JP2014036540A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第2の梁部材32は、その両端が第1の梁部材31および第3の梁部材33で固定されている。これにより、第2の梁部材32の剛性が高くなるので、外乱や製造誤差が発生しても第2の梁部材の変位を小さくすることができ、第2の梁部材32および固定電極2を高密度に配置しても故障することを防ぐことができる。
【選択図】 図1
Description
ここで、少なくとも一つの第2の梁部材は、第1の方向の幅t1が他の第2の梁部材における第1の方向の幅t2よりも大きく、かつ、全ての第2の梁部材の数量をN1、幅が大きい第2の梁部材の本数をN2としたときに、(t1/t2)<(7(N1/N2))1/3を満たすように形成されているようにしてもよい。
Claims (3)
- 基板上に設けられた固定電極と、前記基板上方に配設され、前記基板に対して垂直な方向に移動可能に支持された可動電極とを備えたアクチュエータであって、
前記固定電極は、前記基板に平行な第1の方向に所定間隔離間して配設された板状の複数の電極部材からなり、
前記可動電極は、
前記第1の方向に延在する第1の梁部材と、
前記第1の方向に直交し、かつ、前記基板に平行な第2の方向に延在し、一端が前記第1の梁部材に固定され、前記第1の方向に所定間隔離間して設けられた複数の第2の梁部材と、
前記第1の方向に延在し、前記第2の梁部材の他端が固定された第3の梁部材と
から構成され、
前記電極部材と前記第2の梁部材とは、前記第1の方向に沿って互い違いに配置されている
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
少なくとも1つの前記第2の梁部材は、他の前記第2の梁部材よりも前記第1の方向の幅が大きい
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項2記載のアクチュエータにおいて、
少なくとも一つの前記第2の梁部材は、前記第1の方向の幅t1が他の前記第2の梁部材における前記第1の方向の幅t2よりも大きく、かつ、全ての前記第2の梁部材の数量をN、幅が大きい第2の梁部材の本数をN’としたときに、(t1/t2)<(7(N/N’−1)1/3を満たすように形成されている
ことを特徴とするアクチュエータ。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0576186A (ja) * | 1991-06-21 | 1993-03-26 | Fuji Electric Co Ltd | 静電式アクチユエータ |
JP2001121499A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-05-08 | Motorola Inc | マイクロマシン構造体および製造方法 |
JP2003337138A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-11-28 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 可動電極を有する装置、可動ミラー装置、振動型ジャイロスコープ及びこれらの製造方法 |
JP2006518926A (ja) * | 2002-10-22 | 2006-08-17 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション | 同調範囲が拡大された電気機械式マイクロ可変容量ダイオード |
-
2012
- 2012-08-10 JP JP2012177884A patent/JP5798094B2/ja not_active Expired - Fee Related
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