JP2005140504A - ヘリウムガス漏れ検出装置及びヘリウムガス漏れ検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 吸引ポンプ6の作動により被試験体13内から漏れたヘリウムガスをスニファープローブ2で吸引し、排気ポンプ9の作動により減圧した容器11内に吸引したヘリウムガスの一部を導入して、導入されたヘリウムガスの加熱されているフィラメント12との衝突による、フィラメント12の温度変化に応じたフィラメント12の電気抵抗の変化に伴う出力回路10からの出力に基づいてヘリウムガスの漏れを検出する。
【選択図】 図1
Description
2 スニファープローブ
6 吸引ポンプ
7 ピラニ真空計用測定子
9 排気ポンプ
10 出力回路
11 容器
12 フィラメント
13 被試験体
Claims (8)
- 気密を要する被試験体内にヘリウムガスを供給して、被試験体内からのヘリウムガスの漏れを検出するヘリウムガス漏れ検出装置であって、
容器内にフィラメントを有するピラニ真空計用測定子と、前記容器内を排気する排気ポンプと、前記フィラメントと電気的に接続された出力回路と、を備え、
前記被試験体内から漏れたヘリウムガスを、前記排気ポンプの作動により減圧された前記容器内に導入して、前記導入されたヘリウムガスの加熱されている前記フィラメントとの衝突による前記フィラメントの温度変化に応じた前記フィラメントの電気抵抗の変化に伴う前記出力回路からの出力に基づいてヘリウムガスの漏れを検出する、
ことを特徴とするヘリウムガス漏れ検出装置。 - 前記出力回路からの出力は、前記容器内に導入されるヘリウムガスの濃度に対応した電圧である、
ことを特徴とする請求項1に記載のヘリウムガス漏れ検出装置。 - 前記被試験体内より漏れてくるヘリウムガスを吸引ラインを通して吸引する吸引ポンプを有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のヘリウムガス漏れ検出装置。 - 前記吸引ラインと前記容器との間に、前記被試験体内から漏れたヘリウムガスの一部だけを前記容器側に導入させるヘリウムガス導入量調整部材を設けた、
ことを特徴とする請求項3に記載のヘリウムガス漏れ検出装置。 - 気密を要する被試験体内にヘリウムガスを供給して、被試験体内からのヘリウムガスの漏れを検出するヘリウムガス漏れ検出方法であって、
容器内にフィラメントを有するピラニ真空計用測定子と、前記容器内を排気する排気ポンプと、前記フィラメントと電気的に接続された出力回路と、を備え、
前記排気ポンプの作動により減圧された前記容器内に前記被試験体内から漏れたヘリウムガスを導入して、前記導入されたヘリウムガスの加熱されている前記フィラメントとの衝突による前記フィラメントの温度変化に応じた前記フィラメントの電気抵抗の変化に伴う前記出力回路からの出力に基づいてヘリウムガスの漏れを検出する、
ことを特徴とするヘリウムガス漏れ検出方法。 - 前記出力回路からの出力は、前記容器内に導入されるヘリウムガスの濃度に対応した電圧である、
ことを特徴とする請求項5に記載のヘリウムガス漏れ検出方法。 - 前記被試験体内より漏れてくるヘリウムガスを、吸引ポンプの作動により吸引ラインを通して吸引する、
ことを特徴とする請求項5又は6に記載のヘリウムガス漏れ検出方法。 - 前記被試験体内から漏れたヘリウムガスの一部だけを、前記吸引ラインと前記容器との間に設けたヘリウムガス導入量調整部材を通して前記容器側に導入させる、
ことを特徴とする請求項7に記載のヘリウムガス漏れ検出方法。
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