JPH02284117A - カラー液晶表示装置用電極板 - Google Patents
カラー液晶表示装置用電極板Info
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- JPH02284117A JPH02284117A JP1106423A JP10642389A JPH02284117A JP H02284117 A JPH02284117 A JP H02284117A JP 1106423 A JP1106423 A JP 1106423A JP 10642389 A JP10642389 A JP 10642389A JP H02284117 A JPH02284117 A JP H02284117A
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Links
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー液晶表示装置用電極板に関するもので
ある。
ある。
従来のカラー液晶表示装置には、液晶を介して対向する
一対の透明基板のいずれか一方の透明基板の液晶層側の
ITOI[などからなる透明電極を形成し、この透明電
極上に複数のカラーフィルターを所定のパターンで配置
されたものと、上記透明基板の液晶層側の面に、上記カ
ラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフィル
ター上に保護膜を介して、透明電極膜を形成したものと
がある。
一対の透明基板のいずれか一方の透明基板の液晶層側の
ITOI[などからなる透明電極を形成し、この透明電
極上に複数のカラーフィルターを所定のパターンで配置
されたものと、上記透明基板の液晶層側の面に、上記カ
ラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフィル
ター上に保護膜を介して、透明電極膜を形成したものと
がある。
従来技術の前者の場合、高次マルチイブレックス駆動の
際、電気光学特性において、カラーフィルター層の容量
成分により急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じるので
、実用上、後者の方が望ましい。
際、電気光学特性において、カラーフィルター層の容量
成分により急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じるので
、実用上、後者の方が望ましい。
後者の場合、各カラーフィルター間で凹凸部を形成して
いるため、透明電極膜を形成する際、前記凹部の透明電
極パターン精度が低下したり断線及び配向不良が生じる
欠点があった。
いるため、透明電極膜を形成する際、前記凹部の透明電
極パターン精度が低下したり断線及び配向不良が生じる
欠点があった。
この対策として、カラーフィルターを被うためスピンコ
ータ及びロールコータ等を用いて、有機高分子膜からな
る保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成す
る際、上記保護膜にシワ及びクラック等が発生し、透明
電極パターン形成時に断線を生じる欠点があった。
ータ及びロールコータ等を用いて、有機高分子膜からな
る保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成す
る際、上記保護膜にシワ及びクラック等が発生し、透明
電極パターン形成時に断線を生じる欠点があった。
一方、蒸着法やスパッタ法及びプラズマCVD法等で形
成した無機簿膜をカラーフィルターの保護膜として用い
た場合は、耐薬品性に富み、上記保護膜と透明電極膜と
の密着性は良好であるが、薄膜がゆえに、各カラーフィ
ルター間の凹凸部を埋めて表面を平坦化することは困難
であり、四部の透明電極パターン精度の低下とセルギャ
ップの不均一から、液晶層にかかる電気光学特性にバラ
ツキを生じる欠点があった。
成した無機簿膜をカラーフィルターの保護膜として用い
た場合は、耐薬品性に富み、上記保護膜と透明電極膜と
の密着性は良好であるが、薄膜がゆえに、各カラーフィ
ルター間の凹凸部を埋めて表面を平坦化することは困難
であり、四部の透明電極パターン精度の低下とセルギャ
ップの不均一から、液晶層にかかる電気光学特性にバラ
ツキを生じる欠点があった。
また、有機高分子膜と無機*aとの組み合せによるカラ
ーフィルターを被う平坦な保111111を全面ベタで
形成した場合は、実装端子部の透明電極膜の下に有機高
分子膜が形成されているため、透明基板のスクライブ処
理時に上記保護膜のはく離及び実装時の圧力もしくは取
り扱い時に発生するキズ等により透明電極膜の断線によ
る実装不良が生じる欠点があった。
ーフィルターを被う平坦な保111111を全面ベタで
形成した場合は、実装端子部の透明電極膜の下に有機高
分子膜が形成されているため、透明基板のスクライブ処
理時に上記保護膜のはく離及び実装時の圧力もしくは取
り扱い時に発生するキズ等により透明電極膜の断線によ
る実装不良が生じる欠点があった。
この発明は以上の事情を鑑みなされたもので、その主要
な目的は、カラーフィルターを被うような透明な感光性
有機高分子膜と無機薄膜との組み合せで、しかも、シー
ル部及び実装端子部からイイ機高分子膜を除去した構造
による耐薬品性及び耐液晶性に富んだ平坦な保護膜を形
成することにより、良好な配向を有する表示信頼性及び
実装信頼性の高い安価なカラー液晶表示装置用電極板を
提供することができる。
な目的は、カラーフィルターを被うような透明な感光性
有機高分子膜と無機薄膜との組み合せで、しかも、シー
ル部及び実装端子部からイイ機高分子膜を除去した構造
による耐薬品性及び耐液晶性に富んだ平坦な保護膜を形
成することにより、良好な配向を有する表示信頼性及び
実装信頼性の高い安価なカラー液晶表示装置用電極板を
提供することができる。
この発明は、液晶を介して対向する一対の透明基板とこ
の一方の透明基板の液晶側に所定の多数色のパターンで
配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液晶
表示装置において、前記カラーフィルターは、顔料分散
型の印刷カラーフィルターもしくは、カラーレジストに
よる顔料分散型のカラーフィルターで、各カラーフィル
ターを被うように透明な感光性有機高分子膜で平坦化処
理をほどこし、かつ、無機薄膜及び透明電極膜とが積層
されるとともに、シール部及び実装端子部に透明な有機
高分子膜が形成されていないカラー液晶表示装置用電極
板である。
の一方の透明基板の液晶側に所定の多数色のパターンで
配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液晶
表示装置において、前記カラーフィルターは、顔料分散
型の印刷カラーフィルターもしくは、カラーレジストに
よる顔料分散型のカラーフィルターで、各カラーフィル
ターを被うように透明な感光性有機高分子膜で平坦化処
理をほどこし、かつ、無機薄膜及び透明電極膜とが積層
されるとともに、シール部及び実装端子部に透明な有機
高分子膜が形成されていないカラー液晶表示装置用電極
板である。
(実施例1〕
第1図において、カラー液晶表示装置(lO)は液晶(
11)を介して上下に対向する一対の透明ガラス基板(
1)、 (2)とこの下側の透明ガラス基板(2)の
上面に所定のRGBに配置された複数のカラーフィルタ
ー(5)と各カラーフィルターを被うように透明な感光
性有機高分子膜(6)、無機薄膜(7)及び透明電極膜
(8)とがこの順で積層されており、ざらに配向膜(9
)が形成されている。
11)を介して上下に対向する一対の透明ガラス基板(
1)、 (2)とこの下側の透明ガラス基板(2)の
上面に所定のRGBに配置された複数のカラーフィルタ
ー(5)と各カラーフィルターを被うように透明な感光
性有機高分子膜(6)、無機薄膜(7)及び透明電極膜
(8)とがこの順で積層されており、ざらに配向膜(9
)が形成されている。
また、上側の透明ガラス基板(1)の下面には、透明電
極Ig(3)及び配向膜(4)とがら主として構成され
る。
極Ig(3)及び配向膜(4)とがら主として構成され
る。
透明ガラス基板(2)には、富士ハント(株)鯛のカラ
ーモザイクによる・顔料分散型のカラーフィルターが多
数色で所定のパターンで配置されてiる。前記カラーフ
ィルター付透明ガラス基板にスピンコータにより全面透
明な感光性ポリイミド樹脂(宇部興産(株)製、商品名
PI−300)を塗膜し、プレベーク処理後、所定のフ
ォトマスクを用いてUv露光、現像、リンス処理後、ポ
ストベーク処理を行ない所定のパターンを形成し、シー
ル部及び実装端子部から感光性ポリイミド樹脂高分子膜
(6)を除去した。
ーモザイクによる・顔料分散型のカラーフィルターが多
数色で所定のパターンで配置されてiる。前記カラーフ
ィルター付透明ガラス基板にスピンコータにより全面透
明な感光性ポリイミド樹脂(宇部興産(株)製、商品名
PI−300)を塗膜し、プレベーク処理後、所定のフ
ォトマスクを用いてUv露光、現像、リンス処理後、ポ
ストベーク処理を行ない所定のパターンを形成し、シー
ル部及び実装端子部から感光性ポリイミド樹脂高分子膜
(6)を除去した。
この時点で、シール部及び実装端子部に感光性ポリイミ
ド樹脂高分子膜の薄い被膜が形成されているため、02
プラズマ処理により、感光性ポリイミド樹脂高分子膜を
確実に除去した。
ド樹脂高分子膜の薄い被膜が形成されているため、02
プラズマ処理により、感光性ポリイミド樹脂高分子膜を
確実に除去した。
固形分濃度20wt%、スピン回転数2000rpm、
熱硬化は230°C1rJr!間とし、膜厚はl・
5Bmとなった。
熱硬化は230°C1rJr!間とし、膜厚はl・
5Bmとなった。
次に低温高速スパッタ装置で220’ Cに加熱しなか
らSi0gターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面をスパッタし1300AのSiO2無機薄膜(7)
を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、02ガス
雰囲気中にて全面をスパッタし1500AのITOjf
f明rr1mm<s>を形成した。
らSi0gターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面をスパッタし1300AのSiO2無機薄膜(7)
を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、02ガス
雰囲気中にて全面をスパッタし1500AのITOjf
f明rr1mm<s>を形成した。
更に、フォトレジスト0FPR−800を用いて、IT
O透明電極11u(8)を所定のフォトマスクを用いて
パターニングし、シール部及び実!!端子部から透明な
有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電
極板を形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、
シワ及びクラックによる断線、更に、実装時の圧力及び
取り扱いキズ等による断線等による実装不良が生じない
実装信頼性と配向不良を生じない良1Tな液晶配向を有
する表示信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確
認されている。
O透明電極11u(8)を所定のフォトマスクを用いて
パターニングし、シール部及び実!!端子部から透明な
有機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電
極板を形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、
シワ及びクラックによる断線、更に、実装時の圧力及び
取り扱いキズ等による断線等による実装不良が生じない
実装信頼性と配向不良を生じない良1Tな液晶配向を有
する表示信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確
認されている。
〔実施例2〕
flj4分散型のカラーフィルター付透明ガラス基Jf
f (2)に、スピンコータiこより全面透明な感光性
ポリアミド樹II(宇部興産(株)製、商品名PA−1
00>をt!a膜し、プレベーク処理後、所定のフォト
マスクを用いてUV7i光、現(92,リンス処理後、
ボストベーク処理を行ない所定のパターンを形成し、シ
ール部及び実装端子部から感光性ポリアミド樹j1′I
!I分子膜(6)を除去した。
f (2)に、スピンコータiこより全面透明な感光性
ポリアミド樹II(宇部興産(株)製、商品名PA−1
00>をt!a膜し、プレベーク処理後、所定のフォト
マスクを用いてUV7i光、現(92,リンス処理後、
ボストベーク処理を行ない所定のパターンを形成し、シ
ール部及び実装端子部から感光性ポリアミド樹j1′I
!I分子膜(6)を除去した。
この時点で、シール部及び実装端子部に感光性ポリアミ
ド樹脂高分子膜の薄い被膜が形成されているため02プ
ラズマ処理により、感光性ポリアミド樹脂高分子膜を確
実に除去した。
ド樹脂高分子膜の薄い被膜が形成されているため02プ
ラズマ処理により、感光性ポリアミド樹脂高分子膜を確
実に除去した。
粘度は8400P3、スピン回転数は2000rpm、
熱硬化は230@CI時間とし、膜厚は2・ 1μmと
なった。
熱硬化は230@CI時間とし、膜厚は2・ 1μmと
なった。
次に、低温高速スパッタ装置で200” Cに加熱しな
がらSiO2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中に
て全面をスパッタし1500AのSiO2無機薄膜(7
)を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、02ガ
ス雰囲気中にて全面をスパッタし1500人のITO透
明電極膜(8)を形成した。
がらSiO2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中に
て全面をスパッタし1500AのSiO2無機薄膜(7
)を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、02ガ
ス雰囲気中にて全面をスパッタし1500人のITO透
明電極膜(8)を形成した。
更に、フォトレジスト0FPR−800を用いて、IT
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、シワ及
びクラックによる断線、更に、実装時の圧力及び取り扱
いキズ等による断線等による実装不良が生じない実装信
頼性と配向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示
信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されて
いる。
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、シワ及
びクラックによる断線、更に、実装時の圧力及び取り扱
いキズ等による断線等による実装不良が生じない実装信
頼性と配向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示
信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されて
いる。
〔実施例3〕
顔料分散型の印刷カラーフィルター付透明ガラス基板(
2)に、スクリーン印刷機を用いて、感光性ポリアミド
樹脂高分子膜(6)を所定のパターンで塗膜し、プレベ
ーク処理(組 UV照射後にボストベーク処理を行ない
シール部及び実装端子部から感光性ポリイミド樹脂高分
子膜を除去した。
2)に、スクリーン印刷機を用いて、感光性ポリアミド
樹脂高分子膜(6)を所定のパターンで塗膜し、プレベ
ーク処理(組 UV照射後にボストベーク処理を行ない
シール部及び実装端子部から感光性ポリイミド樹脂高分
子膜を除去した。
固形分濃度は20wt%、熱硬化は200” 01時間
とし、膜厚は3μmとなった。
とし、膜厚は3μmとなった。
次に、低温高速スパッタ装置で220” Cに加熱しな
からSiOξターゲットを用いて、Arガス雰囲気中に
て全面をスパッタし1000への5iat無8?ifM
(7)を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、Q
2ガス雰囲気中にて全面をスパッタし1500A17)
ITO透明電極1151(8)を形成した。
からSiOξターゲットを用いて、Arガス雰囲気中に
て全面をスパッタし1000への5iat無8?ifM
(7)を形成後、ITOターゲットを用いて、Ar、Q
2ガス雰囲気中にて全面をスパッタし1500A17)
ITO透明電極1151(8)を形成した。
更に、フォトレジスト0FPR−800を用いて、IT
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保!11164には
、シワ及びクラックによる断面、更に、実装時の圧力及
び取り扱いキズ等による断線等による実装不良が生じな
い実装信頼性と配向不良を生じない良好な液晶配向を有
する表示信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確
認されている。
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保!11164には
、シワ及びクラックによる断面、更に、実装時の圧力及
び取り扱いキズ等による断線等による実装不良が生じな
い実装信頼性と配向不良を生じない良好な液晶配向を有
する表示信頼性及び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確
認されている。
以上のように本発明は、顔料分散型の印刷カラーフィル
ターもしくはカラーレジストによる顔料分散型のカラー
フィルター上に、所定のパターンで有機高分子膜を形成
し、カラーフィルター表面の凹凸をなくす平坦化膜とし
て用いるとともに、シール部及び実装端子部から平坦化
膜を除去し、かつ、無機薄膜を積層した構造にすること
により、耐薬品性、耐溶剤性、耐液晶性及び実装信頼性
を付与し、カラーフィルター上の透明電極により、きわ
めて良好な駆動条件となり表示品質の向上及び高歩留り
をもたらした。
ターもしくはカラーレジストによる顔料分散型のカラー
フィルター上に、所定のパターンで有機高分子膜を形成
し、カラーフィルター表面の凹凸をなくす平坦化膜とし
て用いるとともに、シール部及び実装端子部から平坦化
膜を除去し、かつ、無機薄膜を積層した構造にすること
により、耐薬品性、耐溶剤性、耐液晶性及び実装信頼性
を付与し、カラーフィルター上の透明電極により、きわ
めて良好な駆動条件となり表示品質の向上及び高歩留り
をもたらした。
第2図は、従来のカラー液晶表示装置用電極板を採用し
たカラー液晶表示装置の模式断面図である。
たカラー液晶表示装置の模式断面図である。
1、 2. 21. 22・・・透明ガラス基板3、
8. 23. 28・・・透明電極膜4、 9. 24
. 29・・・配向膜5.25・・・カラーフィルター
層 6.26・・・平坦化膜 7.27・・・無機N11i 10.30・・・カラー液晶表示装置 11.31・・・液晶層 12.32・・・シール剤 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木 喜三部 他1名
8. 23. 28・・・透明電極膜4、 9. 24
. 29・・・配向膜5.25・・・カラーフィルター
層 6.26・・・平坦化膜 7.27・・・無機N11i 10.30・・・カラー液晶表示装置 11.31・・・液晶層 12.32・・・シール剤 以 上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木 喜三部 他1名
Claims (3)
- (1)液晶層を介して対向する一対の透明基板と、この
一方の透明基板の液晶側に所定の多数色のパターンで配
置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液晶表
示装置において、前記カラーフィルターは、顔料分散の
印刷カラーフィルターもしくはカラーレジストによる顔
料分散型のカラーフィルターとし、前記カラーフィルタ
ーを被うような透明な感光性有機高分子膜、無機薄膜及
び透明電極膜とが積層されるとともに、シール部及び実
装端子部から感光性有機高分子膜を除去したことを特徴
とするカラー液晶表示装置用電極板。 - (2)感光性有機高分子膜が、ポリイミド系樹脂もしく
はポリアミド系樹脂からなることを特徴とする請求項1
記載のカラー液晶表示装置用電極板。 - (3)無機薄膜が酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素からな
ることを特徴とする請求項1記載のカラー液晶表示装置
用電極板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1106423A JPH02284117A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1106423A JPH02284117A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02284117A true JPH02284117A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14433255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1106423A Pending JPH02284117A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02284117A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5317434A (en) * | 1990-07-12 | 1994-05-31 | Seiko Epson Corporation | Color filter structure for liquid crystal displays with seal end on or surrounded by orientation film |
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WO1997006463A1 (fr) * | 1995-08-03 | 1997-02-20 | Hitachi, Ltd. | Affichage a cristaux liquides en couleurs |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS6344633A (ja) * | 1986-08-12 | 1988-02-25 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−液晶パネル |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1106423A patent/JPH02284117A/ja active Pending
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