JPH0575148A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
太陽電池の製造方法Info
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- JPH0575148A JPH0575148A JP3238095A JP23809591A JPH0575148A JP H0575148 A JPH0575148 A JP H0575148A JP 3238095 A JP3238095 A JP 3238095A JP 23809591 A JP23809591 A JP 23809591A JP H0575148 A JPH0575148 A JP H0575148A
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Abstract
て得られたシリコンウエハの裏面側のN+層の除去に当
り、スクリーン印刷法による耐酸性レジストの塗布等、
またフッ硝酸によるシリコンウエハ裏面のエッチング処
理等のウエットプロセスを行う必要がない新規な太陽電
池の製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 本発明の太陽電池の製造方法は、一導電型シ
リコンウエハの全面に逆導電型層を形成する第1工程
と、上記一導電型シリコンウエハの裏面側の上記逆導電
型層上にそのウエハの裏面周辺部に沿って、エネルギビ
ームを照射し、上記シリコンウエハの裏面の逆導電型層
を島状に分離する第2工程と、上記シリコンウエハの裏
面に形成された島状の逆導電型層の領域に一導電型不純
物を導入し、その領域に一導電型層を形成する第3工程
と、上記シリコンウエハの裏面の一導電型層上に裏面電
極を形成すると共に、上記シリコンウエハの一主面に形
成された上記逆導電型層上に表面電極を形成する第4工
程と、からなることを特徴とする。
Description
N+PP+接合が形成された単結晶若しくは多結晶シリコ
ン太陽電池の製造方法に関する。
現在最も開発が進んでいる太陽電池であり、その太陽電
池が特開昭59−182577号公報に開示され、その
太陽電池の製造工程を図2に示す。
スライスされたP型シリコンウエハ1を用意する。
を拡散させて、P型シリコンウエハ1の全面にN+層2
を形成してPN+接合を得る。
の一主面上に形成されたN+層2上に耐酸性レジスト3
を厚さ20乃至30μmにスクリーン印刷法によって塗
布し乾燥させる。
(c)のシリコンウエハ1を浸漬させてウエハ1の側面
並びに裏面をエッチング処理して、それらの表面のN+
層2を除去し、この後、耐酸性レジスト3を取り除い
て、シリコンウエハ1を洗浄し、乾燥させる。
面上にアルミニウムペースト酸化層5をスクリーン印刷
した後、空気中で焼成し、アルミニウムをP型シリコン
ウエハ1の裏面に拡散させることによって、シリコンウ
エハ1裏面にP+層4を形成する結果、N+PP+接合が
形成される。
ウエハ1のP+層4の裏面に付着残存した余分なアルミ
ニウムペースト酸化層5をフッ化水素、水酸化ナトリウ
ム溶液により除去した後、P+層4上に裏面電極6、更
にシリコンウエハ1の一主面上のN+層2上に表面電極
7を離間形成すると共に、当該N+層2上の表面電極7
間に反射防止膜8を形成して、BSF(Back Su
rface Field)型太陽電池が形成される。
においては、シリコンウエハ1の拡散処理によって得ら
れたシリコンウエハ1の裏面側のN+層2の除去に当
り、スクリーン印刷法によって耐酸性レジスト3を塗布
したり、乾燥させたり、またフッ硝酸によるシリコンウ
エハ1裏面のエッチング処理、更には耐酸性レジスト3
の除去、洗浄、乾燥処理のウエットプロセスを行ってい
るため、それらの工程に長時間を要し、太陽電池を安価
に提供し得ない問題点を有していた。
スを行わずに太陽電池を安価に提供することを目的とす
る。
方法は、一導電型シリコンウエハの全面に逆導電型層を
形成する第1工程と、上記一導電型シリコンウエハの裏
面側の上記逆導電型層上にそのウエハの裏面周辺部に沿
って、エネルギビームを照射し、上記シリコンウエハの
裏面の逆導電型層を島状に分離する第2工程と、上記シ
リコンウエハの裏面に形成された島状の逆導電型層の領
域に一導電型不純物を導入し、その領域に一導電型層を
形成する第3工程と、上記シリコンウエハの裏面の一導
電型層上に裏面電極を形成すると共に、上記シリコンウ
エハの一主面に形成された上記逆導電型層上に表面電極
を形成する第4工程と、からなることを特徴とする。
コンウエハの全面にN+層を形成し、シリコンウエハの
一主面にPN+接合を形成した後、上記シリコンウエハ
の裏面側に、その裏面周辺部に沿って、所定深さまでレ
ーザ光を照射し、そのN +層を島状に分離形成させる。
す。
(CZ法)で引き上げられた比抵抗値1.5乃至3Ω・
cmの単結晶シリコンインゴットを所定の厚さに切断し
たウエハ1を用意した後、そのウエハ1の表面から30
0μm内にある表面酸化物をフッ化水素を用いて除去す
る。
POCl3を用いてガス拡散法(850℃、30分)に
より、N+層2を形成する。このN+層2の面抵抗は50
Ω/□、厚さは0.5μmである。
ザ(波長1.06μm、パルス200μsec、エネル
ギ密度108W/cm2)を用い、シリコンウエハ1の裏
面周辺部から数mm内方を、その裏面から2乃至3μm
の深さまでカットし、N+層2を島状に分離せしめる。
1のレーザカットにより島状に形成されたN+層2上
に、厚さ20乃至40μmのアルミニウムペースト酸化
層5をスクリーン印刷し、空気中に於て825乃至85
0℃で4乃至6分間焼成する。この焼成によって、アル
ミニウムペースト酸化層5は、シリコンウエハ1上のN
+層2を通過して、P型シリコンウエハ1内に拡散して
いき、P+層9を形成し、N+PP+接合が形成されBS
F化処理が行われる。
たシリコンウエハ1を10%のフッ化水素に10乃至1
5分間浸漬することによって、そのシリコンウエハ1の
裏面側に存在する余分なアルミニウムペースト酸化層5
を除去し、P+層9を露出させ、このP+層9上にAgペ
ーストをスクリーン印刷した後、焼成することによって
裏面電極6を形成する。
面電極6と同様な方法で、表面電極7を離間形成すると
共に、この表面電極7間にTiO2からなる反射防止膜
8を常圧CVD法で形成し、本発明の一連の太陽電池の
製造工程が終了する。
造するに当たって、シリコンウエハ1の拡散処理によっ
て得られたシリコンウエハ1の裏面側のN+層2の除去
の際にスクリーン印刷法によって耐酸性レジスト3を塗
布したり、乾燥させたり、またフッ硝酸によるシリコン
ウエハ1裏面のエッチング処理、更には耐酸性レジスト
3の除去、洗浄、乾燥処理のウエットプロセスを行う必
要がなくなる。
によれば、従来と比較して、その太陽電池のN+層2の
表面積が広くなるために、光変換効率が14.4%から
15.0%までに向上した。
電池に関して述べたが、これには限られず多結晶太陽電
池においても、本発明を適用できることはいうまでもな
い。
シリコンウエハの拡散処理によって得られたシリコンウ
エハの裏面側のN+層の除去の際にスクリーン印刷法に
よって耐酸性レジストを塗布したり、乾燥させたり、ま
たフッ硝酸によるシリコンウエハ裏面のエッチング処
理、更には耐酸性レジストの除去、洗浄、乾燥処理のウ
エットプロセスを行う必要がなくなることによって、特
に時間を要したウエットプロセスの工程を削減させるこ
とができ、安価な太陽電池を提供することが可能にな
る。
去されないので、従来と比較してシリコンウエハ上のN
+層の表面積が広くなるために、光変換効率が向上す
る。
Claims (1)
- 【請求項1】 一導電型シリコンウエハの全面に逆導電
型層を形成する第1工程と、上記一導電型シリコンウエ
ハの裏面側の上記逆導電型層上にそのウエハの裏面周辺
部に沿って、エネルギビームを照射し、上記シリコンウ
エハの裏面の逆導電型層を島状に分離する第2工程と、
上記シリコンウエハの裏面に形成された島状の逆導電型
層の領域に一導電型不純物を導入し、その領域に一導電
型層を形成する第3工程と、上記シリコンウエハの裏面
の一導電型層上に裏面電極を形成すると共に、上記シリ
コンウエハの一主面に形成された上記逆導電型層上に表
面電極を形成する第4工程と、からなることを特徴とす
る太陽電池の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3238095A JP2951061B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3238095A JP2951061B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0575148A true JPH0575148A (ja) | 1993-03-26 |
JP2951061B2 JP2951061B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=17025095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3238095A Expired - Lifetime JP2951061B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2951061B2 (ja) |
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