JPH0613460A - ダイシング方法及びダイシング装置 - Google Patents
ダイシング方法及びダイシング装置Info
- Publication number
- JPH0613460A JPH0613460A JP16647792A JP16647792A JPH0613460A JP H0613460 A JPH0613460 A JP H0613460A JP 16647792 A JP16647792 A JP 16647792A JP 16647792 A JP16647792 A JP 16647792A JP H0613460 A JPH0613460 A JP H0613460A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- dicing
- cooling water
- outer peripheral
- peripheral surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウェーハのダイシング方法及びダイシ
ング装置に関し、ダイシング用ブレードの冷却不均一に
起因するブレードの磨耗不均一（中凹現象）を防いでブ
レードを長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽
微に保つことを目的とする。 【構成】 ブレード２の両側面近傍に配設された側面用
ノズル４からブレード２側面周辺部に常温の冷却水を供
給すると共に、複数の噴出口を備え、ブレード２外周面
近傍に配設された外周面用ノズル15からブレード２外周
面の複数個所に低温の冷却水を供給して、ブレード２を
冷却する。
ング装置に関し、ダイシング用ブレードの冷却不均一に
起因するブレードの磨耗不均一（中凹現象）を防いでブ
レードを長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽
微に保つことを目的とする。 【構成】 ブレード２の両側面近傍に配設された側面用
ノズル４からブレード２側面周辺部に常温の冷却水を供
給すると共に、複数の噴出口を備え、ブレード２外周面
近傍に配設された外周面用ノズル15からブレード２外周
面の複数個所に低温の冷却水を供給して、ブレード２を
冷却する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを個々の
半導体チップに分割するダイシング方法及びダイシング
装置に関する。
半導体チップに分割するダイシング方法及びダイシング
装置に関する。
【０００２】半導体ウェーハをダイシングする方法とし
ては、高速回転する極薄のダイシング用ブレード（以
下、ブレードと記す）を使用してスクライブラインに沿
って格子状に切断する（分断する）方式が一般的であ
る。この際、切削熱が発生するから、ブレードに冷却水
を注いでこれを冷却しなければならない。近年、スクラ
イブライン内に設ける位置合わせマークが大型化した等
の理由でスクライブラインの幅が広くなる傾向があり、
これに伴って幅広の（厚い）ブレードが使用されるよう
になっている。そのため、ブレードを効率良く冷却する
必要がある。
ては、高速回転する極薄のダイシング用ブレード（以
下、ブレードと記す）を使用してスクライブラインに沿
って格子状に切断する（分断する）方式が一般的であ
る。この際、切削熱が発生するから、ブレードに冷却水
を注いでこれを冷却しなければならない。近年、スクラ
イブライン内に設ける位置合わせマークが大型化した等
の理由でスクライブラインの幅が広くなる傾向があり、
これに伴って幅広の（厚い）ブレードが使用されるよう
になっている。そのため、ブレードを効率良く冷却する
必要がある。
【０００３】
【従来の技術】従来のダイシング方法の一例を図を参照
して説明する。図３は従来例の説明図であり、(A) はダ
イシング装置の要部を示す側面図、(B) は冷却方法を示
す正面図である。尚、図中、図１と同じものには同一の
符号を付与した。２はブレード、３はカバー、４は側面
用ノズル、５は外周面用ノズルである。側面用ノズル４
はブレード２の両側面近傍に一個ずつ配設されており、
いずれも多口ノズル（複数の噴出口を備えている）であ
る。外周面用ノズル５は単口ノズル（噴出口は一個）で
ある。
して説明する。図３は従来例の説明図であり、(A) はダ
イシング装置の要部を示す側面図、(B) は冷却方法を示
す正面図である。尚、図中、図１と同じものには同一の
符号を付与した。２はブレード、３はカバー、４は側面
用ノズル、５は外周面用ノズルである。側面用ノズル４
はブレード２の両側面近傍に一個ずつ配設されており、
いずれも多口ノズル（複数の噴出口を備えている）であ
る。外周面用ノズル５は単口ノズル（噴出口は一個）で
ある。
【０００４】このようなダイシング装置を使用してウェ
ーハをダイシングする際には、側面用ノズル４から切削
個所近傍のブレード２の側面2a周辺部に向けて常温の冷
却水を噴出すると共に、外周面用ノズル５からブレード
２の外周面2bの一個所に向けて常温の冷却水を噴出し
て、ブレード２を冷却していた。これはブレード２の幅
に関係なく、同じであった。尚、冷却水は純水又は炭酸
水である。
ーハをダイシングする際には、側面用ノズル４から切削
個所近傍のブレード２の側面2a周辺部に向けて常温の冷
却水を噴出すると共に、外周面用ノズル５からブレード
２の外周面2bの一個所に向けて常温の冷却水を噴出し
て、ブレード２を冷却していた。これはブレード２の幅
に関係なく、同じであった。尚、冷却水は純水又は炭酸
水である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この様な方
法でブレードを冷却すると、特にブレードの幅が広い場
合、ブレード外周面の磨耗はその幅方向において一様に
は進まず、外側より中央部が早く磨耗して中凹現象を生
じる、という問題があった。即ち、図４に示すように、
当初 (a)のような断面形状であったブレード２が (b)の
ようになる。この現象はブレードの幅が広い（厚さが大
である）程、又、ブレードの回転数が大である程、顕著
となる。このようになるとウェーハのチッピングがひど
くなる、ブレードは周辺部が欠けて早期に使用不能とな
る、等の不都合を生じる。
法でブレードを冷却すると、特にブレードの幅が広い場
合、ブレード外周面の磨耗はその幅方向において一様に
は進まず、外側より中央部が早く磨耗して中凹現象を生
じる、という問題があった。即ち、図４に示すように、
当初 (a)のような断面形状であったブレード２が (b)の
ようになる。この現象はブレードの幅が広い（厚さが大
である）程、又、ブレードの回転数が大である程、顕著
となる。このようになるとウェーハのチッピングがひど
くなる、ブレードは周辺部が欠けて早期に使用不能とな
る、等の不都合を生じる。
【０００６】本発明はこのような問題を解決して、ブレ
ードの冷却不均一に起因する中凹現象を防いでブレード
を長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽微に保
つことが可能なダイシング方法及びダイシング装置を提
供することを目的とする。
ードの冷却不均一に起因する中凹現象を防いでブレード
を長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽微に保
つことが可能なダイシング方法及びダイシング装置を提
供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的は、本発明によ
れば、〔１〕高速回転してウェーハを切断するダイシン
グ用ブレードの側面周辺部に冷却水を供給すると共に、
該ダイシング用ブレードの外周面の一個所に該側面周辺
部に供給する冷却水より低温の冷却水を供給して該ダイ
シング用ブレードを冷却することを特徴とするダイシン
グ方法とすることで、〔２〕前記ダイシング用ブレード
の側面周辺部に冷却水を供給すると共に、該ダイシング
用ブレードの外周面の複数個所に冷却水を供給して該ダ
イシング用ブレードを冷却することを特徴とするダイシ
ング方法とすることで、〔３〕前記〔１〕及び〔２〕に
おいて、前記ダイシング用ブレードの外周面には冷却水
に代えて側面周辺部に供給する冷却水より低温の冷風を
供給することを特徴とするダイシング方法とすること
で、〔４〕高速回転するダイシング用ブレードがウェー
ハを切断するダイシング装置において、該ダイシング用
ブレードの側面周辺部に冷却水を供給する側面用ノズル
と、複数の噴出口を備えて該ダイシング用ブレードの外
周面の複数個所に冷却水若しくは冷風を供給する外周面
用ノズルとを有することを特徴とするダイシング装置と
することで、達成される。
れば、〔１〕高速回転してウェーハを切断するダイシン
グ用ブレードの側面周辺部に冷却水を供給すると共に、
該ダイシング用ブレードの外周面の一個所に該側面周辺
部に供給する冷却水より低温の冷却水を供給して該ダイ
シング用ブレードを冷却することを特徴とするダイシン
グ方法とすることで、〔２〕前記ダイシング用ブレード
の側面周辺部に冷却水を供給すると共に、該ダイシング
用ブレードの外周面の複数個所に冷却水を供給して該ダ
イシング用ブレードを冷却することを特徴とするダイシ
ング方法とすることで、〔３〕前記〔１〕及び〔２〕に
おいて、前記ダイシング用ブレードの外周面には冷却水
に代えて側面周辺部に供給する冷却水より低温の冷風を
供給することを特徴とするダイシング方法とすること
で、〔４〕高速回転するダイシング用ブレードがウェー
ハを切断するダイシング装置において、該ダイシング用
ブレードの側面周辺部に冷却水を供給する側面用ノズル
と、複数の噴出口を備えて該ダイシング用ブレードの外
周面の複数個所に冷却水若しくは冷風を供給する外周面
用ノズルとを有することを特徴とするダイシング装置と
することで、達成される。
【０００８】
【作用】従来の方法及び装置においては、ブレードの側
面には多口の側面用ノズルから多量の冷却水が広範囲に
供給されるのに比して、外周面には単口の外周面用ノズ
ルから一点に供給されるだけであり、ブレードの冷却が
主として側面からなされ、外周面からの冷却効果が僅少
である。その結果、ブレードの幅が広い場合には幅の中
央部が充分に冷却されずに外側に比して早く磨耗し、中
凹現象が発生することになる。
面には多口の側面用ノズルから多量の冷却水が広範囲に
供給されるのに比して、外周面には単口の外周面用ノズ
ルから一点に供給されるだけであり、ブレードの冷却が
主として側面からなされ、外周面からの冷却効果が僅少
である。その結果、ブレードの幅が広い場合には幅の中
央部が充分に冷却されずに外側に比して早く磨耗し、中
凹現象が発生することになる。
【０００９】これに対して本発明では、外周面に供給す
る冷却水（又は冷風）の温度を常温より低くすることに
より、或いは冷却水（又は冷風）の供給個所を増やすこ
とにより、外周面からの冷却効果を高めており、側面か
らの冷却とのバランスが向上して中凹現象が解消乃至軽
減する。
る冷却水（又は冷風）の温度を常温より低くすることに
より、或いは冷却水（又は冷風）の供給個所を増やすこ
とにより、外周面からの冷却効果を高めており、側面か
らの冷却とのバランスが向上して中凹現象が解消乃至軽
減する。
【００１０】
【実施例】本発明に係るダイシング方法及びダイシング
装置の実施例を図を参照しながら説明する。図１は本発
明の第一の実施例の説明図、図２は本発明の第二の実施
例の説明図である。両図において、１は被加工物のウェ
ーハ、２はブレード（幅は例えば60μm ）、３及び13は
カバー、４は側面用ノズル（噴出口を例えば四個備えて
いる）、５は外周面用ノズル（噴出口は一個）、15は外
周面用ノズル（噴出口を多数備えている）である。
装置の実施例を図を参照しながら説明する。図１は本発
明の第一の実施例の説明図、図２は本発明の第二の実施
例の説明図である。両図において、１は被加工物のウェ
ーハ、２はブレード（幅は例えば60μm ）、３及び13は
カバー、４は側面用ノズル（噴出口を例えば四個備えて
いる）、５は外周面用ノズル（噴出口は一個）、15は外
周面用ノズル（噴出口を多数備えている）である。
【００１１】第一の実施例：この例は、ダイシング装置
は従来のものと同じであり、側面用ノズル４に供給する
冷却水も従来の方法と同じく常温の純水（又は炭酸水）
であるが、外周用ノズル５には低温（例えば５℃）の純
水（又は炭酸水）を供給する（図１参照）。
は従来のものと同じであり、側面用ノズル４に供給する
冷却水も従来の方法と同じく常温の純水（又は炭酸水）
であるが、外周用ノズル５には低温（例えば５℃）の純
水（又は炭酸水）を供給する（図１参照）。
【００１２】第二の実施例：この例は、冷却水は従来と
同様、すべて常温の純水（又は炭酸水）を使用するが、
ダイシング装置の外周面用ノズルとしては噴出口を多数
備えた外周面用ノズル15を使用し、これをブレード２外
周面2b近傍に排泄し、ブレード２外周面2bの多数個所に
向けて冷却水を噴出する（図２参照）。
同様、すべて常温の純水（又は炭酸水）を使用するが、
ダイシング装置の外周面用ノズルとしては噴出口を多数
備えた外周面用ノズル15を使用し、これをブレード２外
周面2b近傍に排泄し、ブレード２外周面2bの多数個所に
向けて冷却水を噴出する（図２参照）。
【００１３】第三の実施例：この例は、外周面用ノズル
としては噴出口を多数備えた外周面用ノズル15を使用
し、冷却水は側面用ノズル４には常温の純水（又は炭酸
水）を供給し、外周面用ノズル15には低温（例えば15
℃）の純水（又は炭酸水）を供給する（図２参照）。
としては噴出口を多数備えた外周面用ノズル15を使用
し、冷却水は側面用ノズル４には常温の純水（又は炭酸
水）を供給し、外周面用ノズル15には低温（例えば15
℃）の純水（又は炭酸水）を供給する（図２参照）。
【００１４】第四の実施例：この例は、上記の第一及び
第三の実施例における低温の冷却水に代えて冷風を外周
面用ノズル５又は15に供給する。冷風としては、低温の
炭酸ガス、窒素、空気等が適当である。低温炭酸ガスは
ドライアイスを気化させて得たものでもよい。
第三の実施例における低温の冷却水に代えて冷風を外周
面用ノズル５又は15に供給する。冷風としては、低温の
炭酸ガス、窒素、空気等が適当である。低温炭酸ガスは
ドライアイスを気化させて得たものでもよい。
【００１５】以上、四つの実施例のいずれの場合でも、
ブレード２の中凹現象を大幅に軽減することが出来た。
本発明は以上の実施例に限定されることなく、更に種々
変形して実施することが出来る。例えば、外周面用ノズ
ル15において、多数の噴出口を連結してスリット状にし
ても、本発明は有効である。
ブレード２の中凹現象を大幅に軽減することが出来た。
本発明は以上の実施例に限定されることなく、更に種々
変形して実施することが出来る。例えば、外周面用ノズ
ル15において、多数の噴出口を連結してスリット状にし
ても、本発明は有効である。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ブレードの冷却不均一に起因する中凹現象を防いでブレ
ードを長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽微
に保つことが可能なダイシング方法及びダイシング装置
を提供することが出来、半導体装置製造の歩留り向上、
コスト低減等に寄与する。
ブレードの冷却不均一に起因する中凹現象を防いでブレ
ードを長寿命化すると共にウェーハのチッピングを軽微
に保つことが可能なダイシング方法及びダイシング装置
を提供することが出来、半導体装置製造の歩留り向上、
コスト低減等に寄与する。
【図１】 本発明の第一の実施例の説明図である。
【図２】 本発明の第二の実施例の説明図である。
【図３】 従来例の説明図である。
【図４】 ブレードの磨耗を示す図である。
１ ウェーハ ２ ブレード（ダイシング用ブレード） 2a 側面 2b 外周面 ３, 13 カバー ４ 側面用ノズル ５, 15 外周面用ノズル
Claims (4)
- 【請求項１】 高速回転してウェーハ(1) を切断するダ
イシング用ブレード(2) の側面(2a)周辺部に冷却水を供
給すると共に、該ダイシング用ブレード(2)の外周面(2
b)の一個所に該側面(2a)周辺部に供給する冷却水より低
温の冷却水を供給して該ダイシング用ブレード(2) を冷
却することを特徴とするダイシング方法。 - 【請求項２】 前記ダイシング用ブレード(2) の側面(2
a)周辺部に冷却水を供給すると共に、該ダイシング用ブ
レード(2) の外周面(2b)の複数個所に冷却水を供給して
該ダイシング用ブレード(2) を冷却することを特徴とす
るダイシング方法。 - 【請求項３】 請求項１及び２記載のダイシング方法に
おいて、前記ダイシング用ブレード(2) の外周面(2b)に
は冷却水に代えて側面(2a)周辺部に供給する冷却水より
低温の冷風を供給することを特徴とするダイシング方
法。 - 【請求項４】 高速回転するダイシング用ブレード(2)
がウェーハ(1) を切断するダイシング装置において、 該ダイシング用ブレード(2) の側面(2a)周辺部に冷却水
を供給する側面用ノズル(4) と、 複数の噴出口を備えて該ダイシング用ブレード(2) の外
周面(2b)の複数個所に冷却水若しくは冷風を供給する外
周面用ノズル(15)とを有することを特徴とするダイシン
グ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16647792A JPH0613460A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16647792A JPH0613460A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613460A true JPH0613460A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15832129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16647792A Pending JPH0613460A (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | ダイシング方法及びダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613460A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005340431A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP2006181700A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び被加工物の切削方法 |
| JP2007329263A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法 |
| JP2009262251A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| KR20190104906A (ko) * | 2018-03-02 | 2019-09-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 블레이드 커버 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP16647792A patent/JPH0613460A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005340431A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP2006181700A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置及び被加工物の切削方法 |
| JP2007329263A (ja) * | 2006-06-07 | 2007-12-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの切削方法 |
| JP2009262251A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-11-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| KR20190104906A (ko) * | 2018-03-02 | 2019-09-11 | 가부시기가이샤 디스코 | 블레이드 커버 |
| JP2019150910A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社ディスコ | ブレードカバー |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020604 |