JP3242242B2 - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷（以下、「Ｑ
ｕ」という。）及び共振周波数の温度係数（以下、「τ
f 」という。）を実用的な特性範囲で維持しつつ、高い
比誘電率（以下、「εr 」という。）を備えるマイクロ
波誘電体磁器組成物に関する。本発明は、マイクロ波領
域における誘電体共振器（特に、基地局用共振器）、マ
イクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路のインピー
ダンス整合等に利用される。
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷（以下、「Ｑ
ｕ」という。）及び共振周波数の温度係数（以下、「τ
f 」という。）を実用的な特性範囲で維持しつつ、高い
比誘電率（以下、「εr 」という。）を備えるマイクロ
波誘電体磁器組成物に関する。本発明は、マイクロ波領
域における誘電体共振器（特に、基地局用共振器）、マ
イクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路のインピー
ダンス整合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、
「磁器組成物」という。）は、使用周波数が高周波とな
るに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、マイ
クロ波領域でＱｕの大きな磁器組成物が望まれている。
また、この磁器組成物には、マイクロ波領域に適した高
いεr をもち、且つ、τf が小さいことが要求されてい
る。特に、近年では、上記基地局用共振器の小型化のた
め、高いεr （４５程度）を有するものが求められてい
る。
「磁器組成物」という。）は、使用周波数が高周波とな
るに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、マイ
クロ波領域でＱｕの大きな磁器組成物が望まれている。
また、この磁器組成物には、マイクロ波領域に適した高
いεr をもち、且つ、τf が小さいことが要求されてい
る。特に、近年では、上記基地局用共振器の小型化のた
め、高いεr （４５程度）を有するものが求められてい
る。
【０００３】そして、これらの要求を満足させる為、
（１─ｘ）Ｌａ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2）Ｏ3 −ｘＣａＴｉ
Ｏ3 で示される組成を有する磁器組成物（特開昭６１−
１２８４１１号公報）、所定のモル比で配合されたＭ
ｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 、ＺｎＯ及びＰｂ
Ｏからなる６成分系の磁器組成物（特開昭６１−２９１
４５６号公報）、所定のモル比で配合されたＣａＴｉ
Ｏ3 、Ｌａ2 Ｔｉ2 Ｏ7 、Ｎｄ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2 ）Ｏ
3 及びＭｇＴｉＯ3 ・ＺｎＯ混合物を主成分とする磁器
組成物（特開昭６２−２８３８６２号公報、特開昭６２
−２８３８６３号公報）等が提案されている。
（１─ｘ）Ｌａ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2）Ｏ3 −ｘＣａＴｉ
Ｏ3 で示される組成を有する磁器組成物（特開昭６１−
１２８４１１号公報）、所定のモル比で配合されたＭ
ｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 、ＺｎＯ及びＰｂ
Ｏからなる６成分系の磁器組成物（特開昭６１−２９１
４５６号公報）、所定のモル比で配合されたＣａＴｉ
Ｏ3 、Ｌａ2 Ｔｉ2 Ｏ7 、Ｎｄ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2 ）Ｏ
3 及びＭｇＴｉＯ3 ・ＺｎＯ混合物を主成分とする磁器
組成物（特開昭６２−２８３８６２号公報、特開昭６２
−２８３８６３号公報）等が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在に
おいては、上記磁器組成物の使用範囲の拡大等に伴い、
上記〜と同様に上記各要求性能（Ｑｕ、εr 等）に
優れた他の磁器組成物の出現が望まれている。また、高
品質の磁器組成物を安定的に得るには、その製造工程の
一つである焼成工程の焼成温度がある程度ばらついて
も、製造される各組成物間の性能に大きなばらつきを生
じさせない（即ち、磁器組成物の「焼成温度の変化に伴
う性能のばらつき」が小さい）ことが必要となる。
おいては、上記磁器組成物の使用範囲の拡大等に伴い、
上記〜と同様に上記各要求性能（Ｑｕ、εr 等）に
優れた他の磁器組成物の出現が望まれている。また、高
品質の磁器組成物を安定的に得るには、その製造工程の
一つである焼成工程の焼成温度がある程度ばらついて
も、製造される各組成物間の性能に大きなばらつきを生
じさせない（即ち、磁器組成物の「焼成温度の変化に伴
う性能のばらつき」が小さい）ことが必要となる。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、上記各要求性能を満足すると共に、それらの要求性
能を安定的に発揮できる磁器組成物を提供することを目
的とする。
り、上記各要求性能を満足すると共に、それらの要求性
能を安定的に発揮できる磁器組成物を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁器組成物は、
組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ３−（１−ｙ）ＣａＴｉＯ３］
−（１−ｘ）（Ｎｄ２Ｏ３・２ＴｉＯ２）〔但し、０．
８５≦ｘ≦０．９５、０．５５≦ｙ≦０．６５〕で示さ
れ、且つ測定周波数３．０〜４．２ＧＨｚにおける比誘
電率が４３．１以上であることを特徴とする。
組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ３−（１−ｙ）ＣａＴｉＯ３］
−（１−ｘ）（Ｎｄ２Ｏ３・２ＴｉＯ２）〔但し、０．
８５≦ｘ≦０．９５、０．５５≦ｙ≦０．６５〕で示さ
れ、且つ測定周波数３．０〜４．２ＧＨｚにおける比誘
電率が４３．１以上であることを特徴とする。
【０００７】上記の如く「ｘ」の範囲を定めるのは、以
下の理由による。即ち、ｘが０．８５未満の場合には、
高いＱｕを得られず、ｘが０．９５を越える場合には、
τfが許容範囲外の大きな正の値になり好ましくない。
また、ｘが上記範囲内の場合には、Ｑｕ、εr 及びτf
の値の上記「性能のばらつき」が小さいからである。特
に、ｘが０．９程度の場合に、高いＱｕが得られると共
に、上記「性能のばらつき」も小さく好ましい。また、
上記の如く「ｙ」の値を定めるのは、ｙが０．５５未満
の場合には、Ｑｕの値が小さくなると共に、τf が許容
範囲外の大きな正の値をとり、ｙが０．６５を越えると
εr の値が小さくなるからである。
下の理由による。即ち、ｘが０．８５未満の場合には、
高いＱｕを得られず、ｘが０．９５を越える場合には、
τfが許容範囲外の大きな正の値になり好ましくない。
また、ｘが上記範囲内の場合には、Ｑｕ、εr 及びτf
の値の上記「性能のばらつき」が小さいからである。特
に、ｘが０．９程度の場合に、高いＱｕが得られると共
に、上記「性能のばらつき」も小さく好ましい。また、
上記の如く「ｙ」の値を定めるのは、ｙが０．５５未満
の場合には、Ｑｕの値が小さくなると共に、τf が許容
範囲外の大きな正の値をとり、ｙが０．６５を越えると
εr の値が小さくなるからである。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 （１）試験片の作製 本実施例の各試験片は、組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −
（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］−（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・
２ＴｉＯ2 ）で表される磁器組成物（但し、各試験例毎
に、表１〜５に示すｘ、ｙ及び焼成温度の少なくとも１
つが異なる。）となる様に、所定の調合粉末を用いて作
製したものである。
る。 （１）試験片の作製 本実施例の各試験片は、組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −
（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］−（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・
２ＴｉＯ2 ）で表される磁器組成物（但し、各試験例毎
に、表１〜５に示すｘ、ｙ及び焼成温度の少なくとも１
つが異なる。）となる様に、所定の調合粉末を用いて作
製したものである。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】
【表３】
【００１２】
【表４】
【００１３】
【表５】
【００１４】これらの調合粉末を構成する出発原料とし
ては、ＴｉＯ2 粉末（純度；９９．９８％）、ＭｇＯ粉
末（純度；９９．３％）、ＣａＣＯ3 粉末（純度；９
９．７％）、Ｎｄ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．９％）を用
いた。そして、上記各調合粉末を所定量（約５６０ｇ）
ずつ、アイリッヒミキサーにより、２０〜３０分掛けて
一次粉砕した。次いで、大気雰囲気中にて、１１００℃
の温度の下、２時間仮焼を行った。尚、このときの昇温
速度は２００℃／ｈであり、降温速度は−２００℃／ｈ
であった。
ては、ＴｉＯ2 粉末（純度；９９．９８％）、ＭｇＯ粉
末（純度；９９．３％）、ＣａＣＯ3 粉末（純度；９
９．７％）、Ｎｄ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．９％）を用
いた。そして、上記各調合粉末を所定量（約５６０ｇ）
ずつ、アイリッヒミキサーにより、２０〜３０分掛けて
一次粉砕した。次いで、大気雰囲気中にて、１１００℃
の温度の下、２時間仮焼を行った。尚、このときの昇温
速度は２００℃／ｈであり、降温速度は−２００℃／ｈ
であった。
【００１５】更に、これらの各仮焼粉末５００ｇに、所
定の有機バインダー２９ｇと水３００〜４００ｇを加
え、ボールミル（２０ｍｍφのアルミナボール、回転
数；９０ｒｐｍ）により、２３時間掛けて２次粉砕を行
った。その後、真空凍結乾燥（真空度；約０．４Ｔｏｒ
ｒ、真空乾燥時間；約２０時間、凍結温度；−２０〜−
４０℃、乾燥温度；４０〜５０℃）により造粒し、これ
らの造粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプ
レス圧で１９ｍｍφ×１０ｍｍｔ（高さ）の円柱状に成
形した（以下、この成形体を「仮焼試験片」とい
う。）。
定の有機バインダー２９ｇと水３００〜４００ｇを加
え、ボールミル（２０ｍｍφのアルミナボール、回転
数；９０ｒｐｍ）により、２３時間掛けて２次粉砕を行
った。その後、真空凍結乾燥（真空度；約０．４Ｔｏｒ
ｒ、真空乾燥時間；約２０時間、凍結温度；−２０〜−
４０℃、乾燥温度；４０〜５０℃）により造粒し、これ
らの造粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプ
レス圧で１９ｍｍφ×１０ｍｍｔ（高さ）の円柱状に成
形した（以下、この成形体を「仮焼試験片」とい
う。）。
【００１６】次に、これらの仮焼試験片を大気中５００
℃、３時間にて脱脂し、その後、１３５０〜１４７５℃
の範囲の温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６
ｍｍφ×８ｍｍｔ（高さ）の円柱状に研磨して、各試験
例に係わる磁器組成物（以下、これらの組成物を「焼成
試験片」という。）を作製した。尚、この焼成工程にお
ける昇温速度は１００℃／ｈで、降温速度は−１００℃
／ｈであった。
℃、３時間にて脱脂し、その後、１３５０〜１４７５℃
の範囲の温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６
ｍｍφ×８ｍｍｔ（高さ）の円柱状に研磨して、各試験
例に係わる磁器組成物（以下、これらの組成物を「焼成
試験片」という。）を作製した。尚、この焼成工程にお
ける昇温速度は１００℃／ｈで、降温速度は−１００℃
／ｈであった。
【００１７】（２）性能試験とその評価 以上の各試験片の性能を評価するために、以下に述べる
各項目の試験と評価を行った。 Ａ．マイクロ波誘電特性 εr 、Ｑｕ及びτf 平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）
等により行った。尚、測定周波数は３．０ＧＨｚ〜４．
２ＧＨｚである。また、τf は３０〜８０℃の温度領域
で測定し、τf ＝（ｆ80−ｆ30）／（ｆ30×ΔＴ）、Δ
Ｔ＝８０−３０＝５０℃にて算出した。 焼結密度 アルキメデス法により測定した。
各項目の試験と評価を行った。 Ａ．マイクロ波誘電特性 εr 、Ｑｕ及びτf 平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）
等により行った。尚、測定周波数は３．０ＧＨｚ〜４．
２ＧＨｚである。また、τf は３０〜８０℃の温度領域
で測定し、τf ＝（ｆ80−ｆ30）／（ｆ30×ΔＴ）、Δ
Ｔ＝８０−３０＝５０℃にて算出した。 焼結密度 アルキメデス法により測定した。
【００１８】これらの結果を上記表１〜５及び図１〜１
３に示す。尚、これらの図のうち、図１〜８は、上記
「ｘ」、「ｙ」の値と、各特性値（εr 、Ｑｕ等）との
関係を示すグラフ（焼成温度；１４００℃）である。ま
た、図９〜１３は、表４に示される各試験例〔組成式ｘ
（０．６５ＭｇＴｉＯ3 −０．３５ＣａＴｉＯ3 ）−
（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で示されるも
の〕において、焼成温度（焼成温度；１３５０〜１４５
０℃）と焼成試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）の関係を
示している。更に、表６は同試験例において、焼成温度
が各焼成試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）に与える影響
〔焼成温度を１３５０〜１４５０℃間で変化させた場合
の各特性値の変動（同表中に±を付して示した特性値の
ばらつき）〕を示している。
３に示す。尚、これらの図のうち、図１〜８は、上記
「ｘ」、「ｙ」の値と、各特性値（εr 、Ｑｕ等）との
関係を示すグラフ（焼成温度；１４００℃）である。ま
た、図９〜１３は、表４に示される各試験例〔組成式ｘ
（０．６５ＭｇＴｉＯ3 −０．３５ＣａＴｉＯ3 ）−
（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で示されるも
の〕において、焼成温度（焼成温度；１３５０〜１４５
０℃）と焼成試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）の関係を
示している。更に、表６は同試験例において、焼成温度
が各焼成試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）に与える影響
〔焼成温度を１３５０〜１４５０℃間で変化させた場合
の各特性値の変動（同表中に±を付して示した特性値の
ばらつき）〕を示している。
【００１９】
【表６】
【００２０】以上の結果によれば、Ｑｕは、ｘの値が大
きくなるに従って増加し、ｘ＝０．９付近で３０００以
上の良好な値になる。しかしながら、ｘの値が０．９を
越えると減少する傾向にある（図５等参照）。また、Ｑ
ｕは、ｘ＝０．９及び１．０の場合において、ｙの値が
大きくなると増加する傾向にある（図１等参照）。更
に、εr は、ｙの値に影響され易く、ｙの値が大きくな
る（特に、ｙが０．６５以上になる）と、減少する（約
５０→４０）傾向にある（図２、６等参照）。
きくなるに従って増加し、ｘ＝０．９付近で３０００以
上の良好な値になる。しかしながら、ｘの値が０．９を
越えると減少する傾向にある（図５等参照）。また、Ｑ
ｕは、ｘ＝０．９及び１．０の場合において、ｙの値が
大きくなると増加する傾向にある（図１等参照）。更
に、εr は、ｙの値に影響され易く、ｙの値が大きくな
る（特に、ｙが０．６５以上になる）と、減少する（約
５０→４０）傾向にある（図２、６等参照）。
【００２１】また、τf は、ｘの値が大きくなるに従っ
て、正の大きな値から０へと近づくが、ｘの値が０．７
〜０．８に達すると、逆に正の大きな値に向かう傾向に
ある（図３、７参照）。一方、ｙの値が大きくなると、
より０に近い良好な値に向かう傾向にある（同図参
照）。更に、焼結密度は、ｘの値に影響され易く、ｘの
値が大きくなると減少する傾向にあるが、いずれも許容
範囲内の数値を示している（図４、８等参照）。
て、正の大きな値から０へと近づくが、ｘの値が０．７
〜０．８に達すると、逆に正の大きな値に向かう傾向に
ある（図３、７参照）。一方、ｙの値が大きくなると、
より０に近い良好な値に向かう傾向にある（同図参
照）。更に、焼結密度は、ｘの値に影響され易く、ｘの
値が大きくなると減少する傾向にあるが、いずれも許容
範囲内の数値を示している（図４、８等参照）。
【００２２】更に、図９及び表６によれば、ｘ＝０．７
の場合にはＱｕ値のばらつきが±１８０であるのに対し
て、ｘ＝０．９の場合には±５０となり、約１／４に迄
低減されている。また、その他の特性値も、図１０、１
１及び表６に示す様に、ｘ＝９の場合には、ｘ＝０．７
の場合に比べ、εｒのばらつきは約１／１５、τｆのば
らつきは約１／１０にまで低減されている。この様に、
焼成温度の変化に伴う各性能のばらつきは、ｘの値が大
きくなるに従って、徐々に小さくなり、ｘが０．９のと
きに、好ましい範囲内になる。一方、ｘが０．８５未満
の小さな値の場合に、各性能のばらつきが大きいのは、
この様な場合（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2の組成物全体に
占める比率が大きい場合）には、低い焼成温度では磁器
組成物が緻密化し難く、高い焼成温度では液相が生成
し、セッターに滲み出て素子（同組成物）の組成が変わ
ったためと考えられる。尚、焼結密度に関しても、同様
な結果を示している（図１２及び１３）。
の場合にはＱｕ値のばらつきが±１８０であるのに対し
て、ｘ＝０．９の場合には±５０となり、約１／４に迄
低減されている。また、その他の特性値も、図１０、１
１及び表６に示す様に、ｘ＝９の場合には、ｘ＝０．７
の場合に比べ、εｒのばらつきは約１／１５、τｆのば
らつきは約１／１０にまで低減されている。この様に、
焼成温度の変化に伴う各性能のばらつきは、ｘの値が大
きくなるに従って、徐々に小さくなり、ｘが０．９のと
きに、好ましい範囲内になる。一方、ｘが０．８５未満
の小さな値の場合に、各性能のばらつきが大きいのは、
この様な場合（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2の組成物全体に
占める比率が大きい場合）には、低い焼成温度では磁器
組成物が緻密化し難く、高い焼成温度では液相が生成
し、セッターに滲み出て素子（同組成物）の組成が変わ
ったためと考えられる。尚、焼結密度に関しても、同様
な結果を示している（図１２及び１３）。
【００２３】以上より、総合的に判断すれば、０．８５
≦ｘ≦０．９５、０．５５≦ｙ≦０．６５の範囲の場合
に、各特性値がいずれも良好であると共に、焼成温度に
よる性能のばらつきも小さい。
≦ｘ≦０．９５、０．５５≦ｙ≦０．６５の範囲の場合
に、各特性値がいずれも良好であると共に、焼成温度に
よる性能のばらつきも小さい。
【００２４】Ｂ．結晶構造 上記表４に示す試験例Ｎｏ．４１１及び４１４の「仮焼
試験片」及び「焼成試験片」の結晶構造をＸ線により分
析した。また、表３の試験例Ｎｏ．３１４の「焼成試験
片」の結晶構造もＸ線により分析した。そして、これら
の結果を図１４〜１８に示す。
試験片」及び「焼成試験片」の結晶構造をＸ線により分
析した。また、表３の試験例Ｎｏ．３１４の「焼成試験
片」の結晶構造もＸ線により分析した。そして、これら
の結果を図１４〜１８に示す。
【００２５】これによれば、仮焼試験片の場合（図１４
及び１５）には、いずれもＭｇＴｉＯ3 （各図中「○」
で表示）、ＣａＴｉＯ3 （各図中「●」で表示）、Ｍｇ
Ｔｉ2 Ｏ 5（各図中「×」で表示）、ＴｉＯ2 （各図中
「Ｒ」で表示）、Ｎｄ2 Ｏ3（各図中「△」で表示）及
びＮｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 （各図中「Ｎ」で表示）のピークが
表れた。
及び１５）には、いずれもＭｇＴｉＯ3 （各図中「○」
で表示）、ＣａＴｉＯ3 （各図中「●」で表示）、Ｍｇ
Ｔｉ2 Ｏ 5（各図中「×」で表示）、ＴｉＯ2 （各図中
「Ｒ」で表示）、Ｎｄ2 Ｏ3（各図中「△」で表示）及
びＮｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 （各図中「Ｎ」で表示）のピークが
表れた。
【００２６】一方、焼成試験片の場合（図１６〜１８）
には、ＭｇＴｉＯ3 及びＣａＴｉＯ3 〔但し、試験例Ｎ
ｏ．４１１（図１６）では、Ｎｄ2 Ｏ3 も〕のピークが
表れたが、ＭｇＴｉ2 Ｏ 5、ＴｉＯ2 及びＮｄ2 Ｔｉ2
Ｏ7 のピークは表れなかった。これにより、上記各焼成
試験片を構成している磁器組成物が、ＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 及びＮｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 の混晶系ではなく、Ｍ
ｇＴｉＯ3 とＣａＴｉＯ3 に、ＴｉＯ2 とＮｄ2 Ｏ3 が
固溶した組成系からなると考えられる。
には、ＭｇＴｉＯ3 及びＣａＴｉＯ3 〔但し、試験例Ｎ
ｏ．４１１（図１６）では、Ｎｄ2 Ｏ3 も〕のピークが
表れたが、ＭｇＴｉ2 Ｏ 5、ＴｉＯ2 及びＮｄ2 Ｔｉ2
Ｏ7 のピークは表れなかった。これにより、上記各焼成
試験片を構成している磁器組成物が、ＭｇＴｉＯ3 、Ｃ
ａＴｉＯ3 及びＮｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 の混晶系ではなく、Ｍ
ｇＴｉＯ3 とＣａＴｉＯ3 に、ＴｉＯ2 とＮｄ2 Ｏ3 が
固溶した組成系からなると考えられる。
【００２７】また、仮焼試験片の場合は、ｘの値が大き
くなる（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が小さくなる）
に従って、ＭｇＴｉＯ3 、ＣａＴｉＯ3 及びＭｇＴｉ2
Ｏ 5の生成量が多くなるが、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 及び
Ｎｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 の生成量は、減少する傾向にある。一
方、焼成試験片の場合は、ｘの値が大きくなるに従っ
て、ＭｇＴｉＯ3 及びＣａＴｉＯ3 の生成量が多くなる
が、Ｎｄ2 Ｏ3 の生成量は減少する傾向にある（図示し
ないが、ｘが０．８を越えるあたりから、同Ｎｄ2 Ｏ3
のピークが表れなくなる）。
くなる（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が小さくなる）
に従って、ＭｇＴｉＯ3 、ＣａＴｉＯ3 及びＭｇＴｉ2
Ｏ 5の生成量が多くなるが、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 及び
Ｎｄ2 Ｔｉ2 Ｏ7 の生成量は、減少する傾向にある。一
方、焼成試験片の場合は、ｘの値が大きくなるに従っ
て、ＭｇＴｉＯ3 及びＣａＴｉＯ3 の生成量が多くなる
が、Ｎｄ2 Ｏ3 の生成量は減少する傾向にある（図示し
ないが、ｘが０．８を越えるあたりから、同Ｎｄ2 Ｏ3
のピークが表れなくなる）。
【００２８】また、図１７及び１８を比べてみると、Ｃ
ａＴｉＯ3 の回折ピークは、ｘの値が小さくなる（Ｎｄ
2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が多くなる）に従って、低角
側へシフトする傾向にあり（ｘが０．６と０．９の場合
では、０．２程ずれる）、ｘの値により結晶構造が変化
することを示している。
ａＴｉＯ3 の回折ピークは、ｘの値が小さくなる（Ｎｄ
2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が多くなる）に従って、低角
側へシフトする傾向にあり（ｘが０．６と０．９の場合
では、０．２程ずれる）、ｘの値により結晶構造が変化
することを示している。
【００２９】Ｃ．微細組織構造 本性能評価においては、各焼成試験片の平均結晶粒径の
測定を行った。上記試験例Ｎｏ．４１１〜４１４の焼成
試験片の各平均結晶粒径をIntercept法により測定した
結果を図１９に示す。これによれば、ｘの値が変化して
も（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が変わっても）、平
均結晶粒径に与える影響は小さい。また、同様の方法に
より測定した試験例Ｎｏ．４３４及び４４４の各平均結
晶粒径と上記試験例Ｎｏ．４１４の平均結晶粒径とを用
いて、焼成温度と平均結晶粒径の関係を示すグラフ（図
２０）を作成した。これによれば、焼成温度の上昇と共
に、平均結晶粒径が大きくなっている。
測定を行った。上記試験例Ｎｏ．４１１〜４１４の焼成
試験片の各平均結晶粒径をIntercept法により測定した
結果を図１９に示す。これによれば、ｘの値が変化して
も（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 の比率が変わっても）、平
均結晶粒径に与える影響は小さい。また、同様の方法に
より測定した試験例Ｎｏ．４３４及び４４４の各平均結
晶粒径と上記試験例Ｎｏ．４１４の平均結晶粒径とを用
いて、焼成温度と平均結晶粒径の関係を示すグラフ（図
２０）を作成した。これによれば、焼成温度の上昇と共
に、平均結晶粒径が大きくなっている。
【００３０】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
【００３１】
【発明の効果】以上の様に、本発明の磁器組成物は、Ｑ
ｕ及びτf が実用的な特性範囲で維持されると共に、高
いεr を備えている。また、焼成ばらつきの小さな磁器
組成物であるため、高品質な誘電体を安定的に製造でき
る。
ｕ及びτf が実用的な特性範囲で維持されると共に、高
いεr を備えている。また、焼成ばらつきの小さな磁器
組成物であるため、高品質な誘電体を安定的に製造でき
る。
【図１】組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）ＣａＴ
ｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｎｄ2Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で示
される磁器組成物において、ｘを各値に定めたときのｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
ｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｎｄ2Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で示
される磁器組成物において、ｘを各値に定めたときのｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図２】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときのｙとεr との関係を示すグラフである。
定めたときのｙとεr との関係を示すグラフである。
【図３】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときのｙとτf との関係を示すグラフである。
定めたときのｙとτf との関係を示すグラフである。
【図４】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときのｙと焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
定めたときのｙと焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
【図５】図１と同様の磁器組成物において、ｙを各値に
定めたときのｘとＱｕとの関係を示すグラフである。
定めたときのｘとＱｕとの関係を示すグラフである。
【図６】図１と同様の磁器組成物において、ｙを各値に
定めたときのｘとεr との関係を示すグラフである。
定めたときのｘとεr との関係を示すグラフである。
【図７】図１と同様の磁器組成物において、ｙを各値に
定めたときのｘとτf との関係を示すグラフである。
定めたときのｘとτf との関係を示すグラフである。
【図８】図１と同様の磁器組成物において、ｙを各値に
定めたときのｘと焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
定めたときのｘと焼結密度との関係を示すグラフであ
る。
【図９】組成式ｘ［０．６５ＭｇＴｉＯ3 −０．３５Ｃ
ａＴｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
で示される磁器組成物において、ｘを各値に定めたとき
の焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
ａＴｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｎｄ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
で示される磁器組成物において、ｘを各値に定めたとき
の焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図１０】図９と同様の磁器組成物において、ｘを各値
に定めたときの焼成温度とεr との関係を示すグラフで
ある。
に定めたときの焼成温度とεr との関係を示すグラフで
ある。
【図１１】図９と同様の磁器組成物において、ｘを各値
に定めたときの焼成温度とτf との関係を示すグラフで
ある。
に定めたときの焼成温度とτf との関係を示すグラフで
ある。
【図１２】図９と同様の磁器組成物において、ｘを各値
に定めたときの焼成温度と焼結密度との関係を示すグラ
フである。
に定めたときの焼成温度と焼結密度との関係を示すグラ
フである。
【図１３】組成式０．９［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）
ＣａＴｉＯ3 ］−０．１（Ｎｄ2Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で
示される磁器組成物において、ｙを各値に定めたときの
焼成温度と焼結密度との関係を示すグラフである。
ＣａＴｉＯ3 ］−０．１（Ｎｄ2Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）で
示される磁器組成物において、ｙを各値に定めたときの
焼成温度と焼結密度との関係を示すグラフである。
【図１４】試験例Ｎｏ．４１４の仮焼試験片のＸ線回折
の結果を示すグラフである。
の結果を示すグラフである。
【図１５】試験例Ｎｏ．４１１の仮焼試験片のＸ線回折
の結果を示すグラフである。
の結果を示すグラフである。
【図１６】試験例Ｎｏ．４１４の焼成試験片のＸ線回折
の結果を示すグラフである。
の結果を示すグラフである。
【図１７】試験例Ｎｏ．４１１の焼成試験片のＸ線回折
の結果を示すグラフである。
の結果を示すグラフである。
【図１８】試験例Ｎｏ．３１４の焼成試験片のＸ線回折
の結果を示すグラフである。
の結果を示すグラフである。
【図１９】図９と同様の組成物からなる焼成試験片にお
いて、ｘの値と平均結晶粒径の関係を示すグラフであ
る。
いて、ｘの値と平均結晶粒径の関係を示すグラフであ
る。
【図２０】図９と同様の組成物からなる焼成試験片にお
いて、焼成温度と平均結晶粒径との関係を示すグラフで
ある。
いて、焼成温度と平均結晶粒径との関係を示すグラフで
ある。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−115704（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−67999（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−291456（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−138605（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/42 - 35/50 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (1)
- 【請求項１】 組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ３−（１−ｙ）
ＣａＴｉＯ３］−（１−ｘ）（Ｎｄ２Ｏ３・２Ｔｉ
Ｏ２）〔但し、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５５≦ｙ
≦０．６５〕で示され、且つ測定周波数３．０〜４．２
ＧＨｚにおける比誘電率が４３．１以上であることを特
徴とするマイクロ波誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31430793A JP3242242B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31430793A JP3242242B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144965A JPH07144965A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3242242B2 true JP3242242B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=18051785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31430793A Expired - Fee Related JP3242242B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3242242B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6541656B2 (en) | 2000-02-10 | 2003-04-01 | Nippon Shokubai Company, Ltd. | Process for producing α, β-unsaturated carboxylic acid esters and catalyst for use in such process |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP31430793A patent/JP3242242B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6541656B2 (en) | 2000-02-10 | 2003-04-01 | Nippon Shokubai Company, Ltd. | Process for producing α, β-unsaturated carboxylic acid esters and catalyst for use in such process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07144965A (ja) | 1995-06-06 |
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|---|---|---|---|
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