JP3179901B2 - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物Info
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 37
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims description 20
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 16
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 4
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017682 MgTi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017493 Nd 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 238000007580 dry-mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- YDZQQRWRVYGNER-UHFFFAOYSA-N iron;titanium;trihydrate Chemical compound O.O.O.[Ti].[Fe] YDZQQRWRVYGNER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N lead(II) oxide Inorganic materials [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の
温度係数（以下、単にτｆという。）をゼロに近づける
ことができ、更にＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合割合
を加減することによって、τｆをゼロを中心としてプラ
ス側とマイナス側に任意に制御し得ることができるマイ
クロ波誘電体磁器組成物に関するものである。本発明
は、マイクロ波領域において誘電体共振器、マイクロ波
集積回路基板、各種マイクロ波回路のインピーダンス整
合等に利用される。
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の
温度係数（以下、単にτｆという。）をゼロに近づける
ことができ、更にＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合割合
を加減することによって、τｆをゼロを中心としてプラ
ス側とマイナス側に任意に制御し得ることができるマイ
クロ波誘電体磁器組成物に関するものである。本発明
は、マイクロ波領域において誘電体共振器、マイクロ波
集積回路基板、各種マイクロ波回路のインピーダンス整
合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、単
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の誘電体
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτｆが＋８７〜−１００ｐ
ｐｍ／℃と大きく変化し、０付近の小さな値には調整が
困難等の問題があった。
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτｆが＋８７〜−１００ｐ
ｐｍ／℃と大きく変化し、０付近の小さな値には調整が
困難等の問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の配合割合を加減するこ
とによって、εr 及びＱｕを実用的な特性範囲に維持し
つつ、τｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラ
ス側とマイナス側の所望の値に任意に且つ安定して制御
し得ることができる誘電体磁器組成物を提供することを
目的とする。
り、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の配合割合を加減するこ
とによって、εr 及びＱｕを実用的な特性範囲に維持し
つつ、τｆをゼロに近づける又はゼロを中心としてプラ
ス側とマイナス側の所望の値に任意に且つ安定して制御
し得ることができる誘電体磁器組成物を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、誘電体磁
器組成物において、高いＱｕを維持しつつ、τｆをゼロ
に近づけることができ、且つ焼成温度を変えても安定し
た品質を備える組成について種々検討した結果、ＣａＴ
ｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合（構成）割合を加減すること
によりこの欠点が解消されることを見出して、本発明を
完成するに至ったのである。
器組成物において、高いＱｕを維持しつつ、τｆをゼロ
に近づけることができ、且つ焼成温度を変えても安定し
た品質を備える組成について種々検討した結果、ＣａＴ
ｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合（構成）割合を加減すること
によりこの欠点が解消されることを見出して、本発明を
完成するに至ったのである。
【０００６】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、ｘＭ
ｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３
≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を主成分とし、これに
上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 １００重
量部に対して０．１〜６重量部のＭｎＯ2 を添加含有さ
せたことを特徴とする。上記ｘが０．９３より小さい
と、τｆが大きな正の値をとるとともに、Ｑｕが小さく
なり、逆に０．９５を越えるとτｆが大きな負の値をと
り、好ましくないからである。また、特に、上記ｘが
０．９４、ＭｎＯ2 の添加量が３〜６重量％である場合
は、表２に示すように、１３５０〜１４２５℃にて焼成
したとき、Ｑｕが３０８０〜３８９０、τｆが−２．６
０〜＋１．７８ｐｐｍ／℃、εr が１９．０４〜２０．
９５であり、広い温度範囲にて焼成しても高品質なもの
を安定して確保できる。
ｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 〔但し、０．９３
≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を主成分とし、これに
上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 １００重
量部に対して０．１〜６重量部のＭｎＯ2 を添加含有さ
せたことを特徴とする。上記ｘが０．９３より小さい
と、τｆが大きな正の値をとるとともに、Ｑｕが小さく
なり、逆に０．９５を越えるとτｆが大きな負の値をと
り、好ましくないからである。また、特に、上記ｘが
０．９４、ＭｎＯ2 の添加量が３〜６重量％である場合
は、表２に示すように、１３５０〜１４２５℃にて焼成
したとき、Ｑｕが３０８０〜３８９０、τｆが−２．６
０〜＋１．７８ｐｐｍ／℃、εr が１９．０４〜２０．
９５であり、広い温度範囲にて焼成しても高品質なもの
を安定して確保できる。
【０００７】尚、ＣａＴｉＯ3 の混合割合が多くなるほ
ど、τｆは負の値から正の方向へ向かい（表１、図３、
７、１１）、εr は大きくなり（表１、図２、６、１
０）、一方Ｑｕは小さくなる傾向にある（表１、図１、
５、９）。また、ＭｎＯ2 を添加する場合、Ｑｕは小さ
くなる傾向にあり（図１）、εr （１３７５〜１４２５
℃の範囲内で）はあまり変わらず（図２）、τｆは下が
る傾向にあり（図３、１１）、焼結密度は上がる傾向に
ある（図４、１２）。特に、ＣａＴｉＯ3 の混合割合
（１−ｘ）が０．０６の場合では、図３に示すようにＭ
ｎＯ2 添加量が３重量％前後で、焼成温度を１３２５〜
１４２５℃まで大きく変動させても、τｆが０ｐｐｍ／
℃前後となり、大変好ましい。更に、図１〜１２及び表
２〜４に示すように、ＭｎＯ2 の添加により、広い温度
範囲（特に、１３７５〜１４２５℃）にて焼成しても性
能が安定し且つ焼結密度の高い焼結体を製造できる。ま
た、ＣａＴｉＯ3 の混合割合（１−ｘ）が０．０５の場
合では、ＭｎＯ2 添加量が０．１〜０．６の範囲でも、
τｆは−１０ｐｐｍ／℃くらいと小さい。一方、ＣａＴ
ｉＯ3 の混合割合が０．０７の場合では、ＭｎＯ2 添加
量が３〜６重量％の範囲で、τｆは＋１０ｐｐｍ／℃く
らいと大きい。従って、ＣａＴｉＯ3の混合割合が０．
０６前後で且つＭｎＯ2 の添加量が特に１〜６重量％
（そのうち特に３重量％前後）の場合は、更に一層、優
れた性能のバランス及び安定した焼結性の点で優れる。
以上より、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の上記適正な混合
範囲において、これらの性能に優れ且つそのバランスの
とれたものとなるとともに、安定した品質のものとな
る。
ど、τｆは負の値から正の方向へ向かい（表１、図３、
７、１１）、εr は大きくなり（表１、図２、６、１
０）、一方Ｑｕは小さくなる傾向にある（表１、図１、
５、９）。また、ＭｎＯ2 を添加する場合、Ｑｕは小さ
くなる傾向にあり（図１）、εr （１３７５〜１４２５
℃の範囲内で）はあまり変わらず（図２）、τｆは下が
る傾向にあり（図３、１１）、焼結密度は上がる傾向に
ある（図４、１２）。特に、ＣａＴｉＯ3 の混合割合
（１−ｘ）が０．０６の場合では、図３に示すようにＭ
ｎＯ2 添加量が３重量％前後で、焼成温度を１３２５〜
１４２５℃まで大きく変動させても、τｆが０ｐｐｍ／
℃前後となり、大変好ましい。更に、図１〜１２及び表
２〜４に示すように、ＭｎＯ2 の添加により、広い温度
範囲（特に、１３７５〜１４２５℃）にて焼成しても性
能が安定し且つ焼結密度の高い焼結体を製造できる。ま
た、ＣａＴｉＯ3 の混合割合（１−ｘ）が０．０５の場
合では、ＭｎＯ2 添加量が０．１〜０．６の範囲でも、
τｆは−１０ｐｐｍ／℃くらいと小さい。一方、ＣａＴ
ｉＯ3 の混合割合が０．０７の場合では、ＭｎＯ2 添加
量が３〜６重量％の範囲で、τｆは＋１０ｐｐｍ／℃く
らいと大きい。従って、ＣａＴｉＯ3の混合割合が０．
０６前後で且つＭｎＯ2 の添加量が特に１〜６重量％
（そのうち特に３重量％前後）の場合は、更に一層、優
れた性能のバランス及び安定した焼結性の点で優れる。
以上より、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の上記適正な混合
範囲において、これらの性能に優れ且つそのバランスの
とれたものとなるとともに、安定した品質のものとな
る。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、ＭｎＯ2 粉末（純度；９６％）を出発
原料として、表１〜４及び図１、図５に示すように、組
成式ｘＭｇＴｉＯ3・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 ＋ｙ重量
％ＭｎＯ2 〔ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3
１００重量部に対してＭｎＯ2 ｙ重量部を意味する。〕
の各ｘとｙが変化した組成になるように、所定量（全量
として約５００ｇ）を秤量、混合した。尚、表１はＣａ
ＴｉＯ3 の添加量（構成量）を変化させたもの、表２〜
４はＭｎＯ2 の添加量を変化させたものである。その
後、ミキサーで乾式による混合（２０〜３０分）及び一
次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて１１００℃の温度
で２時間仮焼した。次いで、この仮焼粉末に適量の有機
バインダー（２９ｇ）と水（３００〜４００ｇ）を加
え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９０ｒｐｍ、２３
時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥（約０．４Ｔｏｒ
ｒ、４０〜５０℃、約２０時間）により造粒し、この造
粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプレス圧
で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に成形し
た。
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、ＭｎＯ2 粉末（純度；９６％）を出発
原料として、表１〜４及び図１、図５に示すように、組
成式ｘＭｇＴｉＯ3・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 ＋ｙ重量
％ＭｎＯ2 〔ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3
１００重量部に対してＭｎＯ2 ｙ重量部を意味する。〕
の各ｘとｙが変化した組成になるように、所定量（全量
として約５００ｇ）を秤量、混合した。尚、表１はＣａ
ＴｉＯ3 の添加量（構成量）を変化させたもの、表２〜
４はＭｎＯ2 の添加量を変化させたものである。その
後、ミキサーで乾式による混合（２０〜３０分）及び一
次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて１１００℃の温度
で２時間仮焼した。次いで、この仮焼粉末に適量の有機
バインダー（２９ｇ）と水（３００〜４００ｇ）を加
え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９０ｒｐｍ、２３
時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥（約０．４Ｔｏｒ
ｒ、４０〜５０℃、約２０時間）により造粒し、この造
粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプレス圧
で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に成形し
た。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】
【表３】
【００１２】
【表４】
【００１３】次に、この成形体を大気中、５００℃、３
時間にて脱脂し、その後、各図に示す１３００〜１４２
５℃の範囲の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を
約１６ｍｍφ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、
誘電体試料（表２のＮｏ．１〜１８、表３のＮｏ．１〜
２０並びに表４のＮｏ．１〜１７）とした。そして、各
試料につき、平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ
011 ＭＯＤＥ）等により、比誘電率（以下、単にεr と
いう。）、Ｑｕ及びτｆ（基準；２０℃における共振周
波数、測定温度範囲；２０℃〜８０℃）、更に、焼結密
度をアルキメデス法により測定した。尚、共振周波数は
６ＧＨｚである。これらの結果を表２〜４及び図１〜１
２に示す。また、一例として、０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・
０．０６ＣａＴｉＯ3 の場合のＸ線回折の結果を図１３
（０．９４ＭｇＴｉＯ3・０．０６ＣａＴｉＯ3 に対し
て０、３又は６重量％のＭｎＯ2 を含有、１３５０℃で
４時間焼成）に示す。
時間にて脱脂し、その後、各図に示す１３００〜１４２
５℃の範囲の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を
約１６ｍｍφ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、
誘電体試料（表２のＮｏ．１〜１８、表３のＮｏ．１〜
２０並びに表４のＮｏ．１〜１７）とした。そして、各
試料につき、平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ
011 ＭＯＤＥ）等により、比誘電率（以下、単にεr と
いう。）、Ｑｕ及びτｆ（基準；２０℃における共振周
波数、測定温度範囲；２０℃〜８０℃）、更に、焼結密
度をアルキメデス法により測定した。尚、共振周波数は
６ＧＨｚである。これらの結果を表２〜４及び図１〜１
２に示す。また、一例として、０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・
０．０６ＣａＴｉＯ3 の場合のＸ線回折の結果を図１３
（０．９４ＭｇＴｉＯ3・０．０６ＣａＴｉＯ3 に対し
て０、３又は６重量％のＭｎＯ2 を含有、１３５０℃で
４時間焼成）に示す。
【００１４】これらの結果によれば、ｘＭｇＴｉＯ3 ・
（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 の（１−ｘ）が大きいとＱｕ値
は小さくなる傾向にあるが、逆にτｆとεr はプラス側
に大きくなる傾向がある。尚、焼結密度は、焼成温度が
高いほど大きくなる傾向にあるが、ＭｎＯ2 の添加量が
増すと焼成温度を変えてもあまり変わらなくなる。ま
た、ＭｎＯ2 の添加により、εr はあまり変わらないも
のの、Ｑｕ及びτｆは小さくなる傾向にある。従って、
ＭｎＯ2 の添加は、εr の性能を低下させずにτｆの調
整に適する。また、表２に示すように、ＭｎＯ2 を添加
しない場合は、焼成温度が低いとき（１３２５〜１３５
０℃）では焼結密度が小さく、十分な焼結性を確保する
ためには１３７５℃以上が必要である。一方、ＭｎＯ2
を添加する（３〜６重量％）場合は、１３５０℃の焼成
温度ても十分な焼結性を示した。
（１−ｘ）ＣａＴｉＯ3 の（１−ｘ）が大きいとＱｕ値
は小さくなる傾向にあるが、逆にτｆとεr はプラス側
に大きくなる傾向がある。尚、焼結密度は、焼成温度が
高いほど大きくなる傾向にあるが、ＭｎＯ2 の添加量が
増すと焼成温度を変えてもあまり変わらなくなる。ま
た、ＭｎＯ2 の添加により、εr はあまり変わらないも
のの、Ｑｕ及びτｆは小さくなる傾向にある。従って、
ＭｎＯ2 の添加は、εr の性能を低下させずにτｆの調
整に適する。また、表２に示すように、ＭｎＯ2 を添加
しない場合は、焼成温度が低いとき（１３２５〜１３５
０℃）では焼結密度が小さく、十分な焼結性を確保する
ためには１３７５℃以上が必要である。一方、ＭｎＯ2
を添加する（３〜６重量％）場合は、１３５０℃の焼成
温度ても十分な焼結性を示した。
【００１５】また、焼成温度が１３５０〜１４２５℃及
びＭｎＯ2 の添加量が３重量％の場合において、（１−
ｘ）が０．０６〜０．０７の範囲では、τｆは＋１５．
０〜−２．６０ｐｐｍ／℃、εr は１９．０４〜２１．
６４、Ｑｕは３３１０〜３８９０と実用的な特性範囲を
示すため好ましい。特に（１−ｘ）が０．０６、ＭｎＯ
2 の添加量が３重量％の場合は、例えば焼成温度が１３
７５℃の場合をとると、τｆが−０．０９ｐｐｍ／℃、
εr が２０．７、Ｑｕが３７００であり、特に優れた性
能バランスを示すとともに、性能のバラツキが極めて少
ない。更に、τｆに関して言えば、焼成温度に対する変
化率が低いため０ｐｐｍ／℃付近の小さな値を調節し易
い。一方、ＣａＴｉＯ3 を含まない場合は、Ｑｕ値が大
きいものの、εr が小さく、しかもτｆが−２５〜−４
４ｐｐｍ／℃とマイナス側に著しく小さなものとなり、
好ましくない。
びＭｎＯ2 の添加量が３重量％の場合において、（１−
ｘ）が０．０６〜０．０７の範囲では、τｆは＋１５．
０〜−２．６０ｐｐｍ／℃、εr は１９．０４〜２１．
６４、Ｑｕは３３１０〜３８９０と実用的な特性範囲を
示すため好ましい。特に（１−ｘ）が０．０６、ＭｎＯ
2 の添加量が３重量％の場合は、例えば焼成温度が１３
７５℃の場合をとると、τｆが−０．０９ｐｐｍ／℃、
εr が２０．７、Ｑｕが３７００であり、特に優れた性
能バランスを示すとともに、性能のバラツキが極めて少
ない。更に、τｆに関して言えば、焼成温度に対する変
化率が低いため０ｐｐｍ／℃付近の小さな値を調節し易
い。一方、ＣａＴｉＯ3 を含まない場合は、Ｑｕ値が大
きいものの、εr が小さく、しかもτｆが−２５〜−４
４ｐｐｍ／℃とマイナス側に著しく小さなものとなり、
好ましくない。
【００１６】また、図１３に示すＸ線回折ピークの有無
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （●）を含み、他のピークと
してはＭｇ6 ＭｎＯ8 （△）とＭｎ3 Ｏ4 （▽）があ
り、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2を含んでいないことを示
している。即ち、ＭｎＯ2 添加量の増加に伴いＭｇＴｉ
Ｏ3 の相対ピーク強度が減少し、Ｍｇ6 ＭｎＯ8 、Ｍｎ
3 Ｏ4 等が増加する。Ｑｕの低下はＭｇＴｉＯ3 量の減
少が原因と考えられる。
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （●）を含み、他のピークと
してはＭｇ6 ＭｎＯ8 （△）とＭｎ3 Ｏ4 （▽）があ
り、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2を含んでいないことを示
している。即ち、ＭｎＯ2 添加量の増加に伴いＭｇＴｉ
Ｏ3 の相対ピーク強度が減少し、Ｍｇ6 ＭｎＯ8 、Ｍｎ
3 Ｏ4 等が増加する。Ｑｕの低下はＭｇＴｉＯ3 量の減
少が原因と考えられる。
【００１７】更に、図示しないが、電子顕微鏡写真の結
果によれば、焼成温度の上昇とともに粒子径が大きくな
った（１３００℃；２．７μｍ、１３５０℃；８．７μ
ｍ、１４００℃；９．２μｍ、いずれもIntercept 法に
より測定）。破断面はいずれも粒内破壊を示した。ＥＤ
Ｓ分析ではＭｇ、Ｔｉ、Ｃａ、Ｍｎのみが検出された。
果によれば、焼成温度の上昇とともに粒子径が大きくな
った（１３００℃；２．７μｍ、１３５０℃；８．７μ
ｍ、１４００℃；９．２μｍ、いずれもIntercept 法に
より測定）。破断面はいずれも粒内破壊を示した。ＥＤ
Ｓ分析ではＭｇ、Ｔｉ、Ｃａ、Ｍｎのみが検出された。
【００１８】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器組成
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の配合割合を加減す
ることによって、τｆをゼロに近づける又はゼロを中心
としてプラス側とマイナス側の所望の値に任意に制御し
得ることができるとともに、τｆを０ｐｐｍ／℃付近に
安定して調節できる。更に、ＭｎＯ2 の添加により、広
い温度範囲内において焼成温度を種々変動させても、密
度が高く且つ高品質な焼結体を安定して製造できる。従
って、目的に応じて、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合
割合を変えることができる。
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の配合割合を加減す
ることによって、τｆをゼロに近づける又はゼロを中心
としてプラス側とマイナス側の所望の値に任意に制御し
得ることができるとともに、τｆを０ｐｐｍ／℃付近に
安定して調節できる。更に、ＭｎＯ2 の添加により、広
い温度範囲内において焼成温度を種々変動させても、密
度が高く且つ高品質な焼結体を安定して製造できる。従
って、目的に応じて、ＣａＴｉＯ3 及びＭｎＯ2 の混合
割合を変えることができる。
【図１】各焼成温度により焼成された〔０．９４ＭｇＴ
ｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3＋（０〜６）重量％Ｍｎ
Ｏ2 〕磁器組成物において、ＭｎＯ2 量とＱｕとの関係
を示すグラフである。
ｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉＯ3＋（０〜６）重量％Ｍｎ
Ｏ2 〕磁器組成物において、ＭｎＯ2 量とＱｕとの関係
を示すグラフである。
【図２】図１にて示す磁器組成物において、（０〜６重
量％）ＭｎＯ2 量とεr との関係を示すグラフである。
量％）ＭｎＯ2 量とεr との関係を示すグラフである。
【図３】図１にて示す磁器組成物において、（０〜６重
量％）ＭｎＯ2 量とτｆとの関係を示すグラフである。
量％）ＭｎＯ2 量とτｆとの関係を示すグラフである。
【図４】図１にて示す磁器組成物において、（０〜６重
量％）ＭｎＯ2 量と焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
量％）ＭｎＯ2 量と焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
【図５】〔０．９５ＭｇＴｉＯ3 ・０．０５ＣａＴｉＯ
3 ＋（０〜０．６）重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
3 ＋（０〜０．６）重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図６】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
εr との関係を示すグラフである。
εr との関係を示すグラフである。
【図７】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
τｆとの関係を示すグラフである。
τｆとの関係を示すグラフである。
【図８】図５にて示す磁器組成物において、焼成温度と
焼結密度との関係を示すグラフである。
焼結密度との関係を示すグラフである。
【図９】〔０．９３ＭｇＴｉＯ3 ・０．０７ＣａＴｉＯ
3 ＋（０〜６）重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物において、
焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
3 ＋（０〜６）重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物において、
焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図１０】図９にて示す磁器組成物において、焼成温度
とεr との関係を示すグラフである。
とεr との関係を示すグラフである。
【図１１】図９にて示す磁器組成物において、焼成温度
とτｆとの関係を示すグラフである。
とτｆとの関係を示すグラフである。
【図１２】図９にて示す磁器組成物において、焼成温度
と焼結密度との関係を示すグラフである。
と焼結密度との関係を示すグラフである。
【図１３】〔０．９４ＭｇＴｉＯ3 ・０．０６ＣａＴｉ
Ｏ3 ＋０、３又は６重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物のＸ線
回折結果を示すグラフである。
Ｏ3 ＋０、３又は６重量％ＭｎＯ2 〕磁器組成物のＸ線
回折結果を示すグラフである。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/42 - 35/49 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (1)
- 【請求項１】 ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）ＣａＴｉＯ
3 〔但し、０．９３≦ｘ≦０．９５〕で示される組成を
主成分とし、これに上記ｘＭｇＴｉＯ3 ・（１−ｘ）Ｃ
ａＴｉＯ3 １００重量部に対して０．１〜６重量部のＭ
ｎＯ2 が添加含有されたことを特徴とするマイクロ波誘
電体磁器組成物。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31942192A JP3179901B2 (ja) | 1992-11-04 | 1992-11-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
| US08/101,252 US5340784A (en) | 1992-08-03 | 1993-08-02 | Microwave dielectric ceramic composition |
| EP93112424A EP0582274B1 (en) | 1992-08-03 | 1993-08-03 | Microwave dielectric ceramic composition |
| DE69311768T DE69311768T2 (de) | 1992-08-03 | 1993-08-03 | Dielektrische keramische Zusammensetzung für Mikrowellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31942192A JP3179901B2 (ja) | 1992-11-04 | 1992-11-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06144927A JPH06144927A (ja) | 1994-05-24 |
| JP3179901B2 true JP3179901B2 (ja) | 2001-06-25 |
Family
ID=18110007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31942192A Expired - Lifetime JP3179901B2 (ja) | 1992-08-03 | 1992-11-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3179901B2 (ja) |
-
1992
- 1992-11-04 JP JP31942192A patent/JP3179901B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06144927A (ja) | 1994-05-24 |
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