JP3301651B2 - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物Info
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- JP3301651B2 JP3301651B2 JP16011693A JP16011693A JP3301651B2 JP 3301651 B2 JP3301651 B2 JP 3301651B2 JP 16011693 A JP16011693 A JP 16011693A JP 16011693 A JP16011693 A JP 16011693A JP 3301651 B2 JP3301651 B2 JP 3301651B2
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）及び比誘電率（以下、単にεr とい
う。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の温度係数
（以下、単にτf という。）をゼロに近づけることがで
き、更にＳｎＯ2 の置換量を加減することによって、τ
f をゼロを中心としてプラス側とマイナス側に任意に制
御でき、焼結密度が大きく、また焼成温度による性能の
バラツキが少ないマイクロ波誘電体磁器組成物に関する
ものである。本発明は、マイクロ波領域において誘電体
共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路
のインピーダンス整合等に利用される。
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、単
にＱｕという。）及び比誘電率（以下、単にεr とい
う。）を高い値で維持しつつ、共振周波数の温度係数
（以下、単にτf という。）をゼロに近づけることがで
き、更にＳｎＯ2 の置換量を加減することによって、τ
f をゼロを中心としてプラス側とマイナス側に任意に制
御でき、焼結密度が大きく、また焼成温度による性能の
バラツキが少ないマイクロ波誘電体磁器組成物に関する
ものである。本発明は、マイクロ波領域において誘電体
共振器、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路
のインピーダンス整合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、単
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
に誘電体磁器組成物という。）は、使用周波数が高周波
となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、
マイクロ周波数領域でＱｕの大きな誘電体磁器組成物が
望まれている。従来の誘電体磁器材料としては、結晶構
造がペロブスカイト相とイルメナイト相との２相を含む
誘電体磁器組成物（特開平２−１２９０６５号公報）、
ＭｇＴｉＯ3 とＴｉＯ2 に所定量のＣａＴｉＯ3 を含有
した誘電体磁器組成物（特開昭５２−１１８５９９号公
報）等が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前者の誘電体
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτf が＋８７〜−１００と
大きく変化し、０付近の小さな値に調整すること（特に
微調整すること）が困難である等の問題があった。
磁器組成物ではＮｄ2 Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＰｂＯ、Ｚｎ
Ｏ等の他成分が多く含まれる上、Ｑｕも必ずしも大きな
値とは言えない。後者の誘電体磁器組成物では、ＴｉＯ
2 を必須成分として含み、ＣａＴｉＯ3 の混合量が３〜
１０重量％の範囲においてはτf が＋８７〜−１００と
大きく変化し、０付近の小さな値に調整すること（特に
微調整すること）が困難である等の問題があった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、Ｑｕ及びεr を実用的な特性範囲に維持しつつ、τ
f をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に制御でき、焼結密度が大き
く、また焼成温度による性能のバラツキが少ない誘電体
磁器組成物を提供することを目的とする。
り、Ｑｕ及びεr を実用的な特性範囲に維持しつつ、τ
f をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に制御でき、焼結密度が大き
く、また焼成温度による性能のバラツキが少ない誘電体
磁器組成物を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、誘電体磁
器組成物において、高いＱｕ及びεr を維持しつつ、τ
f をゼロに近づけることができ、且つ焼成温度を変えて
も安定した品質を備える組成について種々検討した結
果、ＳｎＯ2 の置換量を加減することによりこの欠点が
解消されることを見出して、本発明を完成するに至った
のである。
器組成物において、高いＱｕ及びεr を維持しつつ、τ
f をゼロに近づけることができ、且つ焼成温度を変えて
も安定した品質を備える組成について種々検討した結
果、ＳｎＯ2 の置換量を加減することによりこの欠点が
解消されることを見出して、本発明を完成するに至った
のである。
【０００６】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、ｘＭ
ｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,
Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 〔ｘ＝０．９３〜０．９５、ｙ＝０．
８０〜０．９５〕からなることを特徴とする。上記ｘが
０．９３より小さいと、Ｑｕが小さくなり、逆に０．９
５を越えると、τf が大きな負の値をとるため、好まし
くないからである。また、上記ｙが０．８０より小さい
と、εr が小さくなり、逆に０．９５を越えると、τf
の焼成温度によるバラツキが大きくなるため、好ましく
ないからである。
ｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,
Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 〔ｘ＝０．９３〜０．９５、ｙ＝０．
８０〜０．９５〕からなることを特徴とする。上記ｘが
０．９３より小さいと、Ｑｕが小さくなり、逆に０．９
５を越えると、τf が大きな負の値をとるため、好まし
くないからである。また、上記ｙが０．８０より小さい
と、εr が小さくなり、逆に０．９５を越えると、τf
の焼成温度によるバラツキが大きくなるため、好ましく
ないからである。
【０００７】特に、ｘが０．９４、ｙが０．９であり、
且つ１３７５〜１４２５℃にて焼成した場合には、表１
に示すように、Ｑｕが３８８０〜３９５０、τf が−
６．４４〜−０．２０ｐｐｍ／℃、εr が２０．１７〜
２０．３９、焼結密度が３．９８〜４．０１ｇ／ｃｍ3
であり、５０℃という温度範囲内で焼成しても、各性能
のバラツキが少ないとともに優れた性能を示している。
更に、焼成温度が１４００℃の場合では、τf が−０．
２０ｐｐｍ／℃と大変好ましく、τf の微調整も極めて
容易である。以上より、ＳｎＯ2 の置換量及び適正で且
つ広い焼成温度範囲において、これらの性能に優れ且つ
そのバランスのとれたものとなるとともに、τf の微調
整も容易なものとなる。
且つ１３７５〜１４２５℃にて焼成した場合には、表１
に示すように、Ｑｕが３８８０〜３９５０、τf が−
６．４４〜−０．２０ｐｐｍ／℃、εr が２０．１７〜
２０．３９、焼結密度が３．９８〜４．０１ｇ／ｃｍ3
であり、５０℃という温度範囲内で焼成しても、各性能
のバラツキが少ないとともに優れた性能を示している。
更に、焼成温度が１４００℃の場合では、τf が−０．
２０ｐｐｍ／℃と大変好ましく、τf の微調整も極めて
容易である。以上より、ＳｎＯ2 の置換量及び適正で且
つ広い焼成温度範囲において、これらの性能に優れ且つ
そのバランスのとれたものとなるとともに、τf の微調
整も容易なものとなる。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、ＳｎＯ2 粉末（純度；９９．３％）を
出発原料として、表１、２及び図１〜２１に示すよう
に、組成式ｘＭｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−
ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 〔ｘ＝０．９３〜
０．９５、ｙ＝０．８〜１．０〕の各ｘとｙが変化した
組成になるように、所定量（全量として約５００ｇ）を
秤量、混合した。尚、表１及び表２は上記各ｘとｙを変
化させた時の誘電特性を示す。
る。ＭｇＯ粉末（純度；９９．４％）、ＣａＯとしてＣ
ａＣＯ3 粉末（純度；９９％）、ＴｉＯ2 粉末（純度；
９９．９８％）、ＳｎＯ2 粉末（純度；９９．３％）を
出発原料として、表１、２及び図１〜２１に示すよう
に、組成式ｘＭｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−
ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 〔ｘ＝０．９３〜
０．９５、ｙ＝０．８〜１．０〕の各ｘとｙが変化した
組成になるように、所定量（全量として約５００ｇ）を
秤量、混合した。尚、表１及び表２は上記各ｘとｙを変
化させた時の誘電特性を示す。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】その後、ミキサーで乾式による混合（２０
〜３０分）及び一次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて
１１００℃の温度で２時間仮焼した。次いで、この仮焼
粉末に適量の有機バインダー（２９ｇ）と水（３００〜
４００ｇ）を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９
０ｒｐｍ、２３時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥
（約０．４Ｔｏｒｒ、４０〜５０℃、約２０時間）によ
り造粒し、この造粒された原料を用いて１トン／ｃｍ2
のプレス圧で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状
に成形した。次に、この成形体を大気中、５００℃、３
時間にて脱脂し、その後、１３２５〜１４５０℃の範囲
の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、誘電体試料
（表１のＮｏ．１〜２４、表２のＮｏ．１〜２６）とし
た。
〜３０分）及び一次粉砕を施した後、大気雰囲気中にて
１１００℃の温度で２時間仮焼した。次いで、この仮焼
粉末に適量の有機バインダー（２９ｇ）と水（３００〜
４００ｇ）を加え、２０ｍｍφのアルミナボールで、９
０ｒｐｍ、２３時間粉砕した。その後、真空凍結乾燥
（約０．４Ｔｏｒｒ、４０〜５０℃、約２０時間）によ
り造粒し、この造粒された原料を用いて１トン／ｃｍ2
のプレス圧で１９ｍｍφ×１１ｍｍｔ（厚さ）の円柱状
に成形した。次に、この成形体を大気中、５００℃、３
時間にて脱脂し、その後、１３２５〜１４５０℃の範囲
の各温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（厚さ）の円柱状に研磨して、誘電体試料
（表１のＮｏ．１〜２４、表２のＮｏ．１〜２６）とし
た。
【００１２】そして、各試料につき、平行導体板型誘電
体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）等により、εr 、
Ｑｕを、２５℃の時の共振周波数ｆ25℃と８０℃の時の
共振周波数ｆ80℃からτf ［＝（ｆ80℃−ｆ25℃）／
（55℃×ｆ25℃）］を、更に、アルキメデス法により焼
結密度を測定した。尚、共振周波数は６ＧＨｚである。
これらの結果を表１、２及び図１〜２１に示す。また、
一例として、０．９４Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −
０．０６Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 のｙがそれぞれ
０．８、０．９、１．０の場合の磁器組成物（１４００
℃で４時間焼成）についてのＸ線回折の結果を図２３に
示す。
体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）等により、εr 、
Ｑｕを、２５℃の時の共振周波数ｆ25℃と８０℃の時の
共振周波数ｆ80℃からτf ［＝（ｆ80℃−ｆ25℃）／
（55℃×ｆ25℃）］を、更に、アルキメデス法により焼
結密度を測定した。尚、共振周波数は６ＧＨｚである。
これらの結果を表１、２及び図１〜２１に示す。また、
一例として、０．９４Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −
０．０６Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 のｙがそれぞれ
０．８、０．９、１．０の場合の磁器組成物（１４００
℃で４時間焼成）についてのＸ線回折の結果を図２３に
示す。
【００１３】これらの結果によれば、ｘＭｇ（Ｔｉy,Ｓ
ｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）
Ｏ3 のｘが大きいとεr 及びτf は小さくなる傾向にあ
るが、逆にＱｕ値は大きくなる傾向にある。焼結密度は
ほぼ一定で焼成温度が高いほど大きくなる傾向にある。
また、ｙを変える場合、Ｑｕはｙが０．８から０．９に
なるに従って大きくなるものの、ｙが１．０の場合は逆
に小さくなる傾向にあり、特に焼成温度が１４００℃及
び１４２５℃と高い場合はその低下が大きい（図７、１
１及び１５）。また、εr はｙが０．８から１．０にな
るに従って大きくなる傾向にあるものの、そのバラツキ
は小さい（図８、１２及び１６）。更に、τf は、ｙが
０．８から１．０になるに従って大きくなる傾向にある
（図９、１３及び１７）。尚、特に焼成温度が１４００
℃及び１４２５℃と高い場合は逆に低下する傾向にある
（図９、１３及び１７）。また、焼結密度は、ｙが０．
８から１．０になるに従って小さくなる傾向にあり、特
にｙが１．０の場合は大きく低下する傾向にある（図１
０、１４及び１８）。更に、本発明の組成範囲において
は、焼成温度が１３５０〜１４５０℃の範囲では、Ｑ
ｕ、εr 及びτf の変動は極めて小さく、焼成温度によ
る性能のバラツキが著しく小さいことを示している（図
１９〜２１）。一方、ｙが１．０の比較例では、焼成温
度による性能の変動が著しく大きく、特にＱｕ及びτf
の変動が著しく大きい（図１９〜２１）。
ｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）
Ｏ3 のｘが大きいとεr 及びτf は小さくなる傾向にあ
るが、逆にＱｕ値は大きくなる傾向にある。焼結密度は
ほぼ一定で焼成温度が高いほど大きくなる傾向にある。
また、ｙを変える場合、Ｑｕはｙが０．８から０．９に
なるに従って大きくなるものの、ｙが１．０の場合は逆
に小さくなる傾向にあり、特に焼成温度が１４００℃及
び１４２５℃と高い場合はその低下が大きい（図７、１
１及び１５）。また、εr はｙが０．８から１．０にな
るに従って大きくなる傾向にあるものの、そのバラツキ
は小さい（図８、１２及び１６）。更に、τf は、ｙが
０．８から１．０になるに従って大きくなる傾向にある
（図９、１３及び１７）。尚、特に焼成温度が１４００
℃及び１４２５℃と高い場合は逆に低下する傾向にある
（図９、１３及び１７）。また、焼結密度は、ｙが０．
８から１．０になるに従って小さくなる傾向にあり、特
にｙが１．０の場合は大きく低下する傾向にある（図１
０、１４及び１８）。更に、本発明の組成範囲において
は、焼成温度が１３５０〜１４５０℃の範囲では、Ｑ
ｕ、εr 及びτf の変動は極めて小さく、焼成温度によ
る性能のバラツキが著しく小さいことを示している（図
１９〜２１）。一方、ｙが１．０の比較例では、焼成温
度による性能の変動が著しく大きく、特にＱｕ及びτf
の変動が著しく大きい（図１９〜２１）。
【００１４】更に、特にｘが０．９４、ｙが０．９の場
合は、例えば焼成温度が１４００℃の場合をとると、τ
f が−０．２０ｐｐｍ／℃、εr が２０．３９、Ｑｕが
３８９０、焼結密度が４．０１であり、特に優れた性能
バランスを示す。また、焼成温度を１３７５〜１４２５
℃とした場合は、Ｑｕ、εr 、τf 及び焼結密度のいず
れも、そのバラツキが極めて小さく（順次、３８８０〜
３９５０、２０．１７〜２０．３９、−６．４４〜−
０．２０ｐｐｍ／℃、３．９８〜４．０１ｇ／ｃ
ｍ3 ）、所望の品質のものを安定して得ることができ
る。従って、ＳｎＯ2 置換量及び焼成温度を変えても、
極めて安定した品質のものを製造できるし、τf の微調
整も極めて容易である。
合は、例えば焼成温度が１４００℃の場合をとると、τ
f が−０．２０ｐｐｍ／℃、εr が２０．３９、Ｑｕが
３８９０、焼結密度が４．０１であり、特に優れた性能
バランスを示す。また、焼成温度を１３７５〜１４２５
℃とした場合は、Ｑｕ、εr 、τf 及び焼結密度のいず
れも、そのバラツキが極めて小さく（順次、３８８０〜
３９５０、２０．１７〜２０．３９、−６．４４〜−
０．２０ｐｐｍ／℃、３．９８〜４．０１ｇ／ｃ
ｍ3 ）、所望の品質のものを安定して得ることができ
る。従って、ＳｎＯ2 置換量及び焼成温度を変えても、
極めて安定した品質のものを製造できるし、τf の微調
整も極めて容易である。
【００１５】また、図２３に示すＸ線回折ピークの有無
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （●）を含んでいるが、Ｓｎ
Ｏ2との化合物は検知されなかった。また、Ｓｎが多く
なる（即ちｙが小さくなる）につれピークの２θが全体
的に低角度側にシフトしていくが、これはＭｇＴｉＯ3
やＣａＴｉＯ3 のＴｉ4+の位置にＳｎ4+が置換し、一部
がＭｇ（Ｔｉ，Ｓｎ）Ｏ3 やＣａ（Ｔｉ，Ｓｎ）Ｏ3 を
形成しているためと考えられる。
による分析方法によれば、本発明品の構造は、ＭｇＴｉ
Ｏ3 （○）とＣａＴｉＯ3 （●）を含んでいるが、Ｓｎ
Ｏ2との化合物は検知されなかった。また、Ｓｎが多く
なる（即ちｙが小さくなる）につれピークの２θが全体
的に低角度側にシフトしていくが、これはＭｇＴｉＯ3
やＣａＴｉＯ3 のＴｉ4+の位置にＳｎ4+が置換し、一部
がＭｇ（Ｔｉ，Ｓｎ）Ｏ3 やＣａ（Ｔｉ，Ｓｎ）Ｏ3 を
形成しているためと考えられる。
【００１６】更に、電子顕微鏡写真の結果（図示せず）
によれば、図２２に示すように、焼成温度の上昇ととも
に粒子径が大きくなり（１３５０℃；４．２９μｍ、１
４００℃；５．１０μｍ、１４５０℃；６．８５μｍ、
いずれもIntercept 法により測定。）破断面組織はいず
れも粒内破壊を示した。焼結体表面組織は直径２０〜３
０μｍの大粒子と５μｍほどの小粒子とに分かれるが、
ＥＤＳ分析の結果、どちらにもＭｇ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｓｎ
が似たようなパターンで検出され組成の偏りは見られな
かった。Ｔｉ、Ｓｎともほぼ均一に分布しているものと
考えられる。
によれば、図２２に示すように、焼成温度の上昇ととも
に粒子径が大きくなり（１３５０℃；４．２９μｍ、１
４００℃；５．１０μｍ、１４５０℃；６．８５μｍ、
いずれもIntercept 法により測定。）破断面組織はいず
れも粒内破壊を示した。焼結体表面組織は直径２０〜３
０μｍの大粒子と５μｍほどの小粒子とに分かれるが、
ＥＤＳ分析の結果、どちらにもＭｇ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｓｎ
が似たようなパターンで検出され組成の偏りは見られな
かった。Ｔｉ、Ｓｎともほぼ均一に分布しているものと
考えられる。
【００１７】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。また、ＣａＯとなる原料も上記ＣａＣ
Ｏ3 以外にも、過酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いる
こともできる。他の酸化物についても同様に、加熱によ
り酸化物となる他種化合物を用いることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、本発明の誘電体磁器組成
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、ＳｎＯ2 の置換量を加減することによって、τ
f をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に制御できるとともに、τf
を０付近に安定して調節できる。更に、焼結密度が大き
く、広い温度範囲内において焼成温度を種々変動させて
も、バラツキが小さく高品質なものとすることができ
る。
物は、Ｑｕ及びεr を実用的な（高い）特性範囲に維持
しつつ、ＳｎＯ2 の置換量を加減することによって、τ
f をゼロに近づける又はゼロを中心としてプラス側とマ
イナス側の所望の値に任意に制御できるとともに、τf
を０付近に安定して調節できる。更に、焼結密度が大き
く、広い温度範囲内において焼成温度を種々変動させて
も、バラツキが小さく高品質なものとすることができ
る。
【図１】各焼成温度により焼成されて製造された〔ｘＭ
ｇ（Ｔｉ0.8,Ｓｎ0.2)Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉ0.8,
Ｓｎ0.2)Ｏ3 〕磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係
を示すグラフである。
ｇ（Ｔｉ0.8,Ｓｎ0.2)Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉ0.8,
Ｓｎ0.2)Ｏ3 〕磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係
を示すグラフである。
【図２】図１にて示す磁器組成物において、ｘとεr と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図３】図１にて示す磁器組成物において、ｘとτf と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図４】各焼成温度により焼成されて製造された〔ｘＭ
ｇ（Ｔｉ0.9,Ｓｎ0.1)Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉ0.9,
Ｓｎ0.1)Ｏ3 〕磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係
を示すグラフである。
ｇ（Ｔｉ0.9,Ｓｎ0.1)Ｏ3 −（１−ｘ）Ｃａ（Ｔｉ0.9,
Ｓｎ0.1)Ｏ3 〕磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係
を示すグラフである。
【図５】図４にて示す磁器組成物において、ｘとεr と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図６】図４にて示す磁器組成物において、ｘとτf と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図７】各焼成温度により焼成されて製造された〔０．
９３Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０７Ｃａ（Ｔ
ｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙとＱｕ
との関係を示すグラフである。
９３Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０７Ｃａ（Ｔ
ｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙとＱｕ
との関係を示すグラフである。
【図８】図７にて示す磁器組成物において、ｙとεr と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図９】図７にて示す磁器組成物において、ｙとτf と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図１０】図７にて示す磁器組成物において、ｙと焼結
密度との関係を示すグラフである。
密度との関係を示すグラフである。
【図１１】各焼成温度により焼成されて製造された
〔０．９４Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０６Ｃ
ａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
〔０．９４Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０６Ｃ
ａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図１２】図１１にて示す磁器組成物において、ｙとε
r との関係を示すグラフである。
r との関係を示すグラフである。
【図１３】図１１にて示す磁器組成物において、ｙとτ
f との関係を示すグラフである。
f との関係を示すグラフである。
【図１４】図１１にて示す磁器組成物において、ｙと焼
結密度との関係を示すグラフである。
結密度との関係を示すグラフである。
【図１５】各焼成温度により焼成されて製造された
〔０．９５Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０５Ｃ
ａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
〔０．９５Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) )Ｏ3 −０．０５Ｃ
ａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物において、ｙ
とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図１６】図１５にて示す磁器組成物において、ｙとε
r との関係を示すグラフである。
r との関係を示すグラフである。
【図１７】図１５にて示す磁器組成物において、ｙとτ
f との関係を示すグラフである。
f との関係を示すグラフである。
【図１８】図１５にて示す磁器組成物において、ｙと焼
結密度との関係を示すグラフである。
結密度との関係を示すグラフである。
【図１９】〔ｘＭｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 −（１−
ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 〕磁器組成物におい
て、焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフである。
【図２０】図１９にて示す磁器組成物において、焼成温
度とεr との関係を示すグラフである。
度とεr との関係を示すグラフである。
【図２１】図１９にて示す磁器組成物において、焼成温
度とτf との関係を示すグラフである。
度とτf との関係を示すグラフである。
【図２２】〔０．９４Ｍｇ（Ｔｉ0.9,Ｓｎ0.1)Ｏ3 −
０．０６Ｃａ（Ｔｉ0.9,Ｓｎ0.1)Ｏ3 〕磁器組成物にお
いて、焼成温度と平均粒径との関係を示すグラフであ
る。
０．０６Ｃａ（Ｔｉ0.9,Ｓｎ0.1)Ｏ3 〕磁器組成物にお
いて、焼成温度と平均粒径との関係を示すグラフであ
る。
【図２３】〔０．９４Ｍｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ) Ｏ3 −
０．０６Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y)) Ｏ3 〕磁器組成物の
Ｘ線回折結果を示すグラフである。
０．０６Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y)) Ｏ3 〕磁器組成物の
Ｘ線回折結果を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01B 3/12 304 C04B 35/46 H01G 4/12 415
Claims (1)
- 【請求項１】 ｘＭｇ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 −（１
−ｘ）Ｃａ（Ｔｉy,Ｓｎ(1-y) ）Ｏ3 〔ｘ＝０．９３〜
０．９５、ｙ＝０．８０〜０．９５〕からなることを特
徴とするマイクロ波誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16011693A JP3301651B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16011693A JP3301651B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349334A JPH06349334A (ja) | 1994-12-22 |
| JP3301651B2 true JP3301651B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=15708213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16011693A Expired - Lifetime JP3301651B2 (ja) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301651B2 (ja) |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP16011693A patent/JP3301651B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06349334A (ja) | 1994-12-22 |
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