JPH06289602A - ペリレン系色素を用いた感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶表示装置等に用いられる無彩色遮光膜を
形成するに好適な感光性樹脂組成物を提供する。 【構成】 ペリレン系色素であるN,N'-ヒ゛ス-(2-フェニルエチル)
ヘ゜リレン-3,4,9,10-ヒ゛ス-(シ゛カルホ゛キシイミト゛)、ジオキサジン系
色素、カーボンブラック、メタクリル酸／メタクリル酸
メチル共重合体(25/75wt%比) 及びエチレングリコール
モノエチルエーテルアセテートからなる組成物をサンド
ミルにて混練し、遮光性色素組成物を調製した。そし
て、上記組成物に、メタクリル酸／メタクリル酸メチル
共重合体(25/75wt%比)、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジエチルチオキサントン、ミヒラーズケト
ン、2-(o-クロロフェニル)-4,5-シ゛フェニルイミタ゛ソ゛リル二量体及びエチ
レングリコールモノエチルエーテルアセテートからなる
感光性樹脂組成物を加え、サンドミルにて混練した後、
グラスフィルターでろ過して遮光用感光性樹脂組成物を
調製した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、白黒及びカラーの液晶
表示装置、ビデオカメラ用のビューファインダー、プラ
ズマディスプレイ、及び蛍光表示体等のブラックマトリ
ックス、ブラックストライプ、あるいはガラス上に形成
若しくは実装されるＴＦＴ及び半導体素子の光による誤
動作を防ぐ目的で使用される無彩色遮光膜用の感光性樹
脂組成物に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶表示装置、プラズマディスプ
レイ等のブラックマトリックス用遮光パターンの形成
は、例えばプラズマディスプレイにおいては量産性のよ
いスクリーン印刷法が用いられてきた。また液晶表示装
置における遮光パターンの形成においては高精細化、高
遮光率を有したクロム等の金属マスクが主に用いられて
きた。しかし、スクリーン印刷法ではパターン線幅を均
一に形成することは困難であった。また、クロム等の金
属マスクは加工が容易でなく高価であること、反射率が
高いこと、導電性があること等の問題があった。そこ
で、遮光性色素を添加した感光性樹脂を用い、ホトリソ
グラフィ法によって高細密で均一な遮光パターンを形成
する技術が提案されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述の遮光性色素を含
む感光性樹脂を用いて遮光パターンを形成する場合、こ
の感光性樹脂が可視領域においては十分な遮光性を有
し、かつ感光性に寄与する紫外領域の光についてはある
程度の透過率を有する必要がある。しかし、従来のカー
ボンブラックを使用した顔料分散レジストでは紫外領域
における感度が低く、均一な再現性を持った高精細パタ
ーンが得られにくかった。また、カーボンブラックは導
電性を有することから、液晶ディスプレイ等に用いるブ
ラックマトリックスをＴＦＴ素子上に設ける場合や、ガ
ラス基板上に実装される半導体素子の光による誤動作を
防ぐ目的で遮光膜を使用する場合は、絶縁層を新たに設
けなければならなかった。

【０００４】さらに、上記カーボンブラック量を減らす
ために有機顔料や染料を添加した遮光膜用感光性樹脂を
使用すると、感光性に寄与する４００ｎｍ以下の紫外領
域の透過率は若干増加するものの、感光性樹脂に対する
顔料の割合が相対的に増加するため感度及び現像性が著
しく悪化するという問題が生じていた。このような状況
から、可視領域で十分な遮光性を有しながら同時に波長
４００ｎｍ以下の紫外領域ではある程度の透過率を有
し、かつ導電性の少ない遮光膜用感光性樹脂の開発が待
たれていた。

【０００５】

【発明を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、遮光性色素を添加してなる感光性樹脂組成物に
関するものであり、この感光性樹脂組成物は、前記遮光
性色素として下記一般式化４（但し、Ｒ₁，Ｒ₂は、それ
ぞれ異なっていてもよい炭素数１〜３のアルキレン基、
Ｒ₃，Ｒ₄は水素原子、水酸基、メトキシ基又はアセチル
基のいずれかである。）もしくは一般式化５（但し、Ｒ
₅，Ｒ₆は、それぞれ異なっていてもよい炭素数１〜７の
アルキレン基である。）の構造式を有するペリレン系色
素のうちの少なくとも一方を４５〜８０重量％、下記一
般式化６（但し、Ｒ₇，Ｒ₈は、それぞれ異なっていても
よい炭素数１〜６のアルキル基である。）の構造式を有
するジオキサジン系色素を５〜２０重量％、及びカーボ
ンブラックを１０〜４０重量％（いずれも前記遮光性色
素全成分に対する重量％である。）含有している。

【０００６】

【化４】

【化５】

【化６】

【０００７】上記ブラックストライプ、あるいはブラッ
クマトリックス等の分野においては、３波長管によって
ＲＧＢを用いた発色を行っている。このＲＧＢの波長は
図４に示すように、大体４２５ｎｍ〜６５０ｎｍの範囲
にある。従って、遮光膜はこの範囲の波長の光を遮断す
るものでなければならない。しかし、本発明者らの研究
によれば、光は必ずしも完全に遮断される必要はなく、
透過率２％を超える部分が上記範囲中になければ、遮光
膜として十分に利用できることが分かった。

【０００８】また、感光性樹脂はエネルギーの比較的高
い短波長光で硬化させるのが効率的であるが、可視部
（４２５ｎｍ〜６２５ｎｍの範囲）を完全に遮光しよう
とすると、４００ｎｍ未満の光も遮断されてしまい感度
が低下して硬化不良を起こす。しかし、上記可視部の透
過率を最大２％まで許容するならば、遮光性色素の選択
次第で紫外部（３３０ｎｍ以上、４００ｎｍ未満の範
囲）の光透過率の一部を１％以上に高めることが可能で
あることが分かった。またこのように紫外部の一部が１
％以上の透過率を有するならば、露光による感光性樹脂
の硬化は十分に行われることも判明した。即ち、本発明
者らは、上記可視部及び紫外部における光透過率のバラ
ンスを見い出し、この条件を満たす遮光性色素を調製し
て本発明を完成させたものである。

【０００９】本発明で使用する前記一般式化４及び一般
式化５に示すペリレン系色素は、例えば特開昭６２−１
７５３号公報、特公昭６３−２６７８４号公報に記載の
方法を用いて合成することができる。すなわち、ペリレ
ン−３，５，９，１０−テトラカルボン酸又はその二無
水物とアミン類とを原料とし、水又は有機溶媒中で加熱
反応を行う。そして、得られた粗製物を硫酸中で再沈殿
させるか、又は、水、有機溶媒あるいはこれらの混合溶
媒中で再結晶させることによって目的物を得ることがで
きる。

【００１０】上記ペリレン系色素の添加量は、遮光性色
素全成分に対して４５〜８０重量％、好ましくは６０〜
７５重量％の範囲で添加される。この添加量が４５重量
％未満では得られた遮光膜の遮光率が２％を超えること
があり、また８０重量部を超えると得られた遮光膜が暗
緑色を帯びていずれも遮光効率が低下するため好ましく
ない。

【００１１】図１に、本発明に係るペリレン系色素の透
過率の一例として、一般式化４におけるＲ₁，Ｒ₂を共に
メチレン基、Ｒ₃，Ｒ₄を共にｐ−メトキシ基としたペリ
レン系色素の透過率を示す。同図によれば、このペリレ
ン系色素は紫外領域中の３７０ｎｍ近辺に特異な高透過
率のピークを有する。従って、この高い透過率を利用し
て紫外線照射により感光性樹脂を効率よく硬化させるこ
とが可能である。但し、可視領域の５６０ｎｍ近辺にも
ピークがあるため、この色素のみの添加では感光性樹脂
組成物から作成した遮光膜は液晶表示装置、プラズマデ
ィスプレイ等の無彩色遮光パターンとしては不十分であ
る。そこで、紫色系の色素を黒色の前記ペリレン系色素
に加えた遮光性色素を使用することによって、可視領域
の透過率を均一に低下させる必要がある。

【００１２】本発明に係る上記紫色系の色素として、前
記一般式化６で表されるカルバゾールジオキサジン系顔
料を使用する。このジオキサジン系色素は、前記ペリレ
ン系色素の紫外部の透過率を妨げることなく、可視部の
透過率のみを落とす効果を有する。また、この色素は、
堅牢度がすぐれているため遮光膜形成時の紫外線照射に
よって退色せず、遮光膜として使用した時には熱や発光
に長時間耐え得るという特長がある。

【００１３】上記ジオキサジン系色素の添加量は、遮光
性色素全成分に対して５〜２０重量％、好ましくは１０
〜１５重量％の範囲で使用される。この添加量が５重量
％未満では得られた遮光膜が暗緑色を呈することがあ
り、また２０重量％を超えると得られた遮光膜が紫色若
しくは青色を帯びるとともに、感度が低下するため実用
的ではない。

【００１４】感光性樹脂組成物の遮光性色素として上記
ペリレン系色素及びジオキサジン系色素の２成分のみを
使用した場合、可視領域で２％以下の遮光率を達成する
ためには感光性樹脂固形分に比して遮光性色素を多量に
含ませなければならず、そのため感光性樹脂が現像不良
を起こすことがある。このため本発明の遮光性色素に
は、上記２成分の他にカーボンブラックを添加させるこ
とが必須である。このカーボンブラックの添加量は、遮
光性色素全成分に対して１０〜４０重量％、好ましくは
２０〜３０重量％の範囲で使用される。この添加量が１
０重量％未満では得られた遮光膜の可視光域の透過率が
２％を超えることがあり、また４０重量％を超えると導
電性を帯びるとともに、露光の際に硬化不良を起こすこ
とがある。なお、本発明に係る遮光性色素として、必須
成分である前記ペリレン系色素、ジオキサジン系色素及
びカーボンブラックの他に、さらに従来公知の色素を併
用してもよい。

【００１５】本発明の遮光膜形成用感光性樹脂組成物
は、上記遮光性色素を従来公知の感光性樹脂組成物に添
加することによって形成される。この遮光性色素の添加
量は、感光性樹脂組成物中の固形分（遮光性色素を除
く）１００重量部に対して５〜７０重量部であることが
好ましく、さらに好ましくは２０〜５０重量部である。
この添加量が５重量部未満では波長４２５〜６５０ｎｍ
における光透過率が２％を超え遮光膜として好ましくな
い。また７０重量％を超えると波長３３０〜４２５ｎｍ
における光透過率のピークが１％以下となり、露光不良
を起こすことがあるとともに、感光性樹脂組成物全成分
中に占める遮光性色素の割合が相対的に増加するため硬
化不良を起こすことがある。また、前記遮光性色素は感
光性樹脂組成物中に分散状態で存在することが好まし
い。このため、平均粒径は１０〜１０００ｎｍが好まし
いが、可視光の波長下限である４２５ｎｍより小さけれ
ば更に好ましい。

【００１６】本発明において使用される従来公知の感光
性樹脂組成物としては、以下のものが挙げられる。 （１）アクリル樹脂共重合体、多官能アクリルモノマ
ー、光重合開始剤及び必要に応じて増感剤、添加剤より
なるアクリル重合感光性樹脂組成物。 （２）感光基を有する水溶性感光性樹脂、若しくは水溶
性樹脂に感光剤を組み合わせた水溶性感光性樹脂組成
物。 （３）感光基を有する油溶性感光性樹脂。 （４）ポジ型感光性樹脂。

【００１７】前記（１）のアクリル樹脂共重合体は、ア
クリル酸、メタクリル酸、アクリル酸メチル、メタクリ
ル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、
２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエ
チルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレ
ート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ｎ−ブ
チルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、イソブ
チルアクリレート、イソブチルメタクリレート、ベンジ
ルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシ
アクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニ
ルアクリレート、イソボルニルメタクリレート等の２種
以上の共重合体であり、樹脂中にアクリロイル基、メタ
クリロイル基を有することにより、架橋効率を高めるこ
とも効果的である。

【００１８】また多官能アクリルモノマーとしては、エ
チレングリコールジアクリレート、エチレングリコール
ジメタクリレート、トリエチレングリコールジアクリレ
ート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テト
ラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレン
グリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジ
アクリレート、プロピレングリコールジメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメ
タクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレー
ト、ペンタエリトリトールテトラメタクリレート、ジペ
ンタエリトリトールペンタアクリレート、ジペンタエリ
トリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリトリト
ールヘキサアクリレート、ジペンタエリトリトールヘキ
サメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等が
挙げられる。

【００１９】上記共重合体に有機酸を付加させることも
アルカリ現像型の感光性樹脂にとっては有効である。ま
た耐熱性を付与するためにエポキシ基を付加させること
も有用である。

【００２０】光重合開始剤としては光分解型、水素移動
型等が使用できる。具体例としては、ベンゾフェノン、
３，３−ジメチル−４−メトキシ−ベンゾフェノン、ミ
ヒラーズケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルア
セトフェノン、２，４，６−（トリハロメチル）トリア
ジン、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾリル二量体、ジエチルチオキサントン、ジメ
チルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２
−クロロチオキサントン、９−フェニルアクリジン、
１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，５−
ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，３−ビス（９
−アクリジニル）プロパン、トリメチルベンゾイルジフ
ェニルホソフィンオキシド、トリブロモメチルフェニル
スルホン等が挙げられる。

【００２１】増感剤、添加剤としては、上記光重合開始
剤を増感する目的で各種アミンが用いられる。トリエタ
ノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル
エステル、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル
他、各種の芳香族アミンである。また、現像性を維持す
るため、各種の有機酸を添加することもできる。カルボ
キシベンゾトリアゾール等あるいは、マレイン酸等の無
水物も有用である。

【００２２】上記（２）の感光基を有する水溶性感光性
樹脂、若しくは水溶性樹脂に感光剤を組み合わせた水溶
性感光性樹脂組成物としては、ポリビニルアルコール／
スチルバゾリウム系や、水溶性樹脂に光架橋剤を組み合
わせたもの等が挙げられる。水溶性樹脂としては、ポリ
ビニルアルコール、ポリアクリルアミド、ポリアクリル
アミド／ダイアセトンアクリルアミド共重合体、ゼラチ
ン、カゼイン、グリュー等が挙げられる。光架橋剤とし
ては、重クロム酸塩、ジアゾ化合物、モノアジド又はビ
スアジド化合物等が挙げられる。

【００２３】上記（３）の感光基を有する油溶性感光性
樹脂としては、ケイ皮酸系、ビスアジド系等の光架橋性
樹脂、上記（４）のポジ型感光性樹脂としてはフェノー
ルノボラック樹脂とｏ−キノンジアジド化合物とから成
るものを挙げることができる。

【００２４】図２に、本発明の遮光用感光性樹脂組成物
を用いた、前記ブラックストライプ用の遮光膜形成工程
の一例を示す。同図（ａ）において、ガラス等の基板１
上に遮光用感光性樹脂組成物を、ロールコーター、カー
テンフローコーター、スクリーン印刷、スプレーコータ
ー、スピンコーター等により０．５〜５０μｍ厚に塗布
し、乾燥して感光性樹脂層２を形成する。次に同図
（ｂ）に示すようにパターンマスク３を介して紫外線を
照射する。これを同図（ｃ）に示すように現像して不要
な感光性樹脂を除去し、更に約２００℃で熱処理して完
全に硬化させる。作成された遮光膜４はＲＧＢ毎のマト
リクスを形成している。

【００２５】

【作用】遮光膜の可視部（波長４２５〜６５０ｎｍ）の
透過率を２％以下に抑え、紫外部（波長３３０ｎｍ以上
４００ｎｍ未満の範囲）の透過率の一部を１％以上に高
めることによって、紫外線の透過性能及び可視光の遮光
性能の両方を高める。

【００２６】

【実施例】以下に本発明に基づく実施例を説明する。な
お各遮光性色素及び感光性樹脂組成物の透過率の測定は
以下のように行った。 透過率測定 透明なガラス基材上に遮光性色素を添加した感光性樹脂
組成物を塗布、乾燥し約２．０μｍ厚の被膜を得、この
上に１．０μｍ厚のポリビニルアルコール層を設け、こ
れを（株）日立製作所製の透過率測定装置Ｕ−２０００
を用いて、前記と同様のポリビニルアルコール層を設け
た透明なガラス基材をレファランスとして３３０〜４２
５ｎｍと４２５〜６００ｎｍの範囲における透過率を測
定する。

【００２７】実施例１ 下記組成の色素をサンドミルにて１時間混練し、遮光性
色素組成物を調製した。遮光性色素組成物 ペリレン系色素 N,N'-ヒ゛ス-(2-フェニルエチル)ヘ゜リレン-3,4,9,10-ヒ゛ス-(シ゛カルホ゛キシイミト゛) １３重量部 （遮光性色素全成分に対して６５重量％。以下の表示も同様である。） ジオキサジン系色素 カルハ゛ソ゛ールシ゛オキサシ゛ン(一般式化６中R₇，R₈を共にエチル基としたもの) ３ 〃 （１５重量％） カーボンブラック ４ 〃 （２０重量％） メタクリル酸／メタクリル酸メチル共重合体(25/75wt%比) ４ 〃 エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート ７５ 〃

【００２８】次に、上記遮光性色素組成物９９重量部に
下記組成の感光性樹脂組成物２６３重量部を加え、サン
ドミルにて１時間混練した後、１μｍのグラスフィルタ
ーでろ過して目的の遮光用感光性樹脂組成物を調製し
た。なお、上記色素の固形分は２０重量部、下記感光性
樹脂の固形分は６７重量部（上記遮光性色素組成物中の
共重合体４重量部を含む）であるので、これを換算する
と、色素固形分の添加量は感光性樹脂固形分１００重量
部に対して約３０重量部である。感光性樹脂組成物 メタクリル酸／メタクリル酸メチル共重合体(25/75wt%比) ２８ 重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート ２２ 〃 ジエチルチオキサントン ７．５〃 ミヒラーズケトン ４ 〃 2-(o-クロロフェニル)-4,5-シ゛フェニルイミタ゛ソ゛リル二量体 １．５〃 エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート ２００ 〃

【００２９】こうして得られた遮光用感光性樹脂組成物
を、洗浄済みのガラス基板１上にスピンコーターで乾燥
膜厚２μｍとなるように塗布し、８０℃で１分間乾燥し
て感光性樹脂層２とした。この感光性樹脂層２上へ、２
０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を全面照射し、その後、炭酸ソ
ーダ０．５％水溶液で２５℃、６０秒間スプレー現像し
たところ、現像液による膜減りが少なく、また図３に示
す良好な透過率曲線を有する遮光膜４を得ることができ
た。

【００３０】また、上記の感光性樹脂層２を使用し、２
０μｍライン／８０μｍスペースを再現するようなマス
ク３を介して同様に露光、現像したところ、露光部にカ
ケ、ハガレ等は見られず、未露光部の残渣のない良好な
遮光パターンが得られた。この遮光膜４に可視光線を当
てて観察したところ、液晶表示装置やプラズマディスプ
レイ等のカラー表示体のブラックマトリックスに非常に
有用な無彩色の遮光パターンであることが分かった。

【００３１】実施例２〜７、比較例１〜４ 実施例１における遮光性色素の配合割合及びペリレン系
色素の種類を、下記表１に示すように代えた以外は実施
例１と同様にして遮光用感光性樹脂組成物を調製し、洗
浄済みのガラス基板上に塗布、乾燥、露光、現像した。
また２０μｍライン／８０μｍスペースを再現するよう
なマスクを介して実施例１と同様にして露光、現像し
た。これらの評価の結果を下記表２に示す。

【００３２】

【表１】

【表２】

【００３３】なお、上記表２においては下記のような表
示を行った。 現像性良好なもの……○、不良なもの……×、 可視光領域の透過率が２％を超える部分がないもの……
○、あるもの……× 露光部のカケ、ハガレ等のないもの……○、あるもの…
…× 遮光膜が無彩色のもの……○、暗緑色のもの……緑、暗
紫色のもの……紫 また、比較例２については現像時の膜減りが大きすぎて
上記評価はできなかった。

【００３４】実施例８ 実施例１で調製した遮光性色素組成物５０重量部に、感
光性樹脂組成物として下記のものを加え、十分に混練し
て本発明に基づく遮光用感光性樹脂組成物を調製した。感光性樹脂組成物 ポリビニルアルコール（ケン化度８８モル％、重合度１７００）にＮ−メチル −γ−（ｐ−ホルミルスチリル）−ピリジニウムメトサルフェートが１．４ｍｏ l％導入された感光性樹脂組成物の１０％水溶液 ２００重量部 すなわち、感光性樹脂組成物の固形分１００重量部に対
する色素の量は約５０重量部である。

【００３５】こうして得られた遮光用感光性樹脂組成物
を、洗浄済みのガラス基板１上にスピンコーターで乾燥
膜厚２μｍとなるように塗布し、８０℃で１分間乾燥し
た。その後、ポリビニルアルコールの１０％水溶液を
１．０μｍ厚となるように塗布、乾燥して感光性樹脂層
２とし、２００ｍＪ／ｃｍ² の紫外線を全面照射した。
その後、２５℃の水道水で、６０秒間スプレー現像した
ところ、現像液による膜減りも少なく良好な遮光膜４が
得られた。また、２０μｍライン／８０μｍスペースを
再現するようなマスク３を介して同様に露光、現像した
が露光部にカケ、ハガレ等は見られず、未露光部の残渣
のない良好な無彩色遮光パターンを得ることができた。

【００３６】実施例９ 実施例１で調製した遮光性色素９９重量部に、フェノー
ルノボラック樹脂とナフトキノンジアジド及びエチレン
グリコールモノエチルエーテルアセテートからなる東京
応化工業（株）製ポジ型フォトレジストＯＦＰＲ８００
（溶剤：固形分比７５：２５）２００重量部を入れ、十
分に混練して本発明に基づく遮光用感光性樹脂組成物を
調製した。このものの感光性樹脂組成物の固形分１００
重量部に対する色素の量は約３７重量部であった。

【００３７】上記組成物を使用して実施例１と同様に感
光性樹脂層２を形成し、露光、現像を行ったところ、膜
減りも少なく良好な遮光膜４が得られた。また２０μｍ
ライン／８０μｍスペースを再現するようなマスク３を
介して同様に露光、現像したところ、露光部にカケ、ハ
ガレ等は見られず、未露光部の残渣の非常に少ない良好
な無彩色遮光パターンが得られた。

【００３８】実施例１０ 遮光性色素組成物として下記のものを用いた以外は実施
例１と同様にして本発明に基づく遮光用感光性樹脂組成
物を調製した。このものの感光性樹脂組成物の固形分１
００重量部に対する色素の量は約９．５重量部であっ
た。遮光性色素組成物 ペリレン系色素 N,N'-ヒ゛ス-(2-フェニルエチル)ヘ゜リレン-3,4,9,10-ヒ゛ス-(シ゛カルホ゛キシイミト゛) ４ 重量部 （６４．５重量％） ジオキサジン系色素 カルハ゛ソ゛ールシ゛オキサシ゛ン(一般式化６中R₇，R₈を共にエチル基としたもの) １ 〃 （１．６重量％） カーボンブラック １．２〃 （１９．４重量％） メタクリル酸／メタクリル酸メチル共重合体(25/75wt%比) ２ 〃 エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート ５０ 〃

【００３９】こうして得られた感光性樹脂組成物を、洗
浄済みのガラス基板１上に塗布、乾燥、露光、現像した
ところ、現像液による膜減りも少なく良好な遮光膜４が
得られた。また２０μｍライン／８０μｍスペースを再
現するようなマスク３を介して同様に露光、現像したと
ころ、露光部にカケ、ハガレ等は見られず、未露光部の
残渣のない良好な遮光パターンが得られた。

【００４０】実施例１１ 遮光性色素組成物として下記のものを用いた以外は実施
例１と同様にして本発明に基づく遮光用感光性樹脂組成
物を調製した。このものの感光性樹脂組成物の固形分１
００重量部に対する色素の量は約６１重量部であった。遮光性色素組成物 ペリレン系色素 N,N'-ヒ゛ス-(2-フェニルエチル)ヘ゜リレン-3,4,9,10-ヒ゛ス-(シ゛カルホ゛キシイミト゛) ２０重量部 （４８．８重量％） ジオキサジン系色素 カルハ゛ソ゛ールシ゛オキサシ゛ン(一般式化６中R₇，R₈を共にエチル基としたもの) ５ 〃 （１２．２重量％） カーボンブラック ６ 〃 （１４．６重量％） メタクリル酸／メタクリル酸メチル共重合体(25/75wt%比) ４ 〃 エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート ７５ 〃

【００４１】こうして得られた感光性樹脂組成物を、洗
浄済みのガラス基板１上に塗布、乾燥、露光、現像した
ところ、現像液による膜減りも少なく良好な遮光膜４が
得られた。また２０μｍライン／８０μｍスペースを再
現するようなマスク３を介して同様に露光、現像したと
ころ、露光部にカケ、ハガレ等は見られず、未露光部の
残渣のない良好な遮光パターンが得られた。

【００４２】

【発明の効果】以上に説明したように本発明の遮光性色
素を添加した感光性樹脂組成物は、前記遮光性色素とし
てペリレン系色素、ジオキサジン系色素及びカーボンブ
ラックを特定量含有するため、この組成物から得られる
遮光膜は、無彩色かつ可視部の透過率が２％を超える部
分がない遮光膜となる。このため十分な遮光性を有し、
また紫外部の領域においては、透過率が１％以上の部分
があるため感度も良好である。従って、本発明の感光性
樹脂組成物から作製した前記遮光膜を使用すれば、液晶
表示装置、ビデオカメラ用のビューファインダー及びプ
ラズマディスプレイ、蛍光表示体等のブラックマトリク
ス、ブラックストライプや、ガラス上に形成若しくは実
装されるＴＦＴ及び半導体素子の光による誤作動を十分
に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るペリレン系色素の透過率曲線

【図２】本発明に係るブラックストライプ用遮光膜形成
の一例を示す工程図

【図３】本発明の実施例１に係る遮光性色素の透過率曲
線

【図４】ＲＧＢの波長を示す透過率曲線

【符号の説明】

１…基板、２…感光性樹脂層、３…パターンマスク、４
…遮光膜。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 (72)発明者 大田 勝行 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 (72)発明者 青山 俊身 神奈川県川崎市中原区中丸子150番地 東 京応化工業株式会社内 (72)発明者 有吉 俊一 兵庫県姫路市御国野町国分寺138番地１ 御国色素株式会社内 (72)発明者 森 誠 兵庫県姫路市御国野町国分寺138番地１ 御国色素株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 遮光性色素を添加してなる感光性樹脂組
   成物において、この感光性樹脂組成物は、前記遮光性色
   素として下記一般式化１（但し、Ｒ₁，Ｒ₂は、それぞれ
   異なっていてもよい炭素数１〜３のアルキレン基、
   Ｒ₃，Ｒ₄は水素原子、水酸基、メトキシ基又はアセチル
   基のいずれかである。）もしくは一般式化２（但し、Ｒ
   ₅，Ｒ₆は、それぞれ異なっていてもよい炭素数１〜７の
   アルキレン基である。）の構造式を有するペリレン系色
   素のうちの少なくとも一方を４５〜８０重量％、下記一
   般式化３（但し、Ｒ₇，Ｒ₈は、それぞれ異なっていても
   よい炭素数１〜６のアルキル基である。）の構造式を有
   するジオキサジン系色素を５〜２０重量％、及びカーボ
   ンブラックを１０〜４０重量％（いずれも前記遮光性色
   素全成分に対する重量％である。）含有することを特徴
   とする感光性樹脂組成物。 【化１】 【化２】 【化３】