JPH06111244A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】高記録密度及び高速応答性に優れ、しかも量産
性にも適した磁気ヘッドを提供する。 【構成】コア部材１、２は凹部１０１、２０１の前部及
び後部において互いに向き合って接合されている。コア
部材１、２のそれぞれは非磁性体３、４が媒体対向面側
である前部に配置され、強磁性体５、６が非磁性体３、
４の後部に接合され手いる。接合部分１４、１５は巻線
空間１３のコイル巻回領域内に位置している。軟磁性金
属薄膜７、８は非磁性体３、４及び強磁性体５、６のそ
れぞれの側端面に付着されて互いに向き合っている。変
換ギャップ膜９は軟磁性金属薄７ー８膜間に配置され変
換ギャップを構成している。コイル１２は巻線空間１３
においてコア部材１、２に巻かれている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、高密度記録及び高速応
答性に対応し得る磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】高密度記録及び高速応答性に対応するた
め、非磁性基板に金属薄膜を付着し、金属薄膜だけで磁
路を形成した磁気ヘッドが提案されている。非磁性基板
に金属薄膜を付着し、金属薄膜だけで磁路を形成した磁
気ヘッドは、コアの磁気飽和、渦電流等による効率低下
を招き、充分なＳ／Ｎが得られない。高記録密度を達成
しようとして、金属薄膜を薄くした場合には、特に、こ
の問題が顕著に表われる。この問題を解決する手段とし
て、特開平３−８６９０５号公報は、金属薄膜を両面側
から挟持する基板を、強磁性酸化物基板及び非磁性基板
の複合基板とした磁気ヘッドを開示している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、金属薄
膜を支持する基板を、強磁性酸化物基板及び非磁性基板
の複合基板とした磁気ヘッドは、強磁性酸化物基板の接
合位置や体積の変動を受けて、電磁変換特性がバラツキ
を生じることが分かった。特開平３−８６９０５号公報
にはその解決手段が開示されていない。

【０００４】そこで、本発明の課題は、高記録密度及び
高速応答性に優れ、電磁変換特性の安定した量産性に適
した磁気ヘッドを提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上述した課題解決のた
め、本発明は、２つのコア部材と、変換ギャップ膜と、
コイルとを含む磁気ヘッドであって、前記コア部材は、
少なくとも一方が凹部を有し、前記凹部による巻線空間
が形成されるように、前記凹部の前部及び後部において
互いに向き合って接合されており、前記コア部材のそれ
ぞれは、非磁性体と、強磁性体と、軟磁性金属薄膜とを
含み、前記非磁性体が媒体対向面側である前部に配置さ
れ、前記強磁性体が前記非磁性体の後部に接合され、接
合部分が前記巻線空間のコイル巻回領域内に位置し、前
記軟磁性金属薄膜が互いに向き合うように前記コア部材
のそれぞれの側端面に付着されており、前記変換ギャッ
プ膜は、前記軟磁性金属薄膜間に配置され変換ギャップ
を構成しており、前記コイルは、前記巻線空間において
前記コア部材に巻かれている。

【０００６】

【作用】コア部材は、２つ備えられ、少なくとも一方が
凹部を有し、凹部による巻線空間が形成されるように互
いに向き合って接合されており、コイルは巻線空間にお
いてコア部材に巻かれているから、凹部による巻線空間
を利用して巻線を施すタイプの磁気ヘッドが得られる。

【０００７】軟磁性金属薄膜は、互いに向き合うように
コア部材のそれぞれの側端面に付着されており、変換ギ
ャップ膜は軟磁性金属薄膜間に配置され、変換ギャップ
を構成しているから、軟磁性金属薄膜による変換ギャッ
プを有する磁気ヘッドが得られる。

【０００８】コア部材は、非磁性体と、強磁性体とを含
み、非磁性体が媒体対向面側である前部に配置され、軟
磁性金属薄膜はコア部材が接合されたとき互いに向き合
うようにコア部材のそれぞれの端面に付着されており、
変換ギャップ膜は軟磁性金属薄膜間に配置され、変換ギ
ャップを構成しているから、磁極付近の磁路を軟磁性金
属薄膜によってのみ構成し、トラック幅が狭く、高密度
記録に対応した磁気ヘッドが得られる。

【０００９】コア部材は、強磁性体が非磁性体の後部に
接合されているから、後方磁路を強磁性体によって構成
し、磁路の飽和や渦電流による効率低下を抑え、効率の
高い磁気ヘッドを得ることができる。このため、軟磁性
金属薄膜を薄くして、高密度記録を達成しつつ、効率を
向上させることが可能になる。

【００１０】コア部材は、非磁性体と強磁性体との接合
部分が巻線空間のコイル巻回領域内に位置しているか
ら、適切な磁気抵抗が得られ、軟磁性金属薄膜の磁気飽
和を回避し、安定した電磁変換特性が得られる。これを
仮に、非磁性体と強磁性体との接合部分がコイル巻回領
域外にあると、磁気抵抗が大きくなり、コイルインピー
ダンスが増大し、高周波応答特性の劣化、軟磁性金属薄
膜の磁気飽和等を招く。

【００１１】上述の構造を持つ磁気ヘッドは、従来の量
産製造工程を少し変更するだけで、容易に量産できる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの正面部分断
面図、図２は図１に示した磁気ヘッドを構成するコアの
斜視図である。図において、１及び２はコア部材、３及
び４は非磁性体、５及び６は強磁性体、７及び８は軟磁
性金属薄膜、９は変換ギャップ膜、１０及び１１は溶着
ガラス、１２はコイルである。

【００１３】コア部材１、２は２つ備えられ、少なくと
も一方が凹部を有する。図示では、コア部材１、２の両
者が凹部１０１、２０１を有し、凹部１０１、２０１に
よる巻線空間１３が形成されるように互いに向き合って
接合されている。

【００１４】コア部材１は非磁性体３、強磁性体５及び
軟磁性金属薄膜７を含み、コア部材２は非磁性体４、強
磁性体６及び軟磁性金属薄膜８を含んでいる。非磁性体
３、４は媒体対向面側である前部に配置され、強磁性体
５、６は非磁性体３、４の後部に接合部１４、１５にお
いて接合されている。接合部分１４、１５は巻線空間１
３のコイル巻回領域内Ｌ１に位置している。非磁性体
３、４は、セラミック材料または非結晶質もしくは結晶
質のガラスでなり、強磁性体５、６は強磁性金属酸化物
で構成される。

【００１５】軟磁性金属薄膜７、８は互いに向き合うよ
うに非磁性体３、４及び強磁性体５、６のそれぞれの側
端面に付着されている。軟磁性金属薄膜７及び８は周知
の強磁性金属薄膜によって構成されたスパッタ薄膜であ
る。

【００１６】変換ギャップ膜９は、軟磁性金属薄膜７ー
８間に配置され変換ギャップを構成している。変換ギャ
ップ膜９はガラスのスパッタ膜として形成できる。コイ
ル１２は、巻線空間１３においてコア部材１、２に巻か
れている。溶着ガラス１０、１１はコア部材１、２を接
合している。

【００１７】上述のように、コア部材１、２は、少なく
とも一方が凹部１０１または２０１を有し、凹部１０１
または２０１による巻線空間が形成されるように互いに
向き合って接合されているから、凹部１０１または２０
１による巻線空間を利用して巻線（図示しない）を施す
タイプの磁気ヘッドが得られる。

【００１８】非磁性体３、４は、コア部材１、２のそれ
ぞれの一端面に設けられ、互いに突合されて接合され、
表面が媒体対向面を構成しており、軟磁性金属薄膜７ま
たは８は非磁性体３、４及び強磁性体５、６の側端面に
付着されているから、変換ギャップ膜９は非磁性体中に
おいて軟磁性金属薄膜７、８が少なくも磁極の一つを形
成するように軟磁性金属薄膜７または８に隣接して付着
されているから、軟磁性金属薄膜７、８を磁極とし、変
換ギャップ膜９を変換ギャップとする磁気ヘッドが得ら
れる。

【００１９】コア部材１、２は非磁性体３、４が媒体対
向面側である前部に配置され、軟磁性金属薄膜７、８が
非磁性体３、４のそれぞれの側端面に付着されており、
変換ギャップ膜９は軟磁性金属薄膜７ー８間に配置さ
れ、変換ギャップを構成しているから、磁極付近の磁路
を軟磁性金属薄膜７、８によってのみ構成し、トラック
幅が狭く、高密度記録に対応した磁気ヘッドが得られ
る。

【００２０】コア部材１、２は、強磁性体５、６が非磁
性体３、４の後部に接合されているから、後方磁路を強
磁性体５、６によって構成し、磁路の飽和や渦電流によ
る効率低下を抑え、効率の高い磁気ヘッドを得ることが
できる。このため、軟磁性金属薄膜７、８を薄くして、
高密度記録を達成しつつ、効率を向上させることが可能
になる。

【００２１】コア部材１、２は、非磁性体３、４と強磁
性体５、６との接合部分１４、１５が巻線空間１３のコ
イル巻回領域Ｌ１内に位置しているから、適切な磁気抵
抗が得られ、軟磁性金属薄膜の磁気飽和を回避し、高周
波特性に優れた安定した電磁変換特性が得られる。

【００２２】溶着ガラス１０、１１は、媒体対向面とは
反対側に生じる巻線空間内において、コア部材１、２及
び非磁性体３、４を接合しているから、これらを機械的
に確実に接合できる。

【００２３】図３は本発明に係る磁気ヘッドに用いられ
るコア部材の他の実施例を示す斜視図である。この実施
例では、コア部材１、２は幅方向の両側に傾斜面を有
し、傾斜面によって形成される凹部に溶着ガラス１０、
１１を付着させた構造となっている。この実施例の場合
も、図１及び図２に図示した磁気ヘッドと同様の作用効
果を奏する。 本発明に係る磁気ヘッドは、一般には、
スライダに組み込まれ、コンポジット型磁気ヘッドとし
て用いられる。

【００２４】図１及び図３に示す構造のコア部材を有す
る磁気ヘッドは容易に量産できる。その製造工程の１例
を図４〜図１１を参照して説明する。

【００２５】図４に示す用に、非磁性基板２０と強磁性
基板３０とを接合して複合基板４０を形成する。非磁性
基板２０はセラミック材料または非結晶質もしくは結晶
質のガラスでなり、強磁性基板３０は強磁性金属酸化物
で構成される。

【００２６】次に、図５に示すように、複合基板４０の
１面側において接合方向ａと交差する方向ｂにＶ状の溝
５０及び凸条６０が生じるように溝加工を施す。

【００２７】次に、図６に示すように、複合基板４０の
１面側に軟磁性金属薄膜７０を形成する。軟磁性金属薄
膜７０はスパッタ成膜技術によって形成する。

【００２８】次に、図７に示すように、溝５０及び凸条
６０に対してＶ溝加工を施した後、図８に示すように、
ガラス８０を付着させて溝５０を埋める。この後、図９
に示すように、ガラス８０の表面を研摩し、凸条６０の
表面に軟磁性金属膜７０を条状に露出させる。

【００２９】次に、図１０に示すように、溝５０及び凸
条６０の方向ｂと交差する方向に巻き線用溝９０を形成
する。

【００３０】次に、図１１に示すように、前記工程及び
必要な追加工程をを経て得られた２つの複合基板４０、
４０を、軟磁性金属薄膜７０が互いに向き合うように重
ね合わせて接合し、軟磁性金属薄膜７０の接合領域を含
むように、切断位置ＸーＸにおいて切断する。これによ
り、図３に示すした構造のコア部材が得られる。図１及
び図２に示した磁気ヘッドのコア部材も同様の手段によ
って製造できる。

【００３１】前述した工程は、従来の量産製造工程を少
し変更するだけで実行できる

【００３２】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、次の
ような効果を得ることができる。 （ａ）コア部材は、２つ備えられ、少なくとも一方が凹
部を有し、凹部による巻線空間が形成されるように互い
に向き合って接合されており、コイルは巻線空間におい
てコア部材に巻かれているから、凹部による巻線空間を
利用して巻線を施すタイプの磁気ヘッドが得られる。 （ｂ）軟磁性金属薄膜は、互いに向き合うようにコア部
材のそれぞれの側端面に付着されており、変換ギャップ
膜は軟磁性金属薄膜間に配置され、変換ギャップを構成
しているから、軟磁性金属薄膜による変換ギャップを有
する磁気ヘッドが得られる。 （ｃ）コア部材は、非磁性体と、強磁性体とを含み、非
磁性体が媒体対向面側である前部に配置され、軟磁性金
属薄膜はコア部材が接合されたとき互いに向き合うよう
にコア部材のそれぞれの端面に付着されており、変換ギ
ャップ膜は軟磁性金属薄膜間に配置され、変換ギャップ
を構成しているから、磁極付近の磁路を軟磁性金属薄膜
によってのみ構成し、トラック幅が狭く、高密度記録に
対応した磁気ヘッドが得られる。 （ｄ）コア部材は、強磁性体が非磁性体の後部に接合さ
れているから、磁路の飽和や渦電流による効率低下を抑
え、効率の高い磁気ヘッドを得ることができ、軟磁性金
属薄膜を薄くして、高密度記録を達成しつつ、効率を向
上させることが可能になる。 （ｅ）コア部材は、非磁性体と強磁性体との接合部分が
巻線空間のコイル巻回領域内に位置しているから、適切
な磁気抵抗が得られ、軟磁性金属薄膜の磁気飽和を回避
し、高周波特性に優れた安定した電磁変換特性が得られ
る （ｆ）従来の量産製造工程を少し変更するだけで、容易
に量産し得る磁気ヘッドを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る磁気ヘッドの正面部分断面図であ
る。

【図２】図１に示した磁気ヘッドに用いられるコアの斜
視図である。

【図３】本発明に係る磁気ヘッドを構成するコアの他の
実施例を示す斜視図である。

【図４】〜

【図１１】本発明に係る磁気ヘッド用コアの製造工程を
示す図である。

【符号の説明】

１、２ コア部材 ３、４ 非磁性体 ５、６ 強磁性体 ７、８ 軟磁性金属薄膜 ９ 変換ギャップ膜 １０、１１ 溶着ガラス １２ コイル

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つのコア部材と、変換ギャップ膜と、
   コイルとを含む磁気ヘッドであって、 前記コア部材は、少なくとも一方が凹部を有し、前記凹
   部による巻線空間が形成されるように、前記凹部の前部
   及び後部において互いに向き合って接合されており、 前記コア部材のそれぞれは、非磁性体と、強磁性体と、
   軟磁性金属薄膜とを含み、前記非磁性体が媒体対向面側
   である前部に配置され、前記強磁性体が前記非磁性体の
   後部に接合され、接合部分が前記巻線空間のコイル巻回
   領域内に位置し、前記軟磁性金属薄膜が前記非磁性体及
   び前記強磁性体のそれぞれの側端面に付着されて互いに
   向き合っており、 前記変換ギャップ膜は、前記軟磁性金属薄膜間に配置さ
   れ変換ギャップを構成しており、 前記コイルは、前記巻線空間において前記コア部材に巻
   かれている磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 前記コア部材のそれぞれは、幅方向の相
   反する側端面が傾斜面となっており、 前記軟磁性金属薄膜のそれぞれは、前記傾斜面に付着さ
   れ、前記変換ギャップ膜に対して傾斜している請求項１
   に記載の磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 前記コア部材は、強磁性金属酸化物でな
   る請求項１または２の何れかに記載の磁気ヘッド。
4. 【請求項４】 前記非磁性体は、セラミック材料でなる
   請求項１、２または３に記載の磁気ヘッド。
5. 【請求項５】 前記非磁性体はガラスでなる請求項１、
   ２または３に記載の磁気ヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至６の何れかに記載の磁気ヘ
   ッドを製造する製造方法であって、 第１の工程は、非磁性基板と強磁性基板とを接合して複
   合基板を形成する工程であり、 第２の工程は、前記複合基板の１面側において前記接合
   方向と交差する方向に溝及び凸条が生じるように溝加工
   を施す工程であり、 第３の工程は、前記複合基板の前記１面側に軟磁性金属
   薄膜を形成する工程であり、 第４の工程は、前記溝を埋め、かつ、前記凸条の表面に
   前記軟磁性膜が露出するようにガラスを付着させる工程
   であり、 第５の工程は、前記溝及び前記凸条の方向と交差する方
   向に巻き線用溝を形成する工程であり、 第６の工程は、前記工程を経て得られた２つの複合基板
   を、前記軟磁性金属薄膜が互いに向き合うように重ね合
   わせて接合し、前記軟磁性金属薄膜の接合領域を含むよ
   うに切断する工程である磁気ヘッドの製造方法。