JPH0593670A - グロスリ−クテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リ−クのある半導体装置から発生する泡を自
動的に検出できるようにする。 【構成】 リ−クのある半導体装置６から発生する泡７
を検出できるようにするために、音センサ５をグロスリ
−クテスト装置１に付設するようにした。 【効果】 音センサが、泡が発生する時の音をキャッチ
し、リ−クのある半導体装置から発生する泡を自動的に
検出できるようになった。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の気密リ−
ク検出に使用されるグロスリ−クテスト装置に関し、自
動化に寄与することのできる技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ハ−メチックシ−ルを行なった半
導体装置（パッケ−ジ）について、そのハ−メチックシ
−ルが充分で有るか否かを検出し、以って、水蒸気やガ
ス状不純物の侵入により半導体装置中の半導体素子の特
性が劣化されることを未然に防止するために、気密リ−
クテストが実施されている。気密リ−ク検出法には各種
のテスト方法があるが、その中のグロスリ−クテスト
（バブルリ−クテスト）は、主として１０-3ａｔｍ・ｃ
ｃ／ｓｅｃ以上のリ−ク量の検出に用いられている。こ
のグロスリ−クテストの手法は、一般に、パッケ−ジ
を、グロスリ−クテスト槽の液中に浸漬し、加熱して、
気泡の有無を検出するものである。当該テスト槽のリ−
クテスト液には、ハ−メチックシ−ルパッケ−ジの内部
にまで浸透できるような浸透性の強い液体（例えば、フ
ロロカ−ボン）が使用されている。当該液は、例えば１
２５〜１５０℃の温度に加熱されるので、半導体装置内
部の気体が膨張し、もし、半導体装置の気密封止にリ−
クがあるときには、泡と成って発現する。

【０００３】従来は、その泡を目視し、肉眼でリ−クの
有無を判定していた。この泡は不規則、不定量に発生す
る為、その判定が難しく、また、人がつきっきりで観察
していなければならないなどの問題がある。一方、当該
バブルリ−クテストを自動化するために、光センサを設
置して行うことも提案されたが、光検出では誤動作が多
く、実用上支障があり、自動化を実現することができな
かった。尚、気密リ−ク検出について記載した文献の例
としては、応用技術出版株式会社1988年11月16日発行村
上元著「表面実装形ＬＳＩパッケ−ジの実装技術とその
信頼性向上」第２８６〜２８７頁が挙げられる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の有する欠点を解消することのできる技術を提供する
ことを目的とする。本発明の前記ならびにそのほかの目
的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から
あきらかになるであろう。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
のとおりである。すなわち、本発明では、パッケ−ジ内
部の気体が発泡する時の音を音センサで感知させ、これ
を電気信号に変換させるようにした。そして、グロ−リ
−クテスト槽に、被試験体である半導体装置を自動的に
浸漬させ、引き上げる昇降機構（昇降装置）を設置する
ようにした。

【０００５】

【作用】これにより、本発明では、パッケ−ジ内部の気
体が発泡する時の音を音センサで感知させ、これを電気
信号に変換させるようにすることにより、不規則、不定
量に泡が発生する場合でも、音でひろい、電気信号に変
換し、泡の発生を充分感知できる。すなわち、本発明
は、半導体装置のパッケ−ジ内部に気体が膨張し、リ−
ク箇所からその気体が抜け出す時に発生する音に着目し
たものであり、その音は電気的に変換が可能であり、当
該リ−クテストの自動化を行うことができる。また、本
発明では、グロスリ−クテスト槽に、被試験体である半
導体装置を、自動的に浸漬させ、引き上げる昇降機構
（昇降装置）を設置したので、前記音センサ機構と相俟
ってグロスリ−クテストの自動化をさらに実現すること
ができる。

【０００６】

【実施例】次に本発明を図面に示す実施例に基づいて説
明する。図１に示すように、グロスリ−クテスト槽１中
には、例えばクロロカ−ボンよりなるリ−クテスト液２
が入れられている。グロスリ−クテスト槽１はその下部
のヒ−タ部３により加熱され、リ−クテスト液２を例え
ば１２５℃に加熱することができるようになっている。
昇降自在のトレイ４の先端部には、音センサ５が載置さ
れている。当該トレイ４上に載置され、リ−クテスト液
２中に浸漬された半導体装置６の気密封止部において、
リ−クがあるときには、気泡７が出現する。

【０００７】音センサ５は、半導体装置６から発生する
音を感知し、当該発泡時の音を電流の流れに交換する。
音センサ５からの信号は、増幅部８で増幅され、ノズル
フィルタ９で周囲のノズルがカットされる。当該配線系
路には、例えば不良の際にアラ−ムを発したり、泡の数
などを表示する表示部１０や時間を決めて良否判定を行
うためのタイマ−回路１１などを適宜設けることができ
る。

【０００８】図２に示すように、グロスリ−クテスト槽
１に、被試験体の半導体装置６が搬送されてくると、昇
降装置１２のトレイ（ア−ム）４が降下し、グロスリ−
クテスト槽１のリ−クテスト液２中に被試験体の半導体
装置６を浸漬し、前記の如くリ−クテストを行なう。テ
スト終了後には、昇降装置１２のトレイ（ア−ム）４が
上昇し、グロスリ−クテスト槽１のリ−クテスト液２中
の被試験体の半導体装置６を引上げさせる。ア−ム４の
先端部における載置台１３上には、音センサ５が付設さ
れている。昇降装置１２においては、油圧や空気圧の駆
動源１４により、ア−ム４の取付けられたベッド１５
を、２本の軸１６，１６の軸方向に上下動させる。昇降
装置１２の上記駆動源１４は、コントロ−ル装置１７と
接続し、当該コントロ−ル装置１７からの信号により、
昇降動作の制御が行なわれる。また、音センサ５からの
信号が、当該コントロ−ル装置１７に入力され、前記ア
ラ−ムを発したり、泡の数などを表示部１０に表示す
る。本発明によれば、半導体装置６のパッケ−ジ内部に
リ−クがある場合、リ−ク箇所から泡７が抜け出す時に
発生する音を音センサ５でキャッチし、その音センサ５
からの信号を、増幅部８で増幅し、ノズルフィルタ９で
周囲のノズルをカットして、表示部１０にアラ−ムを発
生させたり、泡７の数などを表示させるようにしたの
で、当該リ−クテストの自動化を行うことができ、不規
則、不定量に泡が発生する場合にあっても、リ−ク有無
を自動的に感知できる。また、グロ−リ−クテスト槽１
に、被試験体である半導体装置６を自動的に浸漬させ、
引き上げる昇降機構（昇降装置）を設置することによ
り、前記音センサ機構と相俟ってグロスリ−クテストの
自動化をさらに実現することができた。以上本発明者に
よってなされた発明を実施例にもとずき具体的に説明し
たが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは
いうまでもない。

【０００９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。本発明によれば、不規則、不定量に
泡が発生する場合も、泡の発生を充分感知でき、かつ、
グロスリ−クテストの自動化を実現することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す構成図

【図２】本発明の実施例を示す構成図

【符号の説明】

１・・・グロスリ−クテスト槽 ２・・・リ−クテスト液 ３・・・ヒ−タ部 ４・・・トレイ ５・・・音センサ ６・・・半導体装置 ７・・・気泡 ８・・・増幅部 ９・・・ノズルフィルタ １０・・・表示部 １１・・・タイマ−回路 １２・・・昇降装置 １３・・・載置台 １４・・・駆動源 １５・・・ベッド １６・・・軸 １７・・・コントロ−ル装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】封止した半導体装置をグロスリ−クテスト
   槽のリ−クテスト液中に浸漬し、加熱し、当該半導体装
   置から発生する気泡の有無により気密リ−ク検出を行な
   うグロスリ−クテスト装置において、発泡時に発生する
   音を検出し、当該音を電気信号に変換することのできる
   音検出機構と、前記封止した半導体装置をグロスリ−ク
   テスト槽に昇降させることのできる昇降機構とを備えて
   成ることを特徴とするグロスリ−クテスト装置。
2. 【請求項２】音検出機構が、音センサ−と増幅器とノイ
   ズフィルタとを有して成る、請求項１に記載のグロスリ
   −クテスト装置。