JPH06204596A - レーザ発振器の出力制御装置 - Google Patents
レーザ発振器の出力制御装置Info
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器の出力検出器特性の急変に対
し、一定レーザ出力制御が不能になり、被加工物が不良
品となることを防止する。 【構成】 レーザ発振器と、レーザ発振器に励起電力を
供給する電源装置と、レーザ発振器の出力するレーザ光
の強度を検出する検出手段と、検出手段に接続されてそ
の抵抗値を測定する測定手段と、検出手段の出力信号に
対応した測定手段の出力信号およびレーザ出力の強度指
令とを入力とし、上記電源装置に対して電力指令を与え
る制御回路と、制御回路に接続されレーザ発振器の入出
力特性が記憶されている記憶手段とから構成した。
し、一定レーザ出力制御が不能になり、被加工物が不良
品となることを防止する。 【構成】 レーザ発振器と、レーザ発振器に励起電力を
供給する電源装置と、レーザ発振器の出力するレーザ光
の強度を検出する検出手段と、検出手段に接続されてそ
の抵抗値を測定する測定手段と、検出手段の出力信号に
対応した測定手段の出力信号およびレーザ出力の強度指
令とを入力とし、上記電源装置に対して電力指令を与え
る制御回路と、制御回路に接続されレーザ発振器の入出
力特性が記憶されている記憶手段とから構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工などに用い
る炭酸ガスレーザ発振器の出力制御装置に関するもので
ある。
る炭酸ガスレーザ発振器の出力制御装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来のレーザ発振器の出力制御
装置の構成を示すブロック図である。図において、１は
レーザ発振器、２ａは出力ミラー、２ｂは背面ミラー、
３は出力ミラー２ａから外部に取り出されるレーザ出
力、４はパワーセンサ、５は制御回路、６は所望のレー
ザ出力の強度を指令するレーザ出力指令、７はパワーセ
ンサ４の出力信号と出力指令６との誤差信号を比較増幅
した電力指令、８は電源装置である。
装置の構成を示すブロック図である。図において、１は
レーザ発振器、２ａは出力ミラー、２ｂは背面ミラー、
３は出力ミラー２ａから外部に取り出されるレーザ出
力、４はパワーセンサ、５は制御回路、６は所望のレー
ザ出力の強度を指令するレーザ出力指令、７はパワーセ
ンサ４の出力信号と出力指令６との誤差信号を比較増幅
した電力指令、８は電源装置である。
【０００３】次に動作について説明する。図において電
源装置８より電極に電圧を加えることにより電極間に放
電が生じ、これを出力ミラー２ａ、背面ミラー２ｂで構
成した共振器にて増幅し、出力ミラー２ａよりレーザ出
力３を得る。同時にこのレーザ出力の一部を背面ミラー
２ｂからパワーセンサ４へ取り出し、この検出値を制御
回路へと出力する。制御回路５はこの出力値を出力指令
値６と比較し、その差を増幅して誤差信号として電源装
置８へ出力する。電源装置８はこの誤差信号に基づいて
一定レーザ出力制御を行う。
源装置８より電極に電圧を加えることにより電極間に放
電が生じ、これを出力ミラー２ａ、背面ミラー２ｂで構
成した共振器にて増幅し、出力ミラー２ａよりレーザ出
力３を得る。同時にこのレーザ出力の一部を背面ミラー
２ｂからパワーセンサ４へ取り出し、この検出値を制御
回路へと出力する。制御回路５はこの出力値を出力指令
値６と比較し、その差を増幅して誤差信号として電源装
置８へ出力する。電源装置８はこの誤差信号に基づいて
一定レーザ出力制御を行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に炭酸ガスレーザ
発振器の出力制御装置では、レーザ出力を検出するパワ
ーセンサが熱電対から構成されている場合が多いが、そ
の物性値の経時変化が存在することが知られている。し
かも、その経時変化には線形性はなく、ある値を越えた
時、特性が急変することが経験的に知られている。
発振器の出力制御装置では、レーザ出力を検出するパワ
ーセンサが熱電対から構成されている場合が多いが、そ
の物性値の経時変化が存在することが知られている。し
かも、その経時変化には線形性はなく、ある値を越えた
時、特性が急変することが経験的に知られている。
【０００５】しかるに、従来のレーザ発振器の出力制御
装置では、パワーセンサの物性値を測定する手段を備え
ていないため、例えばレーザ発振器で被加工物を加工し
ている時に、上述したようにパワーセンサの特性が急変
し、極端な場合にはその検出出力値がゼロになり、上記
の一定レーザ出力制御が不能になって、以後の被加工物
が全て不良品になってしまうという不具合が生じること
があった。とりわけ、夜間等に長時間の無人運転を行っ
ている最中にこのような不具合が起こると、レーザ発振
器の使用者にとっては致命的である。
装置では、パワーセンサの物性値を測定する手段を備え
ていないため、例えばレーザ発振器で被加工物を加工し
ている時に、上述したようにパワーセンサの特性が急変
し、極端な場合にはその検出出力値がゼロになり、上記
の一定レーザ出力制御が不能になって、以後の被加工物
が全て不良品になってしまうという不具合が生じること
があった。とりわけ、夜間等に長時間の無人運転を行っ
ている最中にこのような不具合が起こると、レーザ発振
器の使用者にとっては致命的である。
【０００６】この発明は、上記のような問題を解決する
ためになされたものであり、パワーセンサの特性が急変
しその検出出力値が急変した場合に、被加工物が不良品
になってしまう、という不具合を防止するとともに、パ
ワーセンサの特性が急変した時に警報信号を出力して、
パワーセンサの交換時期を明示することを目的とする。
ためになされたものであり、パワーセンサの特性が急変
しその検出出力値が急変した場合に、被加工物が不良品
になってしまう、という不具合を防止するとともに、パ
ワーセンサの特性が急変した時に警報信号を出力して、
パワーセンサの交換時期を明示することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係るレーザ
発振器の出力制御装置は、レーザ発振器と、このレーザ
発振器に励起電力を供給する電源装置と、上記レーザ発
振器の出力するレーザ光の強度を検出する検出手段と、
この検出手段に接続されてその抵抗値を測定する測定手
段と、上記検出手段の出力信号に応じて出力される上記
測定手段の出力信号およびレーザ出力の強度を指令する
外部からのレーザ出力指令とを入力とし上記電源装置に
対して電力指令を与える制御回路と、この制御回路に接
続され上記レーザ発振器の入出力特性が記憶されている
記憶手段から構成されたレーザ発振器の上記制御回路に
おいて、上記制御回路は、通常時に上記レーザ出力指令
及び上記検出手段の出力信号に基づいて一定レーザ出力
制御を行う部分と、上記測定手段が測定した上記検出手
段の抵抗値がある値を越えた時に上記制御回路はが自動
的に上記一定レーザ出力制御から上記記憶手段に記憶さ
れた上記レーザ発振器の入出力特性に基づいた一定電力
制御に切り換えて制御を行なう部分とを有するようにし
たものである。
発振器の出力制御装置は、レーザ発振器と、このレーザ
発振器に励起電力を供給する電源装置と、上記レーザ発
振器の出力するレーザ光の強度を検出する検出手段と、
この検出手段に接続されてその抵抗値を測定する測定手
段と、上記検出手段の出力信号に応じて出力される上記
測定手段の出力信号およびレーザ出力の強度を指令する
外部からのレーザ出力指令とを入力とし上記電源装置に
対して電力指令を与える制御回路と、この制御回路に接
続され上記レーザ発振器の入出力特性が記憶されている
記憶手段から構成されたレーザ発振器の上記制御回路に
おいて、上記制御回路は、通常時に上記レーザ出力指令
及び上記検出手段の出力信号に基づいて一定レーザ出力
制御を行う部分と、上記測定手段が測定した上記検出手
段の抵抗値がある値を越えた時に上記制御回路はが自動
的に上記一定レーザ出力制御から上記記憶手段に記憶さ
れた上記レーザ発振器の入出力特性に基づいた一定電力
制御に切り換えて制御を行なう部分とを有するようにし
たものである。
【０００８】第２の発明に係るレーザ発振器の出力制御
装置は、第１の発明のレーザ発振器の出力制御装置にお
いて、レーザ出力の強度を指令するレーザ出力指令部が
レーザ加工システム全体を制御するＮＣ制御装置内に備
えられるとともに、測定手段が測定した検出手段の抵抗
値がある値を越えた時に制御回路が出す信号を入力とし
て上記ＮＣ制御装置上に検出手段交換時期の表示をする
表示部を備えるようにしたものである。
装置は、第１の発明のレーザ発振器の出力制御装置にお
いて、レーザ出力の強度を指令するレーザ出力指令部が
レーザ加工システム全体を制御するＮＣ制御装置内に備
えられるとともに、測定手段が測定した検出手段の抵抗
値がある値を越えた時に制御回路が出す信号を入力とし
て上記ＮＣ制御装置上に検出手段交換時期の表示をする
表示部を備えるようにしたものである。
【０００９】
【作用】第１の発明に係るレーザ発振器の出力制御装置
は、検出手段の抵抗値がある値を越えた時に、制御回路
が自動的に一定レーザ出力制御から一定電力制御に切り
換えるよう作用にする。
は、検出手段の抵抗値がある値を越えた時に、制御回路
が自動的に一定レーザ出力制御から一定電力制御に切り
換えるよう作用にする。
【００１０】第２の発明に係るレーザ発振器の出力制御
装置は、検出手段の抵抗値がある値を越えた時に、制御
回路が自動的に一定レーザ出力制御から一定電力制御に
切り換えるとともに、ＮＣ制御装置に警報信号を出力す
るように作用する。
装置は、検出手段の抵抗値がある値を越えた時に、制御
回路が自動的に一定レーザ出力制御から一定電力制御に
切り換えるとともに、ＮＣ制御装置に警報信号を出力す
るように作用する。
【００１１】
【実施例】実施例１．以下、第１の発明の一実施例を図
について説明する。図１において、１はレーザ発振器、
１ａ、１ｂは一対の電極、１ｃは一対の電極１ａ、１ｂ
間に生じる放電、１ｄはレーザ発振器１内に満たされた
レーザ媒質ガスである。２ａは出力ミラー、２ｂは背面
ミラーで一対で光共振器を構成している。３は出力ミラ
ーから外部に取り出されるレーザ出力、３ａは背面ミラ
ーから取り出されるモニタ出力、４はモニタ出力３ａを
入力し測定手段９へ出力するパワーセンサ、５は制御回
路（手段）、６は所望のレーザ出力の強度を指令するレ
ーザ出力指令、７は制御回路５から電源装置８に与えら
れる電力指令、８ａは電流検出器である。
について説明する。図１において、１はレーザ発振器、
１ａ、１ｂは一対の電極、１ｃは一対の電極１ａ、１ｂ
間に生じる放電、１ｄはレーザ発振器１内に満たされた
レーザ媒質ガスである。２ａは出力ミラー、２ｂは背面
ミラーで一対で光共振器を構成している。３は出力ミラ
ーから外部に取り出されるレーザ出力、３ａは背面ミラ
ーから取り出されるモニタ出力、４はモニタ出力３ａを
入力し測定手段９へ出力するパワーセンサ、５は制御回
路（手段）、６は所望のレーザ出力の強度を指令するレ
ーザ出力指令、７は制御回路５から電源装置８に与えら
れる電力指令、８ａは電流検出器である。
【００１２】レーザ媒質ガス１ｄを励起させる方法には
種々のものがあるが、一般にグロー放電においては放電
ギャップ長、媒質ガスの圧力及び、媒質ガスの成分比率
を適当に選ぶことにより、放電電圧がほぼ一定に維持さ
れる。また、放電電力＝放電電圧×放電電流で表され
る。従って、放電電力の値は、放電１ｃの放電電流値に
比例する。そこで、電源装置８と電極１ａ、１ｂとを接
続する電力線路に設けられた電流検出器８ａにより、放
電１ｃの放電電流値を検出し、それをフィードバックす
ることにより、電力指令７の値に比例した電力をレーザ
発振器１に供給できるようになっている。すなわち、本
実施例の装置は、レーザ出力３を検出してフィードバッ
クし、それがレーザ出力指令６に等しくなるようにレー
ザ発振器への供給電力、換言すれば、電力指令値７を増
減させて、一定レーザ出力制御を行うものである。
種々のものがあるが、一般にグロー放電においては放電
ギャップ長、媒質ガスの圧力及び、媒質ガスの成分比率
を適当に選ぶことにより、放電電圧がほぼ一定に維持さ
れる。また、放電電力＝放電電圧×放電電流で表され
る。従って、放電電力の値は、放電１ｃの放電電流値に
比例する。そこで、電源装置８と電極１ａ、１ｂとを接
続する電力線路に設けられた電流検出器８ａにより、放
電１ｃの放電電流値を検出し、それをフィードバックす
ることにより、電力指令７の値に比例した電力をレーザ
発振器１に供給できるようになっている。すなわち、本
実施例の装置は、レーザ出力３を検出してフィードバッ
クし、それがレーザ出力指令６に等しくなるようにレー
ザ発振器への供給電力、換言すれば、電力指令値７を増
減させて、一定レーザ出力制御を行うものである。
【００１３】また９は、パワーセンサ４に接続して設け
られた測定手段であり、パワーセンサの抵抗値が測定で
きるようになっている。また、この測定手段９は、制御
回路５にも接続されており、測定されたパワーセンサの
抵抗値に比例する電圧信号を、制御回路５に出力してい
る。１０は、制御回路５に接続して設けられた記憶手段
であり、その入力線及び出力線が、制御回路５に接続さ
れている。記憶手段１０には、レーザ発振器１の入出力
特性（放電電流Ｉｄとレーザ出力Ｗｒとの関係）が記憶
されていて、制御回路５からの入力信号１０ａ（＝所望
のレーザ出力値）に対応した電力指令値を、出力信号１
０ｂとして制御装置５に出力するように動作する。
られた測定手段であり、パワーセンサの抵抗値が測定で
きるようになっている。また、この測定手段９は、制御
回路５にも接続されており、測定されたパワーセンサの
抵抗値に比例する電圧信号を、制御回路５に出力してい
る。１０は、制御回路５に接続して設けられた記憶手段
であり、その入力線及び出力線が、制御回路５に接続さ
れている。記憶手段１０には、レーザ発振器１の入出力
特性（放電電流Ｉｄとレーザ出力Ｗｒとの関係）が記憶
されていて、制御回路５からの入力信号１０ａ（＝所望
のレーザ出力値）に対応した電力指令値を、出力信号１
０ｂとして制御装置５に出力するように動作する。
【００１４】図２は、図１において破線で囲まれた部分
を詳細に図示したものである。図２において、４ａはモ
ニタ出力３ａを適当な出力に減衰する減衰器、４ｂは、
減衰器４ａの出力を入力とするパワーセンサであり、熱
電対から成る。９ａはパワーセンサ４ｂの出力線に接続
された第１の信号選択器であり、後述するバッファ５ｌ
の出力信号に応じて、パワーセンサ４ｂの出力線を、後
述する第１の増幅器５ａまたは後述するブリッジ回路の
いずれかに、選択的に接続するように動作する。すなわ
ち、バッファ５ｌの出力信号が「１」である時は、パワ
ーセンサ４ｂの出力線は、後述するブリッジ回路に接続
される。また、バッファ５ｌの出力信号が「０」である
時は、パワーセンサ４ｂの出力線は、後述する第１の増
幅器５ａに接続される。９ｂ、９ｃ、９ｄはブリッジ回
路を構成する抵抗器であり、９ｅはブリッジ回路に電圧
を印加する直流電圧源である。上述のようにパワーセン
サ４ｂの出力線が、第１の信号選択器９ａの動作によ
り、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅで構成されるこのブリッジ
回路に接続された場合に、パワーセンサ４ｂの抵抗値ｒ
は、 ｒ＝Ｒ（Ｅ−２Ｅ0）／（Ｅ＋２Ｅ0） （Ω）・・・・・式（１） （ただし、Ｅ＞２Ｅ0、ｒ＜Ｒ） ｒ ：パワーセンサ４ｂの抵抗値（Ω） Ｒ ：抵抗器９ｂ、９ｃ、９ｄの抵抗値（Ω） Ｅ ：直流電圧源９ｅの電圧値（Ｖ） Ｅ0 ：ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ間に発生する電圧値
（Ｖ） で与えられる。従ってＲ、Ｅの値が既知であるとき、Ｅ
0 の値が解れば式（１）に基づいて演算をすることによ
り、パワーセンサ４ｂの抵抗値ｒが求められる。
を詳細に図示したものである。図２において、４ａはモ
ニタ出力３ａを適当な出力に減衰する減衰器、４ｂは、
減衰器４ａの出力を入力とするパワーセンサであり、熱
電対から成る。９ａはパワーセンサ４ｂの出力線に接続
された第１の信号選択器であり、後述するバッファ５ｌ
の出力信号に応じて、パワーセンサ４ｂの出力線を、後
述する第１の増幅器５ａまたは後述するブリッジ回路の
いずれかに、選択的に接続するように動作する。すなわ
ち、バッファ５ｌの出力信号が「１」である時は、パワ
ーセンサ４ｂの出力線は、後述するブリッジ回路に接続
される。また、バッファ５ｌの出力信号が「０」である
時は、パワーセンサ４ｂの出力線は、後述する第１の増
幅器５ａに接続される。９ｂ、９ｃ、９ｄはブリッジ回
路を構成する抵抗器であり、９ｅはブリッジ回路に電圧
を印加する直流電圧源である。上述のようにパワーセン
サ４ｂの出力線が、第１の信号選択器９ａの動作によ
り、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅで構成されるこのブリッジ
回路に接続された場合に、パワーセンサ４ｂの抵抗値ｒ
は、 ｒ＝Ｒ（Ｅ−２Ｅ0）／（Ｅ＋２Ｅ0） （Ω）・・・・・式（１） （ただし、Ｅ＞２Ｅ0、ｒ＜Ｒ） ｒ ：パワーセンサ４ｂの抵抗値（Ω） Ｒ ：抵抗器９ｂ、９ｃ、９ｄの抵抗値（Ω） Ｅ ：直流電圧源９ｅの電圧値（Ｖ） Ｅ0 ：ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ間に発生する電圧値
（Ｖ） で与えられる。従ってＲ、Ｅの値が既知であるとき、Ｅ
0 の値が解れば式（１）に基づいて演算をすることによ
り、パワーセンサ４ｂの抵抗値ｒが求められる。
【００１５】次に制御回路５の内部を説明する。図２に
おいて、５ａは第１の増幅器である。上述のようにパワ
ーセンサ４ｂの出力線が、第１の信号選択器９ａの動作
によりこの第１の増幅器５ａに接続された場合に、パワ
ーセンサ４ｂを構成する熱電対に発生する微少な出力電
圧を増幅するものである。この微少な出力電圧は、レー
ザ出力３の出力強度に比例している。５ｂは演算器であ
り、ブリッジ回路内の２点９ｆ、９ｇ間に発生する電圧
を入力とし、上記の式（１）に基づいて演算を行ってパ
ワーセンサ４ｂの抵抗値ｒを求める動作をする。５ｃ
は、演算器５ｂの出力信号と、基準電圧信号５ｄとを入
力とする比較器であり、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄ） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄ） である時、信号「０」を出力する。５ｅは、周知のＡＮ
Ｄ回路である。
おいて、５ａは第１の増幅器である。上述のようにパワ
ーセンサ４ｂの出力線が、第１の信号選択器９ａの動作
によりこの第１の増幅器５ａに接続された場合に、パワ
ーセンサ４ｂを構成する熱電対に発生する微少な出力電
圧を増幅するものである。この微少な出力電圧は、レー
ザ出力３の出力強度に比例している。５ｂは演算器であ
り、ブリッジ回路内の２点９ｆ、９ｇ間に発生する電圧
を入力とし、上記の式（１）に基づいて演算を行ってパ
ワーセンサ４ｂの抵抗値ｒを求める動作をする。５ｃ
は、演算器５ｂの出力信号と、基準電圧信号５ｄとを入
力とする比較器であり、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄ） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄ） である時、信号「０」を出力する。５ｅは、周知のＡＮ
Ｄ回路である。
【００１６】５ｆは、ＡＮＤ回路５ｅの出力を入力とす
るラッチ回路であり、初期状態での出力は「０」である
が、いったん入力が「１」になると、以後リセットされ
るまで出力を「１」に保つ動作をする。５ｇは、ラッチ
回路５ｆの出力線に接続された第２の信号選択器であ
り、ラッチ回路５ｆの出力信号に応じて、後述する誤差
増幅器５ｉの出力または、上述した記憶手段１０の出力
のいずれかを、上述した電源装置８へ、電力指令７とし
て選択的に接続するものである。すなわち、ラッチ回路
５ｆの出力信号が「１」である時は、記憶手段１０の出
力線１０ｂが、電力指令７として電源装置８へ接続され
る。ラッチ回路５ｆの出力信号が「０」である時は、誤
差増幅器５ｉの出力線が、電力指令７として電源装置８
へ接続される。
るラッチ回路であり、初期状態での出力は「０」である
が、いったん入力が「１」になると、以後リセットされ
るまで出力を「１」に保つ動作をする。５ｇは、ラッチ
回路５ｆの出力線に接続された第２の信号選択器であ
り、ラッチ回路５ｆの出力信号に応じて、後述する誤差
増幅器５ｉの出力または、上述した記憶手段１０の出力
のいずれかを、上述した電源装置８へ、電力指令７とし
て選択的に接続するものである。すなわち、ラッチ回路
５ｆの出力信号が「１」である時は、記憶手段１０の出
力線１０ｂが、電力指令７として電源装置８へ接続され
る。ラッチ回路５ｆの出力信号が「０」である時は、誤
差増幅器５ｉの出力線が、電力指令７として電源装置８
へ接続される。
【００１７】５ｉは誤差増幅器であり、レーザ出力指令
６の値と、第１の増幅器５ａの出力信号の値とを比較増
幅した信号を、第２の信号選択器５ｇへ出力する。５ｈ
は、図１では図示しなかったが、レーザ発振器１のレー
ザ出力３の「入り／切り」を選択するスイッチであり、
スイッチ５ｈが「閉」の時、レーザ発振の「しきい値」
以上の電力が電源装置８からレーザ発振器１へ供給さ
れ、レーザ出力３が出力される。以下、この状態を「ビ
ームＯＮ」という。逆に、スイッチ５ｈが「開」の時、
レーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８から
レーザ発振器１へ供給されるので、レーザ発振は起こら
ず、レーザ出力３は出力されない。以下、この状態を
「ビームＯＦＦ」という。５ｊは、制御回路５の制御電
源、５ｋは、制御電源５ｊのグラウンドである。５ｌ
は、その入力がスイッチ５ｈに接続された周知のバッフ
ァ回路であり、その出力は、「ビームＯＮ」の時
「０」、「ビームＯＦＦ」の時「１」となる。
６の値と、第１の増幅器５ａの出力信号の値とを比較増
幅した信号を、第２の信号選択器５ｇへ出力する。５ｈ
は、図１では図示しなかったが、レーザ発振器１のレー
ザ出力３の「入り／切り」を選択するスイッチであり、
スイッチ５ｈが「閉」の時、レーザ発振の「しきい値」
以上の電力が電源装置８からレーザ発振器１へ供給さ
れ、レーザ出力３が出力される。以下、この状態を「ビ
ームＯＮ」という。逆に、スイッチ５ｈが「開」の時、
レーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８から
レーザ発振器１へ供給されるので、レーザ発振は起こら
ず、レーザ出力３は出力されない。以下、この状態を
「ビームＯＦＦ」という。５ｊは、制御回路５の制御電
源、５ｋは、制御電源５ｊのグラウンドである。５ｌ
は、その入力がスイッチ５ｈに接続された周知のバッフ
ァ回路であり、その出力は、「ビームＯＮ」の時
「０」、「ビームＯＦＦ」の時「１」となる。
【００１８】次に、第１の発明の動作について図１およ
び図２に従って説明する。スイッチ５ｈが「閉」、すな
わち「ビームＯＮ」の時、上述したようにレーザ発振の
「しきい値」以上の電力が電源装置８からレーザ発振器
１へ供給されてレーザ発振が起こり、レーザ出力３が出
力される。この時パワーセンサ４ｂの出力線は、上述し
た第１の信号選択器９ａの動作により、第１の増幅器５
ａに接続されているので、制御回路５は、所望のレーザ
出力に相当するレーザ出力指令６の値と、出力されたレ
ーザ出力３の強度に相当する第１の増幅器５ａの出力信
号の値とを、誤差増幅器５ｉにより比較増幅した信号
を、第２の信号選択器５ｇへ出力する。この時、ラッチ
回路５ｆの出力信号は「０」であるので、誤差増幅器５
ｉの出力線が、電力指令（すなわち放電電流指令）７と
して電源装置８へ接続されるように、第２の信号選択器
５ｇが動作している。すなわち、「ビームＯＮ」の時、
レーザ出力３を検出してフィードバックし、レーザ出力
３がレーザ出力指令６に等しくなるようにレーザ発振器
の入力電力（言い換えれば放電電流）を増減させて、一
定レーザ出力制御を行うように動作している。
び図２に従って説明する。スイッチ５ｈが「閉」、すな
わち「ビームＯＮ」の時、上述したようにレーザ発振の
「しきい値」以上の電力が電源装置８からレーザ発振器
１へ供給されてレーザ発振が起こり、レーザ出力３が出
力される。この時パワーセンサ４ｂの出力線は、上述し
た第１の信号選択器９ａの動作により、第１の増幅器５
ａに接続されているので、制御回路５は、所望のレーザ
出力に相当するレーザ出力指令６の値と、出力されたレ
ーザ出力３の強度に相当する第１の増幅器５ａの出力信
号の値とを、誤差増幅器５ｉにより比較増幅した信号
を、第２の信号選択器５ｇへ出力する。この時、ラッチ
回路５ｆの出力信号は「０」であるので、誤差増幅器５
ｉの出力線が、電力指令（すなわち放電電流指令）７と
して電源装置８へ接続されるように、第２の信号選択器
５ｇが動作している。すなわち、「ビームＯＮ」の時、
レーザ出力３を検出してフィードバックし、レーザ出力
３がレーザ出力指令６に等しくなるようにレーザ発振器
の入力電力（言い換えれば放電電流）を増減させて、一
定レーザ出力制御を行うように動作している。
【００１９】次に、「ビームＯＦＦ」の時の動作を説明
する。「ビームＯＦＦ」の時には、上述したように、レ
ーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８からレ
ーザ発振器１へ供給されるのでレーザ発振は起こらず、
レーザ出力３は出力されない。この時パワーセンサ４ｂ
の出力線は、第１の信号選択器９ａの動作により、ブリ
ッジ回路に接続されており、ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ
間に発生した電圧は、演算器５ｂにより演算されて、パ
ワーセンサ４ｂの抵抗値が求められる。比較器５ｃは、
演算器５ｂの出力信号、すなわち、パワーセンサ４ｂの
抵抗値に相当する電圧値と、パワーセンサ４ｂの劣化の
目安となる基準電圧信号５ｄの値とを比較して、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「０」を出力する。
する。「ビームＯＦＦ」の時には、上述したように、レ
ーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８からレ
ーザ発振器１へ供給されるのでレーザ発振は起こらず、
レーザ出力３は出力されない。この時パワーセンサ４ｂ
の出力線は、第１の信号選択器９ａの動作により、ブリ
ッジ回路に接続されており、ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ
間に発生した電圧は、演算器５ｂにより演算されて、パ
ワーセンサ４ｂの抵抗値が求められる。比較器５ｃは、
演算器５ｂの出力信号、すなわち、パワーセンサ４ｂの
抵抗値に相当する電圧値と、パワーセンサ４ｂの劣化の
目安となる基準電圧信号５ｄの値とを比較して、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「０」を出力する。
【００２０】いま、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には、ラッチ回路５ｆの出力は、「０」の
ままなので、次に、「ビームＯＮ」した時の動作は、前
述のように、一定レーザ出力制御を行うように動作す
る。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には比較器５ｃの出力は「１」となり、ま
た「ビームＯＦＦ」の時にはバッファ回路５ｌの出力も
「１」であるため、ＡＮＤ回路５ｆの出力は「１」とな
り、ラッチ回路５ｆの出力は、「１」に変わりラッチさ
れる。従って、次に「ビームＯＮ」した時には、前述の
ように、記憶手段１０の出力線１０ｂが、電力指令（す
なわち放電電流指令）７として電源装置８へ接続される
ように、第２の信号選択器５ｇが動作する。すなわち、
「ビームＯＮ」の時、予め記憶手段１０に記憶されたレ
ーザ発振器１の入出力特性（レーザ出力Ｗｒと放電電流
Ｉｄとの関係を表すもの）に基づいて、所望のレーザ出
力指令６に相当する、電力指令（放電電流指令）７が出
力されるため、一定電力制御が行われる。ここでラッチ
回路５ｆの出力は、いったん「１」に変わると以後リセ
ットされるまでは「１」のままラッチされるので、以後
の「ビームＯＮ」時にも引き続き一定電力制御が行われ
る。
値） であった場合には、ラッチ回路５ｆの出力は、「０」の
ままなので、次に、「ビームＯＮ」した時の動作は、前
述のように、一定レーザ出力制御を行うように動作す
る。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には比較器５ｃの出力は「１」となり、ま
た「ビームＯＦＦ」の時にはバッファ回路５ｌの出力も
「１」であるため、ＡＮＤ回路５ｆの出力は「１」とな
り、ラッチ回路５ｆの出力は、「１」に変わりラッチさ
れる。従って、次に「ビームＯＮ」した時には、前述の
ように、記憶手段１０の出力線１０ｂが、電力指令（す
なわち放電電流指令）７として電源装置８へ接続される
ように、第２の信号選択器５ｇが動作する。すなわち、
「ビームＯＮ」の時、予め記憶手段１０に記憶されたレ
ーザ発振器１の入出力特性（レーザ出力Ｗｒと放電電流
Ｉｄとの関係を表すもの）に基づいて、所望のレーザ出
力指令６に相当する、電力指令（放電電流指令）７が出
力されるため、一定電力制御が行われる。ここでラッチ
回路５ｆの出力は、いったん「１」に変わると以後リセ
ットされるまでは「１」のままラッチされるので、以後
の「ビームＯＮ」時にも引き続き一定電力制御が行われ
る。
【００２１】図３は、上述のように本実施例において、
一定電力制御が行なわれている場合を示すブロック図で
ある。この図を用いてその動作について説明する。制御
装置５はレーザ出力指令６の値（所望のレーザ出力値）
を入力し、それを記憶手段１０に出力する。記憶手段１
０はその入力（１０ａ）に対応した出力（１０ｂ）を、
記憶しているレーザ発振器の入出力特性（レーザ出力Ｗ
ｒ−放電電流Ｉｄ、またはＷｒ−放電電力Ｗｄの関係）
に基づいて、制御装値５に出力する。制御装置５は、そ
れを電流指令（または電力指令）７として電源装値８に
出力する。電源装置８は、電極１ａ、１ｂに電力を供給
しつつ、放電電流Ｉｄを電流検出器８によりフィードバ
ックして、放電電流Ｉｄ（または放電電力Ｗｄ）が電流
指令７に等しくなるように、制御を行なうものである。
図４は、上記１９項及び２０項で説明した動作（ビーム
ＯＮ時及びビームＯＦＦ時の動作）をフローチャートで
示したものである。
一定電力制御が行なわれている場合を示すブロック図で
ある。この図を用いてその動作について説明する。制御
装置５はレーザ出力指令６の値（所望のレーザ出力値）
を入力し、それを記憶手段１０に出力する。記憶手段１
０はその入力（１０ａ）に対応した出力（１０ｂ）を、
記憶しているレーザ発振器の入出力特性（レーザ出力Ｗ
ｒ−放電電流Ｉｄ、またはＷｒ−放電電力Ｗｄの関係）
に基づいて、制御装値５に出力する。制御装置５は、そ
れを電流指令（または電力指令）７として電源装値８に
出力する。電源装置８は、電極１ａ、１ｂに電力を供給
しつつ、放電電流Ｉｄを電流検出器８によりフィードバ
ックして、放電電流Ｉｄ（または放電電力Ｗｄ）が電流
指令７に等しくなるように、制御を行なうものである。
図４は、上記１９項及び２０項で説明した動作（ビーム
ＯＮ時及びビームＯＦＦ時の動作）をフローチャートで
示したものである。
【００２２】実施例２．次に、第２の発明の実施例を図
５にて説明する。図５において、１１はレーザ加工シス
テム全体（発振器、冷却装置、駆動テーブル、加工ヘッ
ド、等）を制御するＮＣ制御装置である。図６は、図５
において破線で囲まれた部分を詳細に図示したものであ
る。図６において、５ｆは、ＡＮＤ回路５ｅの出力を入
力とするラッチ回路であり、５ｍは、ラッチ回路５ｆの
出力信号であり、ＮＣ制御装置１１に接続されている。
６は、ＮＣ制御装置１１から制御回路５へ出力されるレ
ーザ出力指令、５ｈは、同じくＮＣ制御装置１１から制
御回路５へ出力されるビームＯＮ／ＯＦＦスイッチであ
る。１１ａは、ＮＣ制御装置１１上に設置された表示装
置（ＣＲＴ等）である。
５にて説明する。図５において、１１はレーザ加工シス
テム全体（発振器、冷却装置、駆動テーブル、加工ヘッ
ド、等）を制御するＮＣ制御装置である。図６は、図５
において破線で囲まれた部分を詳細に図示したものであ
る。図６において、５ｆは、ＡＮＤ回路５ｅの出力を入
力とするラッチ回路であり、５ｍは、ラッチ回路５ｆの
出力信号であり、ＮＣ制御装置１１に接続されている。
６は、ＮＣ制御装置１１から制御回路５へ出力されるレ
ーザ出力指令、５ｈは、同じくＮＣ制御装置１１から制
御回路５へ出力されるビームＯＮ／ＯＦＦスイッチであ
る。１１ａは、ＮＣ制御装置１１上に設置された表示装
置（ＣＲＴ等）である。
【００２３】次に、第２の発明の動作について図５およ
び図６に従って説明する。第１の発明の動作と同様に、
スイッチ５ｈが「閉」、すなわち「ビームＯＮ」の時、
上述したように、レーザ発振の「しきい値」以上の電力
が電源装置８からレーザ発振器１へ供給されてレーザ発
振が起こり、レーザ出力３が出力される。この時パワー
センサ４ｂの出力線は、第１の信号選択器９ａの動作に
より、第１の増幅器５ａに接続されているので、制御回
路５は、所望のレーザ出力に相当するレーザ出力指令６
の値と、出力されたレーザ出力のの強度に相当する第１
の増幅器５ａの出力信号の値とを、誤差増幅器５ｉによ
り比較増幅した信号を、第２の信号選択器５ｇへ出力す
る。
び図６に従って説明する。第１の発明の動作と同様に、
スイッチ５ｈが「閉」、すなわち「ビームＯＮ」の時、
上述したように、レーザ発振の「しきい値」以上の電力
が電源装置８からレーザ発振器１へ供給されてレーザ発
振が起こり、レーザ出力３が出力される。この時パワー
センサ４ｂの出力線は、第１の信号選択器９ａの動作に
より、第１の増幅器５ａに接続されているので、制御回
路５は、所望のレーザ出力に相当するレーザ出力指令６
の値と、出力されたレーザ出力のの強度に相当する第１
の増幅器５ａの出力信号の値とを、誤差増幅器５ｉによ
り比較増幅した信号を、第２の信号選択器５ｇへ出力す
る。
【００２４】この時、ラッチ回路５ｆの出力信号は
「０」であるので、誤差増幅器５ｉの出力線が、電力指
令（放電電流指令）７として電源装置８へ接続されるよ
うに、第２の信号選択器５ｇが動作している。すなわ
ち、「ビームＯＮ」の時、レーザ出力３を検出してフィ
ードバックし、レーザ出力３がレーザ出力指令６に等し
くなるようにレーザ発振器の入力電力（放電電流）を増
減させて、一定レーザ出力制御を行うように動作してい
る。また、この時、ラッチ回路５ｆの出力信号５ｍが
「０」、すなわち「パワーセンサ正常」であるため、Ｎ
Ｃ制御装置１１上に設置された表示装置は、パワーセン
サに関しては何ら表示しない。
「０」であるので、誤差増幅器５ｉの出力線が、電力指
令（放電電流指令）７として電源装置８へ接続されるよ
うに、第２の信号選択器５ｇが動作している。すなわ
ち、「ビームＯＮ」の時、レーザ出力３を検出してフィ
ードバックし、レーザ出力３がレーザ出力指令６に等し
くなるようにレーザ発振器の入力電力（放電電流）を増
減させて、一定レーザ出力制御を行うように動作してい
る。また、この時、ラッチ回路５ｆの出力信号５ｍが
「０」、すなわち「パワーセンサ正常」であるため、Ｎ
Ｃ制御装置１１上に設置された表示装置は、パワーセン
サに関しては何ら表示しない。
【００２５】次に、「ビームＯＦＦ」の時の動作を説明
する。「ビームＯＦＦ」の時には、上述したように、レ
ーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８からレ
ーザ発振器１へ供給されるのでレーザ発振は起こらず、
レーザ出力３は出力されない。この時パワーセンサ４ｂ
の出力線は、第１の信号選択器９ａの動作により、ブリ
ッジ回路に接続されており、ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ
間に発生した電圧は、演算器５ｂにより演算されて、パ
ワーセンサ４ｂの抵抗値が求められる。比較器５ｃは、
演算器５ｂの出力信号、すなわち、パワーセンサ４ｂの
抵抗値に相当する電圧値と、パワーセンサ４ｂの劣化の
目安となる基準電圧信号５ｄの値とを比較して、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「０」を出力する。
する。「ビームＯＦＦ」の時には、上述したように、レ
ーザ発振の「しきい値」未満の電力が電源装置８からレ
ーザ発振器１へ供給されるのでレーザ発振は起こらず、
レーザ出力３は出力されない。この時パワーセンサ４ｂ
の出力線は、第１の信号選択器９ａの動作により、ブリ
ッジ回路に接続されており、ブリッジ回路の９ｆ、９ｇ
間に発生した電圧は、演算器５ｂにより演算されて、パ
ワーセンサ４ｂの抵抗値が求められる。比較器５ｃは、
演算器５ｂの出力信号、すなわち、パワーセンサ４ｂの
抵抗値に相当する電圧値と、パワーセンサ４ｂの劣化の
目安となる基準電圧信号５ｄの値とを比較して、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「１」を出力する。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） である時、信号「０」を出力する。
【００２６】いま、 （演算器５ｂの出力信号値）＜（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には、ラッチ回路５ｆの出力は、「０」の
ままなので、次に、「ビームＯＮ」した時の動作は、前
述のように、一定レーザ出力制御を行うように動作す
る。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には、比較器５ｃの出力は「１」となり、
またバッファ回路５ｌの出力も「１」であるため、ＡＮ
Ｄ回路５ｆの出力は「１」となり、ラッチ回路５ｆの出
力は、「１」に変わりラッチされる。この時、ラッチ回
路５ｆの出力信号５ｍが「１」、すなわち「パワーセン
サ異常」となるため、ＮＣ制御装置１１上に設置された
表示装置は、「パワーセンサ交換時期」の表示をする。
値） であった場合には、ラッチ回路５ｆの出力は、「０」の
ままなので、次に、「ビームＯＮ」した時の動作は、前
述のように、一定レーザ出力制御を行うように動作す
る。逆に、 （演算器５ｂの出力信号値）≧（基準電圧信号値５ｄの
値） であった場合には、比較器５ｃの出力は「１」となり、
またバッファ回路５ｌの出力も「１」であるため、ＡＮ
Ｄ回路５ｆの出力は「１」となり、ラッチ回路５ｆの出
力は、「１」に変わりラッチされる。この時、ラッチ回
路５ｆの出力信号５ｍが「１」、すなわち「パワーセン
サ異常」となるため、ＮＣ制御装置１１上に設置された
表示装置は、「パワーセンサ交換時期」の表示をする。
【００２７】従って、次に「ビームＯＮ」した時以降
は、前述のように、記憶手段１０の出力線１０ｂが、電
力指令（放電電流指令）７として電源装置８へ接続され
るように、第２の信号選択器５ｇが動作する。すなわ
ち、「ビームＯＮ」の時、予め記憶手段１０に記憶され
たレーザ発振器１の入出力特性（レーザ出力Ｗｒと放電
電流Ｉｄとの関係を表すもの）に基づいて、所望のレー
ザ出力指令６に相当する、電力指令（電流指令）７が出
力されるため、一定電力制御が行われる。ここで、ラッ
チ回路５ｆの出力は、いったん「１」に変わると以後リ
セットされるまでは「１」のままラッチされるので、以
後の「ビームＯＮ」時にも引き続き一定電力制御が行わ
れる。同様に、ＮＣ制御装置１１上に設置された表示装
置は、「パワーセンサ交換時期」の表示を持続する。
は、前述のように、記憶手段１０の出力線１０ｂが、電
力指令（放電電流指令）７として電源装置８へ接続され
るように、第２の信号選択器５ｇが動作する。すなわ
ち、「ビームＯＮ」の時、予め記憶手段１０に記憶され
たレーザ発振器１の入出力特性（レーザ出力Ｗｒと放電
電流Ｉｄとの関係を表すもの）に基づいて、所望のレー
ザ出力指令６に相当する、電力指令（電流指令）７が出
力されるため、一定電力制御が行われる。ここで、ラッ
チ回路５ｆの出力は、いったん「１」に変わると以後リ
セットされるまでは「１」のままラッチされるので、以
後の「ビームＯＮ」時にも引き続き一定電力制御が行わ
れる。同様に、ＮＣ制御装置１１上に設置された表示装
置は、「パワーセンサ交換時期」の表示を持続する。
【００２８】
【発明の効果】第１の発明に係るレーザ発振器の出力制
御装置では、測定手段が測定したパワーセンサの抵抗値
がある値を越えた時に、制御回路が、自動的に、一定レ
ーザ出力制御から、一定電力制御に切り換えるようにし
たので、レーザ発振器で被加工物を加工している時に、
パワーセンサの特性が急変し、その検出出力値がゼロに
なり、一定レーザ出力制御が不能になって、被加工物が
全て不良品になってしまうという不具合を未然に防止で
きる効果がある。
御装置では、測定手段が測定したパワーセンサの抵抗値
がある値を越えた時に、制御回路が、自動的に、一定レ
ーザ出力制御から、一定電力制御に切り換えるようにし
たので、レーザ発振器で被加工物を加工している時に、
パワーセンサの特性が急変し、その検出出力値がゼロに
なり、一定レーザ出力制御が不能になって、被加工物が
全て不良品になってしまうという不具合を未然に防止で
きる効果がある。
【００２９】第２の発明に係るレーザ発振器の出力制御
装置では、制御回路は、レーザ加工システム全体を制御
するＮＣ制御装置に接続されており、上記測定手段が測
定したパワーセンサの抵抗値がある値を越えた時に、上
記制御回路が、自動的に一定レーザ出力制御から、上記
記憶手段に記憶されたレーザ発振器の入出力特性に基づ
いて、一定電力制御に切り換えるとともに、このＮＣ制
御装置に警報信号を出力して、ＮＣ制御装置上の表示装
置に表示するようにしたので、第１の発明と同様、被加
工物が全て不良品になってしまうという不具合を未然に
防止できる効果があるとともに、パワーセンサの交換時
期が明確になり、レーザ加工作業者のメンテナンス上の
便宜を図ることができる効果がある。
装置では、制御回路は、レーザ加工システム全体を制御
するＮＣ制御装置に接続されており、上記測定手段が測
定したパワーセンサの抵抗値がある値を越えた時に、上
記制御回路が、自動的に一定レーザ出力制御から、上記
記憶手段に記憶されたレーザ発振器の入出力特性に基づ
いて、一定電力制御に切り換えるとともに、このＮＣ制
御装置に警報信号を出力して、ＮＣ制御装置上の表示装
置に表示するようにしたので、第１の発明と同様、被加
工物が全て不良品になってしまうという不具合を未然に
防止できる効果があるとともに、パワーセンサの交換時
期が明確になり、レーザ加工作業者のメンテナンス上の
便宜を図ることができる効果がある。
【図１】第１の発明の一実施例におけるレーザ発振器の
出力制御装置の構成を示すブロック図である。
出力制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図１の破線内部を詳細に記述したブロック図で
ある。
ある。
【図３】第１の発明の一実施例におけるレーザ発振器の
一定電力制御を示すブロック図である。
一定電力制御を示すブロック図である。
【図４】第１の発明の一実施例におけるレーザ発振器の
パワーセンサの劣化を検出するステップを示すフローチ
ャート図である。
パワーセンサの劣化を検出するステップを示すフローチ
ャート図である。
【図５】第２の発明の一実施例におけるレーザ発振器の
出力制御装置の構成を示すブロック図である。
出力制御装置の構成を示すブロック図である。
【図６】図３の破線内部を詳細に記述したブロック図で
ある。
ある。
【図７】従来のレーザ発振器の出力制御装置の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
１ レーザ発振器 １ａ 電極 １ｂ 電極 １ｃ 放電 １ｄ レーザ媒質ガス ２ａ 出力ミラー ２ｂ 背面ミラー ３ レーザ出力 ３ａ モニタ出力 ４ パワーセンサ ４ａ 減衰器 ４ｂ パワーセンサ（熱電対） ５ 制御回路（手段） ５ａ 第１の増幅器 ５ｂ 演算器 ５ｃ 比較器 ５ｄ 基準電圧信号 ５ｅ ＡＮＤ回路 ５ｆ ラッチ回路 ５ｇ 第１の信号選択器 ５ｈ ビームＯＮ／ＯＦＦスイッチ ５ｉ 誤差増幅器 ５ｊ 制御電源 ５ｋ 制御電源のグラウンド ５ｌ バッファ回路 ５ｍ ラッチ回路５ｆの出力信号 ６ レーザ出力指令 ７ 電力指令（放電電流指令） ８ 電源装置 ８ａ 電流検出器 ９ 測定手段 ９ａ 第１の信号選択器 ９ｂ 抵抗器 ９ｃ 抵抗器 ９ｄ 抵抗器 ９ｅ 直流電圧源 ９ｆ ブリッジ回路上の点 ９ｇ ブリッジ回路上の点 １０ 記憶手段 １０ａ 記憶手段１０の入力信号 １０ｂ 記憶手段１０の出力信号 １１ ＮＣ制御装置 １１ａ 表示装置（ＣＲＴ）
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器と、このレーザ発振器に励
起電力を供給する電源装置と、上記レーザ発振器の出力
するレーザ光の強度を検出する検出手段と、この検出手
段に接続され上記検出手段の特性値を測定する測定手段
と、上記検出手段の出力信号に応じて出力される上記測
定手段の出力信号およびレーザ出力の強度を指令するレ
ーザ出力指令部からのレーザ出力指令とを入力とし上記
電源装置に対して電力指令を与える制御手段と、この制
御手段に接続され上記レーザ発振器の入出力特性が記憶
されている記憶手段から構成され、上記制御手段は、上
記レーザ出力指令及び上記検出手段の出力信号に基づい
て一定レーザ出力制御を行う部分と、上記記憶手段に記
憶された上記レーザ発振器の入出力特性に基づいた一定
電力制御にて制御を行なう部分とを有することを特徴と
するレーザ発振器の出力制御装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のレーザ発振器の出力制御
装置において、レーザ出力の強度を指令するレーザ出力
指令部がＮＣ制御装置内に備えられるとともに、検出手
段の特性値が異常状態を示す時に上記ＮＣ制御装置上に
上記検出手段の交換時期の表示をする表示部を備えるよ
うにしたことを特徴とするレーザ発振器の出力制御装
置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5001185A JP2830671B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | レーザ発振器の出力制御装置 |
| TW082100857A TW237572B (ja) | 1993-01-07 | 1993-02-09 | |
| DE4400184A DE4400184C2 (de) | 1993-01-07 | 1994-01-05 | Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung und -Regelverfahren für Laseroszillatoren |
| US08/178,002 US5499257A (en) | 1993-01-07 | 1994-01-06 | Output control apparatus for laser oscillator |
| US08/520,643 US5638389A (en) | 1993-01-07 | 1995-08-29 | Output control apparatus for laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5001185A JP2830671B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | レーザ発振器の出力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204596A true JPH06204596A (ja) | 1994-07-22 |
| JP2830671B2 JP2830671B2 (ja) | 1998-12-02 |
Family
ID=11494398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5001185A Expired - Lifetime JP2830671B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | レーザ発振器の出力制御装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5499257A (ja) |
| JP (1) | JP2830671B2 (ja) |
| DE (1) | DE4400184C2 (ja) |
| TW (1) | TW237572B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4803254B2 (ja) * | 2006-04-25 | 2011-10-26 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器並びに該レーザ発振器の電源装置並びに該レーザ発振器の制御方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1993-02-09 TW TW082100857A patent/TW237572B/zh active
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1994
- 1994-01-05 DE DE4400184A patent/DE4400184C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-01-06 US US08/178,002 patent/US5499257A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2830671B2 (ja) | 1998-12-02 |
| DE4400184C2 (de) | 2000-11-30 |
| US5638389A (en) | 1997-06-10 |
| TW237572B (ja) | 1995-01-01 |
| DE4400184A1 (de) | 1994-08-04 |
| US5499257A (en) | 1996-03-12 |
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|
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