JPH0581386A - 半導体シミユレーシヨン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 マスクデータおよびプロセスデータの矛盾す
る組み合わせでの使用を防止できるとともに、一方のデ
ータのみの書き換えおよび使用を可能ににする。 【構成】 マスクデータを記憶するマスクデータベース
１４と、プロセスデータを記憶するプロセスデータベー
ス１０と、マスクデータとプロセスデータとの対を示す
ペアデータを記憶するペアデータベース６とを備え、さ
らに、マスクデータおよびプロセスデータの少なくとも
一方に対する編集要求（例えば、内容変更、削除、コピ
ー、名前の変更等）に応じて、ペアデータベース６の記
憶内容を書き換えるペア取扱いモジュール４をさらに備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、マスクに関するマスク
データおよび製造工程に関するプロセスデータとに基づ
いて半導体シミュレーションを行う半導体シミュレーシ
ョン装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体シミュレーションプログラ
ムのマスクに関するマスクデータおよび製造行程に関す
るプロセスデータは、完全に一体化して取り扱われる
か、または全く別個に取り扱われれている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】マスクデータとプロセ
スデータとを完全に一体化すると、両データのうち一方
のデータのみの変更のために両データを処理する必要が
あり、一方のデータのみを使用することができない。

【０００４】マスクデータとプロセスデータとを全く別
個に取り扱うと、ユーザが矛盾する組み合わせでシミュ
レーションを行ってしまう可能性があり、どの組み合わ
せでシミュレーションしたかの記録を行うのが困難とな
る。

【０００５】本発明は、このような状況に鑑みてなされ
たものであり、マスクデータおよびプロセスデータの矛
盾する組み合わせでの使用を防止できるとともに、一方
のデータのみの書き換えおよび使用を可能にする半導体
シミュレーション装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の半導体
シミュレーション装置は、マスクに関するマスクデータ
および製造工程に関するプロセスデータとに基づいて半
導体シミュレーションを行う半導体シミュレーション装
置であって、マスクデータを記憶するマスクデータ記憶
手段（例えば、図１のマスクデータベース１４）と、プ
ロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段（例え
ば、図１のプロセスデータベース１０）と、マスクデー
タとプロセスデータとの対を示すペアデータを記憶する
ペアデータ記憶手段（例えば、図１のペアデータベース
６）とを備えることを特徴とする。

【０００７】請求項２に記載の半導体シミュレーション
装置は、マスクデータおよびプロセスデータの少なくと
も一方に対する編集要求（例えば、内容変更、削除、コ
ピー、名前の変更等）に応じて、ペアデータ記憶手段の
記憶内容を書き換えるペア取扱い手段（例えば、図１の
ペア取扱いモジュール４）をさらに備えることを特徴と
する。

【０００８】請求項３に記載の半導体シミュレーション
装置は、マスクデータおよびプロセスデータの少なくと
も一方に対する編集要求に応じて、ペアデータ記憶手段
の記憶内容を書き換えるとともに編集命令を発するペア
取扱い手段（例えば、図１のペア取扱いモジュール４）
と、編集命令を受けたときに、外部からの入力に応じて
マスクデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるマスクデ
ータ編集手段（例えば、図１のマスクエディタ）と、編
集命令を受けたときに、外部からの入力に応じてプロセ
スデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるプロセスデー
タ編集手段（例えば、図１のプロセスエディタ８）とを
さらに備えることを特徴とする。

【０００９】

【作用】請求項１の構成の半導体シミュレーション装置
においては、ペアデータ記憶手段が、マスクデータとプ
ロセスデータとの対を示すペアデータを記憶しているの
で、マスクデータおよびプロセスデータの矛盾する組み
合わせでの使用を防止できる。また、マスクデータとプ
ロセスデータとをそれぞれ別個の記憶手段に記憶させて
おくので、一方のデータのみの書き換えおよび使用が可
能になる。

【００１０】請求項２の構成の半導体シミュレーション
装置においては、マスクデータおよびプロセスデータの
少なくとも一方に対する編集要求に応じて、ペアデータ
記憶手段に記憶されたペアデータが書き換えられる（例
えば、新たなペアデータが書き込まれる、ペアデータが
変更される、ペアデータが削除される）。従って、編集
がおこなわれても常にマスクデータとペアデータとの対
関係が維持されるので、マスクデータおよびプロセスデ
ータの矛盾する組み合わせでの使用を防止できるととも
に、どの組み合わせでシミュレーションしたかの記録が
容易となる。

【００１１】請求項３の構成の半導体シミュレーション
装置においては、マスクデータおよびプロセスデータの
少なくとも一方に対する編集要求に応じて、ペアデータ
記憶手段の記憶内容が書き換えるとともに編集命令が発
せられる。そして、編集命令が発せられると、外部から
の入力に応じて、マスクデータ記憶手段およびプロセス
データ記憶手段の一方または双方の記憶内容が書き換え
る。従って、マスクデータおよびプロセスデータの一方
のデータのみの書き換えが可能となる。

【００１２】

【実施例】図１は、本発明の半導体シミュレーション装
置の一実施例の構成を示す。インターフェース装置２
は、半導体シミュレーション装置からユーザに対する出
力装置であるＣＲＴまたはＬＣＤからなるディスプレイ
装置と、ユーザから半導体シミュレーション装置に対す
る入力装置であるマウスおよびキーボードとから構成さ
れる。マスクデータベース（以下、「マスクＤＢ」と略
称）１４は、マスクに関するマスクデータを記憶する。
プロセスデータベース（以下、「プロセスＤＢ」と略
称）１０は、製造工程に関するプロセスデータを記憶す
る。ペアデータベース（以下、「ペアＤＢ」と略称）６
は、マスクデータとプロセスデータとの対を示すペアデ
ータを記憶する。

【００１３】ユーザは、マスクデータおよびプロセスデ
ータの少なくとも一方を編集（例えば、内容変更、削
除、コピー、名前の変更等）したいときには、インター
フェース装置２のマウスまたはキーボードを使用してペ
ア取扱いモジュール４にアクセスする。ペア取扱いモジ
ュール４は、ペアＤ６からペアデータを読み出して、イ
ンターフェース装置２のデイスプレイ装置にペアデータ
のリストを表示させる。ユーザは、編集を行いたいマス
クデータもしくはプロセスデータまたはその双方を示す
ペアデータをマウスによって選択する。図２は、インタ
ーフェース装置２のディスプレイ装置に３つのペアデー
タ（Ｐｒｏｃ１，Ｍａｓｋ１）、（Ｐｒｏｃ２，Ｍａｓ
ｋ５）、（Ｐｒｏｃ３，Ｍａｓｋ３）が表示され、破線
２２で示されたペアデータ（Ｐｒｏｃ１，Ｍａｓｋ１）
がユーザのマウス操作によってカーソル２０で指示され
選択されたところが示されている。

【００１４】ペア取扱いモジュール４は、上述のユーザ
によるペアデータ選択に応じて、ペアＤＢ６に記憶され
たペアデータを書き換える（例えば、新たなペアデータ
を書き込む、ペアデータを変更する、ペアデータを削除
する）とともに編集命令（更新命令、新データ命令、削
除命令、コピー命令、または名前変更命令）を発する。
プロセスエディタ８は、編集命令を受けると、インター
フェース装置２を介して供給されるユーザ入力に応じて
プロセスＤＢ１０の記憶内容を書き換える。マスクエデ
ィタ１２は、編集命令を受けると、インターフェース装
置２を介して供給されるユーザ入力に応じてマスクＤＢ
１４の記憶内容を書き換える。図３は、図１の実施例、
特にペア取扱いモジュール４の動作を示すフローチャー
トである。以下、この図を参照して図１の実施例の動作
について説明する。まず、ユーザ入力があると（ステッ
プＳ１）、ペア取扱いモジュール４は、それが、内容更
新要求、削除要求、コピー要求および名前変更要求のい
ずれか判断する。

【００１５】内容更新要求の場合（ステップＳ１０）、
ペア取扱いモジュール４は、データＡを変更してデータ
Ａ’に変更する更新要求か、データＡを変更して新たな
データＢを作る新データ要求か判断する。更新要求の場
合（ステップＳ１１）、ペア取扱いモジュール４は、ユ
ーザによって選択されたペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍ
ａｓｋ‐Ａ）のうちプロセスデータを特定するＰｒｏｃ
‐Ａおよび更新命令をプロセスエディタ８に出力し、マ
スクデータを特定するＭａｓｋ‐Ａおよび更新命令をマ
スクエディタ１２に出力する。これに応じて、プロセス
エディタ８およびマスクエディタ１２は、それぞれ、Ｐ
ｒｏｃ‐ＡおよびＭａｓｋ‐Ａに対応したデータＡをプ
ロセスＤＢ１０およびマスクＤＢ１４から読み出し、デ
ィスプレイ装置に表示する。ユーザは、マウスおよびキ
ーボードを使用してデータＡをデータＡ’に変更し、プ
ロセスエディタ８およびマスクエディタ１２は、変更後
のデータＡ’をプロセスＤＢ１０およびマスクＤＢ１４
に記憶させる（ステップＳ１２）。更新の場合、ペアデ
ータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍａｓｋ‐Ａ）は変更されないの
で、ペア取扱いモジュール４は、ペアＤＢ１４の書き換
えは行わない。

【００１６】新データ要求の場合（ステップＳ１４）、
ペア取扱いモジュール４は、ユーザによって選択された
ペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍａｓｋ‐Ａ）のうちプロ
セスデータを特定するＰｒｏｃ‐Ａおよび新データ命令
をプロセスエディタ８に出力し、マスクデータを特定す
るＭａｓｋ‐Ａおよび新データ命令をマスクエディタ１
２に出力する。これに応じて、プロセスエディタ８およ
びマスクエディタ１２は、それぞれ、Ｐｒｏｃ‐Ａおよ
びＭａｓｋ‐Ａに対応したデータＡをプロセスＤＢ１０
およびマスクＤＢ１４から読み出し、ディスプレイ装置
に表示する。ユーザは、マウスおよびキーボードを使用
してデータＡをデータＢに変更し、プロセスエディタ８
およびマスクエディタ１２は、変更後のデータＢをプロ
セスＤＢ１０およびマスクＤＢ１４に記憶させる（ステ
ップＳ１５）。そして、プロセスエディタ８およびマス
クエディタ１２は、それぞれ新たな名前Ｐｒｏｃ‐Ｂお
よびＭａｓｋ‐Ｂを付ける（ステップＳ１６）。ペア取
扱いモジュール４は、これらの名前を受けて、ペアデー
タ（Ｐｒｏｃ‐Ｂ，Ｍａｓｋ‐Ｂ）としてペアＤＢ１４
に書き込む（ステップＳ１３）。

【００１７】削除要求の場合（ステップＳ２０）、ペア
取扱いモジュール４は、ペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍ
ａｓｋ‐Ａ）で特定されるデータが他のペアで使用され
ていなければ、プロセスエディタ８およびマスクエディ
タ１２に削除命令を出力し、プロセスエディタ８および
マスクエディタ１２は、ペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍ
ａｓｋ‐Ａ）で特定されるデータをプロセスＤＢ１０お
よびマスクＤＢ１４から削除する。また、ペア取扱いモ
ジュール４は、ユーザによって選択されたペアデータ
（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍａｓｋ‐Ａ）をペアＤＢ１４から削
除する（ステップＳ２１）。

【００１８】コピー要求の場合（ステップＳ３０）、ペ
ア取扱いモジュール４は、ユーザによって選択されたペ
アデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍａｓｋ‐Ａ）のうちプロセ
スデータを特定するＰｒｏｃ‐Ａおよびコピー命令をプ
ロセスエディタ８に出力し、マスクデータを特定するＭ
ａｓｋ‐Ａおよびコピー命令をマスクエディタ１２に出
力する（ステップＳ３１）。これに応じて、プロセスエ
ディタ８およびマスクエディタ１２は、それぞれ、Ｐｒ
ｏｃ‐ＡおよびＭａｓｋ‐Ａに対応したデータＡをプロ
セスＤＢ１０およびマスクＤＢ１４から読み出し、新た
なデータ例えばデータＣとしてプロセスＤＢ１０および
マスクＤＢ１４に記憶させる。そして、プロセスエディ
タ８およびマスクエディタ１２は、それぞれ新たな名前
例えばＰｒｏｃ‐ＣおよびＭａｓｋ‐Ｃを付ける。ペア
取扱いモジュール４は、これらの名前を受けて、ペアデ
ータ（Ｐｒｏｃ‐Ｃ，Ｍａｓｋ‐Ｃ）としてペアＤＢ１
４に書き込む（ステップＳ３２）。

【００１９】名前変更要求の場合（ステップＳ４０）、
ペア取扱いモジュール４は、ユーザによって選択された
ペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ａ，Ｍａｓｋ‐Ａ）のうちプロ
セスデータを特定するＰｒｏｃ‐Ａおよび名前変更命令
をプロセスエディタ８に出力し、マスクデータを特定す
るＭａｓｋ‐Ａおよび名前変更命令をマスクエディタ１
２に出力する（ステップＳ４１）。これに応じて、プロ
セスエディタ８およびマスクエディタ１２は、それぞれ
新たな名前例えばＰｒｏｃ‐ＤおよびＭａｓｋ‐Ｄを付
ける（ステップＳ４２）。ペア取扱いモジュール４は、
これらの名前を受けて、ペアデータ（Ｐｒｏｃ‐Ｄ，Ｍ
ａｓｋ‐Ｄ）としてペアＤＢ１４に書き込む（ステップ
Ｓ４３）。

【００２０】上述のように、マスクデータおよびプロセ
スデータは、常にペアで取り扱われるので、ユーザが矛
盾する組み合わせを選択するおそれはない。また、両デ
ータは、別個に編集可能なので、フレキシブルにデータ
の変更等を行うことができる。

【００２１】なお、上記実施例においては、ユーザ入力
に応じて編集を行ったが、別の装置からの入力に応じて
行っても良い。要するに、外部からの入力があればよ
い。

【００２２】

【発明の効果】以上の説明から明かなように、請求項１
の半導体シミュレーション装置によれば、ペアデータ記
憶手段が、マスクデータとプロセスデータとの対を示す
ペアデータを記憶するペアデータ記憶手段を設けたの
で、マスクデータおよびプロセスデータの矛盾する組み
合わせでの使用を防止できる。また、マスクデータとプ
ロセスデータとをそれぞれ別個の記憶手段に記憶させて
おくので、一方のデータのみの書き換えおよび使用が可
能になる。

【００２３】請求項２の半導体シミュレーション装置に
よれば、マスクデータおよびプロセスデータの少なくと
も一方に対する編集要求に応じて、ペアデータ記憶手段
に記憶されたペアデータが書き換えるようにしたので、
編集が行われても、マスクデータとペアデータとの対関
係が常に維持されるから、マスクデータおよびプロセス
データの矛盾する組み合わせでの使用を防止できるとと
もに、どの組み合わせでシミュレーションしたかの記録
が容易となる。

【００２４】請求項３の半導体シミュレーション装置に
よれば、編集要求があると、外部からの入力に応じて、
マスクデータ記憶手段およびプロセスデータ記憶手段を
それぞれ別個に書き換える編集手段を設けたので、マス
クデータおよびプロセスデータの一方のデータのみの書
き換えが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の半導体シミュレーション装置の一実施
例の構成を示すブロック図である。

【図２】ディスプレイ装置に３つのペアデータが表示さ
れ、１つのペアデータがユーザのマウス操作によって選
択されたところを示す図である。

【図３】図１の実施例、特にペア取扱いモジュール４の
動作を示すフローチャートである。

【符号の説明】

４ ペア取扱いモジュール ６ ペアデータベース ８ プロセスエディタ １０ プロセスベータベース １２ マスクエディタ １４ マスクデータベース

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクに関するマスクデータおよび製造
   工程に関するプロセスデータとに基づいて半導体シミュ
   レーションを行う半導体シミュレーション装置におい
   て、 前記マスクデータを記憶するマスクデータ記憶手段と、 前記プロセスデータを記憶するプロセスデータ記憶手段
   と、 前記マスクデータと前記プロセスデータとの対を示すペ
   アデータを記憶するペアデータ記憶手段とを備えること
   を特徴とする半導体シミュレーション装置。
2. 【請求項２】 前記マスクデータおよび前記プロセスデ
   ータの少なくとも一方に対する編集要求に応じて、前記
   ペアデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるペア取り扱
   い手段をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の
   半導体シミュレーション装置。
3. 【請求項３】 前記マスクデータおよび前記プロセスデ
   ータの少なくとも一方に対する編集要求に応じて、前記
   ペアデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるとともに編
   集命令を発するペア取り扱い手段と、 前記編集命令を受けたときに、外部からの入力に応じて
   前記マスクデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるマス
   クデータ編集手段と、 前記編集命令を受けたときに、外部からの入力に応じて
   前記プロセスデータ記憶手段の記憶内容を書き換えるプ
   ロセスデータ編集手段とをさらに備えることを特徴とす
   る請求項１記載の半導体シミュレーション装置。