上記のような非磁性単
結晶フェライトは加工性も良好であり、生産性を向上さ
せ、製造歩留りを向上させることも可能である。そし
て、本実施例の磁気ヘッドにおいては、前述のように、
基板の磁性フェライト材よりなる部分が補助コアとして
機能し、コア断面積が充分に確保されることから、非磁
性フェライト材のみよりなる基板を用いた磁気ヘッドに
比べてヘッド効率の劣化を抑制することができ、高密度
記録を達成することが可能となる。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、基板の磁気記録媒体摺接面側の少なくと
も磁気ギャップ近傍部を非磁性単結晶フェライトによっ
て構成し、その磁気記録媒体摺接面における面方位を
｛１００｝としていることから、基板の耐摩耗性が向上
され、基板の偏摩耗を防止することができる。また、本
発明においては、非磁性単結晶フェライトの磁気記録媒
体摺接方向における結晶方位を略＜１００＞としている
ことから基板の耐摩耗性が更に向上され、基板の偏摩耗
を更に防止することができる。さらに、これらのことか
ら、本発明の磁気ヘッドの磁気記録媒体との当たり特
性，製品寿命，製品歩留りを向上することができる。ま
た、上記のような非磁性単結晶フェライトは加工性も良
好であり、生産性を向上させ、製造歩留りを向上させる
ことも可能である。

【図面の簡単な説明】

【符号の説明】１，２，１１，１２，２１，２２・・金属磁性膜３，４，５，６，１３，１４，１５，１６，２３，２
４，２５，２６・・基板３ａ，４ａ，５ａ，６ａ，１３ａ，１４ａ，１５ａ，１
６ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａ・・磁気記録媒
体摺接面７，８，２７，２８・・・磁気コア半体２９，３１，３３，３５・・・非磁性単結晶フェライト
材３０，３２，３４，３６・・・磁性フェライト材ｇ・・・磁気ギャップＭ・・・磁気記録媒体摺接方向

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者本多順一東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の基板により軟磁性金属材料よりな
る金属磁性膜が膜厚方向より挟み込まれてなる磁気コア
半体同士が、前記金属磁性膜の端面を互いに突き合わせ
るようにして接合一体化され、これら金属磁性膜の端面
間に磁気ギャップが形成されてなる磁気ヘッドにおい
て、上記基板の磁気記録媒体摺接面側の少なくとも磁気ギャ
ップ近傍部が非磁性単結晶フェライトよりなり、その磁
気記録媒体摺接面における面方位が｛１００｝であるこ
とを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】非磁性単結晶フェライトの磁気記録媒体
摺接方向における結晶方位が〈１００〉であることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。