JP3027031B2 - マイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法Info
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- JP3027031B2 JP3027031B2 JP3204739A JP20473991A JP3027031B2 JP 3027031 B2 JP3027031 B2 JP 3027031B2 JP 3204739 A JP3204739 A JP 3204739A JP 20473991 A JP20473991 A JP 20473991A JP 3027031 B2 JP3027031 B2 JP 3027031B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物およびその製造方法に関し、更に詳しく言えば、
無負荷Ｑ（以下、単にＱｕという。）を高い値で維持し
つつ、共振周波数の温度係数（以下、単にτｆとい
う。）をゼロに近づけることができ、更にＣａＴｉＯ3
の混合割合を加減することによって、τｆをゼロを中心
としてプラス側とマイナス側に任意に制御し得ることが
できるマイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法
に関するものである。本発明は、マイクロ波領域におい
て誘電体共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイク
ロ波回路のインピーダンス整合等に利用される。
組成物およびその製造方法に関し、更に詳しく言えば、
無負荷Ｑ（以下、単にＱｕという。）を高い値で維持し
つつ、共振周波数の温度係数（以下、単にτｆとい
う。）をゼロに近づけることができ、更にＣａＴｉＯ3
の混合割合を加減することによって、τｆをゼロを中心
としてプラス側とマイナス側に任意に制御し得ることが
できるマイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法
に関するものである。本発明は、マイクロ波領域におい
て誘電体共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイク
ロ波回路のインピーダンス整合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、単
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域、たとえば４．５ＧＨｚ程度の周波
数領域においてＱｕの大きな誘電体磁器組成物が望まれ
ている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構造がペ
ロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む誘電体
磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、ＭｇＴ
ｉＯ3とＴｉＯ2に所定量のＣａＴｉＯ3を含有した誘電
体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公報）等が
知られている。
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域、たとえば４．５ＧＨｚ程度の周波
数領域においてＱｕの大きな誘電体磁器組成物が望まれ
ている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構造がペ
ロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む誘電体
磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、ＭｇＴ
ｉＯ3とＴｉＯ2に所定量のＣａＴｉＯ3を含有した誘電
体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公報）等が
知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の誘電体
磁器組成物ではＺｎＯ等の他成分が多く含まれる上、Ｑ
ｕも必ずしも大きな値とは言えない。後者の誘電体磁器
組成物では、ＴｉＯ2を必須成分として含み、ＣａＴｉ
Ｏ3の添加量が３〜１０重量％の範囲においてはτｆが
＋８７〜−１００と大きく変化し、０付近の小さな値に
は調整が困難等の問題があった。
磁器組成物ではＺｎＯ等の他成分が多く含まれる上、Ｑ
ｕも必ずしも大きな値とは言えない。後者の誘電体磁器
組成物では、ＴｉＯ2を必須成分として含み、ＣａＴｉ
Ｏ3の添加量が３〜１０重量％の範囲においてはτｆが
＋８７〜−１００と大きく変化し、０付近の小さな値に
は調整が困難等の問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、ＭｇＯ、ＣａＯ及びＴｉＯ2を含まず、しかもＣａ
ＴｉＯ3の混合割合を加減することによって、εr及びＱ
ｕを実用的な特性範囲に維持しつつ、τｆをゼロに近づ
ける又はゼロを中心としてプラス側とマイナス側の所望
の値に任意に且つ安定して制御し得ることができる誘電
体磁器組成物およびその製造方法を提供することを目的
とする。
り、ＭｇＯ、ＣａＯ及びＴｉＯ2を含まず、しかもＣａ
ＴｉＯ3の混合割合を加減することによって、εr及びＱ
ｕを実用的な特性範囲に維持しつつ、τｆをゼロに近づ
ける又はゼロを中心としてプラス側とマイナス側の所望
の値に任意に且つ安定して制御し得ることができる誘電
体磁器組成物およびその製造方法を提供することを目的
とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者は、誘電体磁器
組成物において、高いＱｕを維持しつつ、τｆをゼロに
近づける組成について種々検討した結果、所定の温度範
囲で焼成し、ＭｇＯ、ＣａＯ及びＴｉＯ2を含まず、し
かもＣａＴｉＯ3の混合割合を加減することによりこの
欠点が解消されることを見出して、本発明を完成するに
至ったのである。即ち、本第１発明の誘電体磁器組成物
は、原料粉末を１３５０℃以上１４００ ℃未満の温度で
焼成してなるマイクロ波誘電体磁器組成物であって、Ｍ
ｇＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の混晶からなり、ＭｇＯ、Ｃ
ａＯ及びＴｉＯ2は含有されず、上記ＭｇＴｉＯ3と上記
ＣａＴｉＯ3の混合割合は、（１−ｘ）ＭｇＴｉＯ3・ｘ
ＣａＴｉＯ3の式で表した場合、ｘが０．０４≦ｘ≦
０．０７であり、４．５ＧＨｚでの無負荷Ｑ（Ｑｕ）が
５０００〜７０００、共振周波数の温度係数（τｆ）が
−１５〜＋１５（ｐｐｍ／℃）であることを特徴とす
る。上記ｘが０．０４より小さいとτｆが大きな負の値
をとり、逆に０．０７を超えるとτｆが大きな正の値を
とるので好ましくない。また、上記焼成温度が１３５０
℃未満または１４００℃以上では、Ｑｕが低くなるとと
もに、τｆが大きな負の値をとるので好ましくない。Ｃ
ａＴｉＯ3の混合割合が多くなるほど、τｆは負の値か
ら正の方向へ向かい、εrは大きくなり、一方Ｑｕは小
さくなる傾向にある。従って、ＣａＴｉＯ3の上記適正
な添加量範囲において、上記適正な温度範囲で焼成する
ことにより、これらの性能のバランスのとれたものとな
る。このマイクロ波誘電体磁器組成物は、ＭｇＯ粉末、
ＣａＣＯ 3 粉末及びＴｉＯ 2 粉末を仮焼、粉砕、造粒した
後にプレス成形し、大気中雰囲気中にて１３５０℃以上
１４００℃未満の温度で焼成することにより好適に製造
される。
組成物において、高いＱｕを維持しつつ、τｆをゼロに
近づける組成について種々検討した結果、所定の温度範
囲で焼成し、ＭｇＯ、ＣａＯ及びＴｉＯ2を含まず、し
かもＣａＴｉＯ3の混合割合を加減することによりこの
欠点が解消されることを見出して、本発明を完成するに
至ったのである。即ち、本第１発明の誘電体磁器組成物
は、原料粉末を１３５０℃以上１４００ ℃未満の温度で
焼成してなるマイクロ波誘電体磁器組成物であって、Ｍ
ｇＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の混晶からなり、ＭｇＯ、Ｃ
ａＯ及びＴｉＯ2は含有されず、上記ＭｇＴｉＯ3と上記
ＣａＴｉＯ3の混合割合は、（１−ｘ）ＭｇＴｉＯ3・ｘ
ＣａＴｉＯ3の式で表した場合、ｘが０．０４≦ｘ≦
０．０７であり、４．５ＧＨｚでの無負荷Ｑ（Ｑｕ）が
５０００〜７０００、共振周波数の温度係数（τｆ）が
−１５〜＋１５（ｐｐｍ／℃）であることを特徴とす
る。上記ｘが０．０４より小さいとτｆが大きな負の値
をとり、逆に０．０７を超えるとτｆが大きな正の値を
とるので好ましくない。また、上記焼成温度が１３５０
℃未満または１４００℃以上では、Ｑｕが低くなるとと
もに、τｆが大きな負の値をとるので好ましくない。Ｃ
ａＴｉＯ3の混合割合が多くなるほど、τｆは負の値か
ら正の方向へ向かい、εrは大きくなり、一方Ｑｕは小
さくなる傾向にある。従って、ＣａＴｉＯ3の上記適正
な添加量範囲において、上記適正な温度範囲で焼成する
ことにより、これらの性能のバランスのとれたものとな
る。このマイクロ波誘電体磁器組成物は、ＭｇＯ粉末、
ＣａＣＯ 3 粉末及びＴｉＯ 2 粉末を仮焼、粉砕、造粒した
後にプレス成形し、大気中雰囲気中にて１３５０℃以上
１４００℃未満の温度で焼成することにより好適に製造
される。
【０００６】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。純度９９．９％のＭｇＯ粉末、ＣａＣＯ3粉末、Ｔ
ｉＯ2粉末を出発原料として、組成式（１−ｘ）ＭｇＴ
ｉＯ3・ｘＣａＴｉＯ3のｘが０．０３、０．０５、０．
０７の各組成になるように、所定量を秤量、混合した。
その後、ミキサーで乾式による混合及び一次粉砕を施し
た後、大気雰囲気中に１１００℃の温度で２時間仮焼し
た。次いで、この仮焼粉末に適量の有機バインダーと水
を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで粉砕した後、噴
霧乾燥により造粒し、この造粒された原料を用いて１０
００ｋｇ／ｃｍ2のプレス圧で１９ｍｍφ×８ｍｍｔ
（厚さ）の円板状に成形した。
る。純度９９．９％のＭｇＯ粉末、ＣａＣＯ3粉末、Ｔ
ｉＯ2粉末を出発原料として、組成式（１−ｘ）ＭｇＴ
ｉＯ3・ｘＣａＴｉＯ3のｘが０．０３、０．０５、０．
０７の各組成になるように、所定量を秤量、混合した。
その後、ミキサーで乾式による混合及び一次粉砕を施し
た後、大気雰囲気中に１１００℃の温度で２時間仮焼し
た。次いで、この仮焼粉末に適量の有機バインダーと水
を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで粉砕した後、噴
霧乾燥により造粒し、この造粒された原料を用いて１０
００ｋｇ／ｃｍ2のプレス圧で１９ｍｍφ×８ｍｍｔ
（厚さ）の円板状に成形した。
【０００７】次に、この成形体を大気中、表１及び表２
に示す１３２５〜１４２５℃の範囲の各温度で、４時間
焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍφ×６ｍｍｔ（厚
さ）の円板状に研磨して、誘電体試料Ｎｏ．１〜１８と
した。そして、各試料につき、平行導体板型誘電体円柱
共振器法（ＴＥ011ＭＯＤＥ）等により、εr（比誘電
率）、Ｑｕ及びτｆ、更に、焼結密度を測定した。尚、
共振周波数は４．５ＧＨｚである。これらの結果を表
１、図１〜図３に示す。また、一例として、０．９５Ｍ
ｇＴｉＯ3・０．０５ＣａＴｉＯ3の場合のＸ線回折の結
果を図４に示す。
に示す１３２５〜１４２５℃の範囲の各温度で、４時間
焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍφ×６ｍｍｔ（厚
さ）の円板状に研磨して、誘電体試料Ｎｏ．１〜１８と
した。そして、各試料につき、平行導体板型誘電体円柱
共振器法（ＴＥ011ＭＯＤＥ）等により、εr（比誘電
率）、Ｑｕ及びτｆ、更に、焼結密度を測定した。尚、
共振周波数は４．５ＧＨｚである。これらの結果を表
１、図１〜図３に示す。また、一例として、０．９５Ｍ
ｇＴｉＯ3・０．０５ＣａＴｉＯ3の場合のＸ線回折の結
果を図４に示す。
【０００８】
【表１】
【０００９】これらの結果によれば、（１−ｘ）ＭｇＴ
ｉＯ3・ｘＣａＴｉＯ3のｘが大きいとＱｕ値は小さくな
る傾向にあるが、逆にτｆとεrはプラス側に大きくな
る傾向がある。焼成温度が１３５０℃以上１４００℃未
満であってｘが０．０４〜０．０７の範囲の場合は、例
えば焼成温度が１３７５℃の場合をとると、図１〜３に
示すように、τｆが−１５．４〜＋１４．１、εrが１
９．２〜２１．２、Ｑｕが５０００〜６３５０であり、
優れた性能バランスを示した。更に、τｆに関して言え
ば、変化率が低いためより０近似の小さな値を調節し得
やすい。また、この焼成条件および組成では、焼結密度
はいずれも３．５ｇ／ｃｍ 3 以上であった。一方、Ｃａ
ＴｉＯ3を含まない場合（ｘ＝０）は、Ｑｕ値が大きい
ものの、εrが小さく、しかもτｆが−２５〜−４４と
マイナス側に著しく小さいものとなり、好ましくない。
また、一例を示す図４に示すように、本発明品の構造
は、Ｘ線回折ピークの有無による分析方法によれば、Ｍ
ｇＴｉＯ3とＣａＴｉＯ3からなり、他の成分（ＭｇＯ、
ＣａＯ、ＴｉＯ2）を含んでいないことを示している。
ｉＯ3・ｘＣａＴｉＯ3のｘが大きいとＱｕ値は小さくな
る傾向にあるが、逆にτｆとεrはプラス側に大きくな
る傾向がある。焼成温度が１３５０℃以上１４００℃未
満であってｘが０．０４〜０．０７の範囲の場合は、例
えば焼成温度が１３７５℃の場合をとると、図１〜３に
示すように、τｆが−１５．４〜＋１４．１、εrが１
９．２〜２１．２、Ｑｕが５０００〜６３５０であり、
優れた性能バランスを示した。更に、τｆに関して言え
ば、変化率が低いためより０近似の小さな値を調節し得
やすい。また、この焼成条件および組成では、焼結密度
はいずれも３．５ｇ／ｃｍ 3 以上であった。一方、Ｃａ
ＴｉＯ3を含まない場合（ｘ＝０）は、Ｑｕ値が大きい
ものの、εrが小さく、しかもτｆが−２５〜−４４と
マイナス側に著しく小さいものとなり、好ましくない。
また、一例を示す図４に示すように、本発明品の構造
は、Ｘ線回折ピークの有無による分析方法によれば、Ｍ
ｇＴｉＯ3とＣａＴｉＯ3からなり、他の成分（ＭｇＯ、
ＣａＯ、ＴｉＯ2）を含んでいないことを示している。
【００１０】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器組成
物は、Ｑｕ及びεrを実用的な特性範囲に維持しつつ、
ＣａＴｉＯ3の混合割合を加減することによって、τｆ
をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマイ
ナス側の所望の値に任意に制御し得ることができるとと
もに、τｆを０付近に安定して調節できる。従って、目
的に応じて、ＣａＴｉＯ3の混合割合を変えることがで
きる。
物は、Ｑｕ及びεrを実用的な特性範囲に維持しつつ、
ＣａＴｉＯ3の混合割合を加減することによって、τｆ
をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマイ
ナス側の所望の値に任意に制御し得ることができるとと
もに、τｆを０付近に安定して調節できる。従って、目
的に応じて、ＣａＴｉＯ3の混合割合を変えることがで
きる。
【図１】焼成温度とＭｇＴｉＯ3とＣａＴｉＯ3の混合割
合の変化におけるτｆの関係を示すグラフである。
合の変化におけるτｆの関係を示すグラフである。
【図２】焼成温度とＭｇＴｉＯ3とＣａＴｉＯ3の混合割
合の変化におけるεrの関係を示すグラフである。
合の変化におけるεrの関係を示すグラフである。
【図３】焼成温度とＭｇＴｉＯ3とＣａＴｉＯ3の混合割
合の変化におけるＱｕの関係を示すグラフである。
合の変化におけるＱｕの関係を示すグラフである。
【図４】０．９５ＭｇＴｉＯ3・０．０５ＣａＴｉＯ3の
場合のＸ線回折結果を示すグラフである。
場合のＸ線回折結果を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−260408（ＪＰ，Ａ) Ｊ．ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＡＰＰＬ ＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ，ｖｏｌ．28, Ｎｏ12，ＤＥＣＥＭＢＥＲ，1989，ｐ ｐ．2528−2531 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/46 H01B 3/12
Claims (2)
- 【請求項１】 原料粉末を１３５０℃以上１４００℃未
満の温度で焼成してなるマイクロ波誘電体磁器組成物で
あって、 ＭｇＴｉＯ3及びＣａＴｉＯ3の混晶からなり、ＭｇＯ、
ＣａＯ及びＴｉＯ2は含有されず、上記ＭｇＴｉＯ3と上
記ＣａＴｉＯ3の混合割合は、（１−ｘ）ＭｇＴｉＯ3・
ｘＣａＴｉＯ3の式で表した場合、ｘが０．０４≦ｘ≦
０．０７であり、 ４．５ＧＨｚでの無負荷Ｑ（Ｑｕ）が５０００〜７００
０、共振周波数の温度係数（τｆ）が−１５〜＋１５
（ｐｐｍ／℃）である ことを特徴とするマイクロ波誘電
体磁器組成物。 - 【請求項２】 請求項１記載のマイクロ波誘電体磁器組
成物を製造する方法であって、 ＭｇＯ粉末、ＣａＣＯ 3 粉末及びＴｉＯ 2 粉末を仮焼、粉
砕、造粒した後にプレス成形し、大気中雰囲気中にて１
３５０℃以上１４００℃未満の温度で焼成することを特
徴とする マイクロ波誘電体磁器組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204739A JP3027031B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3204739A JP3027031B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0524914A JPH0524914A (ja) | 1993-02-02 |
| JP3027031B2 true JP3027031B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=16495520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3204739A Expired - Lifetime JP3027031B2 (ja) | 1991-07-19 | 1991-07-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3027031B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5340784A (en) * | 1992-08-03 | 1994-08-23 | Ngk Spark Plug Company, Ltd. | Microwave dielectric ceramic composition |
| CN111004030B (zh) * | 2019-12-24 | 2021-09-07 | 苏州同拓光电科技有限公司 | 一种MgTiO3基微波介质陶瓷及其制备方法 |
| CN111908897B (zh) * | 2020-06-28 | 2022-09-13 | 杭州电子科技大学 | MgO基微波陶瓷介质材料及其制备方法 |
| CN111848153A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-10-30 | 深圳市兆普莱科技有限公司 | 一种微波介质陶瓷、微波介质陶瓷的制备方法及通信器件 |
-
1991
- 1991-07-19 JP JP3204739A patent/JP3027031B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Ｊ．ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ ＡＰＰＬＩＥＤ ＰＨＹＳＩＣＳ，ｖｏｌ．２８，Ｎｏ１２，ＤＥＣＥＭＢＥＲ，１９８９，ｐｐ．２５２８−２５３１ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0524914A (ja) | 1993-02-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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