JP2974829B2 - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents

マイクロ波誘電体磁器組成物

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    • H01B3/02Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances
    • H01B3/12Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties mainly consisting of inorganic substances ceramics
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B6/00Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
    • H05B6/64Heating using microwaves

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物(以下、単に誘電体磁器組成物という。)に関
し、更に詳しく言えば、共振周波数の温度係数(以下、
単にτf という。)をゼロに近づけることができ、また
ZnOの添加量を加減することによって、τf をゼロを
中心としてプラス側とマイナス側に任意に制御し得るこ
とである。本発明はマイクロ波領域において誘電体共振
器、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路のイ
ンピーダンス整合等に利用される。
【0002】
【従来の技術】従来の誘電体磁器組成物としては、Ba
O・3.9〜4.1TiO2 ・xZnO磁器組成物(特
公平1−37807号公報)、BaO・4TiO2 ・x
ZnO・yTa2 5 磁器組成物(特開昭61−108
06号公報)、BaO・4TiO2 ・xZnO・yWO
3 磁器組成物(特開昭61−10807号公報)及びB
aO・xTiO2 ・yTa2 5 ・zMnO2 磁器組成
物(特開昭61−10807号公報)等が知られてい
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の前三者の各誘電
体磁器組成物において、各添加剤の添加量によりτf
プラスからマイナスに到るものが製造されている。しか
し、これらにおいては焼結性が十分でない場合があり、
更に、同等若しくはそれ以上の性能を有する異なった組
成を有する新規な誘電体磁器組成物が望まれている。ま
た、上記最後の誘電体磁器組成物では、τf がマイナス
値となっていない。
【0004】本発明は、上記観点に鑑みてなされたもの
であり、誘電率(以下、単にεr という。)、無負荷Q
(以下、単にQuという。)を実用的な特性範囲に維持
しつつ、ZnO及びTa2 5 の添加量を加減すること
によって、τf をゼロを中心とした小さな値とすること
ができ、またτf をゼロを中心としてプラス側とマイナ
ス側の所望の値に任意に制御し得ることができる誘電体
磁器組成物を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、〔(Ba
O・xTiO2 )・yZnO〕・zTa2 5 系の誘電
体磁器組成物において、εr 及びQuを実用的な特性範
囲に維持しつつ、τf をゼロに近づける組成について種
々検討した結果、本発明を完成するに至ったのである。
即ち、本第1発明の誘電体磁器組成物は、酸化バリウ
ム、酸化チタン及び酸化亜鉛からなり、その組成式を
(BaO−3.8TiO2 )・xZnOで表したとき
に、xがBaO−3.8TiO2 に対して12≦x≦1
6重量%の範囲にある組成を主成分とし、副成分として
前記主成分に対して、Ta2 5 2〜6重量%を添加含
有させてなることを特徴とする。本第2発明の誘電体磁
器組成物は、その組成式を(BaO−3.7TiO2
・xZnOで表したときに、xがBaO−3.7TiO
2 に対して15≦x≦17重量%の範囲にある組成を主
成分とし、副成分として前記主成分に対して、Ta2
5 2〜6重量%を添加含有させてなることを特徴とす
る。本第3発明の誘電体磁器組成物は、その組成式を
(BaO−3.6TiO2 )・xZnOで表したとき
に、xがBaO−3.6TiO2 に対して17≦x≦1
9重量%の範囲にある組成を主成分とし、副成分として
前記主成分に対して、Ta2 5 2〜6重量%を添加含
有させてなることを特徴とする。
【0006】上記第1、2、3の発明において、上記組
成割合とするのは、Qu及びεr を実用的な特性範囲
(Qu;2200以上、εr ;26以上)を維持でき、
且つτf を、第1発明では+4.9〜−1.7と、第2
発明では+2.5〜−1.4と、第3発明では+4.1
〜−1.0と、小さく且つプラスからマイナスに任意に
制御できるからである。また、ZnOの添加はQ値及び
εr を向上させるためである。そして、Ta2 5 の添
加はQ値を向上させるだけでなく、τfを任意に制御さ
せるためである。更に、MnO2 の添加は、磁器の焼結
性を改善するものであり、比較的低温でも安定して焼結
できるためのものである。MnO2 の添加量は1重量%
以下でこの効果は十分にあり、1重量%を超えると、誘
電的特性等が著しく低下する場合がある。
【0007】本磁器組成物は、所定の原料を所定量混合
し、焼結して製造される。例えば、焼結後BaOとなる
原料粉末とTiO2 粉末とZnO粉末とTa2 5 粉末
とMnO2 粉末とを前記組成式に相当する量を混合し仮
焼して、仮焼粉末を製造し、これを用いて所定形状に成
形し、その後焼成して製造することができる。
【0008】
【実施例】以下実施例により本発明を具体的に説明す
る。 (1)各試料の作製 純度99.9%のBaCO3 粉末、TiO2 粉末、Zn
O粉末、Ta2 5 粉末、MnO2 粉末を出発原料とし
て、組成式;〔BaO−y(モル)TiO2 ・x重量%
ZnO〕・z重量%Ta2 5 ・0.2重量%MnO2
のyが3.8、3.7、3.6、xが12、14、16
重量%(yが3.8の場合;表1)、xが15、16、
17重量%(yが3.7の場合;表3)、xが17、1
8、19重量%(yが3.6の場合;表5)、zが2〜
6重量%(但し、y=3.8のときx=14;表2、y
=3.7のときx=17;表4、y=3.6のときx=
19;表6)の各組成になるように、所定量秤量混合す
る。尚、xの添加量はBaO−yTiO2 全体(100
重量部)に対する重量%(重量部)であり、Ta2 5
若しくはMnO2 の添加量はBaO−yTiO2 全体
(100重量部)に対する重量%(重量部)である。こ
れらの混合物をミキサーで乾式による一次粉砕及び混合
を施した後、大気雰囲気中900〜1000℃の温度で
2時間仮焼した。次いで、この仮焼粉末に適量の有機バ
インダーとイオン交換水(260〜500g)を加え、
20mmφのアルミナボールで二次粉砕した後、憤霧乾
燥により造粒し、この造粒された素地を1000kg/
cm2 のプレス圧で19mmφ×8mmt(厚さ)の円
柱状に成形した。
【0009】次にこの成形体を大気中、1175℃から
1275℃の温度で、4時間焼成し、最後に16mmφ
×6mmt(厚さ)の円柱状に研磨して、誘電体試料
(No.1〜78)とした。そして、各試料につき、平
行導体板型誘電体円柱共振器法(TE011 MODE)に
よりεr 、Qu値及びτf、更に焼結密度を測定した。
尚、共振周波数は4.5GHzである。
【0010】(2)性能評価 前記の各誘電体試料の特性を調べ、その結果を表1、表
2、表3、表4、表5、表6、図1、図2、図3、図
4、図5及び図6に示す。尚、表1、2及び図1、2は
BaO−3.8TiO2 系誘電体磁器組成物、表3、4
及び図3、4はBaO−3.7TiO2 系誘電体磁器組
成物、表5、6及び図5、6はBaO−3.6TiO2
系誘電体磁器組成物における性能を示したものである。
【0011】
【表1】
【0012】
【表2】
【0013】
【表3】
【0014】
【表4】
【0015】
【表5】
【0016】
【表6】
【0017】これらの結果によれば、BaO−3.8T
iO2 系の場合(表1、2及び図1、2)、τfは、全
て−1.09〜+3.85ppm/℃の範囲に入り、0
に近い小さな値を示した。また、このτf は、ZnO添
加量の増加とTa2 5 添加量の増加に従って正の値か
ら負の方向へと向かい、Ta2 5 4重量%、ZnO1
4重量%では0に近いプラス値となり、そのためZnO
14〜16重量%では、τfは0に近い値となる。ま
た、Ta2 5 4〜6重量%ではτfは0に近い値とな
る。 BaO−3.7TiO2 系の場合(表3、4及び図3、
4)、τfは、全て−2.37〜+3.36ppm/℃
の範囲に入り、0に近い小さな値を示した。また、この
τf は同様にZnO添加量の増加とTa2 5 添加量の
増加に従って正の値から負の方向へと向かい、Ta2
5 4重量%、ZnO17重量%では0に近いマイナス値
となり、そのためZnO16〜17重量%では、τfは
0に近い値となる。また、Ta2 5 2〜4重量%では
τfは0に近い値となる。更に、BaO−3.6TiO
2 系の場合(表5、6及び図5、6)も、τfは、全て
−1.49〜+3.54ppm/℃の範囲に入り、0に
近い小さな値を示した。また、このτf は、同様にZn
O添加量の増加とTa2 5 添加量の増加に従って正の
値から負の方向へと向かい、Ta2 5 4重量%、Zn
O19重量%では0に近いマイナス値となり、そのため
ZnO18〜19重量%では、τfは0に近い値とな
る。また、Ta2 5 2〜4重量%ではτfは0に近い
値となる。
【0018】また、焼成温度が高くなるに従ってQu値
は低下する傾向にあり、εr は増加する傾向にある。そ
して、このBaO−3.8TiO2 系の場合では、Qu
値は、測定できた範囲において2330〜3250であ
り、またεrは29.55〜33.41であり、焼結密
度は4.43〜4.77g/cm3 であり、いずれも大
きく十分に実用的な範囲にあるといえる。
【0019】BaO−3.7TiO2 系の場合では、Q
u値は、測定できた範囲において2510〜3210で
あり、またεrは27.7〜33.7であり、焼結密度
はNo.38を除いて4.30〜4.86g/cm3
あり、いずれも大きく十分に実用的な範囲にあるといえ
る。尚、No.38を除いて、1175℃、1200℃
の比較的低い焼成温度でも十分に緻密な焼結体が得られ
ている。尚、焼結密度が小さい場合にεr も小さい傾向
を示し、低εr の原因は、緻密化が不十分であると考え
られる。
【0020】更に、後者のBaO−3.6TiO2 系の
場合でも、Qu値は、測定できた範囲のうちNo.65
(焼成温度が1175℃の場合)を除いて2300〜2
990であり、またεrは測定できた範囲においては2
9.2〜33.2であり、焼結密度は測定できた範囲の
うちNo.64、66を除いて4.50〜4.86g/
cm3 であり、いずれも大きく十分に実用的なものであ
る。尚、この場合もNo.64、66を除いて、117
5℃、1200℃の比較的低い焼成温度でも十分に緻密
な焼結体が得られている。
【0021】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、BaOとなる原料も前記BaC
3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。
【0022】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器組成
物は、〔BaO−3.8(モル)TiO2 ・x重量%Z
nO(12≦x≦16)〕・2〜6重量%Ta2 5
0.2重量%MnO2 、又は〔BaO−3.7(モル)
TiO2 ・x重量%ZnO(15≦x≦17)〕・2〜
6重量%Ta2 5 ・0.2重量%MnO2 、又は〔B
aO−3.6TiO2 ・x重量%ZnO(17≦x≦1
9)〕・2〜6重量%Ta2 5 ・0.2重量%MnO
2 の組成式に加減することにより、εr 、Quを実用的
な特性範囲に維持しつつ、τf をゼロに近づけたもので
ある。また、本誘電体磁器組成物は、ZnOの添加量若
しくはTa2 5添加量を加減することによって、τf
をゼロを中心としてプラス側とマイナス側に任意に制御
されたものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】BaO−3.8TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のZnO添加量とτf
の関係を示すグラフである。
【図2】BaO−3.8TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のTa2 5 添加量とτ
f との関係を示すグラフである。
【図3】BaO−3.7TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のZnO添加量とτf
の関係を示すグラフである。
【図4】BaO−3.7TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のTa2 5 添加量とτ
f との関係を示すグラフである。
【図5】BaO−3.6TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のZnO添加量とτf
の関係を示すグラフである。
【図6】BaO−3.6TiO2 系誘電体磁器組成物に
おいて、焼成温度を変えた場合のTa2 5 添加量とτ
f との関係を示すグラフである。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 酸化バリウム、酸化チタン及び酸化亜鉛
    からなり、その組成式を(BaO−3.8TiO2 )・
    xZnOで表したときに、xがBaO−3.8TiO2
    に対して12≦x≦16重量%の範囲にある組成を主成
    分とし、副成分として前記主成分に対して、Ta2 5
    2〜6重量%を添加含有させてなることを特徴とするマ
    イクロ波誘電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】 酸化バリウム、酸化チタン及び酸化亜鉛
    からなり、その組成式を(BaO−3.7TiO2 )・
    xZnOで表したときに、xがBaO−3.7TiO2
    に対して15≦x≦17重量%の範囲にある組成を主成
    分とし、副成分として前記主成分に対して、Ta2 5
    2〜6重量%を添加含有させてなることを特徴とするマ
    イクロ波誘電体磁器組成物。
  3. 【請求項3】 酸化バリウム、酸化チタン及び酸化亜鉛
    からなり、その組成式を(BaO−3.6TiO2 )・
    xZnOで表したときに、xがBaO−3.6TiO2
    に対して17≦x≦19重量%の範囲にある組成を主成
    分とし、副成分として前記主成分に対して、Ta2 5
    2〜6重量%を添加含有させてなることを特徴とするマ
    イクロ波誘電体磁器組成物。
  4. 【請求項4】 上記請求項1〜3記載の誘電体磁器組成
    物に対し1重量%以下のMnO2 を配合してなることを
    特徴とするマイクロ波誘電体磁器組成物。
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