JPH06199568A - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物Info
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- JPH06199568A JPH06199568A JP4360059A JP36005992A JPH06199568A JP H06199568 A JPH06199568 A JP H06199568A JP 4360059 A JP4360059 A JP 4360059A JP 36005992 A JP36005992 A JP 36005992A JP H06199568 A JPH06199568 A JP H06199568A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｑｕ（無負荷Ｑ）及びεr （比誘電率）を実
用的な特性範囲に維持しつつ、τｆ（共振周波数の温度
係数）をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側
とマイナス側の所望の値に任意に且つ精密に制御し得る
ことができるマイクロ波誘電体磁器組成物を提供する。 【構成】 本磁器組成物は、ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−
ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３≦ｘ≦０．９５〕で
示される組成を主成分とし、これに該主成分１００重量
部に対して２〜１２重量部のＣｏ2 Ｏ3 を添加含有させ
たものである。特にＣｏ2 Ｏ3 の添加量が６重量％、焼
成温度が１３５０〜１４５０℃の場合は、Ｑｕ（６ＭＨ
ｚ）が３７８０〜３９７０、τｆが−０．７４〜−０．
０３ｐｐｍ／℃、εr が２０．４〜２０．８、焼結密度
が３．８３〜３．８９ｇ／ｃｍ3 である。τf の変動は
約０．５（ｐｐｍ／℃）／１重量％Ｃｏ2 Ｏ3 と小さ
い。
用的な特性範囲に維持しつつ、τｆ（共振周波数の温度
係数）をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側
とマイナス側の所望の値に任意に且つ精密に制御し得る
ことができるマイクロ波誘電体磁器組成物を提供する。 【構成】 本磁器組成物は、ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−
ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３≦ｘ≦０．９５〕で
示される組成を主成分とし、これに該主成分１００重量
部に対して２〜１２重量部のＣｏ2 Ｏ3 を添加含有させ
たものである。特にＣｏ2 Ｏ3 の添加量が６重量％、焼
成温度が１３５０〜１４５０℃の場合は、Ｑｕ（６ＭＨ
ｚ）が３７８０〜３９７０、τｆが−０．７４〜−０．
０３ｐｐｍ／℃、εr が２０．４〜２０．８、焼結密度
が３．８３〜３．８９ｇ／ｃｍ3 である。τf の変動は
約０．５（ｐｐｍ／℃）／１重量％Ｃｏ2 Ｏ3 と小さ
い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）及び比誘電率（以下、単にεr とい
う。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の温度係数
（以下、単にτｆという。）をゼロに近づけることがで
き、更にＣｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによって、
τｆをゼロを中心としてプラス側とマイナス側に任意に
制御し得ることができるマイクロ波誘電体磁器組成物に
関するものである。本発明は、マイクロ波領域において
誘電体共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ
波回路のインピーダンス整合等に利用される。
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）及び比誘電率（以下、単にεr とい
う。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の温度係数
（以下、単にτｆという。）をゼロに近づけることがで
き、更にＣｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによって、
τｆをゼロを中心としてプラス側とマイナス側に任意に
制御し得ることができるマイクロ波誘電体磁器組成物に
関するものである。本発明は、マイクロ波領域において
誘電体共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ
波回路のインピーダンス整合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、単
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の誘電体
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτｆが＋８７〜−１００と
大きく変化し、０付近の小さな値に調整すること（特に
微調整すること）が困難である等の問題があった。
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτｆが＋８７〜−１００と
大きく変化し、０付近の小さな値に調整すること（特に
微調整すること）が困難である等の問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、Ｑｕ及びεr を実用的な特性範囲に維持しつつ、τ
ｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に且つ精密に制御し得ること
ができる誘電体磁器組成物を提供することを目的とす
る。
り、Ｑｕ及びεr を実用的な特性範囲に維持しつつ、τ
ｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に且つ精密に制御し得ること
ができる誘電体磁器組成物を提供することを目的とす
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、誘電体磁
器組成物において、高いＱｕ及びεr を維持しつつ、τ
ｆをゼロに近づけることができ、且つ焼成温度を変えて
も安定した品質を備える組成について種々検討した結
果、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによりこの欠点
が解消されることを見出して、本発明を完成するに至っ
たのである。
器組成物において、高いＱｕ及びεr を維持しつつ、τ
ｆをゼロに近づけることができ、且つ焼成温度を変えて
も安定した品質を備える組成について種々検討した結
果、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによりこの欠点
が解消されることを見出して、本発明を完成するに至っ
たのである。
【０００６】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、ｘＭ
ｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３
≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を主成分とし、これに
上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 １００重
量部に対して３〜１２重量部（以下、便宜上、３〜１２
重量％という。）のＣｏ2 Ｏ3 を添加含有させたことを
特徴とする。上記ｘが０．９３より小さいと、τｆが大
きな正の値をとるとともに、Ｑｕが小さくなり、逆に
０．９５を越えるとτｆが大きな負の値をとり、好まし
くないからである。また、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量が、３重
量％未満となるとτf がプラス側に大きくなり、また、
１２重量％を越えるとτf がマイナス側に大きくなり、
且つＱｕが小さくなるので、好ましくない。一方、これ
が３〜１２重量％の場合は、Ｑｕ及びεr をあまり低下
させずに実用的な範囲に収めつつ、τf をゼロ近辺の値
とすることができるからである。そして、ＣａＴｉＯ3
の混合割合（１−ｘ）が多くなるほど、Ｑｕは小さくな
り、εr は大きくなり、τｆはマイナスの値からプラス
の方向へ向かう傾向にある（表１）。また、Ｃｏ2 Ｏ3
の添加量が多くなるほど、Ｑｕは小さくなる傾向にあり
（図１）、εr はあまり変わらないもののやや小さくな
る傾向にあり（図２）、τｆはマイナスの方向に向かう
傾向にあり（図３）、焼結密度は上がる傾向にある（図
４）。
ｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３
≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を主成分とし、これに
上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 １００重
量部に対して３〜１２重量部（以下、便宜上、３〜１２
重量％という。）のＣｏ2 Ｏ3 を添加含有させたことを
特徴とする。上記ｘが０．９３より小さいと、τｆが大
きな正の値をとるとともに、Ｑｕが小さくなり、逆に
０．９５を越えるとτｆが大きな負の値をとり、好まし
くないからである。また、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量が、３重
量％未満となるとτf がプラス側に大きくなり、また、
１２重量％を越えるとτf がマイナス側に大きくなり、
且つＱｕが小さくなるので、好ましくない。一方、これ
が３〜１２重量％の場合は、Ｑｕ及びεr をあまり低下
させずに実用的な範囲に収めつつ、τf をゼロ近辺の値
とすることができるからである。そして、ＣａＴｉＯ3
の混合割合（１−ｘ）が多くなるほど、Ｑｕは小さくな
り、εr は大きくなり、τｆはマイナスの値からプラス
の方向へ向かう傾向にある（表１）。また、Ｃｏ2 Ｏ3
の添加量が多くなるほど、Ｑｕは小さくなる傾向にあり
（図１）、εr はあまり変わらないもののやや小さくな
る傾向にあり（図２）、τｆはマイナスの方向に向かう
傾向にあり（図３）、焼結密度は上がる傾向にある（図
４）。
【０００７】特に、上記Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量が６重量％
であり、且つ１３５０〜１４５０℃にて焼成した場合
は、表１及び図１〜８に示すように、Ｑｕが３７８０〜
３９７０、τｆが−０．７４〜−０．０３ｐｐｍ／℃、
εr が２０．４〜２０．８、焼結密度が３．８３〜３．
８９ｇ／ｃｍ3 であり、１００℃という広い温度範囲内
にて焼成しても、各性能のバラツキが少ないとともに優
れた性能を示している。特に、τｆが０ｐｐｍ／℃付近
の絶対値の極めて小さな値となり、且つ約０．５（ｐｐ
ｍ／℃）／１重量％Ｃｏ2 Ｏ3 を示し、大変好ましくτ
f の微調整も極めて容易である。以上より、Ｃｏ2 Ｏ3
の添加量及び適正で且つ広いな焼成温度範囲において、
これらの性能に優れ且つそのバランスのとれたものとな
るとともに、τf の微調整が容易で安定した品質のもの
となる。
であり、且つ１３５０〜１４５０℃にて焼成した場合
は、表１及び図１〜８に示すように、Ｑｕが３７８０〜
３９７０、τｆが−０．７４〜−０．０３ｐｐｍ／℃、
εr が２０．４〜２０．８、焼結密度が３．８３〜３．
８９ｇ／ｃｍ3 であり、１００℃という広い温度範囲内
にて焼成しても、各性能のバラツキが少ないとともに優
れた性能を示している。特に、τｆが０ｐｐｍ／℃付近
の絶対値の極めて小さな値となり、且つ約０．５（ｐｐ
ｍ／℃）／１重量％Ｃｏ2 Ｏ3 を示し、大変好ましくτ
f の微調整も極めて容易である。以上より、Ｃｏ2 Ｏ3
の添加量及び適正で且つ広いな焼成温度範囲において、
これらの性能に優れ且つそのバランスのとれたものとな
るとともに、τf の微調整が容易で安定した品質のもの
となる。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、Ｃｏ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．１％）
を出発原料として、表１〜３及び図１〜８に示すよう
に、組成式ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 ＋
ｙＣｏ2 Ｏ3 重量％〔ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）Ｃａ
ＴｉＯ3 １００重量部に対してＣｏ2 Ｏ3 ｙ重量部を意
味する。〕の各ｘとｙが変化した組成になるように、所
定量（全量として約５００ｇ）を秤量、混合した。尚、
表１はＣｏ2 Ｏ3 を含有せずにＣａＴｉＯ3 （１−ｘ）
の添加量を変化させたもの、表２は一定量のＣａＴｉＯ
3 （１−ｘ）を添加（構成）した場合において、Ｃｏ2
Ｏ3 の添加量を変化させたもの、表３は一定量のＣｏ2
Ｏ3 を添加した場合において、ＣａＴｉＯ3 の添加量を
変化させたものである。
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、Ｃｏ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．１％）
を出発原料として、表１〜３及び図１〜８に示すよう
に、組成式ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 ＋
ｙＣｏ2 Ｏ3 重量％〔ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）Ｃａ
ＴｉＯ3 １００重量部に対してＣｏ2 Ｏ3 ｙ重量部を意
味する。〕の各ｘとｙが変化した組成になるように、所
定量（全量として約５００ｇ）を秤量、混合した。尚、
表１はＣｏ2 Ｏ3 を含有せずにＣａＴｉＯ3 （１−ｘ）
の添加量を変化させたもの、表２は一定量のＣａＴｉＯ
3 （１−ｘ）を添加（構成）した場合において、Ｃｏ2
Ｏ3 の添加量を変化させたもの、表３は一定量のＣｏ2
Ｏ3 を添加した場合において、ＣａＴｉＯ3 の添加量を
変化させたものである。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】
【表３】
【００１２】その後、ミキサーで乾式による混合（２０
〜３０分）及び一次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて
１１００℃の温度で２時間仮焼した。次いで、この仮焼
粉末に適量の有機バインダー（２９ｇ）と水（３００〜
４００ｇ）を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９
０ｒｐｍ、２３時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥
（約０．４Ｔｏｒｒ、４０〜５０℃、約２０時間）によ
り造粒し、この造粒された原料を用いて１トン／ｃｍ2
のプレス圧で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状
に成形した。次に、この成形体を大気中、５００℃、３
時間にて脱脂し、その後、１３２５〜１４５０℃の範囲
の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、誘電体試料
（表１のＮｏ．１〜１２、表２のＮｏ．１〜２４、表３
のＮｏ．２５、２６）とした。
〜３０分）及び一次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて
１１００℃の温度で２時間仮焼した。次いで、この仮焼
粉末に適量の有機バインダー（２９ｇ）と水（３００〜
４００ｇ）を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９
０ｒｐｍ、２３時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥
（約０．４Ｔｏｒｒ、４０〜５０℃、約２０時間）によ
り造粒し、この造粒された原料を用いて１トン／ｃｍ2
のプレス圧で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状
に成形した。次に、この成形体を大気中、５００℃、３
時間にて脱脂し、その後、１３２５〜１４５０℃の範囲
の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、誘電体試料
（表１のＮｏ．１〜１２、表２のＮｏ．１〜２４、表３
のＮｏ．２５、２６）とした。
【００１３】そして、各試料につき、平行導体板型誘電
体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）等により、εr 、
Ｑｕ及びτｆ、更に、焼結密度をアルキメデス法により
測定した。尚、このτf は２０℃〜８０℃の温度領域で
測定し、τf ＝〔（ｆ(80 ℃）−ｆ(20 ℃）〕／〔ｆ(2
0 ℃) ×ΔＴ〕で算出した。このΔＴは８０℃−２０℃
＝６０℃である。尚、共振周波数は６ＧＨｚである。こ
れらの結果を表１〜３及び図１〜８に示す。また、一例
として、０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3
・３、６又は１２重量％Ｃｏ2 Ｏ3 の磁器組成物（１４
００℃で４時間焼成）についてのＸ線回折の結果を図１
０に示す。
体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）等により、εr 、
Ｑｕ及びτｆ、更に、焼結密度をアルキメデス法により
測定した。尚、このτf は２０℃〜８０℃の温度領域で
測定し、τf ＝〔（ｆ(80 ℃）−ｆ(20 ℃）〕／〔ｆ(2
0 ℃) ×ΔＴ〕で算出した。このΔＴは８０℃−２０℃
＝６０℃である。尚、共振周波数は６ＧＨｚである。こ
れらの結果を表１〜３及び図１〜８に示す。また、一例
として、０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3
・３、６又は１２重量％Ｃｏ2 Ｏ3 の磁器組成物（１４
００℃で４時間焼成）についてのＸ線回折の結果を図１
０に示す。
【００１４】これらの結果によれば、ｘＭｇＴｉＯ3 ・
（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 の（１−ｘ）が大きいとＱｕ値
は小さくなる傾向にあるが、逆にτｆとεr はプラス側
に大きくなる傾向がある。尚、焼結密度は、焼成温度が
高いほど大きくなる傾向にある。また、Ｃｏ2 Ｏ3 の添
加により、εr はあまり変わらないものの、Ｑｕ及びτ
ｆは小さくなる傾向にあり、焼結密度は増加する傾向に
ある。特に（１−ｘ）が０．０６及びＣｏ2 Ｏ3 の添加
量が６重量％の場合は、例えば焼成温度が１３７５℃の
場合をとると、τｆが−０．１０ｐｐｍ／℃、εr が２
０．８２、Ｑｕが３８７０、焼結密度が３．８９４であ
り、特に優れた性能バランスを示す。また、焼成温度を
１３５０〜１４５０℃とした場合は、Ｑｕ、εr 及びτ
f のいずれも、そのバラツキが極めて小さく（例えば、
Ｃｏ2 Ｏ3 ６重量％の場合、順次、３７８０〜３９７
０、２０．３５〜２０．８２、−０．０３〜−０．７４
ｐｐｍ／℃）、所望の品質のもを安定して得ることがで
きる。更に、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を変えても、同様に、
Ｑｕ、εr 及びτf のいずれも、そのバラツキが極めて
小さい（例えば、焼成温度が１４００℃の場合、順次、
３７００〜３９００、２０．４３〜２１．００、−０．
０５〜−３．１３ｐｐｍ／℃）。従って、Ｃｏ2Ｏ3 添
加量及び焼成温度を変えても、極めて安定した品質のも
のを製造できる。特に、τｆの微調整が極めて容易であ
る。
（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 の（１−ｘ）が大きいとＱｕ値
は小さくなる傾向にあるが、逆にτｆとεr はプラス側
に大きくなる傾向がある。尚、焼結密度は、焼成温度が
高いほど大きくなる傾向にある。また、Ｃｏ2 Ｏ3 の添
加により、εr はあまり変わらないものの、Ｑｕ及びτ
ｆは小さくなる傾向にあり、焼結密度は増加する傾向に
ある。特に（１−ｘ）が０．０６及びＣｏ2 Ｏ3 の添加
量が６重量％の場合は、例えば焼成温度が１３７５℃の
場合をとると、τｆが−０．１０ｐｐｍ／℃、εr が２
０．８２、Ｑｕが３８７０、焼結密度が３．８９４であ
り、特に優れた性能バランスを示す。また、焼成温度を
１３５０〜１４５０℃とした場合は、Ｑｕ、εr 及びτ
f のいずれも、そのバラツキが極めて小さく（例えば、
Ｃｏ2 Ｏ3 ６重量％の場合、順次、３７８０〜３９７
０、２０．３５〜２０．８２、−０．０３〜−０．７４
ｐｐｍ／℃）、所望の品質のもを安定して得ることがで
きる。更に、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を変えても、同様に、
Ｑｕ、εr 及びτf のいずれも、そのバラツキが極めて
小さい（例えば、焼成温度が１４００℃の場合、順次、
３７００〜３９００、２０．４３〜２１．００、−０．
０５〜−３．１３ｐｐｍ／℃）。従って、Ｃｏ2Ｏ3 添
加量及び焼成温度を変えても、極めて安定した品質のも
のを製造できる。特に、τｆの微調整が極めて容易であ
る。
【００１５】また、図１０に示すＸ線回折ピークの有無
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （■）を含み、他のピークと
してはＭｇＴｉ2 Ｏ4 （●）があり、Ｃｏ2 Ｏ3 との反
応生成物を含んでいないことを示している。また、Ｃｏ
2 Ｏ3 添加量の増加に伴いＭｇＴｉＯ3 の相対ピーク強
度が減少し、ＭｇＴｉ2 Ｏ4 の強度は増加する。Ｑｕの
低下は、ＭｇＴｉＯ3量の減少が原因と考えられる。
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （■）を含み、他のピークと
してはＭｇＴｉ2 Ｏ4 （●）があり、Ｃｏ2 Ｏ3 との反
応生成物を含んでいないことを示している。また、Ｃｏ
2 Ｏ3 添加量の増加に伴いＭｇＴｉＯ3 の相対ピーク強
度が減少し、ＭｇＴｉ2 Ｏ4 の強度は増加する。Ｑｕの
低下は、ＭｇＴｉＯ3量の減少が原因と考えられる。
【００１６】更に、図示しないが、電子顕微鏡写真の結
果によれば、焼成温度の上昇とともに粒子径が大きくな
り（１３５０℃；４．３０μｍ、１４００℃；５．３２
μｍ、１４５０℃；７．２０μｍ、いずれもIntercept
法により測定）。破断面組織はいずれも粒内破壊を示し
た。
果によれば、焼成温度の上昇とともに粒子径が大きくな
り（１３５０℃；４．３０μｍ、１４００℃；５．３２
μｍ、１４５０℃；７．２０μｍ、いずれもIntercept
法により測定）。破断面組織はいずれも粒内破壊を示し
た。
【００１７】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器組成
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによって、
τｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側と
マイナス側の所望の値に任意に制御し得ることができる
とともに、τｆを０付近に安定して調節できる。更に、
Ｃｏ2 Ｏ3 の添加により、広い温度範囲内において焼成
温度を種々変動させても、高品質な焼結体を安定して製
造できるし、またτｆの微調整が極めて容易である。
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、Ｃｏ2 Ｏ3 の添加量を加減することによって、
τｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側と
マイナス側の所望の値に任意に制御し得ることができる
とともに、τｆを０付近に安定して調節できる。更に、
Ｃｏ2 Ｏ3 の添加により、広い温度範囲内において焼成
温度を種々変動させても、高品質な焼結体を安定して製
造できるし、またτｆの微調整が極めて容易である。
【図１】各焼成温度により焼成されて製造された〔０．
９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3 ＋（３〜１
２）Ｃｏ2 Ｏ3 重量％〕磁器組成物において、Ｃｏ2 Ｏ
3量とＱｕとの関係を示すグラフである。
９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3 ＋（３〜１
２）Ｃｏ2 Ｏ3 重量％〕磁器組成物において、Ｃｏ2 Ｏ
3量とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図２】図１にて示す磁器組成物において、（３〜１２
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量とεr との関係を示すグラフであ
る。
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量とεr との関係を示すグラフであ
る。
【図３】図１にて示す磁器組成物において、（３〜１２
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量とτｆとの関係を示すグラフであ
る。
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量とτｆとの関係を示すグラフであ
る。
【図４】図１にて示す磁器組成物において、（３〜１２
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量と焼結密度との関係を示すグラフ
である。
重量％）Ｃｏ2 Ｏ3 量と焼結密度との関係を示すグラフ
である。
【図５】〔０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ
3 ＋（３〜１２）重量％Ｃｏ2 Ｏ3 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
3 ＋（３〜１２）重量％Ｃｏ2 Ｏ3 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図６】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
εr との関係を示すグラフである。
εr との関係を示すグラフである。
【図７】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
τｆとの関係を示すグラフである。
τｆとの関係を示すグラフである。
【図８】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
焼結密度との関係を示すグラフである。
焼結密度との関係を示すグラフである。
【図９】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
平均粒径との関係を示すグラフである。
平均粒径との関係を示すグラフである。
【図１０】〔０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉ
Ｏ3 ＋３、６又は１２重量％Ｃｏ2 Ｏ3 〕磁器組成物の
Ｘ線回折結果を示すグラフである。
Ｏ3 ＋３、６又は１２重量％Ｃｏ2 Ｏ3 〕磁器組成物の
Ｘ線回折結果を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】 ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ
3 〔但し、０．９３≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を
主成分とし、これに上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）Ｃ
ａＴｉＯ3 １００重量部に対して３〜１２重量部のＣｏ
2 Ｏ3 を添加含有させたことを特徴とするマイクロ波誘
電体磁器組成物。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36005992A JP3179916B2 (ja) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
| US08/101,252 US5340784A (en) | 1992-08-03 | 1993-08-02 | Microwave dielectric ceramic composition |
| DE69311768T DE69311768T2 (de) | 1992-08-03 | 1993-08-03 | Dielektrische keramische Zusammensetzung für Mikrowellen |
| EP93112424A EP0582274B1 (en) | 1992-08-03 | 1993-08-03 | Microwave dielectric ceramic composition |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36005992A JP3179916B2 (ja) | 1992-12-30 | 1992-12-30 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06199568A true JPH06199568A (ja) | 1994-07-19 |
| JP3179916B2 JP3179916B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=18467700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36005992A Expired - Lifetime JP3179916B2 (ja) | 1992-08-03 | 1992-12-30 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3179916B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7232781B2 (en) | 2003-01-24 | 2007-06-19 | Ube Industries, Ltd. | Dielectric ceramic composition, dielectric ceramic, and laminated ceramic part including the same |
| US8765621B2 (en) | 2008-11-25 | 2014-07-01 | Ube Industries, Ltd. | Dielectric ceramic composition for high-frequency use and method for producing the same, as well as dielectric ceramic for high-frequency use and method for producing the same and high-frequency circuit element using the same |
| CN110862256A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-06 | 深圳顺络电子股份有限公司 | 一种微波介质烧结粉体材料的制备方法、微波介质陶瓷及其应用 |
-
1992
- 1992-12-30 JP JP36005992A patent/JP3179916B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7232781B2 (en) | 2003-01-24 | 2007-06-19 | Ube Industries, Ltd. | Dielectric ceramic composition, dielectric ceramic, and laminated ceramic part including the same |
| US8765621B2 (en) | 2008-11-25 | 2014-07-01 | Ube Industries, Ltd. | Dielectric ceramic composition for high-frequency use and method for producing the same, as well as dielectric ceramic for high-frequency use and method for producing the same and high-frequency circuit element using the same |
| CN110862256A (zh) * | 2019-11-13 | 2020-03-06 | 深圳顺络电子股份有限公司 | 一种微波介质烧结粉体材料的制备方法、微波介质陶瓷及其应用 |
| CN110862256B (zh) * | 2019-11-13 | 2021-12-03 | 深圳顺络电子股份有限公司 | 一种微波介质烧结粉体材料的制备方法、微波介质陶瓷及其应用 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3179916B2 (ja) | 2001-06-25 |
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