JP2009198322A - シール検査方法、及びシール検査装置、並びにシール検査システム - Google Patents

Abstract

【課題】シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制すること。
【解決手段】イオン検知センサ１４は、グロメット１５がグロメット取付部１１Ａに装着された場合であって、加圧装置１３による排気によってチャンバー１１内部が加圧され、且つ高電圧発生装置１２Ｂから電極１２Ａへの印加によってチャンバー１１内部に放電によるイオンが発生しているとき、ワイヤハーネス１６を構成する複数の電線間の空隙、またはワイヤハーネス１６と該ワイヤハーネス１６によって挿通されるグロメット１５との間の空隙、を介してチャンバー１１内部からチャンバー１１外部へ漏れ出るイオンの有無を検出する。
【選択図】図１

Description

本発明は、シール処理が施された、ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、及びシール処理が施された、該ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通されるグロメットとの間の空隙の気密性を検査するシール検査方法、及びシール検査装置、並びにシール検査システムに関する。

従来のシール検査装置１００としては、例えば図４の従来のシール検査装置の構成図に示すように、ガスチャンバー１０１と、ワイヤハーネスＷ／Ｈによって挿通されたグロメット１０２をガスチャンバー１０１の壁部に嵌合するための取付孔１０１Ａと、ガスチャンバー１０１内に検知ガスＧ（例えば、ヘリウムガス）を加圧供給するガス供給手段１０３と、取付孔１０１Ａに嵌合されたグロメット１０２近傍の検知ガスＧの有無を検知する検知ガスセンサ１０４と、を備えるものが知られている。

シール検査装置１００によるシール検査方法は次の通りである。
まず、ワイヤハーネスＷ／Ｈによって挿通されたグロメット１０２を取付孔１０１Ａに取り付ける。このとき、ワイヤハーネスＷ／Ｈは、該ワイヤハーネスＷ／Ｈを構成する複数の電線間の空隙（この空隙のことを電線間空隙と称する。）に対するシール処理が施されており、また、ワイヤハーネスＷ／Ｈと、該ワイヤハーネスＷ／Ｈに接するグロメット１０２の内面と、の間の空隙（この空隙のことをグロメット空隙と称する。）に対してシール処理が施されている。
続いて、ガス供給手段１０３から供給パイプ１０３Ａを介してガスチャンバー１０１内に検知ガスＧを加圧供給する。
続いて、検知ガスＧの加圧供給を開始してから一定時間経過した時点でのガス漏れの有無を検知ガスセンサ１０４で検知する。

シール処理が施された電線間空隙またはグロメット空隙に欠陥がある場合、つまりそれぞれの空隙に対するシール処理が充分でない場合、検知ガスＧがガスチャンバー１０１の外部に漏れ出るため、検知ガスセンサ１０４によって検知ガスＧの有無を検知することによって、両空隙の気密性を検査することができる。

特開２００３−４２８９０号公報

しかしながら、前述した従来のシール検査装置１００では、検知ガスＧをガスチャンバー１０１内に封入し続けなければならないため、ランニングコストが高くなってしまう。また、漏れ出した検知ガスＧを回収することができなければ、その検知ガスＧが環境に悪影響を及ぼす可能性も否定できない。また、検知ガスセンサ１０４周辺に残留した検知ガスＧによる誤検知も否定できない。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができるシール検査方法、及びシール検査装置、並びにシール検査システムを提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査方法は、下記（１）を特徴としている。
（１） ワイヤハーネスによって挿通されたグロメットをチャンバーに固定する固定ステップと、
前記チャンバー内部に気体を封入して加圧する加圧ステップと、
前記チャンバー内部に設けられた電極への印加によって、放電によるイオンを発生させるイオン発生ステップと、
前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無を検出するイオン検出ステップと、
を有すること。

上記（１）の構成のシール検査方法では、検知ガスの代わりに、ランニングコストが安く、且つ環境にやさしく環境汚染の虞がないイオンを用い、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を測定することによって電線間空隙またはグロメット空隙の気密性を検出することにより、シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査方法は、下記（２）を特徴としている。
（２） ワイヤハーネスによって挿通されたグロメットをチャンバーに固定する固定ステップと、
前記チャンバー内部から気体を吸気して減圧する減圧ステップと、
前記チャンバー外部に設けられた電極への印加によって、放電によるイオンを発生させるイオン発生ステップと、
前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を検出するイオン検出ステップと、
を有すること。

上記（２）の構成のシール検査方法では、検知ガスの代わりに、ランニングコストが安く、且つ環境にやさしく環境汚染の虞がないイオンを用い、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を測定することによって電線間空隙またはグロメット空隙の気密性を検出することにより、シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査方法は、下記（３）を特徴としている。
（３） 上記（１）又は（２）の構成のシール検査方法において、
前記イオン検出ステップは、前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無、または前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を、イオン濃度の大小に基づいて検出する、
こと。

上記（３）の構成のシール検査方法では、イオン濃度の大小によって判別する構成によって、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を高精度に検出することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査装置は、下記（４）を特徴としている。
（４） ワイヤハーネスによって貫通されたグロメットを装着可能にするグロメット取付部と、加圧装置によって排気された気体を封入するための連通部と、を有するチャンバーと、
前記チャンバー内部に設けられた、放電によるイオンを発生させるための電極と、
前記チャンバー外部に設けられた、イオンの有無を検出するイオン検知センサと、を備え、
前記イオン検知センサは、前記グロメットが前記グロメット取付部に装着された場合であって、前記加圧装置による排気によって前記チャンバー内部が加圧され、且つ高電圧発生装置から前記電極への印加によって前記チャンバー内部に放電によるイオンが発生しているとき、前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無を検出する、
こと。

上記（４）の構成のシール検査装置では、検知ガスの代わりに、ランニングコストが安く、且つ環境にやさしく環境汚染の虞がないイオンを用い、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を測定することによって電線間空隙またはグロメット空隙の気密性を検出することにより、シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査装置は、下記（５）を特徴としている。
（５） ワイヤハーネスによって貫通されたグロメットを装着可能にするグロメット取付部と、減圧装置による吸気によって気体を放出するための連通部と、を有するチャンバーと、
前記チャンバー外部に設けられた、放電によるイオンを発生させるための電極と、
前記チャンバー内部に設けられた、イオンの有無を検出するイオン検知センサと、を備え、
前記イオン検知センサは、前記グロメットが前記グロメット取付部に装着された場合であって、前記減圧装置による吸気によって前記チャンバー内部が減圧され、且つ高電圧発生装置から前記電極への印加によって前記チャンバー外部に放電によるイオンが発生しているとき、前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を検出する、
こと。

上記（５）の構成のシール検査装置では、検知ガスの代わりに、ランニングコストが安く、且つ環境にやさしく環境汚染の虞がないイオンを用い、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を測定することによって電線間空隙またはグロメット空隙の気密性を検出することにより、シール検査に伴うランニングコストの削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査装置は、下記（６）を特徴としている。
（６） 上記（４）又は（５）の構成のシール検査装置において、
前記イオン検出センサは、前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無、または前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を、イオン濃度の大小に基づいて検出する、
こと。

上記（６）の構成のシール検査装置では、イオン濃度の大小によって判別する構成によって、電線間空隙またはグロメット空隙を介して漏れ出るイオンの有無を高精度に検出することができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査装置は、下記（７）を特徴としている。
（７） 上記（４）〜（６）のいずれか一つの構成のシール検査装置において、
前記チャンバーは、前記チャンバーに前記グロメットを装着する際に、前記ワイヤハーネスを前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ挿通させる導出孔をさらに有し、
前記導出孔は、前記ワイヤハーネスとの間の空隙を埋めた状態で該ワイヤハーネスを固定する、
こと。

上記（７）の構成のシール検査装置では、ワイヤハーネスが長い場合であっても、ワイヤハーネスの一部をチャンバー外部に引き出すことができるため、チャンバーの形状を小さくすることができる。

また、上述した目的を達成するために、本発明に係るシール検査装置は、下記（８）を特徴としている。
（８） 上記（４）〜（６）のいずれか一つの構成のシール検査装置において、
前記ワイヤハーネスにおける一方の先端部が前記チャンバー内部に収容され、前記ワイヤハーネスにおける他方の先端部が前記チャンバー外部に位置する、
こと。

上記（８）の構成のシール検査装置では、加圧装置によるチャンバー内部の圧力制御が容易になる。

以上、本発明のシール検査方法、シール検査装置、及びシール検査システムによれば、検知ガスＧの変わりにイオンをシール検査に利用することによって、シール検査に要するランニングコストを削減を図るとともに、環境への影響を抑制することができる。

以下、添付図面に基づいて本発明の実施形態に係るシール検査方法、及びシール検査装置、並びにシール検査システムについて詳細に説明する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係るシール検査システム１０の構成図を示すものであり、このシール検査システム１０は、シール検査装置１０Ａと、高電圧発生装置１２Ｂと、加圧装置１３と、を含んで構成される。シール検査装置１０Ａは、グロメット取付部１１Ａと連通孔１１Ｂと導出孔１１Ｃを有するチャンバー１１と、電極１２Ａと、イオン検知センサ１４と、を含んで構成される。

チャンバー１１には、グロメット１５を着脱可能にするためのグロメット取付部１１Ａが設けられている。一方、グロメット１５には、グロメット１５の表面に凹部１５Ａが設けられており、該凹部１５Ａがグロメット取付部１１Ａに嵌め込まれることによって、グロメット１５がチャンバーに密着した状態で固定される。また、加圧装置１３から供給される気体をチャンバー１１内部に封入するための連通孔１１Ｂが設けられている。

グロメット１５は、該グロメット１５の内部をワイヤハーネス１６（ワイヤハーネス１６は、複数の電線間の空隙（電線間空隙）に対してシール処理が施されている。）が挿通する形状であり、グロメット１５と、該グロメット１５を挿通するワイヤハーネス１６と、の間の空隙（グロメット空隙）を埋めるために、ワイヤハーネス１６に接するグロメット１５の引出部１５Ｂにシール処理が施されている。グロメッ１５の凹部１５Ａが、チャンバー１１のグロメット取付部１１Ａに嵌合されることにより、グロメット１５とチャンバー１１とが密着した状態で固定されることになる。

また、本実施形態では、チャンバー１１は、グロメット１５に挿通させたワイヤハーネス１６のうち一方側の先端（以下、終端とよぶ）（図１では右端部）をチャンバー１１内部からチャンバー１１外部へ導出させるための導出孔１１Ｃを有している。つまり、ワイヤハーネス１６の一方側の終端までの全てをチャンバー１１に収納させずに、一部を外部へ引き出す構造としている。この構造において、導出孔１１Ｃとワイヤハーネス１６との間の空隙を埋めるために、ワイヤハーネス１６に接する導出孔１１Ｃの内側にはパッキン１７が設けられている。チャンバー１１に導出孔１１Ｃを設ける構成により、ワイヤハーネスが長い場合であっても、ワイヤハーネスの一部をチャンバー外部に引き出すことができるため、チャンバー１１の形状を小さくすることができる。このため、シール検査装置の小型化を実現することができる。この結果、シール検査装置の敷設面積を小さくすることができる。

なお、本実施形態のように、ワイヤハーネス１６の一方側の終端（図１では右端）をチャンバー１１外部へ引き出す構造であってもよいが、ワイヤハーネスの一方側の終端まで全てをチャンバー内に収容した構成としてもよい。この構成により、上記の導出孔１１Ｃから漏れ出す僅かな気体すら漏れ出さないようにすることができるため、後述する加圧装置１３による加圧制御が容易になる。

チャンバー１１内部には、チャンバー１１の外部からチャンバー１１の内部へチャンバー１１の壁面を貫通するように電極１２Ａが設置されており、電極１２Ａには高電圧発生装置１２Ｂが、接続されている。電極１２Ａが貫通している箇所において、電極１２Ａとチャンバー１１との空隙を埋めた状態で電極１２Ａをチャンバー１１に固定している。ここで、電極１２Ａは、高電圧発生装置１２Ｂから電圧を供給されることによって、気体放電（気中放電）の一種であるコロナ放電によりその電極１２Ａの周辺の空気中の分子などをイオン化させる（以下、「イオン粒子Ｉ」と略す）ものである。尚、ここで発生するイオン化された空気中の分子などの各種イオン粒子Ｉは、少なくとも、イオン検知センサ１４で検知されるまでのある一定の時間にわたり、安定した極性状態を保持可能なものであって、その極性については正負いずれであってもよい。また、本実施形態では、コロナ放電によりイオン粒子を発生させる構成について説明するが、他の放電現象によってイオン粒子を発生させる構成であってもよい。

加圧装置１３は、気体をチャンバー１１の内部へ送り込むことでチャンバー１１内の気圧を上昇させることにより、チャンバー１１の内部とチャンバー１１の外部の間で気圧差を発生させるものである。加圧装置１３は、高圧タンク１３Ａと連通管１３Ｂとを含んで構成される。連通管１３Ｂは、一端が高圧タンク１３Ａに他端がチャンバー１１の連通孔１１Ｂに接続されており、チャンバー１１の外部に設置された高圧タンク１３Ａからの気体が、連通管１３Ｂを介してチャンバー１１内部に封入される。なお、この加圧装置１３による加圧状態を検知するため、チャンバー１１には加圧計１８を付設している。

イオン検知センサ１４は、チャンバー１１の内部からチャンバー１１の外部へ漏れ出すイオンの有無を測定するため、チャンバー１１の外部に設けられる。即ち、このイオン検知センサ１４は、例えば、シール処理が施された電線間空隙の欠陥部分から漏れ出すイオン粒子Ｉの有無や、シール処理が施されたグロメット空隙の欠陥部分から漏れ出すイオン粒子Ｉの有無を測定する。ここで、イオン粒子Ｉの有無の測定例としては、例えば、測定したイオン濃度と、一般的な（清浄な）環境下で浮遊するイオン濃度と、を比較することによって行い、測定したイオン濃度が一般的な環境下でのイオン濃度よりも大きければ、イオン粒子の漏れ有りと検知することができる。また、イオン粒子Ｉの有無の別の測定例としては、ある２つの時点でイオン濃度を測定し、そのイオン濃度の時間変化が増加に転じていれば、イオン粒子の漏れ有りと検知することができる。イオン濃度の時間変化によってイオン粒子の漏れの有無を判定する構成であれば、チャンバー１１の内部から漏れ出したイオン粒子がシール検査装置の周辺を浮遊していても、チャンバー１１の内部からイオン粒子がさらに漏れ出した場合にのみ、イオン粒子の漏れ有りと判定することができる。

次に、本実施形態のシール検査システム１０を用いたグロメットのシール検査方法について説明する。

本発明の第１の実施形態に係るシール検査方法は、
まず、ワイヤハーネス１６によって挿通されたグロメット１５をグロメット取付部１１Ａに取り付けて固定する（固定ステップ）。このとき、ワイヤハーネス１６は、電線間空隙に対するシール処理が施されたものであり、また、ワイヤハーネス１６とグロメット１５の間のグロメット空隙に対してもシール処理が施されている。
続いて、加圧装置１３によりチャンバー１１内部に気体を封入して加圧する（加圧ステップ）。
続いて、高電圧発生装置１２Ｂからチャンバー内部に設けられた電極１２Ａへの印加によって、コロナ放電によるイオンを発生させる（イオン発生ステップ）。
続いて、チャンバー１１内外の気圧差によって、シール処理が施された電線間空隙、またはシール処理が施されたグロメット空隙を介してチャンバー１１内部からチャンバー１１外部へ漏れ出るイオンの有無を検出する（イオン検出ステップ）。

シール処理が施された電線間空隙またはグロメット空隙に欠陥がある場合、つまりそれぞれの空隙に対するシール処理が充分でない場合、チャンバー１１の内部で発生したイオンがチャンバー１１の外部に漏れ出るため、イオン検知センサ１４によってイオンの有無を検知することによって、両空隙の気密性を検査することができる。

以上、本実施形態に係るシール検査システムによれば、検知ガスＧの変わりにイオンを利用してシール検査を行うことによって、シール検査にかかるランニングコストを大幅に軽減することができる。また、環境にやさしいイオンをシール検査に用いることによって、環境への負荷がほとんど発生しない。

さらに、本実施形態のシール検査システムによれば、ワイヤハーネス１６の一方側の終端（図１では右端）までの全てをチャンバー１１の内部に収納せずに、一部を外部へ引き出す構造としているので、チャンバー１１の小型化が可能でありシール検査装置１０Ａも小型化可能となる。また、このように小型化させることができるので、グロメット１５のシール性の試験に必要な作業スペースも小さくてすむ。しかも、チャンバー１１の小型化が可能であることから、加圧装置１３による加圧に要する時間を短縮することができるため、この結果シール検査に要する時間も短くてすむ。

（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、本実施形態において第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。

図２は、本発明の第２の実施形態に係るシール検査システム２０の構成図である。シール検査システム２０が第１の実施形態のシール検査システム１０と異なる点は、イオン検知センサ２１の検知部２１Ａを付設したセンサ治具２２を備えていることである。

センサ治具２２は、検知部２１Ａが中空略箱状のハウジング２２Ａの内部に位置するよう該検知部２１Ａをハウジング２２Ａに埋設させた構成となっている。ハウジング２２Ａは、グロメット１５におけるチャンバー１１の外部に露出した部分に装着される。センサ治具２２をグロメット１５に装着する際には、ワイヤハーネス１６がハウジング２２Ａの内部を貫通する。検知部２１Ａは、ハウジング２２Ａによって形成される空間において、イオン粒子Ｉの有無を検出する。なお、ここでは、グロメット１５におけるチャンバー１１の外部に露出した部分にセンサ治具２２のハウジング２２Ａを装着する構成について説明したが、センサ治具２２を装着時に、グロメット１５におけるチャンバー１１の外部に露出した部分全体を覆うハウジング２２Ａをチャンバー１１に装着するようにしてもよい。

従って、本実施形態によれば、シール処理が施された電線間空隙またはグロメット空隙の欠陥部分から漏れ出すイオン粒子Ｉをハウジング２２Ａの内部に囲い込むことができるので、チャンバー１１から漏れ出るイオン粒子が僅かである場合にも、ハウジング２２Ａの内部でのイオン濃度を高めて確実に検出させることができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、本実施形態において第１の実施形態と同一部分には同一符号を付して重複説明を避ける。

図３は、本発明の第３の実施形態に係るシール検査システム３０の構成図である。シール検査システム３０が第１の実施形態のシール検査システム１０と異なるのは、電極３３Ａと高電圧発生装置３３Bがチャンバー１１外部に設置されている点と、チャンバー１１の内部のイオン粒子Ｉの有無を検知することができるようイオン検知センサ３１をチャンバー１１内部に設けている点と、加圧装置１３の代わりにチャンバー１１の内部気圧を減圧させるための減圧装置３２をチャンバー１１に接続している点と、である。

電極３３Ａは、チャンバー１１外部におけるグロメット１５近傍に設置されている。電極３３Ａには高電圧発生装置１２Ｂが、接続されている。ここで、電極３３Ａは、高電圧発生装置３３Ｂから電圧を供給されることによって、気体放電（気中放電）の一種であるコロナ放電によりその電極３３Ａの周辺の空気中の分子などをイオン化させる（以下、「イオン粒子Ｉ」と略す）ものである。尚、ここで発生するイオン化された空気中の分子などの各種イオン粒子Ｉは、少なくとも、イオン検知センサ３１で検知されるまでのある一定の時間にわたり、安定した極性状態を保持可能なものであって、その極性については正負いずれであってもよい。また、本実施形態では、コロナ放電によりイオン粒子を発生させる構成について説明するが、他の放電現象によってイオン粒子を発生させる構成であってもよい。

イオン検知センサ３１は、該イオン検知センサ３１の検知部３１Ａがチャンバー１１内部に位置する状態で、該検知部３１Ａをチャンバー１１に固設させた構成である。検知部３１Ａが設けられた箇所において、検知部３１Ａとチャンバー１１との空隙を埋めた状態で検知部３１Ａをチャンバー１１に固定している。なお、チャンバー１１内部におけるグロメット１５近傍に位置するよう検知部３１Ａを設けることにより、イオン検知センサ３１は、より多くのイオン粒子が浮遊するイオン濃度の高いところを測定することができるため、より精度良くイオンの有無を検出することができる。また、連通孔１１Ｂと減圧装置３２の中間に検知部３１Ａもしくはイオン検知センサ３１を設けてもよい。

減圧装置３２は、チャンバー１１の内部の空気圧を真空ポンプ３２Ａによって吸引させることにより、チャンバー１１内部の気圧を低下させるものであり、シール処理が施された電線間空隙またはグロメット空隙に欠陥がある場合、チャンバー１１内外に発生する気圧差によってイオン粒子Ｉをチャンバー１１内部に取り込ませるようにしている。本実施形態の減圧装置３２には、チャンバー１１の外部に真空ポンプ３２Ａを設置しており、連通管３２Ｂなどの適宜手段でチャンバー１１の連通孔１１Ｂと連通させている。

次に、本実施形態のシール検査システム３０を用いたグロメットのシール検査方法について、説明する。

本実施形態では、
まず、ワイヤハーネス１６によって挿通されたグロメット１５をグロメット取付部１１Ａに取り付けて固定する（固定ステップ）。このとき、ワイヤハーネス１６は、電線間空隙に対するシール処理が施されたものであり、また、ワイヤハーネス１６とグロメット１５の間のグロメット空隙に対してもシール処理が施されている。
続いて、減圧装置３２によりチャンバー１１内部の気体を吸引する（減圧ステップ）。
続いて、高電圧発生装置３３Ｂからチャンバー１１外部に設けられた電極３３Ａへの印加によって、放電によるイオンを発生させる（イオン発生ステップ）。
続いて、チャンバー１１内外の気圧差によって、シール処理が施された電線間空隙、またはシール処理が施されたグロメット空隙を介してチャンバー１１外部からチャンバー１１内部へ漏れ出るイオンの有無を検出する（イオン検出ステップ）。

シール処理が施された電線間空隙またはグロメット空隙に欠陥がある場合、つまりそれぞれの空隙に対するシール処理が充分でない場合、チャンバー１１の外部で発生したイオンがチャンバー１１の内部に漏れ込むため、イオン検知センサ３１によってイオンの有無を検知することによって、両空隙の気密性を検査することができる。

以上、本実施形態に係るシール検査システムによれば、検知ガスＧの変わりにイオンを利用してシール検査を行うことによって、シール検査にかかるランニングコストを大幅に軽減することができる。また、環境にやさしいイオンをシール検査に用いることによって、環境への負荷がほとんど発生しない。

なお、本発明は上述した各実施形態に何ら限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施し得るものである。例えば、いずれの実施形態でも、コロナ放電を行っているが、特にこれに限定されるものではない。

本発明の第１の実施形態に係るシール検査システムの構成図 本発明の第２の実施形態に係るシール検査システムの構成図 本発明の第３の実施形態に係るシール検査システムの構成図 従来のシール検査装置の構成図

符号の説明

１０、２０、３０ シール検査システム
１０Ａ、２０Ａ、３０Ａ シール検査装置
１１ チャンバー
１１Ａ グロメット取付部
１１Ｂ 連通孔
１１Ｃ 導出孔
１２Ａ、３３Ａ 電極
１２Ｂ、３３Ｂ 高電圧発生装置
１３ 加圧装置
１４、２１、３１ イオン検知センサ
１５ グロメット
１６ ワイヤハーネス
２１ イオン検知センサ
２２ センサ治具
３１ イオン検知センサ
３２ 減圧装置
Ｉ イオン粒子

Claims (8)

1. ワイヤハーネスによって挿通されたグロメットをチャンバーに固定する固定ステップと、
   前記チャンバー内部に気体を封入して加圧する加圧ステップと、
   前記チャンバー内部に設けられた電極への印加によって、放電によるイオンを発生させるイオン発生ステップと、
   前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無を検出するイオン検出ステップと、
   を有することを特徴とするシール検査方法。
2. ワイヤハーネスによって挿通されたグロメットをチャンバーに固定する固定ステップと、
   前記チャンバー内部から気体を吸気して減圧する減圧ステップと、
   前記チャンバー外部に設けられた電極への印加によって、放電によるイオンを発生させるイオン発生ステップと、
   前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を検出するイオン検出ステップと、
   を有することを特徴とするシール検査方法。
3. 前記イオン検出ステップは、前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無、または前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を、イオン濃度の大小に基づいて検出する、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシール検査方法。
4. ワイヤハーネスによって貫通されたグロメットを装着可能にするグロメット取付部と、加圧装置によって排気された気体を封入するための連通部と、を有するチャンバーと、
   前記チャンバー内部に設けられた、放電によるイオンを発生させるための電極と、
   前記チャンバー外部に設けられた、イオンの有無を検出するイオン検知センサと、を備え、
   前記イオン検知センサは、前記グロメットが前記グロメット取付部に装着された場合であって、前記加圧装置による排気によって前記チャンバー内部が加圧され、且つ高電圧発生装置から前記電極への印加によって前記チャンバー内部に放電によるイオンが発生しているとき、前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無を検出する、
   ことを特徴とするシール検査装置。
5. ワイヤハーネスによって貫通されたグロメットを装着可能にするグロメット取付部と、減圧装置による吸気によって気体を放出するための連通部と、を有するチャンバーと、
   前記チャンバー外部に設けられた、放電によるイオンを発生させるための電極と、
   前記チャンバー内部に設けられた、イオンの有無を検出するイオン検知センサと、を備え、
   前記イオン検知センサは、前記グロメットが前記グロメット取付部に装着された場合であって、前記減圧装置による吸気によって前記チャンバー内部が減圧され、且つ高電圧発生装置から前記電極への印加によって前記チャンバー外部に放電によるイオンが発生しているとき、前記ワイヤハーネスを構成する複数の電線間の空隙、または前記ワイヤハーネスと該ワイヤハーネスによって挿通される前記グロメットとの間の空隙、を介して前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を検出する、
   ことを特徴とするシール検査装置。
6. 前記イオン検出センサは、前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ漏れ出るイオンの有無、または前記チャンバー外部から前記チャンバー内部へ漏れ込むイオンの有無を、イオン濃度の大小に基づいて検出する、
   ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載のシール検査装置。
7. 前記チャンバーは、前記チャンバーに前記グロメットを装着する際に、前記ワイヤハーネスを前記チャンバー内部から前記チャンバー外部へ挿通させる導出孔をさらに有し、
   前記導出孔は、前記ワイヤハーネスとの間の空隙を埋めた状態で該ワイヤハーネスを固定する、
   ことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載のシール検査装置。
8. 前記ワイヤハーネスにおける一方の先端部が前記チャンバー内部に収容され、前記ワイヤハーネスにおける他方の先端部が前記チャンバー外部に位置する、
   ことを特徴とする請求項４〜請求項６のいずれか一項に記載のシール検査装置。

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