JPH06148618A - カラー液晶表示装置 - Google Patents
カラー液晶表示装置Info
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- JPH06148618A JPH06148618A JP4294541A JP29454192A JPH06148618A JP H06148618 A JPH06148618 A JP H06148618A JP 4294541 A JP4294541 A JP 4294541A JP 29454192 A JP29454192 A JP 29454192A JP H06148618 A JPH06148618 A JP H06148618A
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- Japan
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- crystal display
- display device
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133519—Overcoatings
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＴＯ膜の密着力を向上させる。
【構成】 カラー液晶表示装置１３が備える一対の透光
性基板１，１ａの一方側上にはカラーフィルタ２が形成
され、このカラーフィルタ２上には有機オーバコート膜
３が形成されて表面の平滑化が行われている。さらにそ
の上にＩＴＯ膜６を形成する前にＳｉＮxなどの金属窒
化物膜４、ＳｉＯxなどの金属酸化物膜５の順に成膜す
る。金属窒化物膜４および金属酸化物膜５を形成するこ
とによって、ＩＴＯ膜６の密着力が向上する。
性基板１，１ａの一方側上にはカラーフィルタ２が形成
され、このカラーフィルタ２上には有機オーバコート膜
３が形成されて表面の平滑化が行われている。さらにそ
の上にＩＴＯ膜６を形成する前にＳｉＮxなどの金属窒
化物膜４、ＳｉＯxなどの金属酸化物膜５の順に成膜す
る。金属窒化物膜４および金属酸化物膜５を形成するこ
とによって、ＩＴＯ膜６の密着力が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタを用い
て複数種類の色彩表示を行うカラー液晶表示装置に関
し、さらに詳しくはカラーフィルタを被覆する有機オー
バコート膜上に形成されるＩＴＯ膜の密着力を向上させ
たカラー液晶表示装置に関する。
て複数種類の色彩表示を行うカラー液晶表示装置に関
し、さらに詳しくはカラーフィルタを被覆する有機オー
バコート膜上に形成されるＩＴＯ膜の密着力を向上させ
たカラー液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来のカラー液晶表示装置６３
の断面図である。カラー液晶表示装置６３が備える一対
の透光性基板５１，５１ａのうち、基板５１ａの一方表
面には、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜から成る複数
の帯状の透明電極５６ａが互いに平行に形成され、その
上には配向膜５７ａが形成される。基板５１の一方表面
にはカラーフィルタ５２がほぼ全面にわたって形成され
ている。このカラーフィルタ５２は、赤色、緑色および
青色の帯状のカラーフィルタを交互にまたは前記３色の
矩形状のカラーフィルタをモザイク状に配置して形成さ
れている。さらに、このカラーフィルタ５２上にアクリ
ル系あるいはポリイミド系の樹脂から成る有機オーバコ
ート膜５３を形成して平滑化した後、スパッタ法などに
よってＩＴＯ膜から成る透明電極５６を形成し、さらに
その上に配向膜５７が形成される。
の断面図である。カラー液晶表示装置６３が備える一対
の透光性基板５１，５１ａのうち、基板５１ａの一方表
面には、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜から成る複数
の帯状の透明電極５６ａが互いに平行に形成され、その
上には配向膜５７ａが形成される。基板５１の一方表面
にはカラーフィルタ５２がほぼ全面にわたって形成され
ている。このカラーフィルタ５２は、赤色、緑色および
青色の帯状のカラーフィルタを交互にまたは前記３色の
矩形状のカラーフィルタをモザイク状に配置して形成さ
れている。さらに、このカラーフィルタ５２上にアクリ
ル系あるいはポリイミド系の樹脂から成る有機オーバコ
ート膜５３を形成して平滑化した後、スパッタ法などに
よってＩＴＯ膜から成る透明電極５６を形成し、さらに
その上に配向膜５７が形成される。
【０００３】以上のような透光性基板５１，５１ａに挟
まれた部分に液晶材料６０とプラスチック製のスペーサ
６８とが封入され、シール部材５９によって封止され
る。前記透光性基板５１，５１ａの相互に反対側表面に
はそれぞれ偏光板６１，６１ａが配置される。
まれた部分に液晶材料６０とプラスチック製のスペーサ
６８とが封入され、シール部材５９によって封止され
る。前記透光性基板５１，５１ａの相互に反対側表面に
はそれぞれ偏光板６１，６１ａが配置される。
【０００４】このカラー液晶表示装置６３には、駆動用
ＬＳＩ（Large Scale Integratedcircuit；大規模集積
回路）６４が実装されたＴＡＢ（Tape Automated Bondi
ng）６２が端子部分６６ｂに接続される。
ＬＳＩ（Large Scale Integratedcircuit；大規模集積
回路）６４が実装されたＴＡＢ（Tape Automated Bondi
ng）６２が端子部分６６ｂに接続される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一般にカラーフィルタ
５２を用いるカラー液晶表示装置６３では、色むらやコ
ントラストむらを防止する上で特にカラーフィルタ５２
表面の平滑性を保つことが重要である。そこで、カラー
フィルタ５２の表面をアクリル系あるいはポリイミド系
樹脂から成る有機オーバコート膜５３で被覆して平滑化
した後に、スパッタ法などによってＩＴＯ膜５６を膜付
けして透明電極を形成する方法が用いられている。
５２を用いるカラー液晶表示装置６３では、色むらやコ
ントラストむらを防止する上で特にカラーフィルタ５２
表面の平滑性を保つことが重要である。そこで、カラー
フィルタ５２の表面をアクリル系あるいはポリイミド系
樹脂から成る有機オーバコート膜５３で被覆して平滑化
した後に、スパッタ法などによってＩＴＯ膜５６を膜付
けして透明電極を形成する方法が用いられている。
【０００６】このような方法で作成された液晶表示装置
６３では、カラーフィルタ５２とＩＴＯ膜５６との間に
有機オーバコート膜５３が介在するため、その表面への
ＩＴＯ膜５６の形成は２５０℃以下程度の温度で、Ａｒ
＋Ｏ2雰囲気下の条件においてスパッタ法などによって
行われる。しかしながらこの条件下では有機オーバコー
ト膜５３の表面が酸化反応などによって変質するなどの
原因で、有機オーバコート膜５３とＩＴＯ膜５６との間
の密着力が著しく低下し、ＩＴＯ膜５６の剥離・ひび割
れが発生し易い。そのため、ＩＴＯ膜５６の端子部分６
６ｂと駆動用ＬＳＩ６４が実装されたＴＡＢ６２との接
続における信頼性が確保できないという課題を有してい
る。
６３では、カラーフィルタ５２とＩＴＯ膜５６との間に
有機オーバコート膜５３が介在するため、その表面への
ＩＴＯ膜５６の形成は２５０℃以下程度の温度で、Ａｒ
＋Ｏ2雰囲気下の条件においてスパッタ法などによって
行われる。しかしながらこの条件下では有機オーバコー
ト膜５３の表面が酸化反応などによって変質するなどの
原因で、有機オーバコート膜５３とＩＴＯ膜５６との間
の密着力が著しく低下し、ＩＴＯ膜５６の剥離・ひび割
れが発生し易い。そのため、ＩＴＯ膜５６の端子部分６
６ｂと駆動用ＬＳＩ６４が実装されたＴＡＢ６２との接
続における信頼性が確保できないという課題を有してい
る。
【０００７】本発明の目的は、ＩＴＯ膜の密着力を向上
させることができるカラー液晶表示装置を提供すること
である。
させることができるカラー液晶表示装置を提供すること
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、一対の透光性
基板間に液晶層を介在し、一方基板上にカラーフィルタ
が形成され、前記カラーフィルタ上には有機保護膜とＩ
ＴＯ膜とが形成されるカラー液晶表示装置において、前
記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に、金属窒化物膜を
介在させたことを特徴とするカラー液晶表示装置であ
る。
基板間に液晶層を介在し、一方基板上にカラーフィルタ
が形成され、前記カラーフィルタ上には有機保護膜とＩ
ＴＯ膜とが形成されるカラー液晶表示装置において、前
記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に、金属窒化物膜を
介在させたことを特徴とするカラー液晶表示装置であ
る。
【０００９】また本発明は、前記金属窒化物膜と前記Ｉ
ＴＯ膜との間に、金属酸化物膜を介在させたことを特徴
とする。
ＴＯ膜との間に、金属酸化物膜を介在させたことを特徴
とする。
【００１０】
【作用】本発明に従えば、一対の透光性基板間に液晶層
が介在し、一方の基板上の全面にカラーフィルタが形成
され、前記カラーフィルタ上にはカラーフィルタ表面を
平滑化するための有機保護膜が形成される。さらにその
表面全体に金属窒化物膜を形成した上にＩＴＯ膜を形成
してカラー液晶表示装置が作成される。
が介在し、一方の基板上の全面にカラーフィルタが形成
され、前記カラーフィルタ上にはカラーフィルタ表面を
平滑化するための有機保護膜が形成される。さらにその
表面全体に金属窒化物膜を形成した上にＩＴＯ膜を形成
してカラー液晶表示装置が作成される。
【００１１】有機保護膜とＩＴＯ膜との間に金属窒化物
膜が介在することによって密着力を高め、ＩＴＯ膜の剥
離やひび割れを防止することが可能となる。
膜が介在することによって密着力を高め、ＩＴＯ膜の剥
離やひび割れを防止することが可能となる。
【００１２】また本発明に従えば、前記カラー液晶表示
装置の前記金属窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間に、金属
酸化物膜が介在される。したがって、有機保護膜とＩＴ
Ｏ膜との間に金属窒化物膜と金属酸化物膜との２層が介
在することになり、ＩＴＯ膜の密着力が高まり、ＩＴＯ
膜の剥離やひび割れをより確実に防止することができ
る。
装置の前記金属窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間に、金属
酸化物膜が介在される。したがって、有機保護膜とＩＴ
Ｏ膜との間に金属窒化物膜と金属酸化物膜との２層が介
在することになり、ＩＴＯ膜の密着力が高まり、ＩＴＯ
膜の剥離やひび割れをより確実に防止することができ
る。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の一実施例のカラー液晶表示
装置１３の断面図である。カラー液晶表示装置１３が備
える一対の透光性基板１，１ａのうち、一方基板１ａ上
にＳｉＯxなどの金属酸化物膜５ａを形成した後、ＩＴ
Ｏ膜６ａを成膜し、ＩＴＯ膜６ａをパターニングして複
数の帯状の透明電極を形成する。さらにその上には、配
向膜７ａが形成される。
装置１３の断面図である。カラー液晶表示装置１３が備
える一対の透光性基板１，１ａのうち、一方基板１ａ上
にＳｉＯxなどの金属酸化物膜５ａを形成した後、ＩＴ
Ｏ膜６ａを成膜し、ＩＴＯ膜６ａをパターニングして複
数の帯状の透明電極を形成する。さらにその上には、配
向膜７ａが形成される。
【００１４】また、基板１上にはカラーフィルタ２がほ
ぼ全面にわたって設けられている。このカラーフィルタ
２は、赤色、緑色および青色の帯状のカラーフィルタを
交互にまたは前記３色の矩形状のカラーフィルタをモザ
イク状に配列して形成されている。さらに、このカラー
フィルタ２上にアクリル系あるいはポリイミド系の樹脂
から成る有機オーバコート膜３を形成して平滑化した
後、ＳｉＮxなどの金属窒化物膜４を全面にわたって厚
さ１０〜１０００Åに形成した後、さらにＳｉＯx、Ａ
ｌＯx、ＴｉＯxなどの金属酸化物膜５も全面にわたって
厚さ１０〜１０００Åに形成する。その上にＩＴＯ膜６
が成膜されて透明電極が形成され、さらにその上に配向
膜７が形成される。
ぼ全面にわたって設けられている。このカラーフィルタ
２は、赤色、緑色および青色の帯状のカラーフィルタを
交互にまたは前記３色の矩形状のカラーフィルタをモザ
イク状に配列して形成されている。さらに、このカラー
フィルタ２上にアクリル系あるいはポリイミド系の樹脂
から成る有機オーバコート膜３を形成して平滑化した
後、ＳｉＮxなどの金属窒化物膜４を全面にわたって厚
さ１０〜１０００Åに形成した後、さらにＳｉＯx、Ａ
ｌＯx、ＴｉＯxなどの金属酸化物膜５も全面にわたって
厚さ１０〜１０００Åに形成する。その上にＩＴＯ膜６
が成膜されて透明電極が形成され、さらにその上に配向
膜７が形成される。
【００１５】以上のような透明基板１，１ａに挟まれた
空間に液晶材料１０とプラスチック製のスペーサ８とが
封入され、シール部材９によって封止される。前記透光
性基板１，１ａの相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板
１１，１１ａが配置される。このカラー液晶表示装置１
３には駆動用ＬＳＩ１４が実装されたＴＡＢ１２が端子
部分１６ｂへ接続される。
空間に液晶材料１０とプラスチック製のスペーサ８とが
封入され、シール部材９によって封止される。前記透光
性基板１，１ａの相互に反対側表面にはそれぞれ偏光板
１１，１１ａが配置される。このカラー液晶表示装置１
３には駆動用ＬＳＩ１４が実装されたＴＡＢ１２が端子
部分１６ｂへ接続される。
【００１６】ＩＴＯ膜６，６ａを形成する前に成膜され
る金属酸化物膜５，５ａおよび金属窒化物膜４の成膜条
件の一例を説明する。金属酸化物膜５，５ａは、Ｓｉを
ターゲット材料とし、導入ガスとしてＡｒおよびＯ2を
用いて、スパッタ真空度が１．０×１０-3ｔｏｒｒの中
で基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば２００Å
の厚さにスパッタ蒸着される。また、金属窒化物膜４
は、Ｓｉをターゲット材料とし、導入ガスとしてＮ2を
用いてスパッタ真空度が９．０×１０-4ｔｏｒｒの中で
基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば１５０Åの
厚さにスパッタ蒸着される。
る金属酸化物膜５，５ａおよび金属窒化物膜４の成膜条
件の一例を説明する。金属酸化物膜５，５ａは、Ｓｉを
ターゲット材料とし、導入ガスとしてＡｒおよびＯ2を
用いて、スパッタ真空度が１．０×１０-3ｔｏｒｒの中
で基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば２００Å
の厚さにスパッタ蒸着される。また、金属窒化物膜４
は、Ｓｉをターゲット材料とし、導入ガスとしてＮ2を
用いてスパッタ真空度が９．０×１０-4ｔｏｒｒの中で
基板温度を２２０℃とした条件下でたとえば１５０Åの
厚さにスパッタ蒸着される。
【００１７】なお、ＩＴＯ膜６の膜付けを行う前に金属
酸化物膜４の膜付けを行う場合には、両方の膜付けが同
一チャンバ内で連続スパッタ処理を施すことによって行
われる。
酸化物膜４の膜付けを行う場合には、両方の膜付けが同
一チャンバ内で連続スパッタ処理を施すことによって行
われる。
【００１８】本実施例のカラー液晶表示装置１３と従来
のカラー液晶表示装置６３とを気温６０℃、相対湿度９
５％の条件下において、時間の経過によるＩＴＯ膜６の
端子部分１６ｂとＴＡＢ１２、およびＩＴＯ膜５６の端
子部分６６ｂとＴＡＢ６２との接続信頼性の違いを比較
した結果を表１に示す。
のカラー液晶表示装置６３とを気温６０℃、相対湿度９
５％の条件下において、時間の経過によるＩＴＯ膜６の
端子部分１６ｂとＴＡＢ１２、およびＩＴＯ膜５６の端
子部分６６ｂとＴＡＢ６２との接続信頼性の違いを比較
した結果を表１に示す。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１に示されるように、高温多湿といった
悪条件下では、従来例のものは比較的早い時期から断線
などの異常が発生しているのに対し、本実施例のものは
その２倍の時間が経過しても１台の異常も発生していな
い。したがってＩＴＯ膜６の端子部分１６ｂとＴＡＢ１
２との接続信頼性が格段に向上している。
悪条件下では、従来例のものは比較的早い時期から断線
などの異常が発生しているのに対し、本実施例のものは
その２倍の時間が経過しても１台の異常も発生していな
い。したがってＩＴＯ膜６の端子部分１６ｂとＴＡＢ１
２との接続信頼性が格段に向上している。
【００２１】さらに従来のカラー液晶表示装置６３と本
実施例のカラー液晶表示装置１３とを４０℃で３ｗｔ％
のＮａＯＨ溶液に浸し、時間の経過によるＩＴＯ膜６，
５６の変化について比較した結果を表２に示す。
実施例のカラー液晶表示装置１３とを４０℃で３ｗｔ％
のＮａＯＨ溶液に浸し、時間の経過によるＩＴＯ膜６，
５６の変化について比較した結果を表２に示す。
【００２２】
【表２】
【００２３】表２に示されるように、従来のものにおい
ては有機オーバコート膜５３の表面がＮａＯＨによって
酸化反応を起こして変質するため、有機オーバコート膜
５３とＩＴＯ膜５６との間の密着力が著しく低下し、Ｉ
ＴＯ膜５６の剥離が発生しているのに対し、本実施例の
ものでは、１枚の剥離も確認されておらず、金属窒化物
膜４と金属酸化物膜５とによって密着力が格段に向上し
ている。
ては有機オーバコート膜５３の表面がＮａＯＨによって
酸化反応を起こして変質するため、有機オーバコート膜
５３とＩＴＯ膜５６との間の密着力が著しく低下し、Ｉ
ＴＯ膜５６の剥離が発生しているのに対し、本実施例の
ものでは、１枚の剥離も確認されておらず、金属窒化物
膜４と金属酸化物膜５とによって密着力が格段に向上し
ている。
【００２４】なお、本実施例においてはカラーフィルタ
２側のＩＴＯ膜６を成膜する前に金属窒化物膜４と金属
酸化物膜５との両方を形成しているけれども、金属窒化
物膜４だけを形成してもよい。
２側のＩＴＯ膜６を成膜する前に金属窒化物膜４と金属
酸化物膜５との両方を形成しているけれども、金属窒化
物膜４だけを形成してもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、カラー液
晶表示装置の透光性基板上に形成された有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間に金属窒化物膜を介在させたことによっ
て、有機保護膜の酸化反応などによるＩＴＯ膜の剥離や
ひび割れの発生が防止され、ＩＴＯ膜の密着力が格段に
向上する。
晶表示装置の透光性基板上に形成された有機保護膜とＩ
ＴＯ膜との間に金属窒化物膜を介在させたことによっ
て、有機保護膜の酸化反応などによるＩＴＯ膜の剥離や
ひび割れの発生が防止され、ＩＴＯ膜の密着力が格段に
向上する。
【００２６】また本発明によれば、前記金属窒化物膜と
前記ＩＴＯ膜との間に金属酸化物膜を介在させたことに
よって、さらにＩＴＯ膜の密着力が向上する。
前記ＩＴＯ膜との間に金属酸化物膜を介在させたことに
よって、さらにＩＴＯ膜の密着力が向上する。
【図１】本発明の一実施例のカラー液晶表示装置１３の
断面図である。
断面図である。
【図２】従来例のカラー液晶表示装置６３の断面図であ
る。
る。
１，１ａ 透光性基板 ２ カラーフィルタ ３ 有機オーバコート膜 ４ 金属窒化物膜 ５，５ａ 金属酸化物膜 ６，６ａ，６ｂ ＩＴＯ膜 １２ ＴＡＢ １３ カラー液晶表示装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小倉 優美 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 一対の透光性基板間に液晶層を介在し、
一方基板上にカラーフィルタが形成され、前記カラーフ
ィルタ上には有機保護膜とＩＴＯ膜とが形成されるカラ
ー液晶表示装置において、 前記有機保護膜と前記ＩＴＯ膜との間に、金属窒化物膜
を介在させたことを特徴とするカラー液晶表示装置。 - 【請求項２】 前記金属窒化物膜と前記ＩＴＯ膜との間
に、金属酸化物膜を介在させたことを特徴とする請求項
１記載のカラー液晶表示装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294541A JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
| KR1019930023239A KR0139172B1 (ko) | 1992-11-02 | 1993-11-01 | 컬러 액정표시장치 |
| US08/144,445 US5488497A (en) | 1992-11-02 | 1993-11-02 | Color liquid crystal device with organic smoothing layer over ITO separated by an oxide layer and a nitride layer |
| CN93119823A CN1034296C (zh) | 1992-11-02 | 1993-11-02 | 彩色液晶显示装置 |
| TW082109141A TW311989B (ja) | 1992-11-02 | 1993-11-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4294541A JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148618A true JPH06148618A (ja) | 1994-05-27 |
| JP2849008B2 JP2849008B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=17809126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4294541A Expired - Lifetime JP2849008B2 (ja) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | カラー液晶表示装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5488497A (ja) |
| JP (1) | JP2849008B2 (ja) |
| KR (1) | KR0139172B1 (ja) |
| CN (1) | CN1034296C (ja) |
| TW (1) | TW311989B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003021826A (ja) * | 2001-07-10 | 2003-01-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Ｉｔｏ被膜付き基板及びその製造方法 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6693694B2 (en) * | 1999-05-14 | 2004-02-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electro-optic display device with reduced electrical asymmetry |
| US6348420B1 (en) | 1999-12-23 | 2002-02-19 | Asm America, Inc. | Situ dielectric stacks |
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