JP3870939B2 - 気密試験方法及び装置 - Google Patents

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本発明は、圧電デバイスのようなパッケージに気密に封止された電子部品の気密性又は封止効果を検査するための気密試験方法及びそのための装置に関する。
従来より、気密封止された電子部品などの気密性や封止効果を検査して、製品の信頼性を確保するために様々な気密試験方法が行われている。気密試験方法は、概してその目的や用途によって、所謂大穴リークのような大きいリーク(グロスリーク)を検出するためのグロスリーク試験と、微小なリーク(ファインリーク)を検出するためのファインリーク試験とに大別される。
一般にグロスリーク試験には、水、水とアルコールとの混合液やフロリナート(商品名)などの検査液中に被試験体を浸漬しかつ加圧して、検査液を被試験体内部に浸透させた後、電気的特性を測定してリークを検出する方法(例えば、特許文献1を参照)、約125℃に加熱したフロロカーボン液に浸漬し、被試験体内部の圧力上昇により漏出する被試験体内部の気体を気泡として目視で確認するバブルテスト(例えば、特許文献2〜5を参照)、2つの同一容積のチャンバにそれぞれ被試験体と標準品とを収容し、かつ同じ圧力で同じ容量の乾燥空気を導入し、両チャンバ間の圧力差を検出するエアリークテスト(例えば、特許文献4〜6を参照)がある。
ファインリーク試験には、被試験体を収容したチャンバ内に常温でヘリウムガスを充填しかつ0.4Mpa以上の圧力で加圧し、MIL規格に従って約2時間放置してヘリウムガスを被試験体内部に侵入させた後、真空室内で被試験体内部から漏出するヘリウムガスを質量分析形リーク検出器で測定するボンビング法(例えば、特許文献2,3,7を参照)が一般に行われている。この方法は、被試験体にグロスリークがある場合、ヘリウムガスのボンビング後に被試験体を真空室に置いて真空引きする工程で、被試験体からヘリウムガスが短時間に大気と共に外部に放出されてしまい、検出できなくなる虞がある。そのため、グロスリーク試験及びファインリーク試験の両方を行う場合には、先にファインリーク試験を行った後、リーク無しと判定されたものについて更にグロスリーク試験を行うのが一般的である。
また、これらの気密試験方法には、様々な改良・改善が行われている。例えば、被試験体を収容した真空のテスト室内に大気圧以上の圧力でトレーサーガスを導入し、クリーンアップガスを大気圧で導入してトレーサーガスを排除した後、テスト室を再び真空に排気する際にその排気中に含まれるトレーサーガスを検出するグロスリーク試験方法(特許文献3を参照)や、被試験体である圧電振動子を2種類の雰囲気に暴露し、それぞれにおける被試験体の動作特性を測定して、その結果からリークの有無及び程度を判定する方法(特許文献4を参照)、圧電振動子を大気中に置いて励振周波数を測定し、圧電振動子の封止雰囲気より分子量の小さい不活性ガスなどの雰囲気に圧電振動子を長時間暴露した後、再び励振周波数を測定し、測定結果の差からリークの有無を判定する方法(特許文献5を参照)が提案されている。
また、先にグロスリーク試験を行い、リーク無しと判定された被試験体にファインリーク試験を行い、グロスリーク及びファインリークの両方を効率よく検査する気密試験方法が提案されている(特許文献6,7を参照)。
特表2001−520371号公報 特開平7−106393号公報 特開平11−30565号公報 特開平11−108790号公報 特開平11−108792号公報 特開平10−232179号公報 特開平7−181100号公報
しかしながら、上述した従来の気密試験方法は、一般に試験時間が長いという問題がある。例えば、ボンビング法によるファインリーク試験では、MIL規格で、加圧したヘリウム雰囲気に被試験体を2時間以上放置すると規定されており、試験時間全体が長くなって生産性が低下するという問題がある。同様にグロスリーク試験においても、加圧した検査液中に被試験体を浸漬して、その内部に検査液を確実に浸透させるためには長い時間を要する。
また、ボンビング法によるファインリーク試験で検出できるリーク量はせいぜい1×10-12Pam3/s程度までであり、例えば圧電デバイスのように小型化が著しく、それに対応して内部空間の容積が非常に微小化している電子部品では、ますます高い検出能力が要求されている。従って、グロスリーク試験でも、被試験体の小型化に対応した高い検出能力が要求される。また、バブルテストでは、リークが所謂大穴リークと呼ばれる非常に大きなものである場合、気泡が被試験体から一気に出てしまうので、特に微小な電子部品の場合、目視で十分に確認できない虞がある。
また、従来のグロスリーク試験とファインリーク試験とは、それぞれが検出可能なリーク量の範囲がほとんどオーバラップしていないため、その両方を実行しても、検出できないリークが存在する虞がある。
そこで本発明は、上述した従来の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、気密封止された電子部品のファインリーク試験及びグロスリーク試験において、従来よりも短時間で試験することができ、かつ電子部品の小型化に対応して高いリーク検出能力を発揮し、しかも広い範囲に亘って確実にかつ漏れなくリークを検出し得る新規な気密試験方法を提供することにある。
更に本発明は、かかる気密試験方法を実施するのに適した装置、特にファインリーク試験及びグロスリーク試験を連続して効率よく行うことができるインライン化された気密試験装置の提供を目的とする。
本発明の第1の実施態様によれば、上記目的を達成するために、被試験体を加熱する工程と、加熱した被試験体を所定の圧力に加圧されたヘリウム雰囲気内で冷却する工程と、被試験体をヘリウム雰囲気から取り出して加熱し、ヘリウムガスのリークの有無を検出する工程とからなる気密試験方法が提供される。
被試験体の内部の気体は、最初の加熱工程によって膨張し、次の冷却工程によって収縮する。被試験体に微小なリークがあると、加熱工程において膨張した被試験体内部の気体は、被試験体内部の圧力が外部雰囲気の圧力と同程度になるまで、外部に漏出する。次に冷却工程において、被試験体内部の気体は収縮してその圧力が下がるので、加圧されたヘリウムガスは容易に被試験体内部に、その圧力がヘリウム雰囲気の圧力と同程度になるまで侵入する。この被試験体を検出工程において再び加熱すると、ヘリウムガスを含む被試験体内部の気体が膨張して外部に漏出するので、その中にヘリウムガスが含まれているかどうかを、例えば公知のヘリウムリーク検出器等で測定することによって、被試験体のファインリークを検出することができる。
このように被試験体を一旦加熱してから加圧ヘリウム雰囲気内に収容しかつ冷却することによって、従来のヘリウムガスによるファインリーク試験よりも短時間で、かつ確実にヘリウムガスをボンビングすることができる。そして、後述するようにリーク量が1×10-13Pam3/s程度まで検出可能で、従来のヘリウムガスによるファインリーク試験で検出可能なリーク量が1×10-12Pam3/s程度までであることを考慮すると、非常に高い検出能力が得られる。
前記加熱工程において、被試験体を50〜300℃程度に加熱すれば、微小なリークでも、後の冷却工程でヘリウムガスを吸引する十分な作用が得られる。
前記冷却工程において、被試験体は常温のヘリウム雰囲気内で自然冷却させることが、余計な又は新たな機械設備や作業を必要としないので好ましく、被試験体を50〜300℃程度に加熱した場合でも、常温に冷却されるまでに要する時間は、約15分である。従って、MIL規格によってヘリウム雰囲気内に2時間放置する従来の試験方法に比して、大幅にヘリウムガスのボンビング時間を短縮することができる。
また、前記冷却工程において、ヘリウム雰囲気の所定の圧力が0.4Mpa以上であると、本発明においてヘリウムガスのボンビングには十分であり、かつ従来のヘリウムガスによるファインリーク試験と同程度の加圧条件であって、特別な加圧機械・設備を必要としないことから、好ましい。
更に、前記検出工程において、被試験体を50〜150℃に加熱すれば、被試験体内部の気体を十分にかつ確実に漏出させることができる。
また、本発明の第2の実施態様によれば、被試験体を加熱する工程と、加熱した被試験体を所定の検査液中に浸漬して冷却しかつ所定の圧力で加圧する工程と、被試験体を検査液から取り出して洗浄しかつ乾燥させる工程と、被試験体の電気的特性を測定する工程とからなる気密試験方法が提供される。
被試験体の内部の気体は、最初の加熱工程によって膨張し、次の冷却・加圧工程によって収縮する。被試験体に比較的大きなリークがあると、加熱工程において膨張した被試験体内部の気体は、被試験体内部の圧力が外部雰囲気の圧力と同程度になるまで外部に漏出し、次に冷却工程において、被試験体内部の気体が収縮してその圧力が下がるので、加圧された検査液は容易に被試験体内部に侵入する。検査液を適当に選択することによって、例えば検査液がアルカリ性の液体である場合には被試験体内部の配線や電極が腐食するので、被試験体は所定の電気的特性を発揮できなくなる。従って、検査液を洗い流して乾燥させた後に被試験体の電気的特性を測定することにより、被試験体のグロスリークを検出することができる。
このように被試験体を一旦加熱してから検査液中に浸漬・冷却することによって、上述した従来のグロスリーク試験よりも短時間で、検査液を確実にボンビングすることができる。そして、後述するようにリーク量が5×10-10Pam3/s程度まで検出可能で、通常のグロスリークの範囲から広い範囲に亘って高い検出能力が得られる。
更に、シーム溶接でパッケージを封止する構造の被試験体は、リッドを接合する際に挟まれた有機物がシーム溶接の加熱により炭化して、溶融した接合金属のフローを妨げて封止不良を生じることがある。このように炭化した有機物は、従来のグロスリーク試験で使用するフロリナート等では除去されず、グロスリークを検出できない虞があるが、本発明において検査液がアルカリ性の液体である場合には、炭化した有機物が洗い流されるので、グロスリークの検出が可能になる。
前記加熱工程において、被試験体を50〜300℃程度に加熱すれば、微小なリークでも、後の冷却・加圧工程で検査液を浸透させる十分な作用が得られる。
また、前記冷却・加圧工程における所定の圧力が0.4Mpa以上であると、本発明において検査液のボンビングには十分であり、かつ従来のグロスリーク試験と同程度の加圧条件であって、特別な加圧機械・設備を必要としないことから、好ましい。
更に本発明によれば、上述した本発明の第1の実施態様である気密試験方法によるファインリーク試験工程を行い、かつこれに連続して、ファインリーク試験工程においてリーク無しと判定された被試験体に対して、本発明の第2の実施態様である気密試験方法によるグロスリーク試験工程を行う気密試験方法が提供される。
上述したように、本発明の第2の実施態様であるグロスリーク試験は、従来のグロスリーク試験よりも大幅に広いリーク検出範囲を発揮し、本発明の第1の実施態様であるファインリーク試験のリーク検出範囲と広い範囲に亘ってオーバラップするので、所謂大穴リークと呼ばれる大きなリークから従来検出可能なものより小さい微小なリークまで、広い検出範囲に亘って漏れなく、かつ連続した工程で作業効率よく検出することができる。
本発明の別の側面によれば、被試験体を加熱するための加熱手段、該加熱手段により加熱した被試験体を加圧下のヘリウム雰囲気内に収容して冷却するための加圧チャンバ、及び、該加圧チャンバから取り出した被試験体を加熱するための加熱手段を有するヘリウムリーク検出器を備えるファインリーク試験部と、該ファインリーク試験部から送られた被試験体を加熱するための加熱手段、該加熱手段により加熱した被試験体を所定の検査液中に浸漬して冷却しかつ加圧するための加圧検査液槽、該加圧検査液槽から取り出した被試験体を洗浄するための洗浄手段、洗浄した被試験体を乾燥させるための乾燥手段、及び、乾燥させた被試験体の電気的特性を測定するためのテスタを備えるグロスリーク試験部とからなる気密試験装置が提供される。
このように構成することによって、ファインリーク試験部において、上述した本発明の第1の実施態様である気密試験方法によるファインリーク試験工程を行い、かつこれに連続してグロスリーク試験部において、上述した、本発明の第2の実施態様である気密試験方法によるグロスリーク試験工程を行うように、インライン化された気密試験装置を実現することができる。
ここで、ファインリーク試験部の加熱手段と加圧チャンバとが一体に構成された単体の装置から構成されると、加熱後の被試験体をヘリウム雰囲気に収容するまでの時間及び経路を短縮し又は省略できるので、好都合である。
同様に、グロスリーク試験部の加熱手段と加圧検査液槽とが一体に構成された単体の装置から構成されると、加熱後の被試験体を検査液中に浸漬するまでの時間及び経路を短縮し又は省略できるので、好都合である。
別の実施例では、ファインリーク試験部の加熱手段とグロスリーク試験部の加熱手段とが共通の加熱装置から構成され、それにより構成要素の数を少なくして、装置全体の構成を簡単化することができる。
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明の好適な実施例について詳細に説明する。
図1は、本発明によるインライン化された気密試験装置の構成を概略的に示している。この気密試験装置は、第1段階のファインリーク試験を実行するファインリーク試験部1と、これに連続して第2段階のグロスリーク試験を実行するグロスリーク試験部2とから構成される。ファインリーク試験部1は、被試験体を加熱するための加熱炉3と、被試験体を加圧下のヘリウム雰囲気内に収容して冷却するための加圧チャンバ4とを有するヘリウムボンビング装置5、及び、前記加圧チャンバから取り出した被試験体を加熱するためのヒータ(図示せず)を有するヘリウムリーク検出器6を備える。本実施例において、ヘリウムリーク検出器6は質量分析形のリーク検出器である。別の実施例において、加熱炉3と加圧チャンバ4とは別個の装置として構成することもできる。
グロスリーク試験部2は、ファインリーク試験部1から送られた被試験体を加熱するための加熱炉7と、被試験体を所定の検査液中に浸漬して冷却しかつ加圧するための加圧検査液槽8とを有するボンビング装置9、前記加圧検査液槽から取り出した被試験体を洗浄するための洗浄装置10、洗浄した被試験体を乾燥させるための乾燥装置11、及び、被試験体の電気的特性を測定するためのテスタ12を備える。本実施例において、前記検査液にはアルカリ性の液体、例えばアルカリ性洗剤を使用する。別の実施例において、加熱炉7と加圧検査液槽8とは別個の装置として構成することができ、また洗浄装置10と乾燥装置11と一体の装置として構成することができる。
以下に、上記気密試験装置を用いて本発明の気密試験方法を実施する要領を説明する。先ず、例えば弾性表面波(SAW)デバイスのようにパッケージのリッドをシーム溶接で気密に封止した被試験体に対し、ファインリーク試験部1において本発明のファインリーク試験を実行する。前記被試験体は、ヘリウムボンビング装置5の加熱炉3において50〜300℃の温度で約1時間加熱する。これにより、被試験体内部の気体は膨張し、被試験体に微小なリークがある場合には、その内部圧力が外部雰囲気即ち加熱炉3内の圧力と同程度になるまで外部に漏出する。
加熱された被試験体は、直ちにヘリウムボンビング装置5の加圧チャンバ4に移して、0.4Mpa以上に加圧されたヘリウム雰囲気内に収容される。被試験体は、前記ヘリウム雰囲気内で自然冷却され、50〜300℃に加熱した被試験体も約15分で常温になる。自然冷却は、余計な又は新たな冷却機械・設備や作業を必要としないので、好ましい。
この冷却工程により被試験体内部の気体は収縮し、その内部圧力が大きく下がるので、被試験体に微小なリークがある場合、加圧されたヘリウムガスは容易に被試験体内部に吸引され、その内部圧力が加圧チャンバ4のヘリウム雰囲気と同程度の圧力になるまで侵入する。本実施例の加圧チャンバ4の圧力は、従来のヘリウムガスによるファインリーク試験と同程度の加圧条件であり、従来の加圧装置が利用可能で、新たに特別な加圧機械・設備を必要としないことから、好都合である。
このように本発明によれば、ヘリウムガスのボンビング時間が約15分で済むので、MIL規格によって被試験体をヘリウム雰囲気内に2時間放置する従来のファインリーク試験方法に比して、ボンビング処理だけでなく、ファインリーク試験全体の処理時間を大幅に短縮することができる。
次に、ボンビング処理した被試験体をヘリウムリーク検出器6に移し、その測定チャンバ内のワークステージに載せ、前記ヒータで約50〜150℃に加熱する。これにより、被試験体内部の気体が膨張して、外部即ち測定チャンバに容易に漏出する。従って、従来のヘリウムリーク試験と同様に、測定チャンバ内に漏出したヘリウムガスを測定することによって、被試験体のファインリークが検出される。
本実施例によれば、従来よりも短時間で試験できるだけでなく、被試験体を一旦加熱してから加圧ヘリウム雰囲気内に収容しかつ冷却することによって、ヘリウムガスをより容易にかつ確実にボンビングでき、かつ被試験体を加熱することによってその内部からヘリウムガスを漏出し易くできるので、リーク量が1×10-13Pam3/s程度の非常に微小なリークまで検出可能である。
このファインリーク試験においてファインリークが検出された被試験体は、封止不良として廃棄され、又は製造ラインの封止工程に戻される。リーク無しと判定された被試験体は、続けてグロスリーク試験部2において本発明のグロスリーク試験を実行する。
前記被試験体は、ファインリーク試験部1における場合と同様に、ボンビング装置9の加熱炉7において50〜300℃の温度で約1時間加熱する。これにより、被試験体内部の気体は膨張し、被試験体に大きなリークがある場合には、その内部圧力が外部雰囲気即ち加熱炉7内の圧力と同程度になるまで外部に漏出する。
加熱された被試験体は、直ちにボンビング装置9の加圧検査液槽8に移され、0.4Mpa以上に加圧された検査液中に浸漬して冷却される。冷却された被試験体内部の気体は収縮し、その内部圧力が大きく下がるので、被試験体にグロスリークがある場合、加圧された検査液は容易に被試験体内部に侵入する。本実施例の加圧検査液槽8の圧力は、従来のグロスリーク試験に使用される加圧タンクと同程度の加圧条件であるから、従来の加圧装置が利用可能で、新たに特別な加圧機械・設備を必要とせず、好都合である。
次に、加圧検査液槽8から取り出した被試験体を洗浄装置10に移し、純水で洗浄して前記検査液を洗い流し、乾燥装置11に移して乾燥させた後、テスタ12に送る。テスタ12では、被試験体の電気的特性を測定する。前記検査液はアルカリ性であるので、被試験体内部に侵入した場合、SAWデバイスである被試験体では、アルミニウム薄膜で形成されている配線や電極が腐食するので、被試験体は所定の電気的特性又は振動特性を発揮できない。従って、測定結果が不良である場合には、従来のボンビング法によるグロスリーク試験と同様に、被試験体にグロスリーク有りと判定される。
更に本実施例では、被試験体の製造工程で、パッケージにリッドを接合する際に有機物が挟まれかつシーム溶接の加熱で炭化したまま封止され、接合金属のフローを妨げて封止不良を生じた場合でも、その炭化物をアルカリ性検査液で除去でき、特に検査液が界面活性剤を含むアルカリ性洗剤の場合には容易であり、グロスリークを検出できる。
また、検査液には、本実施例のアルカリ性の液体以外に、例えば従来から使用されているフロリナート(商品名)、フロロカーボン液などを含めて、浸透性を有する様々な液体を適当に選択することができる。そしてそれが、被試験体の構造や特徴などに対応して、被試験体内部の配線・電極などにどのように作用して、その電気的特性にどのような不具合又は変化を生じさせるかを予め確認しておくことによって、グロスリークの検出が可能である。
本実施例によれば、このように被試験体を一旦加熱してから検査液中に浸漬・冷却することによって、短時間で検査液を確実にボンビングできるので、従来よりも短時間で試験できるだけでなく、所謂大穴リークの範囲からリーク量が5×10-10Pam3/s程度まで、広い範囲に亘ってリークを検出可能で、高い検出能力が得られる。
このグロスリーク試験においてグロスリークが検出された被試験体は、封止不良として廃棄され、又は製造ラインの封止工程に戻される。リーク無しと判定された被試験体は、良品として次の工程に送られ、検査済み製品として出荷される。
図2は、図1に示す実施例の変形例による気密試験装置の構成を示している。この変形例では、ファインリーク試験部1の加熱炉とグロスリーク試験部2の加熱炉とが、それらの加熱条件が同一であることから、単一の共通の加熱炉13により構成されている。これにより、気密試験装置を構成する機器の数を少なくできるので、装置全体の構成が簡単化される。加熱炉13の機能及び作用効果は、図1の実施例の場合と同じであり、同様にファインリーク試験及びグロスリーク試験を行うことができるので、それらの説明は省略する。
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は、上記実施例以外に、その技術的範囲内において様々な変形・変更を加えて実施することができる。また、本発明の気密試験方法は、用途及び必要性に応じて、ファインリーク試験とグロスリーク試験とを別個に独立して行うことができ、それに対応して、気密試験装置は、ファインリーク試験部1とグロスリーク試験部2とを互いに独立させ、それぞれ個別の気密試験装置として構成することができる。
本発明による気密試験装置の実施例の構成を概略的に示すブロック図。 図1の実施例の変形例を示す同様のブロック図。
符号の説明
1…ファインリーク試験部、2…グロスリーク試験部、3,7,13…加熱炉、4…加圧チャンバ、5…ヘリウムボンビング装置、6…ヘリウムリーク検出器、8…加圧検査液槽、9…ボンビング装置、10…洗浄装置、11…乾燥装置、12…テスタ。

Claims (14)

  1. 被試験体を加熱する工程と、加熱した前記被試験体を所定の圧力に加圧されたヘリウム雰囲気内で冷却する工程と、前記被試験体を前記ヘリウム雰囲気から取り出して加熱し、ヘリウムガスのリークの有無を検出する工程とからなることを特徴とする気密試験方法。
  2. 前記冷却工程において、常温の前記ヘリウム雰囲気内で前記被試験体を自然冷却させることを特徴とする請求項1に記載の気密試験方法。
  3. 前記加熱工程において、前記被試験体を50〜300℃に加熱することを特徴とする請求項1又は2に記載の気密試験方法。
  4. 前記冷却工程において、前記所定の圧力が0.4Mpa以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の気密試験方法。
  5. 前記検出工程において、前記被試験体を50〜150℃に加熱することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の気密試験方法。
  6. 被試験体を加熱する工程と、加熱した前記被試験体を所定の検査液中に浸漬して冷却しかつ所定の圧力で加圧する工程と、前記被試験体を前記検査液から取り出して洗浄しかつ乾燥させる工程と、前記被試験体の電気的特性を測定する工程とからなることを特徴とする気密試験方法。
  7. 前記検査液がアルカリ性の液体であることを特徴とする請求項6に記載の気密試験方法。
  8. 前記加熱工程において、前記被試験体を50〜300℃に加熱することを特徴とする請求項6又は7に記載の気密試験方法。
  9. 前記冷却・加圧工程において、前記所定の圧力が0.4Mpa以上であることを特徴とする請求項6乃至8のいずれかに記載の気密試験方法。
  10. 請求項1乃至5のいずれかに記載の気密試験方法によるファインリーク試験工程を行い、かつこれに連続して、前記ファインリーク試験工程においてリーク無しと判定された前記被試験体に対して、本発明の第1の実施態様である気密試験方法によるグロスリーク試験工程を行うことを特徴とする気密試験方法。
  11. 被試験体を加熱するための加熱手段と、加熱した前記被試験体を加圧下のヘリウム雰囲気内に収容して冷却するための加圧チャンバと、前記加圧チャンバから取り出した前記被試験体を加熱するための加熱手段を有するヘリウムリーク検出器とを備えるファインリーク試験部と、
    前記ファインリーク試験部から送られた前記被試験体を加熱するための加熱手段と、加熱した前記被試験体を所定の検査液中に浸漬して冷却しかつ加圧するための加圧検査液槽と、前記加圧検査液槽から取り出した前記被試験体を洗浄するための洗浄手段と、洗浄した前記被試験体を乾燥させるための乾燥手段と、乾燥させた前記被試験体の電気的特性を測定するためのテスタとを備えるグロスリーク試験部とからなることを特徴とする気密試験装置。
  12. 前記ファインリーク試験部の前記加熱手段と前記加圧チャンバとが一体に構成された単体の装置からなることを特徴とする請求項11に記載の気密試験装置。
  13. 前記グロスリーク試験部の前記加熱手段と前記加圧検査液槽とが一体に構成された単体の装置からなることを特徴とする請求項11又は12に記載の気密試験装置。
    ことを特徴とする請求項11に記載の気密試験装置。
  14. 前記ファインリーク試験部の前記加熱手段と前記グロスリーク試験部の前記加熱手段とが共通の加熱装置から構成されることを特徴とする請求項11に記載の気密試験装置。
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