JPH06177320A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JPH06177320A
JPH06177320A JP32218092A JP32218092A JPH06177320A JP H06177320 A JPH06177320 A JP H06177320A JP 32218092 A JP32218092 A JP 32218092A JP 32218092 A JP32218092 A JP 32218092A JP H06177320 A JPH06177320 A JP H06177320A
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JP
Japan
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semiconductor chip
circuit board
semiconductor
metal
metal plate
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JP32218092A
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Makoto Totani
眞 戸谷
Kenichiro Tsubone
健一郎 坪根
Hiroyuki Takabayashi
博幸 高林
Shigeru Sugino
成 杉野
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の半導体チップと他の実装部品とを実装
封止した半導体装置に関し、半導体チップの放熱性が良
好で、且つ半導体チップ及び表面実装部品が封止された
ことを目的とする。 【構成】 上面が表面実装部品4の実装高よりも高くな
るよう、選択した半導体チップ2の裏面にろー付け接着
した所定の板厚の金属板22と、金属板22の上面までの高
さが等しくなるよう、他の半導体チップ3,・・・・・の裏面
にろー付け接着する所定の板厚の他の金属板23, ・・・・
と、半導体チップ2,3,・・・・ 及び表面実装部品4を囲
うよう回路基板1上に搭載する、高さが金属板22の上面
の高さに等しい金属枠体30と、下面がそれぞれの金属板
22,23,・・・・・ の上面及び金属枠体30の上面にろー付け接
着される、平面形状が金属枠体30の平面形状に等しい放
熱体35とを、 備えた構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の半導体チップと
他の実装部品とを実装封止した半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は従来例の断面図である。図3にお
いて、2及び3は、回路基板1にフェースダウンに表面
実装する、それぞれ形状等が異なる半導体チップ(例え
ばフリップチップ)である。
【0003】半導体チップ2,3は、後述する放熱体を
半田付け等して搭載するために、裏面をメタライズして
いる。なお、半導体チップがフリップチップの場合は、
それぞれの電極に金,半田等のバンプを固着している。
【0004】4は、回路基板1に表面実装する例えばコ
ンデンサ,抵抗体のような表面実装部品であって、その
実装高は半導体チップ2等の実装高よりも高い。12は、
平面形状が半導体チップ2の裏面の形状にほぼ等しい、
表面に複数の放熱フィンを配列形成した例えばアルミニ
ウム等よりなる放熱体である。
【0005】13は、平面形状が半導体チップ3の裏面の
形状にほぼ等しい、表面に複数の放熱フィンを配列形成
した例えばアルミニウム等よりなる放熱体である。15
は、下面が開口した箱形のケースであって、その開口の
寸法は、半導体チップ2,3及び表面実装部品4の実装
全領域より広い角形である。
【0006】なお、ケース15の材料は、熱膨張係数が回
路基板1の熱膨張係数にほぼ等しい金属板、例えば鉄・
ニッケル・コバルト合金(商品名コバール)である。一
方、回路基板1の表面に、半導体チップ2,3のそれぞ
れの電極(又はリード)に対応してパッド5を配列形成
し、また、表面実装部品4の電極に対応した他のパッド
を配列形成している。
【0007】それぞれのパッド5に対応するバンプの下
部を固着することで、半導体チップ2,3を回路基板1
にフェースダウンに実装している。また、表面実装部品
4を対応するパッドにリフロー半田付けすることで回路
基板1に表面実装している。
【0008】そして、下面を半導体チップ2の裏面にろ
ー付け(半田付け) することで、半導体チップ2上に放
熱体12を搭載し、また、下面を半導体チップ3の裏面に
ろー付け(半田付け) することで、半導体チップ3上に
半導体チップ3を搭載している。
【0009】そして、ケース15を、半導体チップ2,3
及び表面実装部品4を覆うように被せ、その開口側端面
を回路基板1に半田付けすることで、半導体チップ等を
封止している。
【0010】上述のように構成されているので、半導体
チップの熱は放熱体に伝達され、放熱体から放出され
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置は、
それぞれの半導体チップに放熱体を搭載し、それらの放
熱体を含めた全体を覆うケースで、半導体チップ等を封
止した構造である。
【0012】したがって、ケースと放熱体との間には熱
伝導性が極めて劣る空気が介在しているので、放熱体か
ら放出された熱がケースに伝達され難い。このことによ
り半導体チップの放熱性が劣るという問題点があった。
【0013】本発明はこのような点に鑑みて創作された
もので、半導体チップの放熱性が良好で、且つ半導体チ
ップ及び表面実装部品が封止された半導体装置を提供す
ることを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、図1に図示したように、回路基板1に、
フェースダウンに実装する複数の半導体チップ2,3、
及び回路基板1に搭載する他の表面実装部品4と、から
なる半導体装置において、上面が表面実装部品4の実装
高よりも高くなるよう、選択した半導体チップ2の裏面
にろー付け接着した所定の板厚の金属板22と、金属板22
の上面までの高さが等しくなるよう、他の半導体チップ
3の裏面にろー付け接着する所定の板厚の他の金属板23
とを備える。
【0015】また、半導体チップ2,3及び表面実装部
品4を囲うよう回路基板1上に搭載する、高さが金属板
22の上面の高さに等しい金属枠体30と、下面がそれぞれ
の金属板22,23 の上面及び金属枠体30の上面にろー付け
接着される、平面形状が金属枠体30の平面形状に等しい
放熱体35を、 備えた構成とする。
【0016】また、図2に例示したように、少なくとも
1つの半導体チップ3の裏面の全面に、アース電極45が
形成され、半導体チップ3の裏面が金属枠体30,金属板
23を介して回路基板1に接地された構成とする。
【0017】或いはまた、図2に例示したように、回路
基板1に、フェースダウンに実装する複数の半導体チッ
プ2,3、及び回路基板1に搭載する他の表面実装部品
4と、からなる半導体装置において、裏面の全面に電源
電極55が形成された選択した半導体チップ2と、上面が
表面実装部品4の実装高よりも高くなるよう、半導体チ
ップ2の上部にろー付け接着する所定の板厚のセラミッ
クス板53と、セラミックス板53の上面の高さに等しくな
るよう、他の半導体チップ3の裏面にろー付け接着する
所定の板厚の金属板23と、を備える。
【0018】また、半導体チップ2,3及び表面実装部
品4を囲うよう回路基板1上に搭載され、高さがセラミ
ックス板53の上面の高さに等しい金属枠体30と、下面が
それぞれのセラミックス板53,金属板23の上面及び金属
枠体30の上面にろー付け接着される、平面形状が金属枠
体30の平面形状に等しい放熱体35を備える。
【0019】そして、半導体チップ2の電源電極55と回
路基板1の電源パターン50とが、リード51を介して接続
される構成とする。
【0020】
【作用】本発明によれば、それそれの半導体チップの裏
面は金属板を介して放熱体の下面に密着している。また
この放熱体は、金属枠体の開口を塞ぐ大きい平面形状で
あるので、その表面に多数の放熱フィンが並列して形成
される。
【0021】したがって、それぞれの半導体チップの放
熱性が著しく向上する。一方、金属枠体と放熱体とは、
従来のケースと同様に封止ケースの機能を備えているの
で、半導体チップ及び表面実装部品が一括して気密に封
止される。
【0022】また、請求項2の発明によれば、半導体チ
ップの裏面の全面にアース電極が形成されている。した
がって、回路基板の表面に金属枠体に対応してアースパ
ターンを形成することで、半導体チップの裏面を接地す
ることができ、半導体チップの特性が向上する。
【0023】さらにまた、請求項3の発明によれば、半
導体チップの裏面の全面に電源電極が形成され、この電
源電極と回路基板の電源パターンとがリードを介して接
続されている。
【0024】よって、選択した特定の半導体チップに背
面電圧を供給することができる。なお、この半導体チッ
プの裏面は、熱熱伝導率が大きいセラミックス板を介し
て放熱体の下面に密着し、そのセラミックス板の上面は
放熱体の下面にろー付けされている。したがって、放熱
体とは電気的に絶縁されているが、その放熱性は良好で
ある。
【0025】
【実施例】以下図を参照しながら、本発明を具体的に説
明する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物を示
す。
【0026】図1は、本発明の実施例の図、図2は本発
明の他の実施例の図である。図1において、2及び3
は、回路基板1にフェースダウンに表面実装する、それ
ぞれ形状等が異なる半導体チップ(例えばフリップチッ
プ)である。
【0027】なお、半導体チップがフリップチップの場
合は、それぞれの電極に金,半田等のバンプを固着して
いる。また、半導体チップ2,3のそれぞれの裏面をメ
タライズしている。
【0028】4は、回路基板1に表面実装する例えばコ
ンデンサ,抵抗体のような表面実装部品であって、その
実装高は半導体チップ2等の実装高よりも高い。回路基
板1の表面に、半導体チップ2,3のそれぞれの電極
(又はリード)に対応してパッド5を配列形成し、ま
た、表面実装部品4の電極に対応した他のパッドを配列
形成している。
【0029】そして、それぞれのパッド5に対応するバ
ンプの下部を固着することで、半導体チップ2,3を回
路基板1にフェースダウンに実装し、表面実装部品4を
対応するパッドにリフロー半田付けすることで回路基板
1に表面実装している。
【0030】22は、半導体チップ2の平面形状に等しい
角板状の、例えば銅・タングステン合金等の金属板であ
る。金属板22は、半導体チップ2の裏面に、ろー付け
(バンプよりも低融点の半田26)して密着されている。
【0031】なお、金属板22は上面が表面実装部品4の
実装高よりも高くなるような所望の板厚である。23は、
半導体チップ3の平面形状に等しい角板状の、例えば銅
・タングステン合金等の金属板である。
【0032】金属板23は、半導体チップ3の裏面に、ろ
ー付け(バンプよりも低融点の半田26)して密着されて
いる。なお、この金属板23は上面が、前述の半導体チッ
プ2に密着した金属板22の上面に一致するという所定の
板厚である。
【0033】30は、半導体チップ2,3及び表面実装部
品4の実装全領域より広い角形の金属枠体である。金属
枠体30は、熱膨張係数が回路基板1の熱膨張係数にほぼ
等しい金属材よりなり、その高さは、金属板22の上面の
高さに等しいものである。
【0034】35は、平面形状が金属枠体30の平面形状に
等しい放熱体であって、その表面には、多数の放熱フィ
ンが並列して形成されている。枠内に半導体チップ2,3
及び表面実装部品4が位置するように、金属枠体30を回
路基板1に載置し、ろー付け(半田31) して回路基板1
に固着している。
【0035】そして、接着金属枠体30の上端面にクリー
ム状半田(半田32)を、金属板22及び金属板23の上面に
それぞれクリーム状半田(半田27)を塗布した後に、放
熱体35を金属枠体30上に位置合わせして載置し、リフロ
ー半田付けしている。
【0036】したがって、金属板22, 金属板23の上面及
び金属枠体30の上端面が、放熱体35の下面に密着し、半
導体チップ2,3及び表面実装部品4が封止されてい
る。本発明の半導体装置は上述のように構成されている
ので、それぞれの半導体チップ2,3の熱は、金属板を
介して放熱体に伝達され、放熱体の放熱フィンから外部
へ放出される。
【0037】以下図2を参照しながら、請求項2及び請
求項3の発明について詳述する。図2に示す半導体チッ
プ2は、裏面の全面に電源電極55を形成してあり、また
他の半導体チップ3は、裏面の全面にアース電極45を形
成してある。
【0038】半導体チップ2は、裏面の電源電極55と電
源パターン50(回路基板1の内層に設けている)に通じ
る電源用パッド6とを、リード51を介して接続してい
る。このリード51は、銅箔等からなる幅が十分に広いリ
ードである。
【0039】53は、半導体チップ2の平面形状に等しい
角板状の熱伝導率が大きいセラミックス板である。セラ
ミックス板53は、半導体チップ2の裏面の電源電極55に
ろー付け(バンプよりも低融点の半田26)して密着され
ている。
【0040】なお、このセラミックス板53は、上面が表
面実装部品4の実装高よりも高くなるような所望の板厚
である。なお、セラミックス板53を薄くして、セラミッ
クス板53の上層に金属板をろー付け接着し、この金属板
の上面が表面実装部品4の実装高よりも高くなるように
しても良い。
【0041】一方、23は、半導体チップ3の平面形状に
等しい角板状の、例えば銅・タングステン合金等の金属
板であって、半導体チップ3の裏面に、ろー付け(バン
プよりも低融点の半田26)して密着されている。
【0042】なお、この金属板23は、上面が前述の半導
体チップ2に密着したセラミックス板53の上面に一致す
るという所定の板厚である。30は、半導体チップ2,3
及び表面実装部品4の実装全領域より広い角形の金属枠
体であって、その高さは、セラミックス板53の上面の高
さに等しい。
【0043】一方、回路基板1の表面の金属枠体30の端
面に対応する領域に、アースパターン40を形成してい
る。枠内に半導体チップ2,3及び表面実装部品4が位
置するように、金属枠体30を回路基板1に載置し、ろー
付けして回路基板1に固着している。
【0044】そして、接着金属枠体30の上端面にクリー
ム状半田を、セラミックス板53及び金属板23の上面にそ
れぞれクリーム状半田(半田27)を塗布した後に、放熱
体35を金属枠体30上に位置合わせして載置し、リフロー
半田付けしている。
【0045】したがって、セラミックス板53,金属板23
の上面及び金属枠体30の上端面が、放熱体35の下面に密
着し、半導体チップ2,3及び表面実装部品4が封止さ
れている。
【0046】本発明の半導体装置は上述のように構成さ
れているので、半導体チップ2の熱は、セラミックス板
53を介して放熱体35に伝達され、放熱体35の放熱フィン
から外部へ放出される。
【0047】また、半導体チップ3の熱は、金属板23を
介して放熱体35に伝達され、放熱体35の放熱フィンから
外部へ放出される。上述のように半導体チップ2は、裏
面の全面に電源電極55を形成し、この電源電極55と電源
パターン50に通じる電源用パッド6とを、リード51を介
して接続しているので、半導体チップ2に所望の背面電
圧を供給することができる。
【0048】また、半導体チップ3は、裏面の全面にア
ース電極45が形成され、且つ金属枠体30の下端面がアー
スパターン40に接続されているので、半導体チップ3の
裏面接地され、半導体チップ3の特性が向上する。
【0049】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、それそれ
の半導体チップの裏面が金属板を介して放熱体の下面に
密着し、且つこの放熱体は、半導体チップ及び表面実装
部品を取り囲む金属枠体の開口を塞ぐという構造とした
ことにより、それぞれの半導体チップの放熱性が著しく
向上するという効果を有する。
【0050】さらに、ケースの機能を兼備した放熱体に
より、半導体チップ及び表面実装部品が、一括して気密
に封止されるという効果を有する。また、請求項2の発
明によれば、半導体チップの裏面を接地することがで
き、半導体チップの特性が向上するという効果を有す
る。
【0051】さらにまた、請求項3の発明によれば、選
択した特定の半導体チップに背面電圧を供給することが
できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例の図
【図2】 本発明の他の実施例の図
【図3】 従来例の断面図
【符号の説明】
1 回路基板 2,3 半導体チップ、 4 表面実装部品 5 パッド 6 電源用パッド 12,13,35 放熱体 15 ケース 22,23 金属板 30 金属枠体 40 アースパターン 45 アース電極 50 電源パターン 53 セラミックス板 55 電源電極
フロントページの続き (72)発明者 杉野 成 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回路基板(1) に、フェースダウンに実装
    する複数の半導体チップ(2,3,・・・・ )、及び該回路基板
    (1) に搭載する他の表面実装部品(4) と、からなる半導
    体装置において、 上面が該表面実装部品(4) の実装高よりも高くなるよ
    う、選択した該半導体チップ(2) の裏面にろー付け接着
    した所定の板厚の金属板(22)と、 該金属板(22)の上面までの高さが等しくなるよう、他の
    該半導体チップ(3,・・・・・) の裏面にろー付け接着する所
    定の板厚の他の金属板(23, ・・・・)と、 該半導体チップ(2,3,・・・・)及び該表面実装部品(4) を囲
    うよう該回路基板(1)上に搭載する、高さが該金属板(2
    2)の上面の高さに等しい金属枠体(30)と、 下面がそれぞれの該金属板(22,23,・・・・)の上面及び該金
    属枠体(30)の上面にろー付け接着される、平面形状が該
    金属枠体(30)の平面形状に等しい放熱体(35)とを、 備え
    たことを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の少なくとも1つの半導体
    チップ(3) の裏面の全面にアース電極(45)が形成され、
    該半導体チップ(3) の裏面が金属枠体(30),金属板(23)
    を介して、回路基板(1) に接地されてなることを特徴と
    する半導体装置。
  3. 【請求項3】 回路基板(1) に、フェースダウンに実装
    する複数の半導体チップ(2,3,・・・・)、及び該回路基板
    (1) に搭載する他の表面実装部品(4) と、からなる半導
    体装置において、 裏面の全面に電源電極(55)が形成された選択した該半導
    体チップ(2) と、 上面が該表面実装部品(4) の実装高よりも高くなるよ
    う、該半導体チップ(2)の上部にろー付け接着する所定
    の板厚のセラミックス板(53)と、 該セラミックス板(53)の上面の高さに等しくなるよう、
    他の該半導体チップ(3・・・・・)の裏面にろー付け接着する
    所定の板厚の金属板(23, ・・・・)と、 該半導体チップ(2,3,・・・・)及び該表面実装部品(4) を囲
    うよう該回路基板(1)上に搭載され、高さが該セラミッ
    クス板(53)の上面の高さに等しい金属枠体(30)と、 下面がそれぞれの該セラミックス板(53),該金属板(23,
    ・・・)の上面及び該金属枠体(30)の上面にろー付け接着さ
    れる、平面形状が該金属枠体(30)の平面形状に等しい放
    熱体(35)とを備え、 該半導体チップ(2) の電源電極(55)と該回路基板(1) の
    電源パターン(50)とが、リード(51)を介して接続されて
    なることを特徴とする半導体装置。
JP32218092A 1992-12-02 1992-12-02 半導体装置 Withdrawn JPH06177320A (ja)

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