JP2017518644A - ポータブル電子デバイスのシステムインパッケージアセンブリのためのサーマルソリューション - Google Patents

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Abstract

システムインパッケージアセンブリ内にパッケージングされた小型ポータブル電子デバイス及びそのサーマルソリューションが開示されている。小型のポータブル電子デバイスは、単一のパッケージに組み立てることによって、サイズを低減し、フォームファクタを向上させることができる。複数のダイ、受動的な構成要素、機械的な構成要素又は光学的な構成要素を含む数百もの構成要素を、プリント回路基板上の単一のシステムにパッケージングすることができる。構成要素のうちの1つ以上は、大量の電力を放散して、過剰の熱の発生をもたらす可能性がある。過剰な熱を除去するために、デバイスは、熱プラグ、ヒートスプレッダ、内蔵型ヒートシンク、及び/又は外部ヒートシンクなどの1つ以上のサーマルソリューションを含むことができる。いくつかの実施例では、サーマルソリューションは、基板の底部への伝導を介して又はシステムの頂部への対流を介して、又は双方の組み合わせを介して、熱を放散することができる。

Description

〔関連出願の相互参照〕
本出願は、2014年6月26日に出願された米国特許仮出願第62/017,630号、及び2014年9月30日に出願された米国特許出願第14/503,067号に対する優先権を主張するものであり、これらの各出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
これは、一般に、熱を消散させることに関し、特に、ポータブル電子デバイスにおけるシステムインパッケージアセンブリの構成要素に関する効果的なサーマルソリューションに関するものである。
小型のポータブル電子デバイスが、益々普及している。小型のポータブル電子デバイスの例として、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピューティングデバイス、セルラ電話、メディアプレーヤ、ゲーミングデバイス、ハンドヘルドデバイス、ペンダント型デバイス及び腕時計デバイスなどのミニチュアデバイス、並びに他のデバイスを含む。小型ポータブル電子デバイスのサイズを小さくし、フォームファクタを向上させることが一般に望ましい。サイズを低減してフォームファクタを向上させる1つの方法は、回路をシステムインパッケージアセンブリに集積することである。システムインパッケージアセンブリでは、複数のダイ、受動的な構成要素、機械的な構成要素又は光学的な構成要素を含む数百もの電気的な構成要素を、プリント回路基板上の単一のシステムにパッケージングすることができる。
システムインパッケージアセンブリ中の構成要素のうちの1つ以上は、多くのパワーを放散する可能性がある。この電力放散は、熱の発生をもたらし得る。演算速度及び複雑さの増大に伴って、問題は更に複雑化する可能性がある。効果的なサーマルソリューションがなければ、過剰な熱は、構成要素の性能の劣化及び長期信頼性の低下をもたらす恐れがある。
これは、小型のポータブル電子デバイス、及びシステムインパッケージアセンブリ内にパッケージングされたデバイスのためのサーマルソリューションに関する。小型のポータブル電子デバイスは、単一のパッケージに組み立てることによって、サイズを低減し、フォームファクタを向上させることができる。複数のダイ、受動的な構成要素、機械的な構成要素又は光学的な構成要素を含む数百もの構成要素を、プリント回路基板上の単一のシステムにパッケージングすることができる。構成要素のうちの1つ以上は、大量の電力を放散して、過剰の熱の発生をもたらす可能性がある。過剰な熱を除去するために、デバイスは、熱プラグ、ヒートスプレッダ、内蔵型ヒートシンク、及び/又は外部ヒートシンクなどの1つ以上のサーマルソリューションを含むことができる。
本開示の例を実施することができるシステムの図である。 本開示の例を実施することができるシステムの図である。 本開示の例を実施することができるシステムの図である。 本開示の例を実施することができるシステムの図である。 例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。 例示的なポータブル電子デバイスのブロック図である。 1つ以上のプリント回路基板上に実装された構成要素を含む例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。 本開示の実施例に係る、SiPに組み立てられた例示的なポータブル電子デバイスの例示的なブロック図である。 本開示の実施例に係る、SiPアセンブリに集積された構成要素及び回路を有する例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。 SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブルデバイスを形成するためのプロセスの図である。 熱を放散させるためにピン又はボールを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いてSiPに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。 本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。
以下の実施例の説明では、実施することが可能な特定の実施例が例示として示される、添付図面を参照する。さまざまな実施例の範囲から逸脱することなく、他の実施例を使用することができ、構造上の変更を実施することができることを理解されたい。
これは、システムインパッケージ(SiP)技術を使用して組み立てられたポータブル電子デバイスにおける、電気的、機械的、及び光学的な構成要素及びサブシステムのためのサーマルソリューションに関するものである。サーマルソリューションとしては、熱プラグ、ヒートスプレッダ、内蔵型ヒートシンク、及び外部ヒートシンクが挙げられるが、これらには限定されない。サーマルソリューションは、「ホット」な構成要素により内部に発生した熱が、伝導又は放散されることを可能にし得る。熱要素としては、送受信機、メモリ回路、及びトランジスタ、増幅器、インダクタ、コンデンサ、抵抗器、スイッチ、等などの、1つ以上の個別構成要素から形成された他の回路、を挙げることができる。サーマルソリューションは、基板の底部への伝導を介して又はシステムの頂部への対流を介して、又は双方の組み合わせを介して、熱を放散することができる。
近年、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピューティングデバイス、セルラ電話、メディアプレーヤ、ゲーミングデバイス、ハンドヘルドデバイス、ミニチュアデバイス、等などのポータブル電子デバイスは、小型、軽量かつ強力になっている。このサイズ縮小に寄与する1つの要因は、これらのデバイスをより小さく、より小さいサイズで製造し、場合によっては、そのような構成要素の電力及び/又は動作速度を増加させる製造業者の能力に起因する可能性がある。小型化に寄与する別の要因は、視覚的な観点から、ユーザは、ポータブル電子装置のコンパクトで洗練された設計を美的により魅力的と感じることがしばしばあるので、したがって、コンパクトで洗練された設計を求めるということである。小型化、軽量化、コンパクト化、高性能化の傾向は、ポータブル電子デバイス及びその関連構成要素の設計において、継続的な課題をもたらす。
小型でコンパクトなデバイスを可能にすることができる1つの領域は、内部パッケージングである。特定のデバイスは、所望のフォームファクタ及び機能を有し得る。所望のフォームファクタは、ハウジングのサイズを決定することができ、このハウジングの中に、所望の機能を提供する構成要素がパッケージングされる。内部パッケージング設計は、デバイスの機能に何らかの形で寄与しない未使用のデッドスペースを最小限に抑えながら、必要な構成要素をフォームファクタによって指定された割り当てられたスペースに適合させることを含み得る。
電気的、機械的、及び光学的構成要素は、1つ以上のサブシステムに含まれ、システムインパッケージ(SiP)技術を使用して、パッケージングすることができる。SiPは、単一パッケージ内に組み立てられた機能的システムである。複数のダイ、受動的な構成要素、機械的な構成要素又は光学的な構成要素を含む数百もの構成要素を、プリント回路基板(PCB)上の単一のシステムにパッケージングすることができる。PCBは、ガラス繊維充填エポキシ(例えば、FR4)などの硬化PCB材料、フレキシブルプリント回路(例えば、ポリイミドなどのポリマー材料の可撓性シートから形成されたプリント回路)、及びリジッドフレックス回路(例えば、剛性部分及び可撓性の尾部の双方を含むプリント回路)から形成することができる。集積回路構成要素とディスクリート構成要素などの構成要素が実装されたPCBは、メインロジックボード(MLB)と呼ばれることがある。構成要素は、はんだ又は他の好適な実装機構を使用して、PCBに実装することができる。例えば、構成要素は、PCB上に直接実装される表面実装技術(SMT)の構成要素とすることができる。SiPは、高容積効率、優れた信頼性、高い性能、及び小さいフォームファクタをもたらすことができる。
図1A〜図1Dは、本開示の実施例を実装することができるシステムの図である。図1Aは、ハウジング150内にパッケージングされたディスプレイスクリーン124を備えた例示的な携帯電話136の図である。図1Bは、ハウジング160内にパッケージングされたディスプレイスクリーン126を備えた例示的なデジタルメディアプレーヤ140の図である。図1Cは、ハウジング170内にパッケージングされたディスプレイスクリーン128を備えた例示的なパーソナルコンピュータ144の図である。図1Dは、ハウジング180内にパッケージングされたディスプレイスクリーン130を備えた例示的なタブレットコンピューティングデバイス148の図である。本開示に係る1つ以上のサーマルソリューションを、図示のシステムのうちの1つ以上で実装することができる。
図2Aは、例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。デバイス200は、開口部208を有するハウジング210を備えることができる。枠で囲まれたディスプレイ204は、開口部208内に配置することができる。ディスプレイ204のための表示回路はハウジング210内に配置され、ディスプレイ204の直下などに配置することができる。表示回路の位置決めは、ハウジング210内の利用可能な内部空間に影響を及ぼす可能性がある。
タッチスクリーンは、ディスプレイ204に関連付けることができる。タッチスクリーンコントローラなどのタッチスクリーンに関連する回路は、ハウジング210内に配置することができる。ハウジング210は、金属、プラスチック、繊維複合材料、炭素繊維材料、ガラス、セラミック、又はこれらの材料の組み合わせ、などの任意の材料から、形成することができる。ハウジング210は、機械加工された金属の単一片から形成する(例えば、一体型の構造を使用して)ことができ、又は一緒に取り付けられた複数の構造体(内部のハウジングフレーム、ベゼル又はバンド構造体、ハウジングの側壁、平坦なハウジング壁部材など)から形成することができる。ディスプレイ204は、カバーガラス又はカバー材料206によって、密封することができる。入力ボタン214などの1つ以上の入力ボタンは、カバーガラス206の開口部内に配置することができる。入力ボタン214に関連する検出回路は、ハウジング210内に配置することができる。いくつかの実施例では、入力ボタン214は、デバイス200をホーム状態などの特定の状態に戻すために、使用することができる。
多数の入力/出力機構は、ハウジング210の縁部の周りに配置することができる。例えば、データ/電力コネクタ218とオーディオジャック216は、ハウジング210の底縁部に配置し、電源スイッチ220は、ハウジング210の上縁部に配置することができる。ハウジング210はまた、スピーカ及び/又はマイクロホンのための開口部を備えることができる。これらの構成要素をサポートする回路は、ハウジング210内に内部的にパッケージングすることができる。これらの回路は、ハウジング210内に配置された、種々の回路基板上、又は、SiPアセンブリのように単一の回路基板上、で具現化することができる。
デバイス200の例示的なブロック図は、図2Bに示されている。上述した構成要素は、MLB255上のプロセッサによって制御することができる。MLB255とさまざまな構成要素との間のデータの移動を可能にするさまざまな内部接続を提供することができる。内部データ接続のルーティングは、MLB255がハウジング210内で配置される場所を含めて、さまざまな構成要素が如何にパッケージングされているかということ、及び、種々の内部デバイス構成要素の位置決め後に生じる利用可能な内部経路と、に依存し得る。
データ接続に関して、MLB255を表示コントローラ260に連結し、この表示コントローラ260をディスプレイ204(図2Aに示される)に連結することができる。更に、MLB255は、スピーカ、オーディオジャック216、及びマイクロホン又はオーディオコーデックを含む関連するオーディオ回路264などのオーディオ構成要素に接続することができる。更に、MLB255は、タッチスクリーンコントローラ262に連結されたタッチスクリーン222、入力ボタン回路、及び電源スイッチ回路などの、種々の入力デバイスに連結することができる。また、MLB255は、無線コントローラ256、アンテナ266、及びデータ/電力コネクタ218などの、外部データを受信及び送信することを可能にするさまざまなデータインターフェースに連結することができる。
データ接続に加えて、多くの内部デバイス構成要素は、電池230などの内部電源から電力を受信することができる。例えば、電池230は、MLB255、ディスプレイ204、表示コントローラ260、タッチスクリーン222、タッチスクリーンコントローラ262、及びデータ/電力コネクタ218に連結することができる。データ接続と同様に、電力接続のルーティングは、電池230などの、種々の内部デバイス構成要素の配置、及びハウジング210内の利用可能な内部経路、に依存し得る。
図2Cは、1つ以上のPCB上に実装された構成要素を含む例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。デバイス200は、ハウジング210、及び、ハウジング210内のPCB224などの1つ以上の回路基板上に実装された、無線コントローラ256、アンテナ266、オーディオ回路264、表示コントローラ260、及びタッチコントローラ262などの複数の構成要素を備えることができる。構成要素としては、汎用処理ユニット、特定用途向け集積回路、などの集積回路、無線送受信機、クロック発生及び分配回路などの無線周波数構成要素、又は個別構成要素などの他の構成要素、を挙げることができる。PCB224は、MLB又は別の種類の論理基板とすることができる。
構成要素は、それらの機能に基づいて、サブシステムにグループ化して配置することができる。サブシステムの例としては、無線サブシステム240、オーディオサブシステム242、タッチサブシステム244、及び表示サブシステム246を挙げることができるが、これらに限定されない。サブシステムのうちの1つ以上は、電磁干渉(EMI)を引き起こし、及び/又は、その影響を受けやすい。シールド構造は、EMIが1つ以上の構成要素に到達することを軽減するのを助けるために、1つ以上のサブシステム間、及び/又は、それらのまわりに使用することができる。
パッケージサイズ及びこれらの小型ポータブル電子デバイスのサイズを低減するために、構成要素及び回路を、SiPアセンブリに集積することができる。図3Aは、本開示の実施例に係る、SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブル電子デバイスのブロック図である。デバイス300は、単一のパッケージ又はSiPアセンブリ中にパッケージすることができる多様な回路を含むことができる。複数のダイ、受動的な構成要素、機械的な構成要素又は光学的な構成要素を含む数百もの構成要素を、PCB上の単一のシステムにパッケージングすることができる。アンテナ366、オーディオジャック316、音量スイッチ312、データ/電力コネクタ318、無線コントローラ356、オーディオ回路364、入力ボタン314、表示コントローラ360と、タッチスクリーンコントローラ362、及び電源スイッチ320は、MLB355の上に搭載することができる。MLB355は、ディスプレイ304、タッチスクリーン322、及び電池330に連結することができる。
図3Bは、本開示の実施例に係る、SiPアセンブリに集積された構成要素及び回路を有する例示的なポータブル電子デバイスの斜視図である。デバイス300は、ハウジング310を備えることができる。構成要素及び回路は、PCB324上に実装し、集積することができる。構成要素としては、無線サブシステム340内に無線コントローラ356及びアンテナ366を、I/Oサブシステム350内に入力ボタン314を、オーディオサブシステム342内にオーディオジャック316、オーディオ回路364、及び音量スイッチ312を、表示サブシステム346内に表示コントローラ360を、タッチサブシステム344内にタッチスクリーンコントローラ362を、電力サブシステム348内に電源スイッチ320を、及びサブシステム352内に構成要素382〜392を、挙げることができる。構成要素及び回路をSiPアセンブリに集積することによって、デバイスのサイズを小さくすることができ、及び/又は構成要素の数を増加させることができる。
いくつかの実施例では、構成要素のうちの1つ以上は、多くのパワーを放散する可能性がある。この電力消失は、より良好なデバイス性能と長期信頼性のために、奪い去る必要がある熱の発生をもたらす場合がある。図4Aは、SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。構成要素482、484、及び486は、任意の実装技術を用いて、PCB424上に実装又は配置することができる。内部及び/又は外部の干渉を防止するために、シールド構造は、1つ以上の構成要素間に配置することができる。シールド構造は、絶縁層476及びシールド層478を含むことができる。
絶縁層476は、シールド層478とPCB424上の任意の導電性材料(例えば、構成要素482、484、及び486の導電性部分)との間の電気的短絡を防止するために使用することができる。絶縁層476は、エポキシ、オーバーモールド材料、アンダーフィル材料、熱収縮ジャケット、アクリル材料、誘電材料、熱硬化材料、熱可塑性材料、ゴム、プラスチック、又は電気絶縁を提供する他の望ましい材料から、形成することができる。
シールド層478は、絶縁層476上及び/又はトレンチ430内に形成されて、下層の構成要素をEMIからシールドすることができる。シールド層478は、銀ペイント、白金ペイント、はんだ、銅又はアルミニウムなどの金属、ニッケル−鉄合金などの金属合金、導電性接着剤、又は電磁シールドに好適な他の材料などの導電性材料を含むことができる。シールド層478は、壁、フェンス、シート若しくは層、これらの構成の組み合わせ、又は他の所望の構成を含むさまざまな構成で形成することができる。
PCB424は、金属トレース442及び接地面446を含むことができる。シールド層478は、金属トレース442及び接地面446に連結して、各サブシステムを囲むシールド構造を形成することができ、構成要素482、484、及び486を、EMI(例えば、外部ソースからの干渉、又は異なるサブシステムの構成要素間の内部干渉)から保護するのを助けることができる。いくつかの実施例では、金属トレース442は、PCB424を切断工具から保護するのを助ける導電性材料から形成することができる。例えば、金属トレース442は、トレンチ430を形成するために使用されるレーザ切断工具により放射されたレーザを反射することができる。
図4Bは、SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブルデバイスを形成するためのプロセスの図である。プロセスフロー450は、基板又はPCB424を提供する工程を含むことができる(工程452)。構成要素482、484、及び486は、PCB424の表面に実装することができる(工程454)。絶縁層476は、注入プロセス、又は堆積プロセスを用いて形成することができる(工程456)。射出成形のために、絶縁材料を成形するために成形工具を使用して絶縁層476を形成することができ、成形絶縁層476をPCB424に転写することができる。成形ツールとしては、射出成形ツール、焼結ツール、マトリックス成形ツール、圧縮成形ツール、トランスファー成形ツール、押出成形ツール、及び成形絶縁材料を所望の形状に成形するのに好適な他のツールを挙げることができる。成形ツールは、サブシステムの形状及び位置を画定する構造を形成するために使用することができる。堆積プロセスとして、堆積ツールを使用して、PCB424上の所望の位置に、絶縁層476を堆積させることができる。堆積ツールは、絶縁材料(例えば、エポキシ)を射出成形ツールに注入してシールド構造を形成するためのツールを含むことができる。堆積ツールはまた、薄膜堆積ツール(例えば、化学的又は物理的蒸着ツール)又はシールド構造を形成するために望ましい他のツールを含むことができる。
工程458では、サブシステムを形成し、画定することができる。各サブシステムは、それぞれの構成要素を封入することができ、上記などの注入処理中に形成することができ、あるいは、切断源を使用して、トレンチ430をスクライビング又はエッチングすることによって、形成することができる。注入処理を使用すると、成形構造(図示せず)は、絶縁材料が成形構造内部の空間に注入されることができる孔を有することができる。注入処理の後(例えば、絶縁材料が注入され、十分に冷却された後)、成形構造を除去することができる。絶縁材料は、加熱ツールを用いて射出前及び/又は射出中に加熱することができる。加熱ツールとしては、油ベースの加熱ツール、ガスベースの加熱ツール、電気ベースの加熱ツール、又は絶縁材料を加熱するのに好適な他の加熱ツールを挙げることができる。所望であれば、加熱ツールを使用して、形成中に絶縁層476に圧力を加えることができる。いくつかの実施例では、絶縁層476をあらかじめ形成し、次いで、PCB424上で、構成要素482、484、及び486の上に配置することができる。各サブシステムを画定するために切断源を使用する場合、トレンチ430は、切断工具を用いて、絶縁層476を切り通してサブシステムを分離することによって、形成することができる。切断工具としては、鋸工具、レーザ切断工具、研磨工具、穿孔工具、放電加工工具、又は、絶縁層476を切り通すのに好適な他の機械加工又は切断ツール、を挙げることができる。
いくつかの実施例では、トレンチ430の幅を最小化することができる。最小トレンチ幅は、隣接する構成要素が互いに電気的に絶縁されるのに必要なスペースに等しくすることができると同時に、基板のスペースを埋めて専有するので、必要とされる基板のスペース又はフットプリントが低下する結果となる。例えば、トレンチ430の幅は、約10〜100μmとすることができる。トレンチの幅が小さいと、必要な基板スペースの量が減少するだけでなく、美的魅力の向上及び光学的均一性の向上をもたらすことができる。
工程460では、シールド層478を堆積させることができる。シールド層478は、化学蒸着、物理蒸着、メッキ、印刷、又はスプレー処理などの任意の数の技術を使用して堆積された、めっき膜又は薄膜金属とすることができる。
図5は、熱を放散させるためにピン又はボールを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。デバイス500は、PCB524上に実装された構成要素582、584、及び586を含むことができる。絶縁層576は、上述した任意の堆積技術を用いて、構成要素582、584、及び586の上及び/又は周囲に形成することができる。1つ以上のトレンチ530をサブシステム間に形成することができ、このトレンチ530をシールド層578で充填又は被覆することができる。構成要素582及び584は、多くの電力を生成し、結果として過剰な熱を発生する「熱い」構成要素となり得る。構成要素582及び584は、ピン(又はボール)のアレイ540の上に配置することができる。ピンアレイ540は、例えば、ボールグリッドアレイ(BGA)とすることができる。BGAは、別個のリード線を備えた表面実装パッケージのタイプとすることができる。別個のリード線は、PCB524と接触することができ、構成要素582及び584によって発生したいかなる熱をもPCB524へ伝達する熱経路を提供することができる。
ピンアレイ540によって、構成要素582及び584の内部熱を放散する手段が得られるが、発生した熱は、PCB524に伝達されることとなり得る。構成要素582、584、及び586が単一のパッケージに組み付けられる(例えば、同一の基板又はPCB524上に実装される)ために、1つの構成要素から発生した熱は、共用のPCB524を介して放散し、隣接する構成要素に影響を及ぼす恐れがある。例えば、構成要素584から発生した熱は、ピンアレイ540を介してPCB524に伝達され得る。しかし、PCB524は、構成要素586と接触することができる。その結果、構成要素584から発生した熱は、構成要素586に伝達され、それによって、構成要素586は高温となり得る。
図6A〜図6Cは、本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスの断面図である。デバイス600は、図6Aに示すように、基板又はPCB624を備えることができる。構成要素682、684、及び686は、任意の実装技術を使用して、はんだなどの任意の好適な実装材料を用いて、PCB624上に実装又は配置することができる。いくつかの実施例では、構成要素684などの1つ以上の構成要素は、BGA640などのヒートシンク上に実装することができる。図6Bに示すように、熱プラグ632及び634などの1つ以上の熱プラグは、構成要素682及び684などの1つ以上の構成要素上に形成することができる。熱プラグ632及び634は、銅又は鋼などの金属から製作されたブロックとすることができ、対応する構成要素と同じサイズになるようにあらかじめ製造することができる。いくつかの実施例では、熱プラグ632及び634は、対応する構成要素とは異なるサイズにすることができる。熱プラグ632及び634は、円形又は矩形形状を含むが、それには限定されない任意の形状又はサイズとすることができる。熱プラグ632及び634は、インジウムなどの任意の好適な熱伝導接着剤を用いて、構成要素682及び684に搭載又は実装することができる。
図6Cに示すように、構成要素682、684、及び686、並びに熱プラグ632、及び634の上及び/又は周囲に、絶縁層676を形成することができる。絶縁層676は、電気的絶縁を提供する、エポキシ、オーバーモールド材料、アンダーフィル材料、熱収縮ジャケット、アクリル材料、誘電体材料、熱硬化性材料、熱可塑性樹脂、ゴム、プラスチック、又は他の望ましい材料とすることができる。いくつかの実施例では、絶縁層676は、電気絶縁性だけでなく熱伝導性もある絶縁材料を用いて形成することができる。例えば、絶縁材料としては、熱伝導性プラスチック、エポキシ、又は他の熱伝導性材料を挙げることができる。熱伝導性を有する絶縁性の材料を、構成要素682、684、及び686から熱を取り去るために、使用することができる。いくつかの実施例では、絶縁層676は、熱伝導性とすることができ、電気絶縁性の充填材粒子を含む場合がある。
図6Dは、本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグを用いて、SiPアセンブリに組み立てられた例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。プロセス650は、PCB624を提供する工程(工程652)を含むことができる。工程654において、構成要素682、684、及び686は、PCB624上に実装することができる。工程654では、BGA640を構成要素684に取り付ける工程を含むことができる。いくつかの実施例では、構成要素684をPCB624に実装する前に、BGA640を構成要素684に取り付けることができる。いくつかの実施例では、BGA640をPCB624に取り付けた後、構成要素684をBGA640に取り付けることができる。工程656では、熱プラグ632及び634などの1つ以上の熱プラグを、構成要素682及び684などの1つ以上の構成要素に、実装するか、又は取り付けることができる。いくつかの実施例では、構成要素682及び684をPCB624に実装する前に、熱プラグ632、及び634を構成要素682及び684に取り付けることができる。
工程658において、絶縁層676を形成することができる。いくつかの実施例では、絶縁層676は、堆積ツールを使用して堆積させることができる。いくつかの実施例では、絶縁材料を成形構造内の空間に注入することができる。いくつかの実施例では、絶縁層676は、テープ補助転写成形処理を使用して形成することができる。テープ補助転写成形処理は、絶縁材料が注入されるときに、特定の領域がマスクされる処理とすることができる。注入が完了すると、マスクされた領域の上面は、絶縁層676の上面と同一平面にすることができる。例えば、図6Bに示すように、熱プラグ634の上面は、テープ補助転写成形処理中にマスクすることができる。絶縁材料を注入することができ、熱プラグ632及び構成要素686上に絶縁材料を形成する(図6Cに示すように)ことができる。しかし、熱プラグ634はマスクされているので、絶縁層676は、熱プラグ634の上面に形成されず、熱プラグ634の上面は、絶縁層676の上面と同一面になる結果となる。
図7A〜図7Dは断面図であり、図7Eは、本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上の熱プラグ及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。プロセス750は、図7Aに示すように、デバイス700に基板又はPCB724を提供する工程(工程752)を含むことができる。構成要素782、784、及び786は、任意の実装技術を使用して、はんだなどの任意の好適な実装材料を用いて、PCB724上に実装又は配置する(工程754)ことができる。いくつかの実施例では、構成要素784などの1つ以上の構成要素は、BGA740などのピンアレイ上に実装することができる。
図7Bに示すように、プラグ732及び734などの1つ以上の熱プラグは、構成要素782及び784などの1つ以上の構成要素に取り付ける(工程756)ことができる。熱プラグ732及び734は、銅又は鋼などの金属の1つ以上のあらかじめ製造されたブロックとすることができる。熱プラグ732及び734は、円形又は矩形形状を含むが、それには限定されない任意の形状又はサイズとすることができる。いくつかの実施例では、熱プラグ732及び734は、構成要素782及び784と同じ大きさにすることができる。いくつかの実施例では、熱プラグ732及び734は、構成要素782及び784とは異なるサイズにすることができる。熱プラグ732及び734は、インジウムなどの任意の好適な熱伝導接着剤を用いて、構成要素782及び784に実装又は取り付けることができる。
図7Cに示すように、構成要素782、784、及び786、並びに熱プラグ732及び734の上及び/又は周囲に、絶縁層776を形成する(工程758)ことができる。絶縁層776は、エポキシ、オーバーモールド材料、アンダーフィル材料、熱収縮ジャケット、アクリル材料、誘電材料、熱硬化材料、熱可塑性材料、ゴム、プラスチック、又は電気絶縁を提供する他の望ましい材料とすることができる。いくつかの実施例では、絶縁層776は、熱伝導性プラスチック、エポキシ、又は他の熱伝導性材料などの、電気絶縁性と熱伝導性を有する絶縁材料を用いて、形成することができる。絶縁層776は、テープ補助転写成形処理を使用して、形成することができる。
SiPアセンブリプロセスは、図7Dに示すように、構成要素間又はサブシステム間の絶縁層776にトレンチ730を切断又は形成する工程(工程760)を更に含むことができる。トレンチ730は、サブシステムを分離して画定するために形成することができ、シールド層778を用いて、トレンチ730を充填するか、又は壁を被覆することができる(工程762)。シールド層778は、めっき膜、又は金属ペーストなどの任意のシールド材料から製作することができる。シールド層778の例示的な材料としては、銅、ニッケル及びアルミニウムを挙げることができるが、これらには限定されない。シールド層778は、化学蒸着、物理蒸着、無電解めっき、又は電気化学めっき技術を用いて、形成することができる。
シールド層778は、多機能性とすることができ、ヒートスプレッダとしても機能することができる。いくつかの実施例では、シールド層778は、EMIをシールドするように構成された少なくとも1つの層と、熱を拡散するように構成された少なくとも1つの層とを有する多層積層体とすることができる。シールド層778は、金属トレース744を介して、接地面746などに接地することができる。シールド層778は、熱プラグ732及び734によって伝達された熱をPCB724に放散し、分散させることができる。例えば、構成要素784によって発生した熱は、構成要素784に取り付けられた熱プラグ734を介して放熱することができる。熱プラグ734は、シールド層778に連結することができる。シールド層778は、ヒートスプレッダとして作用し、熱はシールド層778を介して、更に放散することができる。シールド層778は、金属トレース744を介して接地面746に連結することができる。シールド層778からの熱は、接地面746に伝達することができ、接地面746は、PCB724の全体にわたって熱を拡散又は分散させることができる。いくつかの実施例では、接地面746は、ハウジング(図2Aのハウジング210などの)に連結することができる。
いくつかの実施例では、シールド層778は、熱拡散機能の有効性を増強するために、1つ以上の熱プラグと接触又は電気的に接触することができる。絶縁層776の上面は、熱プラグ734などの1つ以上の熱プラグと同一平面にすることができる。同一平面の上面を達成するために、絶縁層776は、ラッピング、研磨又はドライエッチングを経て、いかなる余分な材料をも除去することができる。いくつかの実施例では、同一平面の上面は、テープ補助転写成形処理を使用して達成することができる。いくつかの実施例では、シールド層778は、1つ以上の熱プラグから電気的に絶縁することができる。例えば、シールド層778と熱プラグ732とは、エアギャップ又は絶縁層776により、分離することができる。
図8A〜図8Dは断面図であり、図8Eは、本開示の実施例に係る、熱を放散させるために、1つ以上のヒートシンク及びヒートスプレッダを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。デバイス800は、プロセス850の工程852で提供されたPCB824を備えることができる。PCB824は、接地面846及び金属トレース844を含むことができる。図8Aに示すように、構成要素882、884、及び886は、はんだなどの任意の好適な実装材料を使用して、PCB824上に実装する(工程854)ことができる。
図8Bに示すように、熱プラグ832などの1つ以上の熱プラグは、構成要素882などの1つ以上の構成要素に取り付ける(工程856)ことができる。工程858では、ヒートシンク848などの1つ以上のヒートシンクは、構成要素884などの1つ以上の構成要素に取り付けることができる。ヒートシンク848は、内蔵型ヒートシンクとすることができ、好適な熱インターフェース材料を使用して、構成要素884に接触させるか、又はそれに取り付けることができる。いくつかの実施例では、ヒートシンク848は、PCB824に取り付けることにより、基板又はPCB824への追加の熱伝導路を形成することができる。ヒートシンク848は、金属トレース844に電気的に連結するか又は接触することができる。いくつかの実施例では、ヒートシンク848は、PCB824に接着することができる。いくつかの実施例では、工程856及び工程858は単一の工程とすることができ、熱プラグ832とヒートシンク848とを同時に取り付けることができる。
図8Cに示すように、絶縁層878は、構成要素882、884、及び886、熱プラグ832、及びヒートシンク848の上及び/又は周辺に配置することによって、引き続いて形成されるシールド層876と、PCB824上の任意の導電性材料(例えば、構成要素882、884、及び886の導電部分)と、の間の電気的な短絡を防止することができる(工程860)。十分な絶縁特性を有する任意の材料を絶縁層876として用いることができ、絶縁層876を形成するために、任意の数の堆積又は成形処理を使用することができる。いくつかの実施例では、絶縁層876の上面と、熱プラグ832及び/又はヒートシンク848の上面を同一面とすることができる。
工程862において、1つ以上のトレンチ830は、レーザ切断源を用いて形成することができる(図8Dに示すように)。トレンチ830は、構成要素を分離し、サブシステムを画定することができる。シールド層878及び/又はヒートスプレッダを堆積させて、トレンチ830の壁部を充填又は被覆し、絶縁層876を共形に覆う(工程864)ことができる。シールド層876は、高密度、高導電性、及び/又は良好な耐腐食性を有する任意の材料とすることができる。シールド層876は、物理蒸着、化学蒸着、印刷、又はメッキなどの堆積ツールを使用して、形成することができる。いくつかの実施例では、シールド層876は、1つ以上の熱プラグ及び/又は1つ以上のヒートシンクに電気的に接触又は接触できる。
いくつかの実施例では、ヒートシンク848は、背の高い構成要素(例えば、所定値よりも大きい高さを有する構成要素)に連結することができ、熱プラグ832は、背の低い構成要素(例えば、所定値よりも低い高さを有する構成要素)に連結することができる。例えば、要素884は、背の高い構成要素とするか、又は構成要素882よりも高くすることができ、ヒートシンク848は構成要素884に取り付けることができる一方で、熱プラグ832は、構成要素882に取り付けることができる。いくつかの実施例では、ヒートシンク848は、背の低い構成要素に取り付けることができ、熱プラグ832は、背の高い構成要素に取り付けることができる。いくつかの実施例では、ヒートシンク848は、特定の特性を有する構成要素に取り付けることが可能であり、熱プラグ832は、他の特徴を示す構成要素に取り付けることができる。例えば、ホットスポット又は不均一な熱分散を防止するために、ヒートシンク848は、全体に分散させることができ、熱プラグ832は、ヒートシンク間に分散させる(例えば、ヒートシンクと熱プラグは交互のパターンで配置することができる)ことができる。
図9A〜図9Eは断面図であり、図9Fは、本開示の実施例に係る、熱を散逸させるために外部ヒートシンクを用いてSiPアセンブリに組み立てられた、例示的なポータブル電子デバイスを形成するためのプロセスの図である。図9Aに示すように、デバイス900は、PCB924を含むことができる(プロセス950の工程952)。PCB924は、接地面946及び金属トレース944を含むことができる。構成要素982、984、及び986は、任意の実装技術を使用して、はんだなどの任意の好適な実装材料を用いて、PCB924上に実装又は配置する(工程954)ことができる。構成要素984などの1つ以上の構成要素は、BGA940に連結することができる。図9Bに示すように、1つ以上の、熱プラグ及び/又はヒートシンク948などのヒートシンクは、構成要素984などの1つ以上の構成要素に取り付ける(工程956)ことができる。
工程958において、絶縁層976は、構成要素982、984、及び986、及びヒートシンク948の上及び/又は周辺に配置することができる(図9Cに示すように)。いくつかの実施例では、構成要素982などの1つ以上の構成要素は、絶縁層976の上面と同一平面上にある上面を有することができる。工程960において、トレンチ930は、絶縁層976に形成することができる。
図9Dに示すように、シールド層978は、絶縁層976の上に配置することができ、トレンチ930の壁部を充填又は覆う(工程962)ことができる。工程964では、シールド層978の1つ以上の領域がエッチングにより除去され、構成要素982などの1つ以上の構成要素の上面を露出させることができる。いくつかの実施例では、構成要素982の上面は、シールド層978の堆積中にこの領域をマスキングすることによって、露出することができる。工程966では、外部ヒートシンク990は、構成要素982の露出した上面に取り付けることができる(図9Eに示すように)。いくつかの実施例では、外部ヒートシンク990をシールド層978に電気的に連結することができる。構成要素982からの熱が外部のヒートシンク990によって(例えば、頂部を通しての対流)、又はシールド層978を介してPCB924によって(例えば、底部を通しての伝導)若しくは双方によって、放熱することができる。
いくつかの実施例では、電子デバイスが開示される。この電子デバイスは、基板と、パッケージアセンブリシステムと、を備え、当該パッケージアセンブリシステムは、当該基板に実装された第1表面と、第2表面と、を含む複数の構成要素と、少なくとも1つの構成要素の当該第2表面に実装された1つ以上の熱導体であって、少なくとも1つの熱導体は、熱プラグである、熱導体と、を含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、デバイスは、別の熱導体を更に備え、当該別の熱導体は、内部ヒートシンク及び外部ヒートシンクのうちの少なくとも1つである。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該熱プラグは、銅及び鋼のうちの少なくとも1つから製作される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該熱導体のうちの少なくとも1つは、接地又は接地面に電気的に連結される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、デバイスは、当該複数の構成要素のうちの少なくとも1つの当該第1表面と当該基板との間に実装されたヒートシンク、を更に備える。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、デバイスは、絶縁体及びシールドを含むシールド構造を更に備える。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該シールドは、多機能であり、ヒートスプレッダとして構成されている。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該シールド及び少なくとも1つの熱導体が、電気的に連結される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該シールドは、接地又は接地面に電気的に連結される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、デバイスは、当該絶縁体に形成された複数のトレンチを更に含み、当該複数のトレンチの幅は10〜100マイクロメートルである。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該複数の構成要素のうちの1つ以上から発生された熱は、伝導及び対流によって放散される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該1つ以上の熱導体は、複数の熱プラグ及び複数のヒートシンクを含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該複数の熱プラグ及び当該複数のヒートシンクは、交互のパターンで配置されている。
いくつかの実施例において、電子デバイスを形成する方法が開示されている。この方法は、基板を形成する工程と、パッケージアセンブリシステムを形成する工程であって、複数の構成要素の第1表面を当該基板に実装する工程と、1つ以上の熱導体を当該複数の構成要素のうちの少なくとも1つの第2表面に実装する工程であって、当該1つ以上の熱導体のうちの少なくとも1つは、熱プラグである、工程と、を含む、工程と、を含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該1つ以上の熱導体は、別の熱導体を含み、当該別の熱導体は、内部ヒートシンクと外部ヒートシンクのうちの少なくとも1つである。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該複数の構成要素のうちの少なくとも1つの当該第1表面と当該基板との間に、ヒートシンクを実装する工程を更に含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、この方法は、シールド構造を形成する工程を更に含み、当該シールド構造を形成する工程は、絶縁体を形成する工程と、シールドを形成する工程と、を含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該絶縁体は、テープ補助転写成形処理、ラッピング、研磨、及びエッチングのうちの少なくとも1つを用いて形成される。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該1つ以上の熱導体は、複数の熱プラグ及び複数のヒートシンクを含む。上記に開示した1つ以上の実施例に加えて、又はその代わりに、他の実施例では、当該1つ以上の熱導体は、第1セットの熱導体及び2セットの熱導体を含み、1つ以上の熱導体を実装する工程は、当該複数の熱プラグを当該第1セットの熱導体に実装する工程であって、当該第1セットの熱導体は、所定値未満の高さを有する1つ以上の熱導体を含む、工程と、当該複数のヒートシンクを当該第2セットの熱導体に実装する工程であって、当該第2セットの熱導体は、所定値を超える高さを有する1つ以上の熱導体を含む、工程と、を含む。
さまざまな実施例について上述したが、それらは一例として提示されただけであり、限定する目的ではないことを理解されたい。実施例は、添付の図面を参照して十分に説明してきたが、さまざまな図は、本開示に含むことができる特徴と機能の理解を助けるためになされる、開示のための例示的構造又は他の構成を表すことができよう。本開示は、図示された例示的アーキテクチャ又は構成に限定されず、多様な代替アーキテクチャ及び構成を使用して実施することができる。更に、本開示は、種々の例及び実施態様の観点から記載されているが、実施例のうちの1つ以上に記載されたさまざまな特徴及び機能は、それらが記載されている特定の実施例への適用に限定されるものではないことを理解されたい。かかる実施例の記載の有無に関わらず、また、かかる特徴が説明された実施例の一部であるように示されるか、されないかに関わらず、その代わりに、それらは単独又はいくつかの組み合わせで、開示の他の実施例のうちの1つ以上に適用できる。したがって、本開示の広さと範囲は、上述した実施例のいずれによっても、限定されてはならない。

Claims (20)

  1. 基板と、
    パッケージアセンブリシステムと、
    を備え、前記パッケージアセンブリシステムは、
    前記基板に実装された第1表面及び第2表面を含む複数の構成要素と、
    少なくとも1つの構成要素の前記第2表面に実装された1つ以上の熱導体であって、少なくとも1つの熱導体は、熱プラグである、熱導体と、
    を備える電子デバイス。
  2. 別の熱導体を更に備え、前記別の熱導体は、内部ヒートシンク及び外部ヒートシンクのうちの少なくとも1つである、請求項1に記載のデバイス。
  3. 前記熱プラグは、銅及び鋼のうちの少なくとも1つから製作される、請求項1に記載のデバイス。
  4. 前記熱導体のうちの少なくとも1つは、接地又は接地面に電気的に連結されている、請求項1に記載のデバイス。
  5. 前記複数の構成要素のうちの少なくとも1つの前記第1表面と前記基板との間に実装されたヒートシンクを更に備える、請求項1に記載のデバイス。
  6. 絶縁体及びシールドを含むシールド構造を更に備える、請求項1に記載のデバイス。
  7. 前記シールドは、多機能であり、ヒートスプレッダとして構成されている、請求項6に記載のデバイス。
  8. 前記シールド及び少なくとも1つの熱導体が、電気的に連結されている、請求項6に記載のデバイス。
  9. 前記シールドは、接地又は接地面に電気的に連結されている、請求項6に記載のデバイス。
  10. 前記絶縁体に形成された複数のトレンチを更に含み、前記複数のトレンチの幅は10〜100マイクロメートルである、請求項6に記載のデバイス。
  11. 前記複数の構成要素のうちの1つ以上から発生した熱は、伝導及び対流によって放散される、請求項1に記載のデバイス。
  12. 前記1つ以上の熱導体は、複数の熱プラグ及び複数のヒートシンクを含む、請求項1に記載のデバイス。
  13. 前記複数の熱プラグ及び前記複数のヒートシンクは、交互のパターンで配置されている、請求項12に記載のデバイス。
  14. 電子デバイスを形成するための方法であって、
    基板を形成する工程と、
    パッケージアセンブリシステムを形成する工程であって、
    複数の構成要素の第1表面を前記基板に実装する工程と、
    1つ以上の熱導体を前記複数の構成要素のうちの少なくとも1つの第2表面に実装する工程であって、前記1つ以上の熱導体のうちの少なくとも1つは、熱プラグである、工程と、
    を含む、工程と、
    を含む方法。
  15. 前記1つ以上の熱導体は、別の熱導体を含み、前記別の熱導体は、内部ヒートシンク及び外部ヒートシンクのうちの少なくとも1つである、請求項14に記載の方法。
  16. 前記複数の構成要素のうちの少なくとも1つの前記第1表面と前記基板との間に、ヒートシンクを実装する工程を更に含む、請求項12に記載の方法。
  17. シールド構造を形成する工程を更に含み、前記シールド構造を形成する工程は、絶縁体を形成する工程及びシールドを形成する工程を含む、請求項12に記載の方法。
  18. 前記絶縁体は、テープ補助転写成形処理、ラッピング、研磨、及びエッチングのうちの少なくとも1つを用いて形成される、請求項17に記載の方法。
  19. 前記1つ以上の熱導体は、複数の熱プラグ及び複数のヒートシンクを含む、請求項14に記載の方法。
  20. 前記1つ以上の熱導体は、第1セットの熱導体及び第2セットの熱導体を含み、1つ以上の熱導体を実装する工程は、
    前記複数の熱プラグを前記第1セットの熱導体に実装する工程であって、前記第1セットの熱導体は、所定値未満の高さを有する前記1つ以上の熱導体を含む、工程と、
    前記複数のヒートシンクを前記第2セットの熱導体に実装する工程であって、前記第2セットの熱導体は、前記所定値を超える高さを有する前記1つ以上の熱導体を含む、工程と、
    を含む、請求項19に記載の方法。
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