DE4400184A1 - Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für Laseroszillatoren - Google Patents
Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für LaseroszillatorenInfo
- Publication number
- DE4400184A1 DE4400184A1 DE4400184A DE4400184A DE4400184A1 DE 4400184 A1 DE4400184 A1 DE 4400184A1 DE 4400184 A DE4400184 A DE 4400184A DE 4400184 A DE4400184 A DE 4400184A DE 4400184 A1 DE4400184 A1 DE 4400184A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser
- output
- value
- power
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
- H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/134—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ausgangsleistungs-
Regelvorrichtung für einen CO2-Gaslaseroszillator, der bei
der Laserbearbeitung, wie beispielsweise dem Schneiden,
verwendet wird.
Fig. 7 ist ein Blockschaltbild der Anordnung einer
Ausgangsleistungsregel- oder Steuervorrichtung für einen
Laseroszillator nach dem Stand der Technik. In Fig. 7 wird ein
Teil eines Laserausgangssignal 3, das von einem
Ausgangsspiegel 2a in einem Laseroszillator 1 zur Verfügung
gestellt wird, von einem hinteren Spiegel 2b im
Laseroszillator 1 abgezogen und einem Leistungssensor 4
zugeführt, der durch ein Thermoelement gebildet wird, um die
Intensität des Laserausgangssignals 3 zu ermitteln. Eine
Steuer- oder Regelschaltung 5 vergleicht und verstärkt ein
Fehlersignal zwischen dem Wert einer gewünschten Intensität
des Laserausgangssignals, vorgegeben durch einen
Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6, und dem Wert des
Ausgangssignals (proportional zur Intensität des
Laserausgangssignals 3) des Leistungssensors 4, und stellt
das Ergebnis einem Energieversorgungsgerät 8 als einen
Leistungsbefehlswert 7 zur Verfügung. Abhängig von dem
Leistungsbefehlswert 7 versorgt das Energieversorgungsgerät 8
den Laseroszillator 1 mit Erregungsleistung, wodurch eine
Laseroszillation durchgeführt wird. Eine
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung oder -steuerung wird
durch Erhöhen oder Verringern der Eingangsleistung
(Erregungsleistung) des Laseroszillators durchgeführt, so daß
das Laserausgangssignal 3, welches erfaßt und zurückgekoppelt
wird, gleich dem Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6 ist.
Es ist allgemein bekannt, daß bei der
Ausgangsleistungsregelvorrichtung für den CO2-
Gaslaseroszillator der Leistungssensor zur Erfassung des
Laserausgangssignals häufig durch ein Thermoelement gebildet
wird, dessen physikalische Eigenschaften sich im Verlauf der
Zeit ändern. Weiterhin zeigt die Erfahrung, daß die zeitliche
Änderung des Wertes nicht linear ist, und daß die
Eigenschaften sich abrupt ändern, wenn die Änderung einen
vorbestimmten Wert überschreitet.
Allerdings ist die konventionelle Ausgangsleistungs-
Regelvorrichtung für den Laseroszillator nicht mit einer
Einrichtung zum Messen der Werte oder der relevanten
physikalischen Eigenschaften des Leistungssensors versehen.
Ändert sich daher eine wesentliche Eigenschaft des
Leistungssensors plötzlich, und nimmt in extremen Fällen
dessen Detektorausgangswert den Wert Null an, beispielsweise
beim Schneiden eines Werkstücks mit Hilfe des
Laseroszillators, so wird die Laserausgangsleistungs-
Konstantregelung außer Betrieb gesetzt, was dazu führt, daß
alle nachfolgenden Werkstücke Fehler aufweisen. Ein
derartiger Fehler, der im unbemannten Langzeitbetrieb
auftritt, wie häufig bei Nacht, stellt für den Benutzer des
Laseroszillators ein schwerwiegendes Problem dar.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
derartige Schwierigkeiten zu überwinden.
Ein Vorteil der Erfindung besteht darin, daß verhindert wird,
daß Werkstücke fehlerhaft werden, wenn die Eigenschaften des
Leistungssensors sich plötzlich ändern und sich dessen
Detektorausgangswert abrupt ändert.
Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht in der Ausgabe
eines Alarmsignals, wenn sich die Eigenschaften des
Leistungssensors plötzlich geändert haben, wodurch der
Zeitpunkt der Änderung des Leistungssensors festgelegt wird.
Wenn bei der Ausgangsleistungsregel oder Steuervorrichtung
für den Laseroszillator gemäß der vorliegenden Erfindung der
Widerstandswert des Laserausgangsleistungsdetektors einen
vorgegebenen Wert überschritten hat, arbeitet die Steuer-
oder Regelschaltung so, daß sie automatisch von einer
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf
Konstantleistungsregelung umschaltet.
Wenn bei der Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für den
Laseroszillator gemäß der vorliegenden Erfindung der
Widerstandswert des Laserausgangsleistungsdetektors einen
vorbestimmten Wert überschritten hat, arbeitet die
Regelschaltung so, daß sie automatisch die
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf
Konstantleistungsregelung umschaltet und ein Alarmsignal an
die NC-Steuervorrichtung ausgibt.
Bei einer Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator gemäß der Erfindung sind folgende Teile
zusammengeschaltet: Ein Laseroszillator, ein
Energieversorgungsgerät zur Versorgung des Laseroszillators
mit Erregungsleistung, ein Detektor zur Erfassung der
Intensität eines Laserstrahls, der von dem Laseroszillator
ausgegeben wird, eine an die Detektoreinrichtung
angeschlossene Meßeinrichtung zur Messung von deren
Widerstandswert, und eine Steuer- oder Regelschaltung zum
Empfang des Ausgangssignals der Meßeinrichtung, welches in
Reaktion auf das Ausgangssignal der Detektoreinrichtung
ausgegeben wird, und eines externen Laserausgangsleistungs-
Befehlswertes, der die Intensität eines Laserausgangssignals
vorgibt, um einen Leistungsbefehlswert an das
Energieversorgungsgerät abzugeben. Ein Speicher ist an die
Regelschaltung angeschlossen, und in ihm ist die
Eingangs/Ausgangscharakteristik des Laseroszillators
gespeichert. Die Regelschaltung weist einen Abschnitt auf,
der im allgemeinen eine Laserausgangsleistungs-
Konstantregelung in Reaktion auf den Laserausgangsleistungs-
Befehlswert und das Detektorausgangssignal durchführt, sowie
einen Abschnitt, der eine Regelung dadurch ausführt, daß
automatisch die Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf
Konstantleistungsregelung umgeschaltet wird, auf der Basis
der Eingangs/Ausgangscharakteristik des Laseroszillators, die
in dem Speicher gespeichert ist, wenn der Widerstandswert des
Detektors, der durch die Meßeinrichtung gemessen wird, einen
vorbestimmten Wert überschritten hat.
Eine Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator gemäß der vorliegenden Erfindung ist die
Ausgangsregelvorrichtung für den Laseroszillator, bei welcher
ein Laserausgangsleistungs-Befehlsabschnitt, der die
Intensität des Laserausgangssignals vorgibt, in einer NC-
Steuervorrichtung angeordnet ist, welche ein gesamtes
Laserschneidsystem steuert oder regelt, und weiterhin in der
NC-Steuervorrichtung ein Anzeigeabschnitt vorgesehen ist, um
einen Detektoränderungszeitpunkt anzuzeigen, in Reaktion auf
die Eingabe eines Signals, welches durch die Regelschaltung
vorgegeben wird, wenn der Widerstandswert des Detektors, der
durch eine Meßeinrichtung gemessen wird, einen vorbestimmten
Wert überschritten hat.
Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch
dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus
welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:
Fig. 1 ein Blockschaltbild der Anordnung einer
Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator gemäß einer bevorzugten
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 2 ein Blockschaltbild mit Einzelheiten eines Teils,
welches durch eine gestrichelte Linie in Fig. 1
umschlossen ist;
Fig. 3 ein Blockschaltbild einer Konstantleistungs-
Regelung eines Laseroszillators gemäß der
Erfindung, und Fig. 3b eine Erläuterung einer
gespeicherten Eingangs-Ausgangscharakteristik;
Fig. 4 ein Flußdiagramm der Schritte zur Erfassung der
Verschlechterung der Eigenschaften eines
Leistungssensors für einen Laseroszillator gemäß
der Erfindung;
Fig. 5 ein Blockschaltbild der Anordnung einer
Ausgangsleistungsregelvorrichtung für einen
Laseroszillator gemäß einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung;
Fig. 6 ein Blockschaltbild von Einzelheiten eines Teils,
welches in Fig. 5 durch eine gestrichelte Linie
umgeben ist; und
Fig. 7 ein Blockschaltbild der Anordnung einer
Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator nach dem Stand der Technik.
In Fig. 1 veranlaßt in einem Laseroszillator 1 die von einem
Energieversorgungsgerät 8 zugeführt Energie das Auftreten
einer Entladung 1c zwischen einem Paar von Elektroden 1a und
1b, wodurch ein Lasermediumgas 1d angeregt wird, welches den
Laseroszillator 1 füllt. Zur Ausbildung eines optischen
Resonators, wodurch Laseroszillation erzeugt wird, ist ein
Ausgangsspiegel 2a auf einer Seite und ein hinterer Spiegel
2b auf der entgegengesetzten Seite angeordnet, wobei sich das
angeregte Lasermediumgas 1d dazwischen befindet.
Ein Laserausgangssignal 3 wird von dem Ausgangsspiegel 2a
nach außen des Laseroszillators 1 ausgegeben. Ein
Überwachungsausgangssignal 3a, welches einen Teil des
Laserausgangssignals 3 bildet, wird von dem hinteren Spiegel
2b des Laseroszillators 1 abgezogen und einem Leistungssensor
4 zugeführt, der durch ein Thermoelement gebildet wird,
wodurch die Intensität des Laserausgangssignals 3 erfaßt
wird. Eine Regelschaltung 5 empfängt den Wert eines
Laserausgangsleistungs-Befehlswertes 6 zur Vorgabe der
gewünschten Intensität des Laserausgangssignals sowie den
Wert des Ausgangssignals des Leistungssensors 4, vergleicht
und verstärkt ein Fehlersignal zwischen diesen beiden Werten,
und gibt das Ergebnis an ein Energieversorgungsgerät 8 als
einen Leistungsbefehlswert 7 ab.
Hierbei wird ein konventionelles Verfahren zur Anregung durch
eine stille Hochfrequenzentladung verwendet, um das
Lasermediumgas 1d zu erregen. Durch ordnungsgemäße Auswahl
der Entladungsspaltentfernung, des Mediumgasdrucks und des
Anteilverhältnisses des Mediumgases wird die
Entladungsspannung annähernd konstant gehalten.
Ein wohlbekannter mathematischer Ausdruck für die
Entladungsleistung ist nachstehend angegeben:
(Entladungsleistung = Entladungsspannung ×
Entladungsstrom).
Daher ist der Wert der Entladungsleistung proportional dem
Entladungsstromwert der Entladung 1c. Daher ist ein
Stromdetektor 8a auf einer Energieversorgungsleitung
vorgesehen, welche das Energieversorgungsgerät 8 mit den
Elektroden 1a, 1b verbindet, um den Entladungsstromwert der
Entladung 1c zu erfassen und zurückzukoppeln. Auf diese Weise
kann ein Leistungspegel proportional zum Wert des
Leistungsbefehlswertes 7 dem Laseroszillator 1 zugeführt
werden. Die Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform
führt nämlich dadurch eine Laserausgangsleistungs-
Konstantregelung durch, daß sie das Laserausgangssignal 3
erfaßt und rückkoppelt, und auf solche Weise die Leistung dem
Laseroszillator zuführt, daß der ermittelte und
rückgekoppelte Laserausgangsleistungswert gleich dem
Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6 ist. Mit anderen Worten
wird eine Laserausgangsleistungs-Konstantregelung dadurch
durchgeführt, daß der Leistungsbefehlswert 7 erhöht bzw.
verringert wird.
In Fig. 1 ist eine Meßvorrichtung 9 an den Leistungssensor 4
angeschlossen, um den Widerstandswert des Leistungssensors 4
zu messen. Diese Meßvorrichtung 9 ist weiterhin an die
Regelschaltung 5 angeschlossen und gibt an diese ein
Spannungssignal proportional zum gemessenen Widerstandswert
des Leistungssensors 4 aus.
Eine Speichervorrichtung 10 ist an die Regelschaltung 5
angeschlossen, und ihre Eingangsleitung und Ausgangsleitung
sind mit der Regelschaltung 5 verbunden. Die
Speichervorrichtung 10 speichert die
Eingangs/Ausgangscharakteristiken (die Beziehung zwischen dem
Entladungsstrom Id und der Laserausgangsleistung Wr) des
Laseroszillators 1 und arbeitet so, daß sie ein
Ausgangssignal 10b an die Regelschaltung 5 ausgibt, welches
einen Leistungsbefehlswert darstellt. Dieser Wert entspricht
dem Eingangssignal 10a, welches einen gewünschten
Laserausgangsleistungswert darstellt, von der Regelschaltung
5.
Fig. 2 zeigt die Einzelheiten eines Teils, welches in Fig. 1
von einer gestrichelten Linie umschlossen ist. In Fig. 2 ist
mit der Bezugsziffer 4a ein Dämpfungsglied zum proportionalen
Verringern des Überwachungsausgangssignals 3a auf einen
geeigneten Ausgangspegel bezeichnet, und mit 4b ein
Leistungssensor, der das Ausgangssignal des Dämpfungsgliedes
4a empfängt und durch ein Thermoelement gebildet wird. Ein
erster Signalselektor 9a ist an die Ausgangsleitungen des
Leistungssensors 4b angeschlossen und arbeitet so, daß er
wahlweise die Ausgangsleitungen des Leistungssensors 4b
entweder mit einem ersten Verstärker 5a verbindet (der später
beschrieben wird), oder mit einer (nachstehend beschriebenen)
Brückenschaltung, und zwar unter der Steuerung des
Ausgangssignals eines Puffers 51 (der später beschrieben
wird). Wenn das Ausgangssignal des Puffers 51 den Wert "1"
aufweist, werden daher die Ausgangsleitungen des
Leistungssensors 4b mit der nachstehend bestehenden
Brückenschaltung verbunden. Alternativ werden, wenn das
Ausgangssignal des Puffers 51 den Wert "0" aufweist, die
Ausgangsleitungen des Leistungssensors 4b an den nachstehend
beschriebenen ersten Verstärker 5a angeschlossen. Die
Brückenschaltung wird durch Widerstände 9b, 9c und 9d sowie
eine Gleichspannungsquelle 9e gebildet, welche eine Spannung
an die Brückenschaltung anlegt. Wenn durch den voranstehend
beschriebenen Betrieb des ersten Signalselektors 9a die
Ausgangsleitungen des Leistungssensors 4b mit der
Brückenschaltung verbunden sind, ergibt sich der
Widerstandswert r des Leistungssensors 4b aus dem
nachstehenden Ausdruck:
r = R(E - 2E0)/(E + 2E0) (Ω) (1)
(hierbei ist E 2E0, r R)
r bezeichnet den Widerstandswert des Leistungssensors 4b (Ω)
R den Widerstandswert der Widerstände 9b, 9c und d (Ω),
E gibt den Spannungswert der Gleichspannungsquelle 9e (V) an, und
E0 ist der Spannungswert, der zwischen 9f und 9g der Brückenschaltung erzeugt wird (V).
r bezeichnet den Widerstandswert des Leistungssensors 4b (Ω)
R den Widerstandswert der Widerstände 9b, 9c und d (Ω),
E gibt den Spannungswert der Gleichspannungsquelle 9e (V) an, und
E0 ist der Spannungswert, der zwischen 9f und 9g der Brückenschaltung erzeugt wird (V).
Wenn daher die Werte von R und E bekannt sind, und der Wert
von EO berechnet werden kann, stellt eine entsprechend
Ausdruck (1) durchgeführte Operation den Widerstandswert r
des Leistungssensors 4b zur Verfügung.
Nachstehend wird das Innere der Regelschaltung 5 beschrieben.
Wenn in Fig. 2 die Ausgangsleitungen des Leistungssensors 4b
durch den voranstehend beschriebenen Betrieb des ersten
Signalselektors 9a an den ersten Verstärker 5a angeschlossen
wurden, verstärkt der erste Verstärker 5a eine sehr kleine
Ausgangsspannung, die von dem Thermoelement erzeugt wird,
welches den Leistungssensor 4b bildet. Diese sehr kleine
Ausgangsspannung ist proportional zur Ausgangsintensität des
Laserausgangssignals 3. 5b ist eine Operatorschaltung, welche
eine zwischen zwei Punkte 9f und 9g in der Brückenschaltung
entwickelte Spannung empfängt, und eine Operation
entsprechend dem voranstehenden Ausdruck (1) durchführt, um
den Widerstandswert r des Leistungssensors 4b zu ermitteln.
5c bezeichnet einen Komparator, welcher das Ausgangssignal
der Operatorschaltung 5b empfängt sowie ein
Bezugsspannungssignal 5d. Ist der Ausgangssignalwert der
Operatorschaltung 5b größer oder gleich dem
Bezugsspannungssignalwert 5d, so gibt der Komparator 5c ein
Signal "1" aus. Wenn im Gegensatz hierzu der
Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b kleiner als der
Bezugsspannungssignalwert 5d ist, so gibt der Komparator 5c
ein Signal "0" aus. 5e bezeichnet eine bekannte UND-
Schaltung. Mit 5f ist eine Zwischenspeicherschaltung
bezeichnet, welche das Ausgangssignal der UND-Schaltung 5e
empfängt. Im Anfangszustand weist der Ausgang der
Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert "0" auf, sobald jedoch
das Eingangssignal den Wert "1" angenommen hat, arbeitet die
Zwischenspeicherschaltung 5f so, daß sie das Ausgangssignal
auf dem Wert "1" hält, bis sie zurückgesetzt wird. 5g
bezeichnet einen zweiten Signalselektor, der an die
Ausgangsleitung der Zwischenspeicherschaltung 5f
angeschlossen ist, und so ausgelegt ist, daß er als den
Leistungsbefehlswert 7 wahlweise entweder den Ausgang eines
Fehlerverstärkers 5i, der später beschrieben wird, oder den
Ausgang der Speichervorrichtung 10 an das
Energieversorgungsgerät 8 anschließt, unter der Steuerung des
Ausgangssignals der Zwischenspeicherschaltung 5f. Wenn das
Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert "1"
aufweist, so ist die Ausgangsleitung 10b der
Speichervorrichtung 10 an das Energieversorgungsgerät 8 als
der Leistungsbefehlswert 7 angeschlossen. Wenn andererseits
das Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert
"0" hat, so ist die Ausgangsleitung des Fehlerverstärkers 5i
an das Energieversorgungsgerät 8 als der Strombefehlswert 7
angeschlossen. 5i bezeichnet den Fehlerverstärker, der an den
zweiten Signalselektor 5g ein verstärktes Signal ausgibt,
welches von einem Vergleich zwischen dem Wert des
Laserausgangsleistungs-Befehlswertes 6 und dem Wert des
Ausgangssignals des ersten Verstärkers 5a herrührt. 5h
bezeichnet einen Schalter, der in Fig. 1 nicht dargestellt
ist, und so ausgelegt ist, daß er eine Auswahl zwischen
"EIN/AUS" des Laserausgangssignals 3 des Laseroszillators 1
trifft. Ist der Schalter 5h "geschlossen", so wird eine
Leistung, die nicht kleiner als der "Schwellenwert" für die
Laseroszillation ist, von dem Energieversorgungsgerät 8 an
den Laseroszillator 1 geliefert, um das Laserausgangssignal 3
zur Verfügung zu stellen. Dieser Zustand wird nachstehend als
"Strahl EIN" bezeichnet. Ist im Gegensatz hierzu der Schalter
5h "offen", so wird eine Leistung unterhalb des
"Schwellenwertes" für die Laseroszillation von dem
Energieversorgungsgerät 8 an den Laseroszillator 1 geliefert,
und daher tritt keine Laseroszillation auf, so daß das
Laserausgangssignal 3 nicht bereitgestellt wird. Dieser
Zustand wird nachstehend als "Strahl AUS" bezeichnet. 5j
bezeichnet eine Steuerenergieversorgung der Regelschaltung 5,
und mit 5k ist eine Masse der Steuerstromversorgung 5j
bezeichnet. Mit 51 ist die bekannte Pufferschaltung
bezeichnet, deren Eingang an den Schalter 5h angeschlossen
ist, und deren Ausgang den Wert "0" im Zustand "Strahl EIN"
aufweist, und den Wert "1" in dem Zustand "Strahl AUS".
Auf der Grundlage der Anordnung gemäß Fig. 1 und 2 und des
Flußdiagramms von Fig. 4 wird nachstehend der Betriebsablauf
gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben. Ursprünglich
wird zu Beginn (Schritt S-1) eine Ermittlung durchgeführt, ob
der Strahl EIN oder AUS ist (Schritt S-2). Im eingeschalteten
Zustand wird der Detektorvorgang nicht durchgeführt (Schritt
S-3). Ist der Strahl ausgeschaltet, so wird der
Detektorvorgang durchgeführt.
Ist der Schalter 5h "geschlossen" oder in dem Zustand "Strahl
EIN", so wird die Leistung nicht unterhalb des
"Schwellenwertes" für die Laseroszillation von dem
Energieversorgungsgerät 8, wie voranstehend beschrieben, dem
Laseroszillator 1 zugeführt, wodurch die Laseroszillation
hervorgerufen und das Laserausgangssignal 3 zur Verfügung
gestellt wird. Da durch den Betrieb des ersten
Signalselektors 9a die Ausgangsleitungen des Leistungssensors
4b an den ersten Verstärker 5a angeschlossen sind, gibt zu
diesem Zeitpunkt die Regelschaltung 5 an den zweiten
Signalselektor 5g das Signal aus, welches von dem
Fehlerverstärker 5i verstärkt wurde, nach einem Vergleich
zwischen dem Wert des Laserausgangsleistungs-Befehlswertes 6
entsprechend der gewünschten Laserausgangsleistung und dem
Wert des Ausgangssignals des ersten Verstärkers 5a
entsprechend der Intensität des Laserausgangssignals 3. Da zu
diesem Zeitpunkt das Ausgangssignal der
Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert "0" hat, hat der zweite
Signalselektor 5g so gearbeitet, daß er die Ausgangsleitung
des Fehlerverstärkers 5i mit dem Energieversorgungsgerät 8
als Leistungsbefehlswert 7 (also Entladungsstrombefehlswert)
verbunden hat. In dem Zustand "Strahl EIN" wird daher eine
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung durchgeführt, durch
Erhöhen oder Verringern der Eingangsleistung (mit anderen
Worten: des Entladungsstroms) des Laseroszillators, so daß
das erfaßte und rückgekoppelte Laserausgangssignal 3 gleich
dem Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6 ist.
Nachstehend wird der Betrieb in dem Zustand "Strahl AUS"
beschrieben, der auf den Schritt S-2 folgt. In dem Zustand
"Strahl AUS" wird eine Leistung unterhalb des
"Schwellenwertes" für Laseroszillation von dem
Energieversorgungsgerät 8, wie voranstehend beschrieben, dem
Laseroszillator 1 zugeführt, so daß keine Laseroszillation
auftritt und das Laserausgangssignal 3 nicht vorhanden ist.
Zu diesem Zeitpunkt sind die Ausgangsleitungen des
Leistungssensors 4b mit der Brückenschaltung durch den
Betrieb des ersten Signalselektors 9a (Schritt S-5)
verbunden. Zwischen den Punkten 9f und 9g der
Brd eine Leistungwird eine Spannung erzeugt (Schritt S-6).
Durch die Operatorschaltung 5b wird mit dieser Spannung eine
Operation vorgenommen, um den Widerstandswert r des
Leistungssensors 4b zu ermitteln (Schritt S-7) . Der
Komparator 5c vergleicht das Ausgangssignal der
Operatorschaltung 5b, also den Spannungswert, welcher dem
Widerstandswert des Leistungssensors 4b entspricht, mit dem
Wert des Bezugsspannungssignals 5d, welcher als Bezugswert
zur Ermittlung der Verschlechterung der Eigenschaften des
Leistungssensors 4b dient (Schritt S-8). Ist der
Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b größer oder
gleich dem Bezugsspannungssignalwert 5d, so gibt der
Komparator 5c ein Signal "1" aus. Wenn im Gegensatz hierzu
der Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b kleiner als
der Bezugsspannungssignalwert 5d ist, so gibt der Komparator
5c ein Signal "0" aus (Schritt S-9) . Dies führt dazu, daß die
UND-Schaltung 5e ein Ausgangssignal "0" erzeugt (Schritt
S-10) und am Ausgang der Zwischenspeicherschaltung 5f immer
noch der Wert "0" anliegt (Schritt S-11). Dann wird als
Leistungsbefehlswert 7 die Ausgangsleitung des
Fehlerverstärkers 5i an das Energieversorgungsgerät 8
angeschlossen (Schritt S-12). Wenn daraufhin der Zustand
"Strahl EIN" auftritt, wird ein solcher Vorgang durchgeführt,
daß, wie voranstehend beschrieben, eine
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung durchgeführt wird.
Wenn im Gegensatz hierzu im Schritt S-8 ermittelt wird, daß
der Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b größer oder
gleich dem Bezugsspannungssignalwert 5d ist, so liegt am
Ausgang des Komparators 5c der Wert "1" an (Schritt S-13),
und im Zustand "Strahl AUS" weist auch der Ausgang der
Pufferschaltung 51 den Wert "1" auf. Daher ist das
Ausgangssignal der UND-Schaltung 5e "1" (Schritt S-14), und
das Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 5f ändert
sich auf den Wert "1" und wird zwischengespeichert (Schritt
S-15).
Wenn daraufhin der Zustand "Strahl EIN" auftritt, arbeitet
der zweite Signalselektor 5g so, daß er die Ausgangsleitung
10b der Speichervorrichtung 10 mit dem
Energieversorgungsgerät 8 als Leistungsbefehlswert 7 (also
als Entladungsstrombefehlswert) verbindet, wie voranstehend
erläutert. Im Zustand "Strahl EIN" wird nämlich der
Leistungsbefehlswert 7 (Entladungsstrombefehlswert)
entsprechend den gewünschten Laserausgangsleistungs-
Befehlswert 6 auf der Grundlage der
Eingangs/Ausgangscharakteristik (welche die Beziehung
zwischen der Laserausgangsleistung Wr und dem Entladungsstrom
Id repräsentiert) des Laseroszillators 1, die vorher in der
Speichervorrichtung 10 gespeichert wurde, ausgegeben, wodurch
eine Konstantleistungsregelung durchgeführt wird. Sobald das
Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 5f eine Änderung
auf den Wert "1" erfahren hat, bleibt es auf diesem Wert, bis
es zurückgesetzt wird (Schritt S-15), und daher wird die
Konstantleistungsregelung auch in dem nachfolgenden Zustand
"Strahl EIN" durchgeführt (Schritt S-16).
Fig. 3a ist ein Blockschaltbild zur Erläuterung des Falles,
in welchem bei der vorliegenden Erfindung, wie voranstehend
erläutert, eine Konstantleistungsregelung durchgeführt wird.
Nachstehend wird der Betriebsablauf beschrieben.
Die Regelschaltung 5 empfängt den Wert eines
Laserausgangsleistungs-Befehlswertes 6 (also einen
gewünschten Laserausgangsleistungswert) und gibt ihn als
Eingangssignal 10a an die Speichervorrichtung 10 aus.
Andererseits gibt die Speichervorrichtung 10 an die
Regelschaltung 5 ein Ausgangssignal 10b aus, welches dem
Eingangssignal 10a entspricht, und zwar dadurch, daß sie
dieses Signal auf der Grundlage einer vorher gespeicherten
Eingangs/Ausgangscharakteristik des Laseroszillators ausgibt.
Die gespeicherte Eingangs/Ausgangscharakteristik ist in
Fig. 3b dargestellt und kann entweder auf der Beziehung
zwischen der Laserausgangsleistung Wr und dem Entladungsstrom
Id oder auf der Beziehung zwischen Wr und der
Entladungsleistung Id beruhen. In Reaktion auf das Signal 10b
gibt die Regelschaltung 5 ein Ausgangssignal an das
Energieversorgungsgerät 8 als einen Strombefehlswert 7 (oder
einen Leistungsbefehlswert) aus. Das Energieversorgungsgerät
8 liefert Energie an die Elektroden 1a und 1b und koppelt
gleichzeitig den Entladungsstrom Id über den Stromdetektor 8a
zurück, und führt eine solche Regelung aus, daß der
Entladungsstrom Id (oder die Entladungsleistung Wd) gleich
dem Strombefehlswert 7 (oder dem Leistungsbefehlswert) ist.
Unter Bezugnahme auf Fig. 5 wird nachstehend eine weitere
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben, wobei
mit der Bezugsziffer 11 eine NC-Steuervorrichtung zum Steuern
bzw. Regeln eines gesamten Laserschneidsystems bezeichnet ist
(Oszillator, Kühlung, Antriebstisch, Schneidkopf usw.).
Fig. 6 zeigt die Einzelheiten eines Teils, welches in Fig. 5
von einer gestrichelten Linie umschlossen ist. In Fig. 5 ist
mit 5f eine Zwischenspeicherschaltung bezeichnet, welche das
Ausgangssignal der UND-Schaltung 5e empfängt, und mit 5m ist
ein Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 5f
bezeichnet, welches an die NC-Steuervorrichtung 11
angeschlossen ist. Die Bezugsziffer 6 bezeichnet einen von
der NC-Steuervorrichtung 11 an die Regelschaltung 5
ausgegebenen Laserausgangsleistungs-Befehlswert, und 5h
bezeichnet einen EIN/AUS-Strahlschalter, der von der NC-
Steuervorrichtung 11 an die Regelschaltung 5 ausgegeben wird.
Mit 11a ist ein Anzeigegerät (beispielsweise eine
Kathodenstrahlröhre) bezeichnet, welches auf der NC-
Steuervorrichtung 11 vorgesehen ist.
Auf der Grundlage der Fig. 5 und 6 wird nachstehend der
Betriebsablauf gemäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.
Wie im Betrieb der ersten Ausführungsform wird, wenn der
Schalter 5h "geschlossen" ist, sich also in dem Zustand
"Strahl EIN" befindet, Leistung nicht unterhalb des
"Schwellenwertes" für die Laseroszillation von dem
Energieversorgungsgerät 8, wie voranstehend beschrieben, an
den Laseroszillator 1 ausgegeben, wodurch die
Laseroszillation hervorgerufen und das Laserausgangssignal 3
zur Verfügung gestellt wird. Zu diesem Zeitpunkt sind die
Ausgangsleitungen des Leistungssensors 4b durch den Betrieb
des ersten Signalselektors 9a an den ersten Verstärker 5a
angeschlossen, wodurch die Regelschaltung 5 an den zweiten
Signalselektor 5g das Signal ausgibt, welches vom
Fehlerverstärker 5i verstärkt wurde, nach einem Vergleich
zwischen dem Wert des Laserausgangsleistungs-Befehlswertes 6
entsprechend der gewünschten Laserausgangsleistung und dem
Wert des Ausgangssignals des ersten Verstärkers 5a
entsprechend der Intensität des bereitgestellten
Laserausgangssignals 3. Da das Ausgangssignal der
Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert "0" hat, hat zu diesem
Zeitpunkt der zweite Signalselektor 5g so gearbeitet, daß er
die Ausgangsleitung des Federverstärkers 5i mit dem
Energieversorgungsgerät 8 als Leistungsbefehlswert 7
(Entladungsstrombefehlswert) verbunden hat. In dem Zustand
"Strahl EIN" wird nämlich eine Laserausgangsleistungs-
Konstantregelung dadurch durchgeführt, daß die
Eingangsleistung (der Entladungsstrom) des Laseroszillators
erhöht bzw. verringert wird, so daß das erfaßte und
rückgekoppelte Laserausgangssignal 3 gleich dem
Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6 ist. Da das
Ausgangssignal 5m der Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert
"0" hat, also "der Leistungssensor normal arbeitet", stellt
zu diesem Zeitpunkt das auf der NC-Steuervorrichtung 11
angebrachte Anzeigegerät keine Anzeige bezüglich des
Leistungssensors zur Verfügung.
Nachstehend wird der Betriebsablauf in dem Zustand "Strahl
AUS" beschrieben. In dem Zustand "Strahl AUS" wird eine
Leistung unterhalb des "Schwellenwertes" für die
Laseroszillation von dem Energieversorgungsgerät 8, wie
voranstehend beschrieben, dem Laseroszillator 1 zugeführt, so
daß keine Laseroszillation auftritt, und das
Laserausgangssignal 3 nicht zur Verfügung gestellt wird. Zu
diesem Zeitpunkt sind durch den Betrieb des ersten
Signalselektors 9a die Ausgangsleitungen des Leistungssensors
4b an die Brückenschaltung angeschlossen, und die zwischen
den Punkten 9f und 9g der Brückenschaltung erzeugte Spannung
erfährt eine Operation durch die Operatorschaltung 5b, um den
Widerstandswert des Leistungssensors 4b zu ermitteln. Der
Komparator 5c vergleicht das Ausgangssignal der
Operatorschaltung 5b, also den Spannungswert entsprechend dem
Widerstandswert des Leistungssensors 4b, mit dem Wert des
Bezugsspannungssignals 5d, welcher als Indikator für die
Verschlechterung der Eigenschaften des Leistungssensors 4b
dient. Ist der Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b
größer oder gleich dem Bezugsspannungssignalwert 5d, so gibt
der Komparator 5c ein Signal "1" aus. Ist im Gegensatz hierzu
der Ausgangssignalwert des Operators 5b kleiner als der
Bezugsspannungssignalwert 5d, so gibt der Komparator 5c ein
Signal "0" aus.
Wenn nunmehr der Ausgangssignalwert der Operatorschaltung 5b
kleiner als der Bezugsspannungssignalwert 5d ist, so bleibt
der Ausgang der Zwischenspeicherschaltung 5f auf dem Wert
"0". Tritt daher daraufhin der Zustand "Strahl EIN" auf, so
wird ein solcher Betrieb durchgeführt, daß, wie voranstehend
beschrieben, eine Laserausgangsleistung-Konstantregelung
erfolgt.
Ist im Gegensatz hierzu der Ausgangssignalwert der
Operatorschaltung 5b größer oder gleich dem
Bezugsspannungssignalwert 5d, so liegt am Ausgang des
Komparators 5c der Wert "1" an, und auch am Ausgang der
Pufferschaltung 51 liegt der Wert "1" an. Daher weist der
Ausgang der UND-Schaltung 5e den Wert "1" auf, und das
Ausgangssignal der Zwischenspeicherschaltung 4f ändert sich
auf den Wert "1" und wird zwischengespeichert. Da das
Ausgangssignal 5m der Zwischenspeicherschaltung 5f den Wert
"1" aufweist, also "der Leistungssensor fehlerhaft ist",
zeigt zu diesem Zeitpunkt das auf der NC-Steuervorrichtung 1
angebrachte Anzeigegerät den "Änderungszeitpunkt des
Leistungssensors" an. Wenn daraufhin der Zustand "Strahl EIN"
auftritt, arbeitet daher der zweite Signalselektor 5g so, daß
er die Ausgangsleitung 10b der Speichereinrichtung 10 an das
Energieversorgungsgerät 8 als den Leistungsbefehlswert 7
(Entladungsstrombefehlswert) anschließt. In dem Zustand
"Strahl EIN" wird daher der Leistungsbefehlswert 7
(Strombefehlswert) entsprechend dem gewünschten
Laserausgangsleistungs-Befehlswert 6 ausgegeben, auf der
Grundlage der Eingangs/Ausgangscharakteristik (welche die
Beziehung zwischen der Laserausgangsleistung Wr und dem
Entladungsstrom Id repräsentiert) des Laseroszillators 1,
welche vorher in der Speichereinrichtung 10 gespeichert
wurde, wodurch eine Konstantleistungsregelung durchgeführt
wird. Sobald sich das Ausgangssignal der
Zwischenspeicherschaltung 5f auf den Wert "1" geändert hat,
bleibt es auf diesem Wert, bis die Schaltung zurückgesetzt
wird, wodurch die Konstantleistungsregelung auch in dem
darauffolgenden Zustand "Strahl EIN" durchgeführt wird.
Entsprechend zeigt das auf der NC-Steuervorrichtung 11
angebrachte Anzeigegerät weiterhin den "Änderungszeitpunkt
des Leistungssensors" an.
Wenn bei der Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für den
Laseroszillator gemäß der vorliegenden Erfindung der
Widerstandswert des Leistungssensors, der durch die
Meßeinrichtung gemessen wird, einen vorbestimmten Wert
überschritten hat, schaltet die Regelschaltung automatisch
von Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf
Konstantleistungsregelung um. Wenn sich daher die
Eigenschaften des Leistungssensors plötzlich ändern, sein
Detektorausgangswert den Wert "0" annimmt, und die
Laserausgangsleistungs-Konstantregelung während des
Schneidens eines Werkstückes durch den Laseroszillator außer
Betrieb gesetzt wird, verhindert daher die Erfindung, daß
sämtliche Werkstücke defekt werden.
Bei der Ausgangsleistungsregelvorrichtung für den
Laseroszillator gemäß der zweiten Ausführungsform ist die
Regelschaltung an die NC-Steuervorrichtung zum Steuern des
gesamten Laserschneidsystems angeschlossen, und wenn der
Widerstandswert des Leistungssensors, der durch die
Meßeinrichtung gemessen wird, einen vorbestimmten Wert
überschritten hat, schaltet die Regelschaltung automatisch
die Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf die
Konstantleistungsregelung um, auf der Grundlage der
Eingangs/Ausgangscharakteristik des Laseroszillators, die in
der Speichereinrichtung gespeichert ist, und gibt weiterhin
ein Alarmsignal an die NC-Steuervorrichtung aus, wodurch eine
Anzeige auf dem Anzeigegerät der NC-Steuervorrichtung zur
Verfügung gestellt wird. Wie bei der ersten Ausführungsform
verhindert daher auch die zweite Ausführungsform, daß
sämtliche Werkstücke Defekte aufweisen, und macht darüber
hinaus deutlich, zu welchem Zeitpunkt sich die Eigenschaften
des Leistungssensors geändert haben, was den Benutzern der
Laserschneidvorrichtung die Wartung erleichtert.
Weiterhin wird darauf hingewiesen, daß durch Bezugnahme die
gesamte Offenbarung jeder ausländischen Patentanmeldung,
deren Auslandspriorität in der vorliegenden Anmeldung
beansprucht wird, in die vorliegende Anmeldung so durch
Bezugnahme eingeschlossen werden soll, als wäre sie hier
offenbart.
Zwar wurde die vorliegende Erfindung anhand zumindest einer
bevorzugten Ausführungsform mit einem gewissen Ausmaß
bestimmter Einzelheiten beschrieben, jedoch wird darauf
hingewiesen, daß die vorliegende Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsform nur beispielhaft erfolgte, und daß sich
zahlreiche Änderungen der Einzelheiten und der Anordnung der
Einzelteile vornehmen lassen, ohne vom Wesen und Umfang der
vorliegenden Erfindung abzuweichen.
Claims (12)
1. Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator, gekennzeichnet durch:
einen Laseroszillator;
ein Energieversorgungsgerät zur Versorgung des Laseroszillators mit Erregungsleistung;
einen Detektor zur Erfassung der Intensität eines von dem Laseroszillator ausgegebenen Laserstrahls;
eine an den Detektor angeschlossene Meßeinrichtung zur Messung des Widerstandswertes des Detektors und zur Ausgabe eines entsprechenden Meßsignals; und
eine Regelschaltung zum Empfangen des Ausgangssignals der Meßeinrichtung und eines externen Laserausgangsleistungs-Befehlswertes, welcher die Intensität der Laserausgangsleistung vorgibt, und zur Abgabe eines Leistungsbefehlswertes an das Energieversorgungsgerät;
wobei die Regelschaltung so ausgebildet ist, daß sie in Reaktion auf den Laserausgangsleistungs-Befehlswert und das Detektorausgangssignal eine Laserausgangsleistungs- Konstantregelung durchführt, und automatisch die Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf eine Konstantleistungsregelung umschaltet, wenn der Widerstandswert des Detektors, der durch die Meßeinrichtung gemessen wird, einen vorbestimmten Wert überschritten hat.
einen Laseroszillator;
ein Energieversorgungsgerät zur Versorgung des Laseroszillators mit Erregungsleistung;
einen Detektor zur Erfassung der Intensität eines von dem Laseroszillator ausgegebenen Laserstrahls;
eine an den Detektor angeschlossene Meßeinrichtung zur Messung des Widerstandswertes des Detektors und zur Ausgabe eines entsprechenden Meßsignals; und
eine Regelschaltung zum Empfangen des Ausgangssignals der Meßeinrichtung und eines externen Laserausgangsleistungs-Befehlswertes, welcher die Intensität der Laserausgangsleistung vorgibt, und zur Abgabe eines Leistungsbefehlswertes an das Energieversorgungsgerät;
wobei die Regelschaltung so ausgebildet ist, daß sie in Reaktion auf den Laserausgangsleistungs-Befehlswert und das Detektorausgangssignal eine Laserausgangsleistungs- Konstantregelung durchführt, und automatisch die Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf eine Konstantleistungsregelung umschaltet, wenn der Widerstandswert des Detektors, der durch die Meßeinrichtung gemessen wird, einen vorbestimmten Wert überschritten hat.
2. Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß weiterhin eine Speichereinrichtung, die an die
Regelschaltung angeschlossen ist, vorgesehen ist, um
eine Eingangs/Ausgangscharakteristik des
Laseroszillators zu speichern.
3. Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Konstantleistungsregelung auf der Grundlage der
Eingangs/Ausgangscharakteristik des Laseroszillators,
die in der Speichereinrichtung gespeichert ist,
durchgeführt wird.
4. Ausgangsleistungsregelvorrichtung für einen
Laseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß weiterhin vorgesehen sind:
ein Laserausgangsleistungs-Befehlsabschnitt zur Vorgabe der gewünschten Intensität des Laserausgangssignals, wobei der Abschnitt in einer NC-Vorrichtung angeordnet ist, welche ein gesamtes Laserschneidsystem steuert; und
ein Anzeigeabschnitt zur Anzeige von Information bezüglich Änderungen des Detektors.
ein Laserausgangsleistungs-Befehlsabschnitt zur Vorgabe der gewünschten Intensität des Laserausgangssignals, wobei der Abschnitt in einer NC-Vorrichtung angeordnet ist, welche ein gesamtes Laserschneidsystem steuert; und
ein Anzeigeabschnitt zur Anzeige von Information bezüglich Änderungen des Detektors.
5. Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für einen
Laseroszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Information ein Änderungszeitpunkt des Detektors
ist, der in Reaktion auf die Eingabe eines von der
Regelschaltung ausgegebenen Signals zur Verfügung
gestellt wird, wenn der Widerstandswert des Detektors,
der durch die Meßeinrichtung gemessen wird, einen
vorbestimmten Wert überschritten hat.
6. Ausgangsleistungs-Regelverfahren für ein
Laseroszillatorsystem, welches einen Laseroszillator
aufweist, ein Energieversorgungsgerät zur Zufuhr von
Erregungsleistung zum Laseroszillator, sowie einen
Detektor zur Ermittlung der Intensität eines
Laserstrahls, der von dem Laseroszillator abgegeben
wird, mit folgenden Schritten:
Messung zumindest eines Funktionsparameters des Oszillatorsystems; und
automatisches Umschalten von einer Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf eine Konstantleistungsregelung in Reaktion auf den Meßschritt.
Messung zumindest eines Funktionsparameters des Oszillatorsystems; und
automatisches Umschalten von einer Laserausgangsleistungs-Konstantregelung auf eine Konstantleistungsregelung in Reaktion auf den Meßschritt.
7. Regelverfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß weiterhin die Konstantleistungsregelung auf der
Grundlage der Eingangs/Ausgangscharakteristik des
Laseroszillators durchgeführt wird.
8. Regelverfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß weiterhin die Eingangs/Ausgangscharakteristik für
den Einsatz gespeichert wird, wenn der
Funktionsparameter einen gewünschten Wert überschreitet.
9. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
der Systemfunktionsparameter ein Parameter ist, der in
Beziehung zur Funktion des Detektors steht.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
der Detektorparameter ein Widerstandswert ist.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß
weiterhin der Empfang eines Ergebnisses des Meßschrittes
und eines externen Laserausgangsleistungs-Befehlswertes
vorgesehen ist, welcher die Intensität eines
Laserausgangssignals angibt, und zur Vorgabe eines
Leistungsbefehlswerts für das Energieversorgungsgerät
dient, und weiterhin eine Laserausgangsleistungs-
Konstantregelung in Reaktion auf den
Laserausgangsleistungs-Befehlswert und den gemessen
Parameterwert durchgeführt wird.
12. Ausgangsleistungs-Regelverfahren für einen
Laseroszillator nach Anspruch 11, dadurch
gekennzeichnet, daß darüber hinaus die Zeitpunkte der
Änderungen des Parameters angezeigt werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5001185A JP2830671B2 (ja) | 1993-01-07 | 1993-01-07 | レーザ発振器の出力制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4400184A1 true DE4400184A1 (de) | 1994-08-04 |
DE4400184C2 DE4400184C2 (de) | 2000-11-30 |
Family
ID=11494398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4400184A Expired - Fee Related DE4400184C2 (de) | 1993-01-07 | 1994-01-05 | Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung und -Regelverfahren für Laseroszillatoren |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5499257A (de) |
JP (1) | JP2830671B2 (de) |
DE (1) | DE4400184C2 (de) |
TW (1) | TW237572B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007030398A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-02 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Temperatur und/oder einer temperaturabhängigen Kenngröße eines optischen Elements |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3315556B2 (ja) * | 1994-04-27 | 2002-08-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
JP3837626B2 (ja) * | 1998-10-29 | 2006-10-25 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ加工装置 |
US6947802B2 (en) * | 2000-04-10 | 2005-09-20 | Hypertherm, Inc. | Centralized control architecture for a laser materials processing system |
US20030174744A1 (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-18 | Reilly Timothy J. | Digital control of burst mode laser |
US7186947B2 (en) | 2003-03-31 | 2007-03-06 | Hypertherm, Inc. | Process monitor for laser and plasma materials processing of materials |
KR100576156B1 (ko) * | 2003-10-22 | 2006-05-03 | 삼성전자주식회사 | 댐이 형성된 반도체 장치 및 그 반도체 장치의 실장 구조 |
JP2005158984A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Fanuc Ltd | レーザ発振器 |
JP2005268558A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Fanuc Ltd | レーザ装置 |
US20060163220A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-07-27 | Brandt Aaron D | Automatic gas control for a plasma arc torch |
DE112006003867B4 (de) * | 2006-04-25 | 2012-01-26 | Mitsubishi Denki K.K. | Laseroszillatorvorrichtung, Energieversorgungsvorrichtung und zugeordnetes Steuerungsverfahren |
JP2008028317A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Fanuc Ltd | レーザ装置 |
US8731014B2 (en) | 2012-02-02 | 2014-05-20 | Coherent, Inc. | Output-power control apparatus for a CO2 gas-discharge laser |
CN103606801A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-02-26 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种反馈控制的封离式二氧化碳激光管 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0328656A1 (de) * | 1987-07-13 | 1989-08-23 | Fanuc Ltd. | Verfahren zur korrektur der laserausgangsleistung |
EP0429652A1 (de) * | 1989-01-23 | 1991-06-05 | Fanuc Ltd. | Laser, angeregt durch hf-entladung |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4745614A (en) * | 1986-08-20 | 1988-05-17 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Silent discharge type laser device |
JPH01161883A (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-26 | Nec Corp | ガスレーザ発振器 |
JPH0714090B2 (ja) * | 1988-11-24 | 1995-02-15 | 株式会社島津製作所 | エキシマレーザ装置 |
DE3940205B4 (de) * | 1988-12-05 | 2007-09-13 | Ricoh Co., Ltd. | Halbleiterlaser-Steuereinrichtung |
JPH0330452A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-08 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JPH03202808A (ja) * | 1989-12-28 | 1991-09-04 | Toshiba Corp | レーザ発振器の光量制御装置 |
CH679816A5 (de) * | 1990-02-15 | 1992-04-15 | Ingbuero Fuer Laser Technologi | |
US5003624A (en) * | 1990-03-29 | 1991-03-26 | Hughes Aircraft Company | Automatic bias controller for electro-optic modulator |
JPH04123483A (ja) * | 1990-09-14 | 1992-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ出力制御装置 |
FR2680883B1 (fr) * | 1991-08-30 | 1993-11-19 | Alcatel Cit | Procede et dispositif de commande d'un convertisseur de longueur d'onde optique. |
JPH0590691A (ja) * | 1991-09-26 | 1993-04-09 | Sharp Corp | レーザ光出力制御装置 |
US5280536A (en) * | 1991-10-11 | 1994-01-18 | Coherent, Inc. | Method and apparatus for supplying pulsed power to an ophthalmic laser system |
US5272716A (en) * | 1991-10-15 | 1993-12-21 | Mcdonnell Douglas Corporation | Hand held laser apparatus |
FR2694423B1 (fr) * | 1992-07-30 | 1994-12-23 | France Telecom | Dispositif de contrôle de la puissance de sortie des diodes laser. |
-
1993
- 1993-01-07 JP JP5001185A patent/JP2830671B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1993-02-09 TW TW082100857A patent/TW237572B/zh active
-
1994
- 1994-01-05 DE DE4400184A patent/DE4400184C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-01-06 US US08/178,002 patent/US5499257A/en not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-29 US US08/520,643 patent/US5638389A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0328656A1 (de) * | 1987-07-13 | 1989-08-23 | Fanuc Ltd. | Verfahren zur korrektur der laserausgangsleistung |
EP0429652A1 (de) * | 1989-01-23 | 1991-06-05 | Fanuc Ltd. | Laser, angeregt durch hf-entladung |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
HOSTACHE, G. u.a.: Couples thermoElectriques d dEfunition spatiotemporelle fine. In US-Z.: Revue GEnErale de Thermique, No. 299, 1986, S. 539-543 * |
JP 2-143479 (A). In: Patents Abstr. of Japan, Sect. E, Vol. 14 (1990), No. 387 (E-967) * |
JP 4-123483 (A). In: Patents Abstr. of Japan, Sect. E, Vol. 16 (1992), No. 381 (E-1248) * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007030398A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-02 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Temperatur und/oder einer temperaturabhängigen Kenngröße eines optischen Elements |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06204596A (ja) | 1994-07-22 |
US5638389A (en) | 1997-06-10 |
JP2830671B2 (ja) | 1998-12-02 |
TW237572B (de) | 1995-01-01 |
DE4400184C2 (de) | 2000-11-30 |
US5499257A (en) | 1996-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4400184A1 (de) | Ausgangsleistungs-Regelvorrichtung für Laseroszillatoren | |
DE3127637A1 (de) | "anordnung zur feststellung des fuellstands in einem behaelter" | |
DE102007036505A1 (de) | Verfahren , Vorrichtung und System zur Ermittlung einer Schweißgeschwindigkeit bei einem manuell ausgeführten Lichtbogenschweißvorgang | |
DE3711771C2 (de) | ||
DE3324333C2 (de) | Verfahren zur Überwachung eines elektronisch gesteuerten Schraubers | |
DE19536199A1 (de) | Verfahren zur Einstellung des Schaltpunktes bei einem kapazitiven Füllstandsgrenzschalter | |
CH678978A5 (de) | ||
DE102017129409A1 (de) | Kühlwassermanagementvorrichtung und diese aufweisende kühlwassermanagementeinheit | |
EP2669037A1 (de) | Schweißrauchreduzierung | |
DE102014210699A1 (de) | Schweisssteuerung und verfahren zum überwachen einer reinigung eines schweisswerkzeugs sowie eine vorrichtung zum führen eines schweisswerkzeugs | |
WO2002092271A1 (de) | Verfahren zur überwachung des schweissvorgangs beim bolzenschweissen und vorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
DE10059659A1 (de) | Qualitätskontrolle beim Bolzenschweißen | |
EP0100787B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung für optimale Bolzenschweissung mit Spitzenzündung | |
DE60005153T2 (de) | Verfahren zur überwachung von schussfadenlauf/-stop-bedingungen | |
EP0186041B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Führung von Lichtbogenschweissköpfen mechanisierter Schweissanlagen | |
CH683389A5 (de) | Verfahren zum Anbringen eines Kontaktelementes am Ende eines kunststoffisolierten elektrischen Leiters. | |
DE102008007391A1 (de) | Ausfallfrüherkennung bei einer mit einer kontinuierlichen Folge von Spannungspulsen versorgten Glühkerze | |
EP0868290B1 (de) | Verfahren und elektroschweissgerät zum selbsttätigen schweissen von heizwendel-fittingen | |
DE2404136C3 (de) | Einrichtung zum Einstellen der Reinigungsgrenzen eines elektronischen Fadenreinigers | |
DE19636279A1 (de) | Messung von Schwingungen einer Elektrode eines Lichtbogenofens | |
EP4204176B1 (de) | Verfahren und schweissvorrichtung mit detektion von elektrischen kontakten bei einem schweissprozess | |
EP0309829A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der mechanischen Integrität einer Komponente | |
DE2512584C3 (de) | Vorrichtung zum Prüfen der Umhüllungen von Zigaretten auf Leckstellen | |
DE19758192A1 (de) | Funkenerosionseinrichtung | |
DE2257931A1 (de) | Verfahren zur fortlaufenden funktionsueberwachung eines mit einer ionisationskammer arbeitenden rauchdetektors, sowie vorrichtung zur durchfuehrung desselben |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |