JPH0576186A - 静電式アクチユエータ - Google Patents
静電式アクチユエータInfo
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- JPH0576186A JPH0576186A JP17582291A JP17582291A JPH0576186A JP H0576186 A JPH0576186 A JP H0576186A JP 17582291 A JP17582291 A JP 17582291A JP 17582291 A JP17582291 A JP 17582291A JP H0576186 A JPH0576186 A JP H0576186A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大きな駆動力を発生させ、変位量を大きくす
ることができる静電アクチュエータを提供する。 【構成】 複数の櫛歯状固定電極１１に対し、１対の電
極が絶縁体を介して上下に形成された複数の櫛歯状可動
電極２１を互いに噛み合うように配置し、例えば上側の
可動電極には案内部材３Ａを介して正の電圧を、下側の
可動電極と固定電極１１には負の電圧をそれぞれ印加す
ると、可動電極２１の上と下とで電界強度に差ができる
ので、これを利用して大きな静電駆動力が得られるよう
にし、変位量の増大を図る。
ることができる静電アクチュエータを提供する。 【構成】 複数の櫛歯状固定電極１１に対し、１対の電
極が絶縁体を介して上下に形成された複数の櫛歯状可動
電極２１を互いに噛み合うように配置し、例えば上側の
可動電極には案内部材３Ａを介して正の電圧を、下側の
可動電極と固定電極１１には負の電圧をそれぞれ印加す
ると、可動電極２１の上と下とで電界強度に差ができる
ので、これを利用して大きな静電駆動力が得られるよう
にし、変位量の増大を図る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電界強度の不平衡を
利用して駆動力を得る静電式アクチュエータに関する。
利用して駆動力を得る静電式アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１３にこの種の従来例を示す。これ
は、櫛歯状の固定電極Ｆと可動電極Ｍとを適当なギャッ
プを設けて互いに噛み合わせ、両者に電圧を印加するこ
とにより、櫛歯の長手方向に変位させ、櫛歯数に比例す
る静電駆動力を得るものである。の如く電圧を印加し
たときは矢印Ｒ１の方向に、またの如く電圧を印加し
たときは矢印Ｒ２の方向にそれぞれ変位する。なお、Ｈ
は支持部（固定部）を示す。この場合に作用する静電駆
動力Ｆはεを比誘電率、ｄをギャップ間距離、ｎを櫛歯
数、ｔを歯厚、Ｖを印加電圧とすれば、 Ｆ＝ε・ｎ・ｔ・Ｖ2 ／２ｄ として表わされる。図１４に別の従来例を示す。これ
は、固定電極Ｆと可動電極Ｍとを対向配置し、両者に電
圧を印加して矢印Ｆの如きギャップ間を小さくする方向
の静電駆動力を得るものである。この場合の静電駆動力
Ｆはεを比誘電率、ｄをギャップ間距離、Ｓを対向面
積、Ｖを印加電圧とすれば、 Ｆ＝ε・Ｓ・Ｖ2 ／２ｄ2 として表わされる。
は、櫛歯状の固定電極Ｆと可動電極Ｍとを適当なギャッ
プを設けて互いに噛み合わせ、両者に電圧を印加するこ
とにより、櫛歯の長手方向に変位させ、櫛歯数に比例す
る静電駆動力を得るものである。の如く電圧を印加し
たときは矢印Ｒ１の方向に、またの如く電圧を印加し
たときは矢印Ｒ２の方向にそれぞれ変位する。なお、Ｈ
は支持部（固定部）を示す。この場合に作用する静電駆
動力Ｆはεを比誘電率、ｄをギャップ間距離、ｎを櫛歯
数、ｔを歯厚、Ｖを印加電圧とすれば、 Ｆ＝ε・ｎ・ｔ・Ｖ2 ／２ｄ として表わされる。図１４に別の従来例を示す。これ
は、固定電極Ｆと可動電極Ｍとを対向配置し、両者に電
圧を印加して矢印Ｆの如きギャップ間を小さくする方向
の静電駆動力を得るものである。この場合の静電駆動力
Ｆはεを比誘電率、ｄをギャップ間距離、Ｓを対向面
積、Ｖを印加電圧とすれば、 Ｆ＝ε・Ｓ・Ｖ2 ／２ｄ2 として表わされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】後者に示すものは、ギ
ャップ間距離ｄの２乗に反比例するので、変位量を大き
くすべくギャップを大きく設定すると、駆動力が得られ
ないという問題がある。一方、前者は後者に比べて変位
量を大きくすることができるが、製作し得る櫛歯数，ギ
ャップ間距離，歯厚等に限界があり、その結果大きな駆
動力が得られないという問題がある。したがって、この
発明の課題は大きな駆動力および変位量を発生し得るよ
うにすることにある。
ャップ間距離ｄの２乗に反比例するので、変位量を大き
くすべくギャップを大きく設定すると、駆動力が得られ
ないという問題がある。一方、前者は後者に比べて変位
量を大きくすることができるが、製作し得る櫛歯数，ギ
ャップ間距離，歯厚等に限界があり、その結果大きな駆
動力が得られないという問題がある。したがって、この
発明の課題は大きな駆動力および変位量を発生し得るよ
うにすることにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、第１の発明では、櫛歯状の固定電極を持つ固定
部材と、絶縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛
歯と噛み合う櫛歯状の第１，第２の可動電極を持つ可動
部材と、この可動部材を一方向にのみ案内する案内部材
とを備え、この案内部材を介して前記可動電極のいずれ
か一方および固定電極と残りの可動電極との間に電圧を
印加して前記可動部材を一方向に駆動可能にしてなるこ
とを特徴としている。第２の発明では、第１の発明にお
いて前記絶縁体と第１，第２可動電極のいずれか一方を
誘電体にて形成することを特徴としている。また、第３
の発明では、第１または第２の発明において、前記固定
部材に対し少なくとも可動部材を２枚以上積層し、駆動
力の増大を図ることを特徴としている。さらに、第４の
発明では、第１ないし第３の発明のいずれかにおいて、
前記案内部材を弾性支持ばねとすることを特徴としてい
る。また、第５の発明では、第１ないし第４の発明のい
ずれかにおいて、前記案内部材を固定電極の櫛歯と案内
レールとから構成することを特徴としている。
るため、第１の発明では、櫛歯状の固定電極を持つ固定
部材と、絶縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛
歯と噛み合う櫛歯状の第１，第２の可動電極を持つ可動
部材と、この可動部材を一方向にのみ案内する案内部材
とを備え、この案内部材を介して前記可動電極のいずれ
か一方および固定電極と残りの可動電極との間に電圧を
印加して前記可動部材を一方向に駆動可能にしてなるこ
とを特徴としている。第２の発明では、第１の発明にお
いて前記絶縁体と第１，第２可動電極のいずれか一方を
誘電体にて形成することを特徴としている。また、第３
の発明では、第１または第２の発明において、前記固定
部材に対し少なくとも可動部材を２枚以上積層し、駆動
力の増大を図ることを特徴としている。さらに、第４の
発明では、第１ないし第３の発明のいずれかにおいて、
前記案内部材を弾性支持ばねとすることを特徴としてい
る。また、第５の発明では、第１ないし第４の発明のい
ずれかにおいて、前記案内部材を固定電極の櫛歯と案内
レールとから構成することを特徴としている。
【０００５】第６の発明では、円筒状の固定電極と、絶
縁体により互いに絶縁され前記固定電極の内部に設けら
れる第１，第２の可動電極と、この第１，第２可動電極
を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、この案内部
材を介して前記可動電極のいずれか一方と固定電極間に
電圧を印加して可動電極を一方向に駆動可能にしたこと
を特徴としている。第７の発明では、第６の発明におい
て、前記絶縁体と可動電極のいずれか一方を誘電体にて
形成したことを特徴としている。また、第８の発明で
は、櫛歯状の固定電極を持つステータと、これに噛み合
うように各々が絶縁体を介して互いに絶縁された第１な
いし第４の可動電極を持つロータと、このロータの軸部
両端に形成され前記第１，第３の可動電極と接続される
第１の回転電極および前記第２，第４の可動電極と接続
される第２の回転電極と、前記ロータを第１，第２の回
転電極を介してステータに押圧固定する第１，第２のブ
ラシとを備え、前記第１のブラシとステータとの間に電
圧を印加して前記ロータを回転駆動可能にしたことを特
徴としている。
縁体により互いに絶縁され前記固定電極の内部に設けら
れる第１，第２の可動電極と、この第１，第２可動電極
を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、この案内部
材を介して前記可動電極のいずれか一方と固定電極間に
電圧を印加して可動電極を一方向に駆動可能にしたこと
を特徴としている。第７の発明では、第６の発明におい
て、前記絶縁体と可動電極のいずれか一方を誘電体にて
形成したことを特徴としている。また、第８の発明で
は、櫛歯状の固定電極を持つステータと、これに噛み合
うように各々が絶縁体を介して互いに絶縁された第１な
いし第４の可動電極を持つロータと、このロータの軸部
両端に形成され前記第１，第３の可動電極と接続される
第１の回転電極および前記第２，第４の可動電極と接続
される第２の回転電極と、前記ロータを第１，第２の回
転電極を介してステータに押圧固定する第１，第２のブ
ラシとを備え、前記第１のブラシとステータとの間に電
圧を印加して前記ロータを回転駆動可能にしたことを特
徴としている。
【０００６】第９の発明では、第８の発明において、前
記絶縁体と第１，第３の可動電極、または絶縁体と第
２，第４の可動電極を誘電体にて形成したことを特徴と
している。また、第１０の発明では、円板を切り欠いて
形成され、絶縁体を介して互いに絶縁された第１，第２
の可動電極を持つロータと、このロータを回転可能なよ
うに挟みつけて支持する１対のステータとを備え、ステ
ータの軸支持部から第２電極へ電圧を供給することによ
り、前記ロータを回転駆動可能にしたことを特徴として
いる。さらに、第１１の発明では、第１０の発明におい
て、前記絶縁体と可動電極のいずれか一方を誘電体にて
形成したことを特徴としている。
記絶縁体と第１，第３の可動電極、または絶縁体と第
２，第４の可動電極を誘電体にて形成したことを特徴と
している。また、第１０の発明では、円板を切り欠いて
形成され、絶縁体を介して互いに絶縁された第１，第２
の可動電極を持つロータと、このロータを回転可能なよ
うに挟みつけて支持する１対のステータとを備え、ステ
ータの軸支持部から第２電極へ電圧を供給することによ
り、前記ロータを回転駆動可能にしたことを特徴として
いる。さらに、第１１の発明では、第１０の発明におい
て、前記絶縁体と可動電極のいずれか一方を誘電体にて
形成したことを特徴としている。
【０００７】
【作用】櫛歯状固定電極に対して互いに絶縁された１対
の櫛歯状可動電極を互いに噛み合うように配置し、可動
電極のいずれか一方および固定電極と残りの可動電極と
の間に電圧を印加することにより、大きな駆動力を発生
し得るようにし、変位量を大きくする。また、１対の可
動電極の代わりに電極と誘電体で構成するようにしても
良い。
の櫛歯状可動電極を互いに噛み合うように配置し、可動
電極のいずれか一方および固定電極と残りの可動電極と
の間に電圧を印加することにより、大きな駆動力を発生
し得るようにし、変位量を大きくする。また、１対の可
動電極の代わりに電極と誘電体で構成するようにしても
良い。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の実施例を示す斜視図であ
る。同図において、１は櫛歯状固定電極１１が形成され
た固定部材、２は絶縁層を介して第１，第２の可動電極
２１Ａ，２１Ｂ（図２を参照のこと）が形成された可動
部材、３Ａ，３Ｂは案内部材である。すなわち、櫛歯状
固定電極１に対して互いに絶縁された１対の櫛歯状可動
電極２とを相互に噛み合うように配置して構成される。
なお、案内部材としてはここではばねを想定している
が、これと同等の機能を持つものならば何を用いても良
い。図２はこの発明による原理を説明するための説明図
である。これは、図１のＡ断面の一部を示すもので、２
つの固定電極１１Ａ，１１Ｂと１対の可動電極２１Ａ，
２１Ｂとが図示のように配置され、例えば可動電極２１
Ａと固定電極１１Ａおよび１１Ｂとを電源Ｖの負極に接
続し、可動電極２１Ｂを電源Ｖの正極に接続することに
より、可動電極２１Ａ，２１Ｂに働く電界強度を互いに
異ならせ、静電駆動力Ｆを得るものである。なお、この
ときの静電駆動力Ｆは、 Ｆ＝ε・ｎ・Ｌ・Ｖ2 ／２ｄ となる。ここに、Ｌは櫛歯電極の長さを示す。このと
き、可動電極が固定電極中にある限りは可動電極に力が
発生するので、固定電極の厚さを大きくすることによ
り、変位量を大きくすることができる。また、発生する
力が櫛歯電極の長さＬに比例するので、従来のものより
も静電駆動力Ｆを大きくすることができる。また、図１
３に示すものでは駆動時に力が働くのは常に全櫛歯数の
半分であるが、この実施例では常に全櫛歯数に力が発生
するので、さらに大きな力が得られることになる。
る。同図において、１は櫛歯状固定電極１１が形成され
た固定部材、２は絶縁層を介して第１，第２の可動電極
２１Ａ，２１Ｂ（図２を参照のこと）が形成された可動
部材、３Ａ，３Ｂは案内部材である。すなわち、櫛歯状
固定電極１に対して互いに絶縁された１対の櫛歯状可動
電極２とを相互に噛み合うように配置して構成される。
なお、案内部材としてはここではばねを想定している
が、これと同等の機能を持つものならば何を用いても良
い。図２はこの発明による原理を説明するための説明図
である。これは、図１のＡ断面の一部を示すもので、２
つの固定電極１１Ａ，１１Ｂと１対の可動電極２１Ａ，
２１Ｂとが図示のように配置され、例えば可動電極２１
Ａと固定電極１１Ａおよび１１Ｂとを電源Ｖの負極に接
続し、可動電極２１Ｂを電源Ｖの正極に接続することに
より、可動電極２１Ａ，２１Ｂに働く電界強度を互いに
異ならせ、静電駆動力Ｆを得るものである。なお、この
ときの静電駆動力Ｆは、 Ｆ＝ε・ｎ・Ｌ・Ｖ2 ／２ｄ となる。ここに、Ｌは櫛歯電極の長さを示す。このと
き、可動電極が固定電極中にある限りは可動電極に力が
発生するので、固定電極の厚さを大きくすることによ
り、変位量を大きくすることができる。また、発生する
力が櫛歯電極の長さＬに比例するので、従来のものより
も静電駆動力Ｆを大きくすることができる。また、図１
３に示すものでは駆動時に力が働くのは常に全櫛歯数の
半分であるが、この実施例では常に全櫛歯数に力が発生
するので、さらに大きな力が得られることになる。
【０００９】したがって、図１の構成において、案内部
材３Ｂと固定部材１とをのように接続し、案内部材３
Ａと固定部材１との間に実線にて示すような電圧Ｖを印
加すれば、上記のような原理により可動部材２は実線の
矢印で示す方向（上向き）に動くことになる。また、案
内部材３Ａと固定部材１とをのように接続し、案内部
材３Ｂと固定部材１との間に点線にて示すような電圧Ｖ
を印加すれば、同様の原理により可動部材２は点線の矢
印で示す方向（下向き）に動くことになる。このとき、
可動電極２１Ａ，２１Ｂには案内部材３Ａ，３Ｂを介し
て電圧が印加されることから、案内部材３Ａと可動電極
２１Ａ、案内部材３Ｂと可動電極２１Ｂとが互いに接続
されている。図３にその製法の概要を示す。まず、
（イ）ではシリコン（Ｓｉ）の基板に絶縁膜とＳｉを積
層する。次に、（ロ）においてエッチングにより可動部
の外形を形成した後、（ハ）で裏面からエッチングし可
動部を形成する。
材３Ｂと固定部材１とをのように接続し、案内部材３
Ａと固定部材１との間に実線にて示すような電圧Ｖを印
加すれば、上記のような原理により可動部材２は実線の
矢印で示す方向（上向き）に動くことになる。また、案
内部材３Ａと固定部材１とをのように接続し、案内部
材３Ｂと固定部材１との間に点線にて示すような電圧Ｖ
を印加すれば、同様の原理により可動部材２は点線の矢
印で示す方向（下向き）に動くことになる。このとき、
可動電極２１Ａ，２１Ｂには案内部材３Ａ，３Ｂを介し
て電圧が印加されることから、案内部材３Ａと可動電極
２１Ａ、案内部材３Ｂと可動電極２１Ｂとが互いに接続
されている。図３にその製法の概要を示す。まず、
（イ）ではシリコン（Ｓｉ）の基板に絶縁膜とＳｉを積
層する。次に、（ロ）においてエッチングにより可動部
の外形を形成した後、（ハ）で裏面からエッチングし可
動部を形成する。
【００１０】図１では可動部材を１枚にしたが、これを
２枚以上積層することができる。図４はかかる場合の実
施例を示す斜視図で、３枚積層した例である。このよう
に可動部材を適当な間隔を保って３枚積層することによ
り、各可動部材には上述の如き静電力がそれぞれ作用す
ることになるので、図１のものより３倍の駆動力を得る
ことができ、Ｎ枚積層すればＮ倍の駆動力を得ることが
可能となる。図５にその製法の概要を示す。（イ），
（ロ）は図３と同じである。（ハ）では絶縁層と犠牲層
を形成し、この上に（ニ）の如く第２基板（Ｓｉ，絶縁
膜，Ｓｉ）を積層した後、（ホ）で第２可動部の外形を
形成する。さらに、（ヘ）では犠牲層，絶縁層および第
３基板を積層し、（ト）で第３可動部の外形を形成す
る。最後に、（チ）で裏面からエッチングして第１可動
部を形成するとともに、犠牲層を除去して完成する。
２枚以上積層することができる。図４はかかる場合の実
施例を示す斜視図で、３枚積層した例である。このよう
に可動部材を適当な間隔を保って３枚積層することによ
り、各可動部材には上述の如き静電力がそれぞれ作用す
ることになるので、図１のものより３倍の駆動力を得る
ことができ、Ｎ枚積層すればＮ倍の駆動力を得ることが
可能となる。図５にその製法の概要を示す。（イ），
（ロ）は図３と同じである。（ハ）では絶縁層と犠牲層
を形成し、この上に（ニ）の如く第２基板（Ｓｉ，絶縁
膜，Ｓｉ）を積層した後、（ホ）で第２可動部の外形を
形成する。さらに、（ヘ）では犠牲層，絶縁層および第
３基板を積層し、（ト）で第３可動部の外形を形成す
る。最後に、（チ）で裏面からエッチングして第１可動
部を形成するとともに、犠牲層を除去して完成する。
【００１１】図２では絶縁層を介して１対の可動電極を
設けるようにしているが、絶縁層と可動電極のいずれか
一方を誘電体に置き換えても良い。図６はかかる原理を
説明するための説明図である。これは、可動電極は２１
Ａだけとし、これに誘電体（誘電率εA ）２１Ｄを貼り
合わせて固定電極１１Ａおよび１１Ｂに対向させ、誘電
体２１Ｄよりも高い比誘電率εB を持つフロンやアルコ
ール等の液体中に配置して図示の如く電圧を印加するよ
うにしたもので、こうすることにより図２の場合と同様
の駆動力Ｆを得ることができる。ここに、εA ＜εB と
し、上面の電界強度をＥ１、下面のそれをＥ２とする
と、駆動力Ｆは、 Ｆ＝εB （Ｅ１2 −Ｅ２2 ） と表わされる。
設けるようにしているが、絶縁層と可動電極のいずれか
一方を誘電体に置き換えても良い。図６はかかる原理を
説明するための説明図である。これは、可動電極は２１
Ａだけとし、これに誘電体（誘電率εA ）２１Ｄを貼り
合わせて固定電極１１Ａおよび１１Ｂに対向させ、誘電
体２１Ｄよりも高い比誘電率εB を持つフロンやアルコ
ール等の液体中に配置して図示の如く電圧を印加するよ
うにしたもので、こうすることにより図２の場合と同様
の駆動力Ｆを得ることができる。ここに、εA ＜εB と
し、上面の電界強度をＥ１、下面のそれをＥ２とする
と、駆動力Ｆは、 Ｆ＝εB （Ｅ１2 −Ｅ２2 ） と表わされる。
【００１２】図７に図１の変形例を示す。これは櫛歯状
の固定電極１１Ｃを持つ固定部材１と、これに噛み合い
各櫛歯間に僅かな隙間を持ってスライドする可動電極２
２Ａ，２２Ｂからなる可動部材２２を配置する。可動電
極２２Ａと２２Ｂとは図１と同じく、絶縁体２２Ｃを介
して絶縁され、固定部材１には可動部材２２が低摩擦で
摺動し得るように僅かな突部４Ａ，４Ｂを設け、この部
分でのみ可動部材２２が接するように構成する。つま
り、突部４Ａ，４Ｂを含む部分は２つの可動電極２２
Ａ，２２Ｂに電圧を印加するための第１，第２接点５
Ａ，５Ｂを形成しており、第１接点５Ａと第１可動電極
２２Ａおよび第２接点５Ｂと第２可動電極２２Ｂがそれ
ぞれ接続され、２つの接点とも別の絶縁体２２Ｄを介し
て固定電極１１Ｃと絶縁されている。６Ａ，６Ｂはスイ
ッチで、図示の位置にあるときは第２接点５Ｂと第２可
動電極２２Ｂには正の電圧が、また固定電極１１Ｃおよ
び第１接点５Ａと第１可動電極２２Ａには負の電圧がそ
れぞれ印加され、点線の位置にあるときはこれらの関係
が逆になる。以上のことから、この実施例は図１に示す
ものを９０度回転させたものに相当する、ということが
できる。
の固定電極１１Ｃを持つ固定部材１と、これに噛み合い
各櫛歯間に僅かな隙間を持ってスライドする可動電極２
２Ａ，２２Ｂからなる可動部材２２を配置する。可動電
極２２Ａと２２Ｂとは図１と同じく、絶縁体２２Ｃを介
して絶縁され、固定部材１には可動部材２２が低摩擦で
摺動し得るように僅かな突部４Ａ，４Ｂを設け、この部
分でのみ可動部材２２が接するように構成する。つま
り、突部４Ａ，４Ｂを含む部分は２つの可動電極２２
Ａ，２２Ｂに電圧を印加するための第１，第２接点５
Ａ，５Ｂを形成しており、第１接点５Ａと第１可動電極
２２Ａおよび第２接点５Ｂと第２可動電極２２Ｂがそれ
ぞれ接続され、２つの接点とも別の絶縁体２２Ｄを介し
て固定電極１１Ｃと絶縁されている。６Ａ，６Ｂはスイ
ッチで、図示の位置にあるときは第２接点５Ｂと第２可
動電極２２Ｂには正の電圧が、また固定電極１１Ｃおよ
び第１接点５Ａと第１可動電極２２Ａには負の電圧がそ
れぞれ印加され、点線の位置にあるときはこれらの関係
が逆になる。以上のことから、この実施例は図１に示す
ものを９０度回転させたものに相当する、ということが
できる。
【００１３】このような構成において、各電極に実線で
示す如き電圧を印加すると、図２で説明したように第
１，第２可動電極２２Ａ，２２Ｂと固定電極１１Ｃとの
間に生じる電界により、実線矢印の向きに変位する。こ
れに対し、各電極に点線で示すような電圧を印加すれ
ば、第１，第２可動電極２２Ａ，２２Ｂの電圧が上記と
は逆になり、破線矢印の向きに変位する。こうすること
により、固定電極の長さに応じた大きな変位量を取り出
し得るアクチュエータを実現することができる。ここ
で、櫛歯数を増したり、可動部材を適宜な距離を保って
並列に設置することにより、駆動力を向上することが可
能となる。なお、特に図示はしていないが、この場合も
２つの可動電極の何れか一方と絶縁体とを誘電体に置き
換えることができるのは勿論である。
示す如き電圧を印加すると、図２で説明したように第
１，第２可動電極２２Ａ，２２Ｂと固定電極１１Ｃとの
間に生じる電界により、実線矢印の向きに変位する。こ
れに対し、各電極に点線で示すような電圧を印加すれ
ば、第１，第２可動電極２２Ａ，２２Ｂの電圧が上記と
は逆になり、破線矢印の向きに変位する。こうすること
により、固定電極の長さに応じた大きな変位量を取り出
し得るアクチュエータを実現することができる。ここ
で、櫛歯数を増したり、可動部材を適宜な距離を保って
並列に設置することにより、駆動力を向上することが可
能となる。なお、特に図示はしていないが、この場合も
２つの可動電極の何れか一方と絶縁体とを誘電体に置き
換えることができるのは勿論である。
【００１４】図８にピストン型アクチュエータの例を示
す。これは、円板状の第１，第２可動電極２３Ａ，２３
Ｂを絶縁体２３Ｃを挟んで積層して可動部材２３を構成
し、この可動部材の外形直径よりも僅かに大きい内径を
持つ円筒状の固定電極１１Ｄ内に配置する。第１，第２
可動電極２３Ａ，２３Ｂの各面に対し垂直に導電性の案
内部材３Ｃ，３Ｄを取り付け、軸受７Ａ，７Ｂにて支持
する。そして、例えば図示のように第１可動電極２３Ａ
と固定電極１１Ｄ間を短絡し、第２可動電極２３Ｂと固
定電極１１Ｄ間に電圧を印加すると、矢印の向きに可動
部材２３が変位し、案内部材３Ｃ，３Ｄを介して外に力
を発生する。円筒状の固定電極１１Ｄの長さに応じて変
位可能なので、大きなストロークを得ることが可能とな
る。図９に２つの可動電極の何れか一方と絶縁体とを誘
電体に置き換えた例を示すが、その原理は図６で説明し
た通りなので、詳細は省略する。２３Ｄが誘電体であ
る。
す。これは、円板状の第１，第２可動電極２３Ａ，２３
Ｂを絶縁体２３Ｃを挟んで積層して可動部材２３を構成
し、この可動部材の外形直径よりも僅かに大きい内径を
持つ円筒状の固定電極１１Ｄ内に配置する。第１，第２
可動電極２３Ａ，２３Ｂの各面に対し垂直に導電性の案
内部材３Ｃ，３Ｄを取り付け、軸受７Ａ，７Ｂにて支持
する。そして、例えば図示のように第１可動電極２３Ａ
と固定電極１１Ｄ間を短絡し、第２可動電極２３Ｂと固
定電極１１Ｄ間に電圧を印加すると、矢印の向きに可動
部材２３が変位し、案内部材３Ｃ，３Ｄを介して外に力
を発生する。円筒状の固定電極１１Ｄの長さに応じて変
位可能なので、大きなストロークを得ることが可能とな
る。図９に２つの可動電極の何れか一方と絶縁体とを誘
電体に置き換えた例を示すが、その原理は図６で説明し
た通りなので、詳細は省略する。２３Ｄが誘電体であ
る。
【００１５】図１０に静電式モータの例を示し、図１１
にそのＡＡ’Ｂ断面を示す。これは、櫛歯状の固定電極
をステータ１１Ｅとし、これに噛み合うように互いに絶
縁された４つの可動電極２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４
Ｄを持つロータ２４を配置し、その軸部には回転運動が
容易となるように２つの回転電極８Ａ，８Ｂを設ける。
さらに、第１回転電極８Ａには第１および第３可動電極
（２４Ａ，２４Ｃ）を、また第２回転電極８Ｂには第２
および第４可動電極（２４Ｂ，２４Ｄ）をそれぞれ接続
し、ステータ１１Ｅの回転電極８Ａ，８Ｂの周りに回転
可能となるよう、これらを２つのブラシ９Ａ（一方は省
略），９Ｂで押圧固定する。そして、第２ブラシ９Ｂを
ステータ１１Ｅに短絡し、第１ブラシ９Ａとステータ１
１Ｅとの間に電圧を印加すると、各可動電極２４Ａ，２
４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは図１１に示す如き電圧配置とな
り、第１および第３電極とステータとの間に引力が働
き、矢印の向きの回転が生じることになる。
にそのＡＡ’Ｂ断面を示す。これは、櫛歯状の固定電極
をステータ１１Ｅとし、これに噛み合うように互いに絶
縁された４つの可動電極２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４
Ｄを持つロータ２４を配置し、その軸部には回転運動が
容易となるように２つの回転電極８Ａ，８Ｂを設ける。
さらに、第１回転電極８Ａには第１および第３可動電極
（２４Ａ，２４Ｃ）を、また第２回転電極８Ｂには第２
および第４可動電極（２４Ｂ，２４Ｄ）をそれぞれ接続
し、ステータ１１Ｅの回転電極８Ａ，８Ｂの周りに回転
可能となるよう、これらを２つのブラシ９Ａ（一方は省
略），９Ｂで押圧固定する。そして、第２ブラシ９Ｂを
ステータ１１Ｅに短絡し、第１ブラシ９Ａとステータ１
１Ｅとの間に電圧を印加すると、各可動電極２４Ａ，２
４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄは図１１に示す如き電圧配置とな
り、第１および第３電極とステータとの間に引力が働
き、矢印の向きの回転が生じることになる。
【００１６】図１０の例も第２および第４の可動電極を
樹脂フィルムのような誘電体に置き換え、空気中ではな
くフロンやアルコールのような液体の中に配置して駆動
すると、大きなトルクを得ることが可能となる。このと
き、第２のブラシ９Ｂをステータ１１Ｅと短絡する必要
もない。第１および第３可動電極の表面および裏面とス
テータとの間に作用する静電引力は、誘電体によりとも
に片面のみが小さくなるため、力の不平衡が生じて回転
運動となる。このように、回転時常に全ての櫛歯状可動
電極に作用する静電力を利用するので、大きなトルクが
得られるという利点がある。
樹脂フィルムのような誘電体に置き換え、空気中ではな
くフロンやアルコールのような液体の中に配置して駆動
すると、大きなトルクを得ることが可能となる。このと
き、第２のブラシ９Ｂをステータ１１Ｅと短絡する必要
もない。第１および第３可動電極の表面および裏面とス
テータとの間に作用する静電引力は、誘電体によりとも
に片面のみが小さくなるため、力の不平衡が生じて回転
運動となる。このように、回転時常に全ての櫛歯状可動
電極に作用する静電力を利用するので、大きなトルクが
得られるという利点がある。
【００１７】図１２に静電式モータの別の例を示す。こ
れは、円板状ロータ２５を数箇所切り欠いて第１，第２
可動電極２５Ａ，２５Ｂを形成し、軸１０の上下から各
電極に電圧を与えられるように構成したものである。こ
のとき、第１，第２可動電極２５Ａ，２５Ｂ間は絶縁体
を介して互いに絶縁されている。そして、導電性のステ
ータ１１Ｆ，１１Ｇによりロータ２５に対し適当なギャ
ップを保つように挟み、ステータ１１Ｆの軸支持部１２
から第２可動電極２５Ｂへ電圧を供給し得るように固定
し、図示の関係で電圧を印加すると、矢印の向きに回転
することになる。
れは、円板状ロータ２５を数箇所切り欠いて第１，第２
可動電極２５Ａ，２５Ｂを形成し、軸１０の上下から各
電極に電圧を与えられるように構成したものである。こ
のとき、第１，第２可動電極２５Ａ，２５Ｂ間は絶縁体
を介して互いに絶縁されている。そして、導電性のステ
ータ１１Ｆ，１１Ｇによりロータ２５に対し適当なギャ
ップを保つように挟み、ステータ１１Ｆの軸支持部１２
から第２可動電極２５Ｂへ電圧を供給し得るように固定
し、図示の関係で電圧を印加すると、矢印の向きに回転
することになる。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、櫛歯状固定電極に対
して互いに絶縁された１対の櫛歯状可動電極（１対の可
動電極の代わりに電極と誘電体で構成しても良い）が互
いに噛み合うように配置し、可動電極のいずれか一方お
よび固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加する
ことにより、大きな駆動力を発生させることができ、そ
の結果変位も大きくすることが可能となる。
して互いに絶縁された１対の櫛歯状可動電極（１対の可
動電極の代わりに電極と誘電体で構成しても良い）が互
いに噛み合うように配置し、可動電極のいずれか一方お
よび固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加する
ことにより、大きな駆動力を発生させることができ、そ
の結果変位も大きくすることが可能となる。
【図１】この発明の第１実施例を示す斜視図である。
【図２】この発明の原理を説明するための説明図であ
る。
る。
【図３】図１の製造方法を説明するための概要図であ
る。
る。
【図４】可動部材を積層した実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】図４の製造方法を説明するための概要図であ
る。
る。
【図６】この発明の別の原理を説明するための説明図で
ある。
ある。
【図７】図１の変形例を示す斜視図である。
【図８】ピストン型アクチュエータの実施例を示す概要
図である。
図である。
【図９】ピストン型アクチュエータの別の実施例を示す
概要図である。
概要図である。
【図１０】静電式モータの例を示す斜視図である。
【図１１】図１０のＡＡ’Ｂ断面図である。
【図１２】静電式モータの別の例を示す斜視図である。
【図１３】従来例を示す概要図である。
【図１４】従来の別の例を示す概要図である。
【符号の説明】 １ 固定部材 ２ 可動部材 １０ 軸 １１ 固定電極 １２ 軸支持部 ２１ 可動電極 ２２ 可動部材 ２３ 可動部材 ２４ ロータ ２５ ロータ ３Ａ 案内部材 ３Ｂ 案内部材 ４Ａ 突部 ４Ｂ 突部 ５Ａ 第１接点 ５Ｂ 第２接点 ６Ａ スイッチ ６Ｂ スイッチ ７Ａ 軸受 ７Ｂ 軸受 ８Ａ 第１回転電極 ８Ｂ 第２回転電極 ９Ａ ブラシ ９Ｂ ブラシ １１Ａ 固定電極 １１Ｂ 固定電極 １１Ｃ 固定電極 １１Ｄ 固定電極 １１Ｅ ステータ １１Ｆ ステータ １１Ｇ ステータ ２１Ａ 可動電極 ２２Ａ 第１可動電極 ２２Ｂ 第２可動電極 ２２Ｃ 絶縁体 ２３Ａ 第１可動電極 ２３Ｂ 第２可動電極 ２３Ｃ 絶縁体 ２３Ｄ 誘電体 ２４Ａ 第１可動電極 ２４Ｂ 第２可動電極 ２４Ｃ 第３可動電極 ２４Ｄ 第４可動電極 ２５Ａ 第１可動電極 ２５Ｂ 第２可動電極
Claims (11)
- 【請求項１】 櫛歯状の固定電極を持つ固定部材と、絶
縁体により互いに絶縁され前記固定電極の櫛歯と噛み合
う櫛歯状の第１，第２の可動電極を持つ可動部材と、こ
の可動部材を一方向にのみ案内する案内部材とを備え、
この案内部材を介して前記可動電極のいずれか一方およ
び固定電極と残りの可動電極との間に電圧を印加して前
記可動部材を一方向に駆動可能にしてなることを特徴と
する静電式アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記絶縁体と第１，第２可動電極のいず
れか一方を誘電体にて形成してなることを特徴とする請
求項１に記載の静電式アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記固定部材に対し少なくとも可動部材
を２枚以上積層し、駆動力の増大を図ることを特徴とす
る請求項１または２に記載の静電式アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記案内部材を弾性支持ばねとすること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の静電
式アクチュエータ。 - 【請求項５】 前記案内部材は固定電極の櫛歯と案内レ
ールとからなることを特徴とする請求項１ないし４のい
ずれかに記載の静電式アクチュエータ。 - 【請求項６】 円筒状の固定電極と、絶縁体により互い
に絶縁され前記固定電極の内部に設けられる第１，第２
の可動電極と、この第１，第２可動電極を一方向にのみ
案内する案内部材とを備え、この案内部材を介して前記
可動電極のいずれか一方と固定電極間に電圧を印加して
可動電極を一方向に駆動可能にしてなることを特徴とす
る静電式アクチュエータ。 - 【請求項７】 前記絶縁体と可動電極のいずれか一方を
誘電体にて形成してなることを特徴とする請求項６に記
載の静電式アクチュエータ。 - 【請求項８】 櫛歯状の固定電極を持つステータと、こ
れに噛み合うように各々が絶縁体を介して互いに絶縁さ
れた第１ないし第４の可動電極を持つロータと、このロ
ータの軸部両端に形成され前記第１，第３の可動電極と
接続される第１の回転電極および前記第２，第４の可動
電極と接続される第２の回転電極と、前記ロータを第
１，第２の回転電極を介してステータに押圧固定する第
１，第２のブラシとを備え、前記第１のブラシとステー
タとの間に電圧を印加して前記ロータを回転駆動可能に
してなることを特徴とする静電式アクチュエータ。 - 【請求項９】 前記絶縁体と第１，第３の可動電極、ま
たは絶縁体と第２，第４の可動電極を誘電体にて形成し
てなることを特徴とする請求項８に記載の静電式アクチ
ュエータ。 - 【請求項１０】 円板を切り欠いて形成され、絶縁体を
介して互いに絶縁された第１，第２の可動電極を持つロ
ータと、このロータを回転可能なように挟みつけて支持
する１対のステータとを備え、ステータの軸支持部から
第２電極へ電圧を供給することにより、前記ロータを回
転駆動可能にしてなることを特徴とする静電式アクチュ
エータ。 - 【請求項１１】 前記絶縁体と可動電極のいずれか一方
を誘電体にて形成してなることを特徴とする請求項１０
に記載の静電式アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175822A JP3006178B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 静電式アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3175822A JP3006178B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 静電式アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0576186A true JPH0576186A (ja) | 1993-03-26 |
| JP3006178B2 JP3006178B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=16002832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3175822A Expired - Fee Related JP3006178B2 (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 静電式アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3006178B2 (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6134057A (en) * | 1997-09-17 | 2000-10-17 | Minolta Co., Ltd. | Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism |
| US6744173B2 (en) * | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
| KR100439908B1 (ko) * | 2002-02-28 | 2004-07-12 | (주)엠투엔 | 정전형 미세 구동기 |
| US6781279B2 (en) * | 2000-08-18 | 2004-08-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro-actuator with interdigitated combs perpendicular to a base |
| JP2005045976A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電アクチュエータ |
| EP1557703A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-07-27 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Actuator with comb-shaped electrode |
| JP2005205577A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Koshin Kogaku Kogyo Kk | 櫛歯型アクチュエータおよび光制御素子 |
| US7039926B2 (en) | 2001-05-17 | 2006-05-02 | Fujitsu Limited | Optical disk apparatus with fine tracking mechanism |
| JP2006224224A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびその製造方法 |
| WO2006098794A2 (en) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Honeywell International Inc. | Mems device with thinned comb fingers |
| US7356880B2 (en) | 2004-07-26 | 2008-04-15 | Pentax Corporation | Hinge structure of micromirror device |
| US7405506B2 (en) | 2004-08-12 | 2008-07-29 | Tohoku University | Driving mechanism and micro-mirror device provided with the same |
| JP2012506234A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 静電駆動装置、マイクロメカニカル部品、及び静電駆動装置とマイクロメカニカル部品の製造方法 |
| JP2012088083A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Rohm Co Ltd | 静電容量型加速度センサ |
| JP2014036540A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アクチュエータ |
| JP2014085409A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Tohoku Univ | マイクロミラーデバイスの製造方法 |
| US8829629B2 (en) | 2010-09-22 | 2014-09-09 | Rohm Co., Ltd. | Capacitance type sensor |
| WO2014188738A1 (ja) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | アオイ電子株式会社 | 静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット |
| CN111856430A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 合肥工业大学 | 一种用于激光雷达的双层梳齿驱动mems扫描镜及制备方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-06-21 JP JP3175822A patent/JP3006178B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6392827B1 (en) | 1997-09-17 | 2002-05-21 | Minolta Co., Ltd. | Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism |
| US6134057A (en) * | 1997-09-17 | 2000-10-17 | Minolta Co., Ltd. | Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism |
| US6744173B2 (en) * | 2000-03-24 | 2004-06-01 | Analog Devices, Inc. | Multi-layer, self-aligned vertical combdrive electrostatic actuators and fabrication methods |
| US7083737B2 (en) | 2000-08-18 | 2006-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for manufacturing a micro-actuator |
| US6781279B2 (en) * | 2000-08-18 | 2004-08-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Micro-actuator with interdigitated combs perpendicular to a base |
| US7039926B2 (en) | 2001-05-17 | 2006-05-02 | Fujitsu Limited | Optical disk apparatus with fine tracking mechanism |
| KR100439908B1 (ko) * | 2002-02-28 | 2004-07-12 | (주)엠투엔 | 정전형 미세 구동기 |
| JP2005045976A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電アクチュエータ |
| EP1557703A1 (en) * | 2004-01-26 | 2005-07-27 | Yamaichi Electronics Co., Ltd. | Actuator with comb-shaped electrode |
| JP2005205577A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Koshin Kogaku Kogyo Kk | 櫛歯型アクチュエータおよび光制御素子 |
| JP4559744B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2010-10-13 | 光伸光学工業株式会社 | 櫛歯型アクチュエータおよび光制御素子 |
| US7224097B2 (en) | 2004-01-26 | 2007-05-29 | Yamichi Electroncis Co., Ltd. | Comb-shaped actuator with off centered electrodes |
| US7356880B2 (en) | 2004-07-26 | 2008-04-15 | Pentax Corporation | Hinge structure of micromirror device |
| US7405506B2 (en) | 2004-08-12 | 2008-07-29 | Tohoku University | Driving mechanism and micro-mirror device provided with the same |
| JP2006224224A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子およびその製造方法 |
| US8142670B2 (en) | 2005-02-16 | 2012-03-27 | Fujitsu Limited | Micro-oscillating element and method of making the same |
| US7258010B2 (en) | 2005-03-09 | 2007-08-21 | Honeywell International Inc. | MEMS device with thinned comb fingers |
| WO2006098794A3 (en) * | 2005-03-09 | 2007-02-22 | Honeywell Int Inc | Mems device with thinned comb fingers |
| WO2006098794A2 (en) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Honeywell International Inc. | Mems device with thinned comb fingers |
| JP2012506234A (ja) * | 2008-10-20 | 2012-03-08 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 静電駆動装置、マイクロメカニカル部品、及び静電駆動装置とマイクロメカニカル部品の製造方法 |
| US8829629B2 (en) | 2010-09-22 | 2014-09-09 | Rohm Co., Ltd. | Capacitance type sensor |
| JP2012088083A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Rohm Co Ltd | 静電容量型加速度センサ |
| US8975090B2 (en) | 2010-10-15 | 2015-03-10 | Rohm Co., Ltd. | Method for manufacturing a MEMS sensor |
| JP2014036540A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アクチュエータ |
| JP2014085409A (ja) * | 2012-10-19 | 2014-05-12 | Tohoku Univ | マイクロミラーデバイスの製造方法 |
| WO2014188738A1 (ja) * | 2013-05-22 | 2014-11-27 | アオイ電子株式会社 | 静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット |
| JP2014230397A (ja) * | 2013-05-22 | 2014-12-08 | アオイ電子株式会社 | 静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット |
| CN111856430A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-10-30 | 合肥工业大学 | 一种用于激光雷达的双层梳齿驱动mems扫描镜及制备方法 |
| CN111856430B (zh) * | 2020-07-28 | 2023-07-14 | 合肥工业大学 | 一种用于激光雷达的双层梳齿驱动mems扫描镜及制备方法 |
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