JP2022025294A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
周縁部に形成した脚部と該脚部の内側に形成した凹部とを有するインターポーザと、
第1の導電接続部を介して前記インターポーザの前記凹部の底面に、一方の面を固定することにより前記インターポーザとの間の電気的な導通を確保したICチップと、
表面に形成したランドに第2の導電接続部を介して前記脚部の端面を固定するとともに、前記表面に形成した他のランドに第3の導電接続部を介して前記ICチップの他方の面を固定した実装基板とを有することを特徴とする。
第1の態様に記載する半導体装置において、
前記ICチップの他方の面はメタライズ処理を施したものであることを特徴とする。
第1または第2の態様に記載する半導体装置において、
前記ICチップの他方の面に一方の面が当接するとともに、前記実装基板の第3の導電接続部に他方の面が当接するように前記ICチップの他方の面と前記実装基板の第3の導電接続部との間で前記凹部の内部に配設した中間部材を有することを特徴とする。
1 インターポーザ
1A 脚部
1B 凹部
2,20 ICチップ
3 ハンダボール
4,5 ハンダ部
8 実装基板
9 メタライズ処理部
10 中間部材
周縁部に形成した脚部と該脚部の内側に形成した凹部とを有するとともに前記凹部の底辺を経由して前記脚部に至る内部に所定の配線構造が形成されたインターポーザと、
第1の導電接続部を介して前記インターポーザの前記凹部の底面に、一方の面を固定することにより前記底面に臨む前記配線構造の一端との間の電気的な導通を確保したICチップと、
表面に形成したランドに第2の導電接続部を介して前記脚部の端面を固定するとともに、前記端面に臨む前記配線構造の他端との電気的な導通を確保し、さらに前記表面に形成した他のランドに第3の導電接続部を介して前記ICチップの他方の面を固定して電気的に接続した実装基板とを有することを特徴とする。
Claims (3)
- 周縁部に形成した脚部と該脚部の内側に形成した凹部とを有するインターポーザと、
第1の導電接続部を介して前記インターポーザの前記凹部の底面に、一方の面を固定することにより前記インターポーザとの間の電気的な導通を確保したICチップと、
表面に形成したランドに第2の導電接続部を介して前記脚部の端面を固定するとともに、前記表面に形成した他のランドに第3の導電接続部を介して前記ICチップの他方の面を固定した実装基板とを有することを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載する半導体装置において、
前記ICチップの他方の面はメタライズ処理を施したものであることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または請求項2に記載する半導体装置において、
前記ICチップの他方の面に一方の面が当接するとともに、前記実装基板の第3の導電接続部に他方の面が当接するように前記ICチップの他方の面と前記実装基板の第3の導電接続部との間で前記凹部の内部に配設した中間部材を有することを特徴とする半導体装置。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177320A (ja) * | 1992-12-02 | 1994-06-24 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2002110871A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-12 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003124435A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波半導体装置 |
JP2004158700A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Denso Corp | 電子制御装置およびその製造方法 |
JP2006120996A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Murata Mfg Co Ltd | 回路モジュール |
JP2006210777A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2008300604A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2014020787A1 (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-06 | パナソニック株式会社 | 電子部品モジュールとその実装体 |
JP2017201659A (ja) * | 2016-05-02 | 2017-11-09 | ローム株式会社 | 電子部品およびその製造方法 |
-
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06177320A (ja) * | 1992-12-02 | 1994-06-24 | Fujitsu Ltd | 半導体装置 |
JP2002110871A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-12 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2003124435A (ja) * | 2001-10-17 | 2003-04-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波半導体装置 |
JP2004158700A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Denso Corp | 電子制御装置およびその製造方法 |
JP2006120996A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Murata Mfg Co Ltd | 回路モジュール |
JP2006210777A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
JP2008300604A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2014020787A1 (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-06 | パナソニック株式会社 | 電子部品モジュールとその実装体 |
JP2017201659A (ja) * | 2016-05-02 | 2017-11-09 | ローム株式会社 | 電子部品およびその製造方法 |
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