JPH0625025B2 - 誘電体磁器の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器の製造方法Info
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- JPH0625025B2 JPH0625025B2 JP1136679A JP13667989A JPH0625025B2 JP H0625025 B2 JPH0625025 B2 JP H0625025B2 JP 1136679 A JP1136679 A JP 1136679A JP 13667989 A JP13667989 A JP 13667989A JP H0625025 B2 JPH0625025 B2 JP H0625025B2
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- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/495—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on vanadium, niobium, tantalum, molybdenum or tungsten oxides or solid solutions thereof with other oxides, e.g. vanadates, niobates, tantalates, molybdates or tungstates
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/02—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
- H01B3/12—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、誘電体磁器の製造方法に係わり、特に高い誘
導率及び高い無負荷Ｑを有し、かつ温度特性が安定して
いる誘電体磁器を安定的に得ることができる製造方法に
関する。
導率及び高い無負荷Ｑを有し、かつ温度特性が安定して
いる誘電体磁器を安定的に得ることができる製造方法に
関する。
一般に、マイクロ波やミリ波などの高周波領域の信号回
路に使用される誘電体共振器や誘電体基板には、高い誘
電率及び高い無負荷Ｑを有し、かつ温度特性が安定して
いる誘電体磁器を用いることが望まれている。
路に使用される誘電体共振器や誘電体基板には、高い誘
電率及び高い無負荷Ｑを有し、かつ温度特性が安定して
いる誘電体磁器を用いることが望まれている。
さて、Ba(Zn1/3Ta2/3)O3系の誘電体磁器の無負荷Ｑは13
50℃における熱処理時間の違いにより500から 14000と
大幅に変化することが知られている( “Ba(Zn1/3Ta2/3)
O3 Ceramics with Low Dielectric Loss at Micro wav
e Frequencies”，S.Kawashima et al., Journal of th
e American Ceramics Society,vol.66,p.421-423 (198
3).)。また、特開昭62−252008には、熱処理時の雰囲気
の違いにより無負荷Ｑが2000から 14000と大幅に変化す
ることが記載されている。さらに、本発明者らは、焼成
の熱処理時間によって無負荷Ｑばかりでなく、比誘電率
及び共振周波数の温度係数も変化することを特徴として
いる。
50℃における熱処理時間の違いにより500から 14000と
大幅に変化することが知られている( “Ba(Zn1/3Ta2/3)
O3 Ceramics with Low Dielectric Loss at Micro wav
e Frequencies”，S.Kawashima et al., Journal of th
e American Ceramics Society,vol.66,p.421-423 (198
3).)。また、特開昭62−252008には、熱処理時の雰囲気
の違いにより無負荷Ｑが2000から 14000と大幅に変化す
ることが記載されている。さらに、本発明者らは、焼成
の熱処理時間によって無負荷Ｑばかりでなく、比誘電率
及び共振周波数の温度係数も変化することを特徴として
いる。
このように、従来の製造方法によると、誘電体磁器の特
性は製造条件、特に熱処理時間や熱処理の雰囲気によっ
て大きい影響を受けるので、特性のバラツキの大きい磁
器が生成し易い。高い誘電体特性を有する誘電体磁器を
製造するためには、製造工程、特に熱処理時間や雰囲気
を厳密に制御する必要があった。しかし工程管理を常に
厳しく行うことは容易ではないため、所要の誘電体特性
を有する磁器の歩留りは低く、満足すべきものではなか
った。そのため、製造工程の管理が簡単で、良好な誘電
体特性を有する磁器を安定して製造することができる製
造方法が求められていた。
性は製造条件、特に熱処理時間や熱処理の雰囲気によっ
て大きい影響を受けるので、特性のバラツキの大きい磁
器が生成し易い。高い誘電体特性を有する誘電体磁器を
製造するためには、製造工程、特に熱処理時間や雰囲気
を厳密に制御する必要があった。しかし工程管理を常に
厳しく行うことは容易ではないため、所要の誘電体特性
を有する磁器の歩留りは低く、満足すべきものではなか
った。そのため、製造工程の管理が簡単で、良好な誘電
体特性を有する磁器を安定して製造することができる製
造方法が求められていた。
熱処理時間、雰囲気等の相違により得られる誘電体特性
が相違する原因は、得られる磁器の結晶構造の規則度
（主に、式：A(B′B″)O3）におけるＢサイトイオンの
規則度）が異なるためであることが知られている。そし
て、従来、無負荷Ｑは規則度が高いほど良好であるとさ
れていたので、専ら規則型結晶構造を有する誘電体磁器
の研究、開発が図られ、不規則型結晶構造の誘電体磁器
は顧慮されなかった。
が相違する原因は、得られる磁器の結晶構造の規則度
（主に、式：A(B′B″)O3）におけるＢサイトイオンの
規則度）が異なるためであることが知られている。そし
て、従来、無負荷Ｑは規則度が高いほど良好であるとさ
れていたので、専ら規則型結晶構造を有する誘電体磁器
の研究、開発が図られ、不規則型結晶構造の誘電体磁器
は顧慮されなかった。
そこで、本発明の目的は、誘電率及び無負荷Ｑがともに
優れ、温度特性も良好で、かつ特性のバラツキが少ない
誘電体磁器を安定して製造できる工程管理が容易である
製造方法を提供することにある。
優れ、温度特性も良好で、かつ特性のバラツキが少ない
誘電体磁器を安定して製造できる工程管理が容易である
製造方法を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕 本発明者らが、この問題を解決するために検討を重ねた
結果、意外にも、特定の組成を有する誘電体磁器は不規
則型の結晶構造の状態において、良好な誘電率、無負荷
率Ｑ及び温度特性を示し、しかもそれらの特性は、製造
工程における熱処理時間の長さ、雰囲気などによって影
響されないことを見出した。
結果、意外にも、特定の組成を有する誘電体磁器は不規
則型の結晶構造の状態において、良好な誘電率、無負荷
率Ｑ及び温度特性を示し、しかもそれらの特性は、製造
工程における熱処理時間の長さ、雰囲気などによって影
響されないことを見出した。
即ち、本発明は、上記目的を達成するものとして、 一般式（Ｉ）： BaxＡyＢ1-x-yＯw (I) 〔ここで、ＡはZn，Ni，CoおよびMgからなる群から選ば
れる少なくとも一種であり、かつMgの含有量が0.44y以
下であり、ＢはTaおよびNbから選ばれる少なくとも一種
であり、ｘ及びｙは、それぞれ0.49≦ｘ≦0.52及び0.15
≦ｙ≦0.19で表わされる数であって、ｗはBa，Ａ，Ｂの
陽イオンの合計の電荷を中和し、全体として実質的に電
気的中性となる数である。〕 で表される組成を有し、不規則型複合ペロブスカイト形
の結晶構造を有する誘電体磁器の製造方法であって、前
記磁器を構成する金属成分の原料を仮焼した後、得られ
た仮焼物を 100〜1600℃／分の速度で規則−不規則転移
温度以上の温度まで昇温後、該温度に１〜60分間保持す
る工程を備えてなる製造方法を提供するものである。
れる少なくとも一種であり、かつMgの含有量が0.44y以
下であり、ＢはTaおよびNbから選ばれる少なくとも一種
であり、ｘ及びｙは、それぞれ0.49≦ｘ≦0.52及び0.15
≦ｙ≦0.19で表わされる数であって、ｗはBa，Ａ，Ｂの
陽イオンの合計の電荷を中和し、全体として実質的に電
気的中性となる数である。〕 で表される組成を有し、不規則型複合ペロブスカイト形
の結晶構造を有する誘電体磁器の製造方法であって、前
記磁器を構成する金属成分の原料を仮焼した後、得られ
た仮焼物を 100〜1600℃／分の速度で規則−不規則転移
温度以上の温度まで昇温後、該温度に１〜60分間保持す
る工程を備えてなる製造方法を提供するものである。
前記一般式(I) においてｘ，ｙ及びMgの含有量が前記で
限定された範囲外であると、得られる誘電体磁器を共振
器として使用した場合には、適切な誘電率、無負荷Ｑ及
び／又は温度特性が示めされない。一般式(I) におい
て、ｙの好ましい範囲は、0.16〜0.19である。また、ｗ
は、前記のとおり磁器を構成する陽イオンを電気的に中
和する数であり、通常 5/2−(3x/2)−(3y/2)〜 5/2−(3
x/2)−ｙの範囲の数、より具体的には1.43〜1.63の数で
ある。
限定された範囲外であると、得られる誘電体磁器を共振
器として使用した場合には、適切な誘電率、無負荷Ｑ及
び／又は温度特性が示めされない。一般式(I) におい
て、ｙの好ましい範囲は、0.16〜0.19である。また、ｗ
は、前記のとおり磁器を構成する陽イオンを電気的に中
和する数であり、通常 5/2−(3x/2)−(3y/2)〜 5/2−(3
x/2)−ｙの範囲の数、より具体的には1.43〜1.63の数で
ある。
本発明において、結晶構造が不規則であるとは、第１図
及び第２図に示すようなＸ線回折図形において、六方晶
系の面指数を用いたときに、式： （ただし、回折線強度Ａは測定対象である磁器の回析線
強度、回折線強度Ｂは完全規則化磁器の回折線強度をそ
れぞれ表わす。） で定義される規則度が 0.4以下であることを意味し、好
ましくは0.25以下である。
及び第２図に示すようなＸ線回折図形において、六方晶
系の面指数を用いたときに、式： （ただし、回折線強度Ａは測定対象である磁器の回析線
強度、回折線強度Ｂは完全規則化磁器の回折線強度をそ
れぞれ表わす。） で定義される規則度が 0.4以下であることを意味し、好
ましくは0.25以下である。
原料として用いられる、構成金属成分の原料としては、
酸化物のほか、仮焼及び焼成の条件下で酸化物に転化す
る物質であればいずれも使用することができる。一般的
には、例えば、水酸化物及び炭酸塩が用いられ、具体的
には、炭酸バリウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸
化ニッケル、酸化コバルト、五酸化タンタル等の酸化タ
ンタル、五酸化ニオブ等の酸化ニオブが挙げられる。こ
のような原料金属化合物から、常法のように、一般式
(I) で表される特定の目的組成に応じて金属化合物の原
料粉末を秤量し、所要の割合に混合、乾燥の後、上記の
仮焼工程に供すればよい。原料粉末の配合は、常法に従
い、成分の蒸発性の難易を考慮して行うことが望まし
い。仮焼は、 900〜 1400℃が好ましく、さらに好まし
くは1000〜1200℃の範囲で行えばよい。
酸化物のほか、仮焼及び焼成の条件下で酸化物に転化す
る物質であればいずれも使用することができる。一般的
には、例えば、水酸化物及び炭酸塩が用いられ、具体的
には、炭酸バリウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸
化ニッケル、酸化コバルト、五酸化タンタル等の酸化タ
ンタル、五酸化ニオブ等の酸化ニオブが挙げられる。こ
のような原料金属化合物から、常法のように、一般式
(I) で表される特定の目的組成に応じて金属化合物の原
料粉末を秤量し、所要の割合に混合、乾燥の後、上記の
仮焼工程に供すればよい。原料粉末の配合は、常法に従
い、成分の蒸発性の難易を考慮して行うことが望まし
い。仮焼は、 900〜 1400℃が好ましく、さらに好まし
くは1000〜1200℃の範囲で行えばよい。
得られた仮焼物は次に焼成工程に供されるが、通常、必
要に応じて、粉砕し、整粒し、加圧成形した後、焼成さ
れる。焼成は、 100〜 1600℃／分の速度で、目的とす
る一般式(I) の化合物の規則−不規則転移温度以上の温
度まで昇温度、該温度において、１〜60分間保持して行
われる。かかる焼成時間において、良好でかつ安定した
誘電体特性を有する磁器を高い歩留りで得られる。焼成
時間の長さによって、誘電体特性が変化することはな
い。また、60分間を越える焼成は、エネルギーの消費量
が増大するばかりで意味はない。
要に応じて、粉砕し、整粒し、加圧成形した後、焼成さ
れる。焼成は、 100〜 1600℃／分の速度で、目的とす
る一般式(I) の化合物の規則−不規則転移温度以上の温
度まで昇温度、該温度において、１〜60分間保持して行
われる。かかる焼成時間において、良好でかつ安定した
誘電体特性を有する磁器を高い歩留りで得られる。焼成
時間の長さによって、誘電体特性が変化することはな
い。また、60分間を越える焼成は、エネルギーの消費量
が増大するばかりで意味はない。
規則−不規則転移温度は、目的とする磁器の組成により
異なり、一般に1350〜1600℃の範囲にある。製造しよう
とする特定組成の化合物の規則−不規則転移温度は、Ｘ
線回折、熱分析等を利用する実験で容易に測定すること
ができる。焼成は、このようにして測定した規則−不規
則転移温度以上の温度で行う必要があり、かつ1500〜17
00℃程度で行うのが実用的である。余り高すぎると、無
用なエネルギー消費の増大を招き、不利だからである。
この焼成を規則−不規則転移温度よりも低い温度で行う
と、焼成時間の相違によって無負荷Ｑ等の誘電体特性が
大きく変化するので工程管理が難しくなる。
異なり、一般に1350〜1600℃の範囲にある。製造しよう
とする特定組成の化合物の規則−不規則転移温度は、Ｘ
線回折、熱分析等を利用する実験で容易に測定すること
ができる。焼成は、このようにして測定した規則−不規
則転移温度以上の温度で行う必要があり、かつ1500〜17
00℃程度で行うのが実用的である。余り高すぎると、無
用なエネルギー消費の増大を招き、不利だからである。
この焼成を規則−不規則転移温度よりも低い温度で行う
と、焼成時間の相違によって無負荷Ｑ等の誘電体特性が
大きく変化するので工程管理が難しくなる。
上記の製造方法を行う際の雰囲気は特に制約はなく、酸
素、空気等の酸化雰囲気、窒素等の不活性雰囲気のいず
れでもよい。したがって、通常、空気中でよく、特別の
管理は不要である。また、実質的に前記一般式(I) の組
成が保たれる限り、焼結を促進させるための助剤、例え
ばマンガン、リチウム、あるいは、微量の置換元素とし
て、アンチモン、ジルコニウム、チタン、バナジウム等
の金属元素、あるいは塩素等陰イオンなどを添加しても
よい。
素、空気等の酸化雰囲気、窒素等の不活性雰囲気のいず
れでもよい。したがって、通常、空気中でよく、特別の
管理は不要である。また、実質的に前記一般式(I) の組
成が保たれる限り、焼結を促進させるための助剤、例え
ばマンガン、リチウム、あるいは、微量の置換元素とし
て、アンチモン、ジルコニウム、チタン、バナジウム等
の金属元素、あるいは塩素等陰イオンなどを添加しても
よい。
以下、本発明の実施例及び比較例により、本発明を詳細
に説明する。
に説明する。
実施例１ 原料として、それぞれ純度99.9重量％の炭酸バリウム、
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル酸化コバル
トア、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
第１表に示す種々の組成となるように秤取した（なお、
第１表において、ｘ，ｙは前記一般式(I) について定義
のものである）。これら秤取した粉末を純水とともに樹
脂製ポットにいれ、樹脂コーティングしたボールを用い
て16時間湿式混合した。この混合物を 150℃３時間乾燥
した後、酸素中において1000℃〜1200℃で２時間仮焼を
行った。得られた仮焼物を粉砕し42メッシュの篩を通し
て整粒した。得られた粉末を金型を用いて500kg/cm２の
圧力で直径10mm、厚さ約５mmの円板状に一次成形した
後、2000kg/cm２の圧力で静水圧プレスし、加圧成形体
を得た。次にこの成形体を 100〜1600℃／分で1500℃〜
1700℃まで昇温後60分間以下保持して誘電体磁器を得
た。得られた誘電体磁器を直径約６mm、高さ約３mmに加
工して約10GHZ における誘電率（εｒ）、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）及び共振周波数の温度係数（τｆ）を誘電体円柱共
振器法により測定した。結果を第１表に示す。
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル酸化コバル
トア、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
第１表に示す種々の組成となるように秤取した（なお、
第１表において、ｘ，ｙは前記一般式(I) について定義
のものである）。これら秤取した粉末を純水とともに樹
脂製ポットにいれ、樹脂コーティングしたボールを用い
て16時間湿式混合した。この混合物を 150℃３時間乾燥
した後、酸素中において1000℃〜1200℃で２時間仮焼を
行った。得られた仮焼物を粉砕し42メッシュの篩を通し
て整粒した。得られた粉末を金型を用いて500kg/cm２の
圧力で直径10mm、厚さ約５mmの円板状に一次成形した
後、2000kg/cm２の圧力で静水圧プレスし、加圧成形体
を得た。次にこの成形体を 100〜1600℃／分で1500℃〜
1700℃まで昇温後60分間以下保持して誘電体磁器を得
た。得られた誘電体磁器を直径約６mm、高さ約３mmに加
工して約10GHZ における誘電率（εｒ）、無負荷Ｑ（Ｑ
ｕ）及び共振周波数の温度係数（τｆ）を誘電体円柱共
振器法により測定した。結果を第１表に示す。
また作製した誘電体磁器のついてＸ線回折法により結晶
相の同定を行なったところ、いずれもBa(Zn1/3Nb2/3)O3
で代表される不規則型の複合ペロブスカイト結晶構造に
類似のパターンを示した。試料No.4の磁器について得ら
れたＸ線回折図を第１図に示す。
相の同定を行なったところ、いずれもBa(Zn1/3Nb2/3)O3
で代表される不規則型の複合ペロブスカイト結晶構造に
類似のパターンを示した。試料No.4の磁器について得ら
れたＸ線回折図を第１図に示す。
さらにこれらの誘電体磁器を、複合ペロブスカイト結晶
(A(B′B″)O3)のＢサイトイオンの規則−不規則転移温
度より低い温度で熱処理したものは、いずれもBa(Zn1/3
Ta2/3)O3で代表される規則型の複合ペロブスカイト結晶
構造に類似のパターンを示した。例えば、試料No.4の磁
器は、規則−不規則転移温度が1500℃と測定されたの
で、1450℃で４時間熱処理した後に得られたＸ線回折図
を第２図に示す。
(A(B′B″)O3)のＢサイトイオンの規則−不規則転移温
度より低い温度で熱処理したものは、いずれもBa(Zn1/3
Ta2/3)O3で代表される規則型の複合ペロブスカイト結晶
構造に類似のパターンを示した。例えば、試料No.4の磁
器は、規則−不規則転移温度が1500℃と測定されたの
で、1450℃で４時間熱処理した後に得られたＸ線回折図
を第２図に示す。
第１表の結果から、本発明の誘電体磁器は、比誘電率28
以上、無負荷Ｑ8000以上、好適態様では18000〜19000
程度、共振周波数の温度係数は±10ppm 以内、好適態様
では±4ppm以内であり、優れた特性である。
以上、無負荷Ｑ8000以上、好適態様では18000〜19000
程度、共振周波数の温度係数は±10ppm 以内、好適態様
では±4ppm以内であり、優れた特性である。
また、試料No.5及び6 ；14及び15；並びに16及び17の３
群は、それぞれ焼成における加熱処理時間が異なるだけ
で、その他の条件はまったく同一である。これらの結果
から、加熱処理時間が異なっても、比誘電率、温度係数
はまったく変化せず、無負荷Ｑも高々±6.5％の範囲で
ある。
群は、それぞれ焼成における加熱処理時間が異なるだけ
で、その他の条件はまったく同一である。これらの結果
から、加熱処理時間が異なっても、比誘電率、温度係数
はまったく変化せず、無負荷Ｑも高々±6.5％の範囲で
ある。
比較例１ 原料として、それぞれ純度99.9重量％の炭酸バリウム、
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
第２表に示すように２種の組成（ただし、ｘ，ｙは前記
一般式(I) におけるもの）となるように秤取した後、実
施例１と同様にして処理を行なって誘電体磁器を作製
し、ついで実施例１と同様の測定を行った。結果を第２
表に示す。
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
第２表に示すように２種の組成（ただし、ｘ，ｙは前記
一般式(I) におけるもの）となるように秤取した後、実
施例１と同様にして処理を行なって誘電体磁器を作製
し、ついで実施例１と同様の測定を行った。結果を第２
表に示す。
比較例２ 原料として、それぞれ純度99.9重量％の炭酸バリウム、
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
組成が第３表に示す組成（ただし、ｘ，ｙは前記一般式
(I) におけるもの）となるように秤取し、実施例１と同
様にして混合し、乾燥、仮焼し、加圧成形した。なお、
試料No.31〜32は、実施例１の試料No.14〜15と組成は同
一であり、試料No.33〜34は実施例１の試料No.16〜17と
組成は同一である。加圧成形体を一度1600℃で焼結させ
た後、これらの組成の規則−不規則転移温度（1450℃以
上）よりも低い1400℃で５〜240 分間熱処理して誘電体
磁器を作製した。得られた磁器について実施例１と同様
の測定を行った。結果を第３表に示す。
酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ニッケル、酸化コバ
ルト、酸化ニオブ、酸化タンタルからなる原料粉末を、
組成が第３表に示す組成（ただし、ｘ，ｙは前記一般式
(I) におけるもの）となるように秤取し、実施例１と同
様にして混合し、乾燥、仮焼し、加圧成形した。なお、
試料No.31〜32は、実施例１の試料No.14〜15と組成は同
一であり、試料No.33〜34は実施例１の試料No.16〜17と
組成は同一である。加圧成形体を一度1600℃で焼結させ
た後、これらの組成の規則−不規則転移温度（1450℃以
上）よりも低い1400℃で５〜240 分間熱処理して誘電体
磁器を作製した。得られた磁器について実施例１と同様
の測定を行った。結果を第３表に示す。
また作製した誘電体磁器についてＸ線回折法により結晶
相の同定を行なったところ、いずれも〔Ba(Zn1/3TA2/3)
O3で代表される〕規則型の複合ペロブスカイト結晶構造
に類似のパターンを示した。
相の同定を行なったところ、いずれも〔Ba(Zn1/3TA2/3)
O3で代表される〕規則型の複合ペロブスカイト結晶構造
に類似のパターンを示した。
第３表の結果からをわかるように、試料No.31〜32の場
合も、No.33〜34の場合も、比誘電率、無負荷Ｑ及び共
振周波数の温度係数とも加熱処理時間が長くなるととも
に変化する。
合も、No.33〜34の場合も、比誘電率、無負荷Ｑ及び共
振周波数の温度係数とも加熱処理時間が長くなるととも
に変化する。
〔発明の効果〕 本発明の製造方法により得られる不規則型複合ペロブス
カイト形結晶構造を有する誘電体磁器は、誘電率及び無
負荷Ｑが共に優れ、温度特性も安定している。しかも、
本発明の製造方法によれば、焼成時の熱処理時間や雰囲
気に影響されず、同一特性の磁器を従来に比べ大幅に簡
単の工程管理で製造することができる。
カイト形結晶構造を有する誘電体磁器は、誘電率及び無
負荷Ｑが共に優れ、温度特性も安定している。しかも、
本発明の製造方法によれば、焼成時の熱処理時間や雰囲
気に影響されず、同一特性の磁器を従来に比べ大幅に簡
単の工程管理で製造することができる。
第１図及び第２図は、それぞれ本発明の実施例及び比較
例の誘電体磁器のＸ線回折図である。
例の誘電体磁器のＸ線回折図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−142601（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−143859（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−37507（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−152815（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−107609（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−170102（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】一般式（Ｉ）： BaxＡyＢ1-x-yＯw (I) 〔ここで、ＡはZn，Ni，CoおよびMgからなる群から選ば
れる少なくとも一種であり、かつMgの含有量が0.44ｙ以
下であり、ＢはTaおよびNbから選ばれる少なくとも一種
であり、ｘ及びｙは、それぞれ0.49≦ｘ≦0.52及び0.15
≦ｙ≦0.19で表わされる数であって、ｗはBa，Ａ，Ｂの
陽イオンの合計の電荷を中和し、全体として実質的に電
気的中性となる数である。〕 で表される組成を有し、不規則型複合ペロブスカイト形
の結晶構造を有する誘電体磁器の製造方法であって、 前記磁器を構成する金属成分の原料を仮焼した後、得ら
れた仮焼物を 100〜1600℃／分の速度で規則−不規則転
移温度以上の温度まで昇温後、該温度に１〜60分間保持
する工程を備えてなる製造方法。
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