JPH06136467A - 金属ガリウムの精製方法 - Google Patents
金属ガリウムの精製方法Info
- Publication number
- JPH06136467A JPH06136467A JP4290037A JP29003792A JPH06136467A JP H06136467 A JPH06136467 A JP H06136467A JP 4290037 A JP4290037 A JP 4290037A JP 29003792 A JP29003792 A JP 29003792A JP H06136467 A JPH06136467 A JP H06136467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallium
- container
- cooling medium
- molten
- purified
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22B—PRODUCTION AND REFINING OF METALS; PRETREATMENT OF RAW MATERIALS
- C22B58/00—Obtaining gallium or indium
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】原料溶融ガリウムを容器中に保持し、該容器を
制御された温度条件下に保温管理し、該容器中心部に冷
却媒体流通管を配設し、純化されたガリウムを該冷却媒
体流通管上に析出せしめることを特徴とする金属ガリウ
ムの精製方法。 【効果】装置及び操作が簡便で、且つ純度の高いガリウ
ムを効率よく低コストで分離収得し得る。
制御された温度条件下に保温管理し、該容器中心部に冷
却媒体流通管を配設し、純化されたガリウムを該冷却媒
体流通管上に析出せしめることを特徴とする金属ガリウ
ムの精製方法。 【効果】装置及び操作が簡便で、且つ純度の高いガリウ
ムを効率よく低コストで分離収得し得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は不純ガリウムの溶融体を
分別結晶化の原理を用いて凝固せしめ、原料ガリウムよ
り純度の高いガリウムを分別取得するガリウムの精製方
法に関するものである。
分別結晶化の原理を用いて凝固せしめ、原料ガリウムよ
り純度の高いガリウムを分別取得するガリウムの精製方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガリウムは電子材料としての半導体素子
や発光素子原料として優れた特性を有しており、近年そ
の需要は増大している。ガリウムは一般的にはアルミニ
ウム等の生産の副生成物として得られるものを電気分解
して製造される。しかし、その純度は９９．９９９％
（ファイブナイン）程度であり、半導体素子用原料とし
てのメタル純度は９９．９９９９％（シックスナイン）
以上要求されるので、更に精製して純度を高める必要が
ある。
や発光素子原料として優れた特性を有しており、近年そ
の需要は増大している。ガリウムは一般的にはアルミニ
ウム等の生産の副生成物として得られるものを電気分解
して製造される。しかし、その純度は９９．９９９％
（ファイブナイン）程度であり、半導体素子用原料とし
てのメタル純度は９９．９９９９％（シックスナイン）
以上要求されるので、更に精製して純度を高める必要が
ある。
【０００３】このようなガリウムの精製方法としては精
製電解法、分別結晶法、ゾーンメルト法或いは単結晶引
上げ法等が知られている。精製電解法は粗ガリウムを陽
極とし、水溶液中にガリウムとガリウムより卑の金属を
溶解せしめ、陰極にはガリウムとガリウムより貴の金属
のみが電析する性質を利用した方法である。しかし、電
極からの汚染或いは高純度のガリウム水溶液が得られ難
い等の理由のため、純度は９９．９９９％台に留まると
言われている。
製電解法、分別結晶法、ゾーンメルト法或いは単結晶引
上げ法等が知られている。精製電解法は粗ガリウムを陽
極とし、水溶液中にガリウムとガリウムより卑の金属を
溶解せしめ、陰極にはガリウムとガリウムより貴の金属
のみが電析する性質を利用した方法である。しかし、電
極からの汚染或いは高純度のガリウム水溶液が得られ難
い等の理由のため、純度は９９．９９９％台に留まると
言われている。
【０００４】偏析現象を利用した分別結晶法、ゾーンメ
ルト法及び単結晶引上げ法は、ガリウムメタルの不純物
元素平衡分配係数が２、３の例外を除けば極めて小さい
という事実から原理的には優れた方法である。
ルト法及び単結晶引上げ法は、ガリウムメタルの不純物
元素平衡分配係数が２、３の例外を除けば極めて小さい
という事実から原理的には優れた方法である。
【０００５】ゾーンメルト法は帯状の溶融部分をゆっく
り繰り返し移動し、偏析現象を利用して不純物を溶融体
へ取り除いていく方法であるが、ガリウムは過冷却現象
があるため、操作が困難であると言われている。
り繰り返し移動し、偏析現象を利用して不純物を溶融体
へ取り除いていく方法であるが、ガリウムは過冷却現象
があるため、操作が困難であると言われている。
【０００６】また単結晶引上げ法は溶融ガリウム中に冷
却した種子結晶の先端を接触させ、該部分に成長するガ
リウムの単結晶をゆっくり引上げ、偏析現象を利用して
精製する方法であるが、生産性及び収率は極めて悪い。
却した種子結晶の先端を接触させ、該部分に成長するガ
リウムの単結晶をゆっくり引上げ、偏析現象を利用して
精製する方法であるが、生産性及び収率は極めて悪い。
【０００７】分別結晶法は溶融ガリウム中でゆっくり凝
固せしめることにより、偏析現象を利用して精製する方
法である。固体ガリウムは液体ガリウムより軽いため、
液体ガリウム表面を静かに融点以下にして液体表面上に
小塊となって浮いてくるようにし、これを選別取得する
方法が一般的に行われている。しかし、小塊状固体表面
に汚染した溶融ガリウムが付着するため、高純度のガリ
ウムを得ることは困難である。
固せしめることにより、偏析現象を利用して精製する方
法である。固体ガリウムは液体ガリウムより軽いため、
液体ガリウム表面を静かに融点以下にして液体表面上に
小塊となって浮いてくるようにし、これを選別取得する
方法が一般的に行われている。しかし、小塊状固体表面
に汚染した溶融ガリウムが付着するため、高純度のガリ
ウムを得ることは困難である。
【０００８】また特開昭６２−２７０４９４号公報のよ
うに、溶融ガリウム中に種子結晶を存在せしめ、溶融ガ
リウム表面を溶融点以下に気体で冷却することにより、
種子結晶を核として一方向凝固的に凝固せしめる方法も
提案されているが、凝固速度に遅速が生じたような場合
においては、溶融ガリウム中に濃縮された不純物が固体
ガリウム中に取り込まれる、又は凝固が不均一に進行す
る時固体ガリウムと容器間の不純物が濃縮した溶融ガリ
ウムを取り込んでしまい、純度が低下し、品質が不安定
になるので、その精製にあたっては入念な操業管理が要
求される。
うに、溶融ガリウム中に種子結晶を存在せしめ、溶融ガ
リウム表面を溶融点以下に気体で冷却することにより、
種子結晶を核として一方向凝固的に凝固せしめる方法も
提案されているが、凝固速度に遅速が生じたような場合
においては、溶融ガリウム中に濃縮された不純物が固体
ガリウム中に取り込まれる、又は凝固が不均一に進行す
る時固体ガリウムと容器間の不純物が濃縮した溶融ガリ
ウムを取り込んでしまい、純度が低下し、品質が不安定
になるので、その精製にあたっては入念な操業管理が要
求される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】かかる条件下において
本発明者等は、装置及び操作が簡便で、且つ純度の高い
ガリウムを効率よく、低コストで分離取得し得るガリウ
ムの精製方法を見出すべく鋭意検討を行った結果、簡便
な分別結晶化装置を組み、これを用いることにより、本
発明方法を完成するに至った。
本発明者等は、装置及び操作が簡便で、且つ純度の高い
ガリウムを効率よく、低コストで分離取得し得るガリウ
ムの精製方法を見出すべく鋭意検討を行った結果、簡便
な分別結晶化装置を組み、これを用いることにより、本
発明方法を完成するに至った。
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、原料
溶融ガリウムを容器中に保持し、該容器を制御された温
度条件下に保温管理し、該容器中心部に冷却媒体流通管
を配設し、純化されたガリウムを該冷却媒体流通管上に
析出せしめることを特徴とする金属ガリウムの精製方法
を提供するものである。更には該容器外側の側壁部分に
回転磁界発生コイルを配設し、該容器中の溶融ガリウム
を回転せしめながら、該容器中心上部に配設した冷却媒
体流通管上に純化されたガリウムを析出せしめることを
特徴とする金属ガリウムの精製方法を提供するものであ
る。
溶融ガリウムを容器中に保持し、該容器を制御された温
度条件下に保温管理し、該容器中心部に冷却媒体流通管
を配設し、純化されたガリウムを該冷却媒体流通管上に
析出せしめることを特徴とする金属ガリウムの精製方法
を提供するものである。更には該容器外側の側壁部分に
回転磁界発生コイルを配設し、該容器中の溶融ガリウム
を回転せしめながら、該容器中心上部に配設した冷却媒
体流通管上に純化されたガリウムを析出せしめることを
特徴とする金属ガリウムの精製方法を提供するものであ
る。
【００１１】以下、本発明方法を図面を用いて詳細に説
明する。図１は本発明方法の実施に用いる装置の一例を
示すものであり、図に於いて１は溶融ガリウムの保持容
器、２は冷却媒体流通管、３は容器１中のガリウムを溶
融保持するための加熱源であり、４は回転磁界発生コイ
ル、５は冷却媒体循環ポンプ、６は冷却媒体用容器、７
は精製ガリウム、８は溶融ガリウム及び９は冷却媒体を
示す。
明する。図１は本発明方法の実施に用いる装置の一例を
示すものであり、図に於いて１は溶融ガリウムの保持容
器、２は冷却媒体流通管、３は容器１中のガリウムを溶
融保持するための加熱源であり、４は回転磁界発生コイ
ル、５は冷却媒体循環ポンプ、６は冷却媒体用容器、７
は精製ガリウム、８は溶融ガリウム及び９は冷却媒体を
示す。
【００１２】本発明方法の実施に際し、精製に供する原
料ガリウムは容器１中にて溶融保持される。容器１の材
質は溶融ガリウムに対し汚染のないものであればよく、
特に制限されるものではないが、例えばテフロン製容器
が使用し得る。固体ガリウムの融点は通常約３０℃近辺
であるので、原料ガリウムは別途溶解し、容器１中に添
加、保持してもよいし、固体状ガリウムを容器１内に投
入した後、容器１内で加熱し、溶解保持してもよい。
料ガリウムは容器１中にて溶融保持される。容器１の材
質は溶融ガリウムに対し汚染のないものであればよく、
特に制限されるものではないが、例えばテフロン製容器
が使用し得る。固体ガリウムの融点は通常約３０℃近辺
であるので、原料ガリウムは別途溶解し、容器１中に添
加、保持してもよいし、固体状ガリウムを容器１内に投
入した後、容器１内で加熱し、溶解保持してもよい。
【００１３】容器１の加熱或いは保温方法は、簡便には
容器１をホットプレートのような加熱源３上に置き加熱
する方法が採用されるが、該容器１自体を恒温室に格納
し、容器１全体を保温管理する方法、或いはオイルバス
等に容器を入れ保温管理する方法等、容器１中の溶融ガ
リウムを溶融保持し得るものであればよい。
容器１をホットプレートのような加熱源３上に置き加熱
する方法が採用されるが、該容器１自体を恒温室に格納
し、容器１全体を保温管理する方法、或いはオイルバス
等に容器を入れ保温管理する方法等、容器１中の溶融ガ
リウムを溶融保持し得るものであればよい。
【００１４】本発明方法に於いては該容器１中心上部に
冷却媒体流通管２を配設し、冷却媒体循環ポンプ５によ
り冷却媒体９を該冷却媒体流通管２内を循環することに
より、冷却媒体流通管２の表面に純化されたガリウム
（精製ガリウムと称する場合もある）を析出、被着せし
める。冷却媒体としては冷媒としての機能を有するもの
であれば特に制限されるものではなく、水、アルコール
やエチレングリコール等の氷点降下剤を添加した水、或
いはシリコンオイル等の非水溶媒等の使用が挙げられる
が、通常、水が使用される。所望とする精製ガリウムの
速い析出速度を望む場合には冷却媒体の温度を低く、又
流通速度を速くすればよいが、より純度の高い精製ガリ
ウムを得ることを目的とする場合には冷却媒体流通管２
の表面の精製ガリウムの結晶成長速度が約５ｍｍ／ｈｒ
〜約３０ｍｍ／ｈｒ、好ましくは約１０〜約２０ｍｍ／
ｈｒの範囲で実施すればよい。
冷却媒体流通管２を配設し、冷却媒体循環ポンプ５によ
り冷却媒体９を該冷却媒体流通管２内を循環することに
より、冷却媒体流通管２の表面に純化されたガリウム
（精製ガリウムと称する場合もある）を析出、被着せし
める。冷却媒体としては冷媒としての機能を有するもの
であれば特に制限されるものではなく、水、アルコール
やエチレングリコール等の氷点降下剤を添加した水、或
いはシリコンオイル等の非水溶媒等の使用が挙げられる
が、通常、水が使用される。所望とする精製ガリウムの
速い析出速度を望む場合には冷却媒体の温度を低く、又
流通速度を速くすればよいが、より純度の高い精製ガリ
ウムを得ることを目的とする場合には冷却媒体流通管２
の表面の精製ガリウムの結晶成長速度が約５ｍｍ／ｈｒ
〜約３０ｍｍ／ｈｒ、好ましくは約１０〜約２０ｍｍ／
ｈｒの範囲で実施すればよい。
【００１５】冷却媒体流通管２の材質は溶融ガリウムに
対し汚染のないものであればよく、特に制限されるもの
ではないが、例えばテフロン製容器が使用し得る。勿
論、金属容器の表面をテフロン樹脂で被覆したものを用
いてもよい。該冷却媒体流通管２の表面に純化されたガ
リウムは徐々に凝固、析出するが、精製効率をよくする
ためには、該冷却媒体流通管２の表面に凝固、析出した
精製ガリウム７が容器１と接触する前に精製操作を終了
しなければならない。該容器１中の溶融ガリウム８を攪
拌しないで凝固せしめた場合、良く制御された温度条件
下であっても、ある方向にだけ凝固が進行し容器１に接
触してしまうので、通常は凝固率３０〜４０％で精製操
作を終了させることが好ましい。
対し汚染のないものであればよく、特に制限されるもの
ではないが、例えばテフロン製容器が使用し得る。勿
論、金属容器の表面をテフロン樹脂で被覆したものを用
いてもよい。該冷却媒体流通管２の表面に純化されたガ
リウムは徐々に凝固、析出するが、精製効率をよくする
ためには、該冷却媒体流通管２の表面に凝固、析出した
精製ガリウム７が容器１と接触する前に精製操作を終了
しなければならない。該容器１中の溶融ガリウム８を攪
拌しないで凝固せしめた場合、良く制御された温度条件
下であっても、ある方向にだけ凝固が進行し容器１に接
触してしまうので、通常は凝固率３０〜４０％で精製操
作を終了させることが好ましい。
【００１６】冷却媒体流通管２の表面に於ける凝固速度
の均質化を目的として、溶融ガリウムを攪拌することが
好ましい。攪拌は溶融ガリウムの温度勾配がなくなる程
度でよく、通常約０．２ｃｍ／秒以上でよいが、あまり
強度の攪拌は容器１の溶融ガリウム上表面に存在する酸
化皮膜の巻込みによる汚染を生起する場合がある。溶融
ガリウムの攪拌方法としては、酸化皮膜の巻込みがな
く、溶融ガリウムの温度勾配が少なくなる方法であれば
特に制限されないが、該条件を満たす方法として図に示
す回転磁界発生コイル４による攪拌が有効である。回転
磁界発生コイル４による攪拌はコイル巻数、電流及び周
波数を変えることにより、簡単に且つ精度よく制御でき
る。凝固、析出時にかかる回転磁界発生コイルによる攪
拌を併用することにより、溶融ガリウム中の温度の均質
化を図ることができるので、凝固率６０〜７０％程度の
収率を得ることが可能である。
の均質化を目的として、溶融ガリウムを攪拌することが
好ましい。攪拌は溶融ガリウムの温度勾配がなくなる程
度でよく、通常約０．２ｃｍ／秒以上でよいが、あまり
強度の攪拌は容器１の溶融ガリウム上表面に存在する酸
化皮膜の巻込みによる汚染を生起する場合がある。溶融
ガリウムの攪拌方法としては、酸化皮膜の巻込みがな
く、溶融ガリウムの温度勾配が少なくなる方法であれば
特に制限されないが、該条件を満たす方法として図に示
す回転磁界発生コイル４による攪拌が有効である。回転
磁界発生コイル４による攪拌はコイル巻数、電流及び周
波数を変えることにより、簡単に且つ精度よく制御でき
る。凝固、析出時にかかる回転磁界発生コイルによる攪
拌を併用することにより、溶融ガリウム中の温度の均質
化を図ることができるので、凝固率６０〜７０％程度の
収率を得ることが可能である。
【００１７】このようにして精製処理終了後の精製ガリ
ウム７が凝固、析出した冷却媒体流通管２は、容器１よ
り取出し、別途準備した容器中で雰囲気を加熱、或いは
精製ガリウム７を直接加熱することにより精製ガリウム
を取得することができるが、冷却媒体流通管２内に加熱
媒体を循環することにより、精製ガリウム７のみを冷却
媒体流通管２より容易に除去し精製ガリウムを取得し得
る。
ウム７が凝固、析出した冷却媒体流通管２は、容器１よ
り取出し、別途準備した容器中で雰囲気を加熱、或いは
精製ガリウム７を直接加熱することにより精製ガリウム
を取得することができるが、冷却媒体流通管２内に加熱
媒体を循環することにより、精製ガリウム７のみを冷却
媒体流通管２より容易に除去し精製ガリウムを取得し得
る。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述した本発明方法の分別結晶法に
よれば、従来の如く精製ガリウムと容器間の不純物濃度
の増加した溶融ガリウムを取り込むことなく簡単な装置
で効率よく低コストで粗ガリウムを精製できるので、そ
の工業的価値は頗る大である。
よれば、従来の如く精製ガリウムと容器間の不純物濃度
の増加した溶融ガリウムを取り込むことなく簡単な装置
で効率よく低コストで粗ガリウムを精製できるので、そ
の工業的価値は頗る大である。
【００１９】
【実施例】以下、本発明方法を実施例により更に詳細に
説明するが、実施例は本発明方法の一実施態様を示すも
のであり、これにより本発明が制約されるものではな
い。
説明するが、実施例は本発明方法の一実施態様を示すも
のであり、これにより本発明が制約されるものではな
い。
【００２０】実施例１ 内径１００ｍｍのテフロン容器１中に、Ｓｎ５３ｐｐ
ｍ，Ｐｂ５７ｐｐｍ含有した４ｋｇの溶融ガリウム８を
入れ、該容器１を４０〜４５℃に加温されたホットプレ
ート３上に置き、容器１中心上部に配置した外径２２ｍ
ｍでテフロン製の冷却媒体流通管２上に精製ガリウム７
を分別析出せしめた。冷却媒体９としては２℃の冷水を
用い、循環ポンプ５により２７０ｃｃ／分の割合で循環
せしめた。６時間析出せしめ、その後容器１中より分別
結晶塊（精製ガリウム７）を取り出しその重量を測定し
た所、分別結晶塊の重量は１．２ｋｇであった（尚、分
別析出時、溶融ガリウムの攪拌は行わなかった）。次い
でこの分別結晶塊を一旦溶融し、ＳＳＭＳ（スパークイ
オン源質量分析）用サンプルを作成し、ＳＳＭＳで分析
したところＳｎは０．７ｐｐｍ、Ｐｂは１．１ｐｐｍで
あった。
ｍ，Ｐｂ５７ｐｐｍ含有した４ｋｇの溶融ガリウム８を
入れ、該容器１を４０〜４５℃に加温されたホットプレ
ート３上に置き、容器１中心上部に配置した外径２２ｍ
ｍでテフロン製の冷却媒体流通管２上に精製ガリウム７
を分別析出せしめた。冷却媒体９としては２℃の冷水を
用い、循環ポンプ５により２７０ｃｃ／分の割合で循環
せしめた。６時間析出せしめ、その後容器１中より分別
結晶塊（精製ガリウム７）を取り出しその重量を測定し
た所、分別結晶塊の重量は１．２ｋｇであった（尚、分
別析出時、溶融ガリウムの攪拌は行わなかった）。次い
でこの分別結晶塊を一旦溶融し、ＳＳＭＳ（スパークイ
オン源質量分析）用サンプルを作成し、ＳＳＭＳで分析
したところＳｎは０．７ｐｐｍ、Ｐｂは１．１ｐｐｍで
あった。
【００２１】実施例２ テフロン容器１側壁部分に回転磁界発生コイル４を配設
し、実施例１と同一の濃度、重量の原料ガリウムを用
い、同一方法で分別析出を行った。回転磁界発生コイル
４は１５Ｈｚで１．５Ａの電流を流し回転磁界を発生さ
せ、溶融ガリウムを静かに回転せしめた。この時の側壁
部の磁界強さは２０ガウスであった。１５時間析出せし
め、その後容器１中より分別結晶塊を取り出しその重量
を測定した所、分別結晶の塊の重量は２．５ｋｇであっ
た。次いでこの分別結晶塊を実施例１と同様の方法で分
析したところ、Ｓｎ０．９ｐｐｍ、Ｐｂ１．７ｐｐｍで
あった。
し、実施例１と同一の濃度、重量の原料ガリウムを用
い、同一方法で分別析出を行った。回転磁界発生コイル
４は１５Ｈｚで１．５Ａの電流を流し回転磁界を発生さ
せ、溶融ガリウムを静かに回転せしめた。この時の側壁
部の磁界強さは２０ガウスであった。１５時間析出せし
め、その後容器１中より分別結晶塊を取り出しその重量
を測定した所、分別結晶の塊の重量は２．５ｋｇであっ
た。次いでこの分別結晶塊を実施例１と同様の方法で分
析したところ、Ｓｎ０．９ｐｐｍ、Ｐｂ１．７ｐｐｍで
あった。
【００２２】比較例１ 実施例と同一の濃度、重量の原料ガリウム、容器を用
い、溶融ガリウム上に種結晶を入れ、雰囲気温度を２８
〜３０℃に制御し、自然放置的に凝固析出せしめた。４
８時間析出せしめ、その後容器中より分別結晶塊を取り
出しその重量を測定した所、分別結晶塊の重量は２．８
ｋｇであった。次いでこの分別結晶塊を実施例１と同様
の方法で分析したところ、Ｓｎ４．５ｐｐｍ、Ｐｂ６．
６ｐｐｍであった。
い、溶融ガリウム上に種結晶を入れ、雰囲気温度を２８
〜３０℃に制御し、自然放置的に凝固析出せしめた。４
８時間析出せしめ、その後容器中より分別結晶塊を取り
出しその重量を測定した所、分別結晶塊の重量は２．８
ｋｇであった。次いでこの分別結晶塊を実施例１と同様
の方法で分析したところ、Ｓｎ４．５ｐｐｍ、Ｐｂ６．
６ｐｐｍであった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明方法を実施する金属ガリウムの精製装置
の一実施態様を示す概略図である。
の一実施態様を示す概略図である。
図中、１は容器、２は冷却媒体流通管、３は加熱源、４
は回転磁界発生コイル、５は冷却媒体循環ポンプ、６は
冷却媒体容器、７は精製ガリウム、８は溶融ガリウム、
９は冷却媒体を示す。
は回転磁界発生コイル、５は冷却媒体循環ポンプ、６は
冷却媒体容器、７は精製ガリウム、８は溶融ガリウム、
９は冷却媒体を示す。
Claims (2)
- 【請求項１】 原料溶融ガリウムを容器中に保持し、該
容器を制御された温度条件下に保温管理し、該容器中心
部に冷却媒体流通管を配設し、純化されたガリウムを該
冷却媒体流通管上に析出せしめることを特徴とする金属
ガリウムの精製方法。 - 【請求項２】 該容器外側の側壁部分に回転磁界発生コ
イルを配設し、該容器中の溶融ガリウムを回転せしめる
ことを特徴とする請求項１記載の精製方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290037A JPH06136467A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 金属ガリウムの精製方法 |
| TW082108846A TW269713B (ja) | 1992-10-28 | 1993-10-23 | |
| US08/141,552 US5458669A (en) | 1992-10-28 | 1993-10-27 | Process for purification of gallium material |
| KR1019930022634A KR940009068A (ko) | 1992-10-28 | 1993-10-28 | 갈륨 물질의 정제방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4290037A JPH06136467A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 金属ガリウムの精製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06136467A true JPH06136467A (ja) | 1994-05-17 |
Family
ID=17750971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4290037A Pending JPH06136467A (ja) | 1992-10-28 | 1992-10-28 | 金属ガリウムの精製方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5458669A (ja) |
| JP (1) | JPH06136467A (ja) |
| KR (1) | KR940009068A (ja) |
| TW (1) | TW269713B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2000026422A1 (fr) * | 1998-10-29 | 2000-05-11 | Dowa Mining Co., Ltd. | Gallium tres pur utilise pour la preparation d'un compose semiconducteur, procede et systeme de purification du gallium |
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