JPH05119306A - カラーフイルター基板の製造方法 - Google Patents
カラーフイルター基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH05119306A JPH05119306A JP30706491A JP30706491A JPH05119306A JP H05119306 A JPH05119306 A JP H05119306A JP 30706491 A JP30706491 A JP 30706491A JP 30706491 A JP30706491 A JP 30706491A JP H05119306 A JPH05119306 A JP H05119306A
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- Japan
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- color filter
- thin film
- protective film
- transparent conductive
- film
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Abstract
(57)【要約】
【構成】透明基体１、カラーフィルター２、樹脂保護膜
３、透明導電性金属化合物薄膜４（ＩＴＯ等）の積層構
造のカラーフィルター基板の製造方法において、薄膜４
と保護膜３との間に、ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ
3 ，ＳｉＯ2 等を主成分とし、薄膜４と保護膜３の付着
力を強化しうる中間層５を設ける。 【効果】透明導電性金属化合物薄膜４のパターニング特
性が向上し、サイドエッチを防止できる。
３、透明導電性金属化合物薄膜４（ＩＴＯ等）の積層構
造のカラーフィルター基板の製造方法において、薄膜４
と保護膜３との間に、ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ
3 ，ＳｉＯ2 等を主成分とし、薄膜４と保護膜３の付着
力を強化しうる中間層５を設ける。 【効果】透明導電性金属化合物薄膜４のパターニング特
性が向上し、サイドエッチを防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラー表示装置に用いる
ための透明電極付きカラーフィルター基板の製造方法に
関するものであり、具体的には、カラーフィルターの樹
脂保護膜と透明導電膜の間に絶縁性中間層を設けること
により、樹脂保護膜と透明導電膜の付着力を強化させ、
透明導電膜の電極加工特性を向上させることを特徴とす
るカラーフィルター基板の製造方法に関するものであ
る。
ための透明電極付きカラーフィルター基板の製造方法に
関するものであり、具体的には、カラーフィルターの樹
脂保護膜と透明導電膜の間に絶縁性中間層を設けること
により、樹脂保護膜と透明導電膜の付着力を強化させ、
透明導電膜の電極加工特性を向上させることを特徴とす
るカラーフィルター基板の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】カラー液晶表示装置等に用いる透明導電
膜付きカラーフィルター基板の基本構成は、透明基体／
カラーフィルター／樹脂保護膜／透明電極からなる。樹
脂保護膜は、カラーフィルターの色間段差の補償（平滑
化）、および、後工程で晒される薬品・熱等からのカラ
ーフィルターの保護のため不可欠である。
膜付きカラーフィルター基板の基本構成は、透明基体／
カラーフィルター／樹脂保護膜／透明電極からなる。樹
脂保護膜は、カラーフィルターの色間段差の補償（平滑
化）、および、後工程で晒される薬品・熱等からのカラ
ーフィルターの保護のため不可欠である。
【０００３】透明電極は、樹脂保護膜上にスパッタリン
グ法や真空蒸着法等で錫ドープ酸化インジウム（ＩＴ
Ｏ）薄膜に代表される透明導電性金属化合物薄膜を形成
し、その後、フォトリソグラフィー工程・ウエットエッ
チング処理を通し、微細加工（パターニング）を施すの
が一般的である。しかしながら、樹脂保護膜の組成や透
明導電性金属化合物薄膜の成膜条件によっては、十分な
樹脂保護膜／透明導電性金属化合物薄膜間の付着力が得
られず、透明導電性金属化合物薄膜のパターニング中に
おいて、剥離が発生したり、サイドエッチが激しい、等
の問題点がある。
グ法や真空蒸着法等で錫ドープ酸化インジウム（ＩＴ
Ｏ）薄膜に代表される透明導電性金属化合物薄膜を形成
し、その後、フォトリソグラフィー工程・ウエットエッ
チング処理を通し、微細加工（パターニング）を施すの
が一般的である。しかしながら、樹脂保護膜の組成や透
明導電性金属化合物薄膜の成膜条件によっては、十分な
樹脂保護膜／透明導電性金属化合物薄膜間の付着力が得
られず、透明導電性金属化合物薄膜のパターニング中に
おいて、剥離が発生したり、サイドエッチが激しい、等
の問題点がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は従来技
術が有していた前述の問題点を解消するものであり、透
明導電性金属化合物薄膜と樹脂保護膜の付着力を向上せ
しめ、パターニング特性を向上させる方法を提供するこ
とである。
術が有していた前述の問題点を解消するものであり、透
明導電性金属化合物薄膜と樹脂保護膜の付着力を向上せ
しめ、パターニング特性を向上させる方法を提供するこ
とである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、透
明基体１、カラーフィルター２、樹脂保護膜３、透明導
電性金属化合物薄膜４の積層構造からなるカラーフィル
ター基板の製造方法において、透明導電性金属化合物薄
膜４と樹脂保護膜３との間に、絶縁性金属酸化物を主成
分とし、透明導電性金属化合物薄膜４と樹脂保護膜３の
付着力を強化しうる中間層５を設けることを特徴とする
カラーフィルター基板の製造方法を提供するものであ
る。
明基体１、カラーフィルター２、樹脂保護膜３、透明導
電性金属化合物薄膜４の積層構造からなるカラーフィル
ター基板の製造方法において、透明導電性金属化合物薄
膜４と樹脂保護膜３との間に、絶縁性金属酸化物を主成
分とし、透明導電性金属化合物薄膜４と樹脂保護膜３の
付着力を強化しうる中間層５を設けることを特徴とする
カラーフィルター基板の製造方法を提供するものであ
る。
【０００６】図１は、本発明の付着力向上方法による多
層構造の断面図である。１は透明基体、２はカラーフィ
ルター、３は樹脂保護膜、４は透明導電性金属化合物薄
膜（透明電極）、５は、絶縁性金属酸化物を主成分と
し、透明導電性金属化合物薄膜４と樹脂保護膜３の付着
力を強化しうる中間層である。
層構造の断面図である。１は透明基体、２はカラーフィ
ルター、３は樹脂保護膜、４は透明導電性金属化合物薄
膜（透明電極）、５は、絶縁性金属酸化物を主成分と
し、透明導電性金属化合物薄膜４と樹脂保護膜３の付着
力を強化しうる中間層である。
【０００７】本発明の透明導電性金属化合物薄膜４とし
ては、ＩＴＯ、ＦやＳｂをドープしたＳｎＯ2 、Ａｌ等
をドープしたＺｎＯなどの透明導電性化合物が代表的な
例として挙げられるが、その他の金属化合物でもよい。
ては、ＩＴＯ、ＦやＳｂをドープしたＳｎＯ2 、Ａｌ等
をドープしたＺｎＯなどの透明導電性化合物が代表的な
例として挙げられるが、その他の金属化合物でもよい。
【０００８】本発明の樹脂保護膜３としては、アクリル
系、ポリイミド系、シリコーン系などの各種樹脂が挙げ
られるがこれらに限定されるものではない。
系、ポリイミド系、シリコーン系などの各種樹脂が挙げ
られるがこれらに限定されるものではない。
【０００９】本発明において透明導電性金属化合物薄膜
４と樹脂保護膜３の付着力向上のためにもうけられる中
間層５としては、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 のうち少なくとも１種を主成分とする層が代表的
な例としてあげられるが、その他の金属酸化物でもよ
い。中間層５の膜厚としては、数十Å以上１０００Å以
下が好ましい。数十Åより薄いと十分な付着力向上効果
が得られず、１０００Åより厚いと中間層５の内部応力
が大きくなり、やはり付着力向上効果が低下する。
４と樹脂保護膜３の付着力向上のためにもうけられる中
間層５としては、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｓ
ｉＯ2 のうち少なくとも１種を主成分とする層が代表的
な例としてあげられるが、その他の金属酸化物でもよ
い。中間層５の膜厚としては、数十Å以上１０００Å以
下が好ましい。数十Åより薄いと十分な付着力向上効果
が得られず、１０００Åより厚いと中間層５の内部応力
が大きくなり、やはり付着力向上効果が低下する。
【００１０】中間層５の形成方法としては、スパッタリ
ング法や蒸着法等のＰＶＤ法、スピンコート法、ディッ
プ法、スプレー法、フレキソ印刷などを用いた湿式法が
挙げられる。ＰＶＤ法では、特性の良い中間膜を形成す
るためには２００℃以上の高温雰囲気中で形成する必要
があるが、有機金属化合物を含む液を塗布したのち加熱
することにより形成する湿式法が、比較的低温加熱でも
特性の良い中間膜が得られるので好ましい。塗布液中の
有機金属化合物としては、アルコキシド、イソシアネー
ト、アセチルアセトネート錯体等があげられる。
ング法や蒸着法等のＰＶＤ法、スピンコート法、ディッ
プ法、スプレー法、フレキソ印刷などを用いた湿式法が
挙げられる。ＰＶＤ法では、特性の良い中間膜を形成す
るためには２００℃以上の高温雰囲気中で形成する必要
があるが、有機金属化合物を含む液を塗布したのち加熱
することにより形成する湿式法が、比較的低温加熱でも
特性の良い中間膜が得られるので好ましい。塗布液中の
有機金属化合物としては、アルコキシド、イソシアネー
ト、アセチルアセトネート錯体等があげられる。
【００１１】
【作用】本発明において、金属酸化物を主成分とする中
間層５の作用機構は必ずしも明確ではないが、金属化合
物を主成分とする中間膜が、透明導電性金属化合物薄膜
４と樹脂保護膜３との間の結合手のように働くことによ
って上記の如き効果を生ずるものと考えられる。
間層５の作用機構は必ずしも明確ではないが、金属化合
物を主成分とする中間膜が、透明導電性金属化合物薄膜
４と樹脂保護膜３との間の結合手のように働くことによ
って上記の如き効果を生ずるものと考えられる。
【００１２】
【実施例】透明なガラス基板３上に印刷法でカラーフィ
ルターを５μｍつけ、その上にロールコーター方式で樹
脂保護膜３としてのアクリルを３μｍコーティングし
た。更にその上に、エタノールで希釈したテトラノルマ
ルブチルチタネートをスピンコーターで塗布し、さらに
１２０℃で加熱し加水分解反応を進行させ、ＴｉＯ2か
らなる中間膜５を形成した。その上にマグネトロンスパ
ッタリング法でＩＴＯからなる透明導電性金属化合物薄
膜４を２５００Å形成した。
ルターを５μｍつけ、その上にロールコーター方式で樹
脂保護膜３としてのアクリルを３μｍコーティングし
た。更にその上に、エタノールで希釈したテトラノルマ
ルブチルチタネートをスピンコーターで塗布し、さらに
１２０℃で加熱し加水分解反応を進行させ、ＴｉＯ2か
らなる中間膜５を形成した。その上にマグネトロンスパ
ッタリング法でＩＴＯからなる透明導電性金属化合物薄
膜４を２５００Å形成した。
【００１３】上記のＩＴＯ膜上にフォトリソグラフィー
により、所定形状のフォトマスクを形成したのち、これ
を、塩酸、塩化第二鉄、水からなるエッチング液（エッ
チャント）中に浸漬して、ＩＴＯ膜のパターニングを行
った。その結果、ＩＴＯ膜のサイドエッチ量（フォトレ
ジストの幅よりさらにエッチングされて細くなった分）
は１μｍ以下であり、良好なパターニング特性を示し
た。
により、所定形状のフォトマスクを形成したのち、これ
を、塩酸、塩化第二鉄、水からなるエッチング液（エッ
チャント）中に浸漬して、ＩＴＯ膜のパターニングを行
った。その結果、ＩＴＯ膜のサイドエッチ量（フォトレ
ジストの幅よりさらにエッチングされて細くなった分）
は１μｍ以下であり、良好なパターニング特性を示し
た。
【００１４】
【比較例】中間層５を形成しないで、樹脂保護膜３上に
直接ＩＴＯ膜を形成したこと以外は上記実施例と同様と
した。結果は、サイドエッチ量は４〜７μｍと大きく、
パターニング特性は実施例と比べると大きく劣ってい
た。
直接ＩＴＯ膜を形成したこと以外は上記実施例と同様と
した。結果は、サイドエッチ量は４〜７μｍと大きく、
パターニング特性は実施例と比べると大きく劣ってい
た。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、透明導電性金属化合物薄膜４
と樹脂保護膜３との間に金属酸化物を主成分とする中間
層５を形成したため、透明導電性金属化合物薄膜４と樹
脂保護膜３の付着力が向上し、透明導電性金属化合物薄
膜４のパターニング特性が良くなるという優れた効果を
有し、特にサイドエッチ等の問題が解決されると言う効
果を有する。
と樹脂保護膜３との間に金属酸化物を主成分とする中間
層５を形成したため、透明導電性金属化合物薄膜４と樹
脂保護膜３の付着力が向上し、透明導電性金属化合物薄
膜４のパターニング特性が良くなるという優れた効果を
有し、特にサイドエッチ等の問題が解決されると言う効
果を有する。
【図１】本発明の方法にかかるカラーフィルター基板の
断面図
断面図
１ 透明基体 ２ カラーフィルター ３ 樹脂保護膜 ４ 透明導電性金属化合物薄膜 ５ 中間層
Claims (4)
- 【請求項１】透明基体１、カラーフィルター２、樹脂保
護膜３、透明導電性金属化合物薄膜４の積層構造からな
るカラーフィルター基板の製造方法において、透明導電
性金属化合物薄膜４と樹脂保護膜３との間に、絶縁性金
属酸化物を主成分とし、透明導電性金属化合物薄膜４と
樹脂保護膜３の付着力を強化しうる中間層５を設けるこ
とを特徴とするカラーフィルター基板の製造方法。 - 【請求項２】中間層５は、ＴｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2
Ｏ3 、ＳｉＯ2 のうち少なくとも１種を主成分とするこ
とを特徴とする請求項１のカラーフィルター基板の製造
方法。 - 【請求項３】中間層５を、有機金属化合物を含む液を塗
布したのち加熱することにより形成することを特徴とす
る請求項１または２のカラーフィルター基板の製造方
法。 - 【請求項４】樹脂保護膜３はアクリル樹脂、ポリイミド
樹脂、シリコーン樹脂の少なくとも１種を主成分とする
膜であることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項の
カラーフィルター基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30706491A JPH05119306A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | カラーフイルター基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30706491A JPH05119306A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | カラーフイルター基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05119306A true JPH05119306A (ja) | 1993-05-18 |
Family
ID=17964610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30706491A Withdrawn JPH05119306A (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | カラーフイルター基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05119306A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6649952B2 (en) | 2000-01-07 | 2003-11-18 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Color filter |
| US7271536B2 (en) | 2004-08-04 | 2007-09-18 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd. | Organic EL panel |
| DE102004010000B4 (de) * | 2003-03-12 | 2015-11-26 | Unified Innovative Technology, Llc | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung |
| DE10392604B4 (de) | 2002-05-23 | 2023-03-09 | Global Oled Technology Llc | Organische EL-Anzeige |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP30706491A patent/JPH05119306A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6649952B2 (en) | 2000-01-07 | 2003-11-18 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Color filter |
| DE10392604B4 (de) | 2002-05-23 | 2023-03-09 | Global Oled Technology Llc | Organische EL-Anzeige |
| DE102004010000B4 (de) * | 2003-03-12 | 2015-11-26 | Unified Innovative Technology, Llc | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer organischen EL-Anzeigevorrichtung |
| US7271536B2 (en) | 2004-08-04 | 2007-09-18 | Fuji Electric Holdings Co., Ltd. | Organic EL panel |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990107 |