JPH057146B2 - - Google Patents
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- JPH057146B2 JPH057146B2 JP59256290A JP25629084A JPH057146B2 JP H057146 B2 JPH057146 B2 JP H057146B2 JP 59256290 A JP59256290 A JP 59256290A JP 25629084 A JP25629084 A JP 25629084A JP H057146 B2 JPH057146 B2 JP H057146B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
- B24B7/10—Single-purpose machines or devices
- B24B7/16—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
- B24B21/04—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor for grinding plane surfaces
- B24B21/06—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor for grinding plane surfaces involving members with limited contact area pressing the belt against the work, e.g. shoes sweeping across the whole area to be ground
- B24B21/08—Pressure shoes; Pressure members, e.g. backing belts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気デイスクいわゆるフレキシブル
デイスクの磁性面を、研磨テープにより表面研磨
仕上げするバーニツシユ方法およびその装置に関
するものである。
デイスクの磁性面を、研磨テープにより表面研磨
仕上げするバーニツシユ方法およびその装置に関
するものである。
（従来技術）
一般に、磁気デイスク表面を研磨テープによつ
て研磨するバーニツシユ方法としては、磁気デイ
スクを回転体基板で保持し、研磨テープの砥粒面
をこの磁気デイスクの磁性面に押出して研磨し、
磁性体の余剰の突起を研磨除去することによつて
表面を平滑化するようにしている。
て研磨するバーニツシユ方法としては、磁気デイ
スクを回転体基板で保持し、研磨テープの砥粒面
をこの磁気デイスクの磁性面に押出して研磨し、
磁性体の余剰の突起を研磨除去することによつて
表面を平滑化するようにしている。
そして、従来、上記磁気デイスクはその全体を
回転体基板で支持し、一方、上記研磨テープは金
属あるいはゴム等よりなるバツキングロールまた
はフエルト等からなる押し棒を使用してバツクア
ツプし、この研磨テープを磁気デイスク表面に押
圧するようにしている。
回転体基板で支持し、一方、上記研磨テープは金
属あるいはゴム等よりなるバツキングロールまた
はフエルト等からなる押し棒を使用してバツクア
ツプし、この研磨テープを磁気デイスク表面に押
圧するようにしている。
しかるに、上記方法では、研磨テープの研磨に
よつて削られた研磨粉あるいは空気中の塵埃、研
磨テープ製造中に研磨テープ裏面に付着した異物
等が、上記研磨テープとバツキングロールまたは
押し棒の間に入つて、バーニツシユされた磁気デ
イスク表面に研磨すじを生起する問題を有してい
る。また、磁気デイスクの研磨面と反対側におけ
る磁気デイスクと回転体基板との間に介在する異
物もしくは凹凸が影響して、研磨面に研磨すじ等
の不均一部分を生じる恐れがあつた。
よつて削られた研磨粉あるいは空気中の塵埃、研
磨テープ製造中に研磨テープ裏面に付着した異物
等が、上記研磨テープとバツキングロールまたは
押し棒の間に入つて、バーニツシユされた磁気デ
イスク表面に研磨すじを生起する問題を有してい
る。また、磁気デイスクの研磨面と反対側におけ
る磁気デイスクと回転体基板との間に介在する異
物もしくは凹凸が影響して、研磨面に研磨すじ等
の不均一部分を生じる恐れがあつた。
（発明の目的）
本発明は上記事情に鑑み、磁気デイスクの磁性
面の表面仕上げを行うについて、上記研磨すじ等
を生起することなく均一でかつ良好な研磨を行う
バーニツシユ方法、およびこのバーニツシユ方法
を実施するためのバーニツシユ装置を提供するこ
とを目的とするものである。
面の表面仕上げを行うについて、上記研磨すじ等
を生起することなく均一でかつ良好な研磨を行う
バーニツシユ方法、およびこのバーニツシユ方法
を実施するためのバーニツシユ装置を提供するこ
とを目的とするものである。
（発明の構成）
本発明のバーニツシユ方法は、磁気デイスクを
回転駆動させながら、この磁気デイスクの一方表
面に一方のエアーノズルからテープ浮上用に調節
した圧力で噴出した加圧エアによつて浮上させた
研磨テープを摺節させるとともに、前記磁気デイ
スクの研磨テープとの摺接域と反対側に位置する
該磁気デイスクの他方表面を他方のエアーノズル
から前記一方のエアーノズルとは別途に押出用に
調節した圧力で噴出した加圧エアで直接的に押出
することにより、前記研磨テープとの摺接域の均
一研磨仕上げを行うことを特徴とするものであ
る。
回転駆動させながら、この磁気デイスクの一方表
面に一方のエアーノズルからテープ浮上用に調節
した圧力で噴出した加圧エアによつて浮上させた
研磨テープを摺節させるとともに、前記磁気デイ
スクの研磨テープとの摺接域と反対側に位置する
該磁気デイスクの他方表面を他方のエアーノズル
から前記一方のエアーノズルとは別途に押出用に
調節した圧力で噴出した加圧エアで直接的に押出
することにより、前記研磨テープとの摺接域の均
一研磨仕上げを行うことを特徴とするものであ
る。
また、本発明のバーニツシユ装置は、磁気デイ
スクを支持して回転駆動する駆動機構と、前記磁
気デイスクの一方表面に向けてテープ浮上用に調
節した加圧エアを噴出する固定型の一方のエアー
ノズルと、一方のエアーノズルと前記磁気デイス
クの一方表面との間にあつて該エアーノズルの先
端部周辺に沿つて浮上支持された研磨テープと、
前記一方のエアーノズルに対向して前記磁気デイ
スクの他方表面に向けて前記一方のエアーノズル
とは別途に押出用に調節した加圧エアを直接的に
噴出する固定型の他方のエアーノズルと、前記研
磨テープを前記一方のエアーノズルの先端部周辺
に沿つて走行案内する案内手段とを具備してなる
ことを特徴とするものである。
スクを支持して回転駆動する駆動機構と、前記磁
気デイスクの一方表面に向けてテープ浮上用に調
節した加圧エアを噴出する固定型の一方のエアー
ノズルと、一方のエアーノズルと前記磁気デイス
クの一方表面との間にあつて該エアーノズルの先
端部周辺に沿つて浮上支持された研磨テープと、
前記一方のエアーノズルに対向して前記磁気デイ
スクの他方表面に向けて前記一方のエアーノズル
とは別途に押出用に調節した加圧エアを直接的に
噴出する固定型の他方のエアーノズルと、前記研
磨テープを前記一方のエアーノズルの先端部周辺
に沿つて走行案内する案内手段とを具備してなる
ことを特徴とするものである。
（発明の効果）
本発明方法によれば、回転駆動した磁気デイス
クの一方表面に対して加圧エアにより浮上した研
磨テープが摺接し、その摺接部の反対側の他方表
面を加圧エアで押出し、より平均化した圧力で前
記研磨テープを磁気デイスクの一方表面に接触さ
せることができ、しかも、他方表面に対して噴出
した加圧エアが直接的に作用することで、よりク
ツシヨン性を帯びて前記磁気デイスクの他方表面
を押圧することができ、したがつて、磁気デイス
クの他方表面に固形の異物や塵埃が付着しても、
それらを飛散除去する一方、残存するそれらの塵
埃が前記磁気デイスクの一方表面へ裏写りしない
程度にソフトに押圧可能となり、裏写りに起因す
る前記磁気デイスクの一方表面の研磨すじの発生
を防止することができる。
クの一方表面に対して加圧エアにより浮上した研
磨テープが摺接し、その摺接部の反対側の他方表
面を加圧エアで押出し、より平均化した圧力で前
記研磨テープを磁気デイスクの一方表面に接触さ
せることができ、しかも、他方表面に対して噴出
した加圧エアが直接的に作用することで、よりク
ツシヨン性を帯びて前記磁気デイスクの他方表面
を押圧することができ、したがつて、磁気デイス
クの他方表面に固形の異物や塵埃が付着しても、
それらを飛散除去する一方、残存するそれらの塵
埃が前記磁気デイスクの一方表面へ裏写りしない
程度にソフトに押圧可能となり、裏写りに起因す
る前記磁気デイスクの一方表面の研磨すじの発生
を防止することができる。
この上、上記研磨状態における研磨条件は、前
記一方のエアーノズルからのテープ浮上用の加圧
エアと、前記他方のエアーノズルからの押圧用の
加圧エアとを別途に調整することによつて設定で
き、最適な研磨条件を定めるために前記他方のエ
アーノズルの加圧条件を自由に変更することが可
能である。換言すれば、前記一方のエアーノズル
による研磨テープの浮上走行制御と、前記他方の
エアーノズルによる研磨の押圧制御とを分離して
簡易に行うことができる。
記一方のエアーノズルからのテープ浮上用の加圧
エアと、前記他方のエアーノズルからの押圧用の
加圧エアとを別途に調整することによつて設定で
き、最適な研磨条件を定めるために前記他方のエ
アーノズルの加圧条件を自由に変更することが可
能である。換言すれば、前記一方のエアーノズル
による研磨テープの浮上走行制御と、前記他方の
エアーノズルによる研磨の押圧制御とを分離して
簡易に行うことができる。
一方、本発明装置によれば、上記バーニツシユ
方法の実施が簡易に得られ、高能率で磁気デイス
クの研磨処理が行えるものである。
方法の実施が簡易に得られ、高能率で磁気デイス
クの研磨処理が行えるものである。
また、固定した一方のエアーノズルの先端部周
辺に沿つて、研磨テープを該エアーノズルより浮
上させつつ所定の経路に沿つてその走行を案内す
ることにより、研磨テープは一方のエアーノズル
との過剰な摩擦接触を伴うことなく、より円滑な
走行精度で磁気デイスクの一方表面を研磨するこ
とが可能である。
辺に沿つて、研磨テープを該エアーノズルより浮
上させつつ所定の経路に沿つてその走行を案内す
ることにより、研磨テープは一方のエアーノズル
との過剰な摩擦接触を伴うことなく、より円滑な
走行精度で磁気デイスクの一方表面を研磨するこ
とが可能である。
（実施例）
以下、図面により本発明の実施例を説明する。
第１図はバーニツシユ装置の全体正面図、第２
図は駆動機構を省略して示す斜視図、第３図はノ
ズル部分の断面図である。
図は駆動機構を省略して示す斜視図、第３図はノ
ズル部分の断面図である。
磁気デイスク１（フレキシブルデイスク）は記
録再生部１ａすなわち研磨磁性面より内方の最内
周部１ｂが回転軸２の先端のバキユームチヤツク
２ａによつて保持され、図示しない駆動機構で上
記回転軸２が回転駆動され、磁気デイスク１が例
えば1000〜3000rpｍで高速回転される。
録再生部１ａすなわち研磨磁性面より内方の最内
周部１ｂが回転軸２の先端のバキユームチヤツク
２ａによつて保持され、図示しない駆動機構で上
記回転軸２が回転駆動され、磁気デイスク１が例
えば1000〜3000rpｍで高速回転される。
上記磁気デイスク１の磁性面１ａに対して研磨
テープ３の砥粒面３ａを圧接して研磨を行う。こ
の研磨テープ３と磁気デイスク１との圧接は、相
対向するエアーノズル４，５から吹き付けられた
加圧エアの風圧によつて得るものである。
テープ３の砥粒面３ａを圧接して研磨を行う。こ
の研磨テープ３と磁気デイスク１との圧接は、相
対向するエアーノズル４，５から吹き付けられた
加圧エアの風圧によつて得るものである。
すなわち、磁気デイスク１の下面側には研磨テ
ープ３をバツクアツプするための第１のエアーノ
ズル４が配設され、この第１のエアーノズル４の
エア噴出口４ａが磁気デイスク１の研磨する磁性
面１ａに近接して開口し、エア噴出口４ａと磁気
デイスク１との間に研磨テープ３が介装されてい
る。また、上記磁気デイスク１の上面側には上記
第１のエアーノズル４に対向して磁気デイスク１
の研磨テープ３による研磨圧力を担持するための
第２のエアーノズル５が配設され、この第２のエ
アーノズル５のエア噴出口５ａが研磨テープ３の
接触部の反対面側の磁気デイスク１に近接して開
口している。上記第１のエアーノズル４の先端面
４ｃは研磨テープ３の走行に対応して曲面に形成
されている。
ープ３をバツクアツプするための第１のエアーノ
ズル４が配設され、この第１のエアーノズル４の
エア噴出口４ａが磁気デイスク１の研磨する磁性
面１ａに近接して開口し、エア噴出口４ａと磁気
デイスク１との間に研磨テープ３が介装されてい
る。また、上記磁気デイスク１の上面側には上記
第１のエアーノズル４に対向して磁気デイスク１
の研磨テープ３による研磨圧力を担持するための
第２のエアーノズル５が配設され、この第２のエ
アーノズル５のエア噴出口５ａが研磨テープ３の
接触部の反対面側の磁気デイスク１に近接して開
口している。上記第１のエアーノズル４の先端面
４ｃは研磨テープ３の走行に対応して曲面に形成
されている。
上記第１および第２のエアーノズル４，５は基
板６に所定間隔をもつて固着され、この基板６を
介して所定圧力の加圧エアが中心部の導入通路４
ｂ，５ｂに導入され、この導入通路４ｂ，５ｂか
らスリツト状のエア噴出口４ａ，５ａに連通され
噴出される。上記第１および第２のエアーノズル
４，５に供給される加圧エアの圧力は、それぞれ
分離してれ例えば６Kg／cm2以下の範囲で可変であ
り、この加圧エアの圧力調節によつて、研磨テー
プ３と磁気デイスク１との接触圧の変更による研
磨深さの調整ができ、第１のエアーノズル４に対
するテープ浮上用の加圧エアの圧力が1.0〜2.5
Kg／cm2程度設定された際に、第２のエアーノズル
５に対する押出用の加圧エアの圧力は1.5〜4.0
Kg／cm2程度設定するのが好ましい。
板６に所定間隔をもつて固着され、この基板６を
介して所定圧力の加圧エアが中心部の導入通路４
ｂ，５ｂに導入され、この導入通路４ｂ，５ｂか
らスリツト状のエア噴出口４ａ，５ａに連通され
噴出される。上記第１および第２のエアーノズル
４，５に供給される加圧エアの圧力は、それぞれ
分離してれ例えば６Kg／cm2以下の範囲で可変であ
り、この加圧エアの圧力調節によつて、研磨テー
プ３と磁気デイスク１との接触圧の変更による研
磨深さの調整ができ、第１のエアーノズル４に対
するテープ浮上用の加圧エアの圧力が1.0〜2.5
Kg／cm2程度設定された際に、第２のエアーノズル
５に対する押出用の加圧エアの圧力は1.5〜4.0
Kg／cm2程度設定するのが好ましい。
一方、上記研磨テープ３は第１のエアーノズル
４の両側に配設されたガイドローラ７，８に掛け
られ、一方のガイドローラ７から第１のエアーノ
ズル４に先端面４ｃを経て他方のガイドローラ８
で屈曲して研磨テープ３が走行するように案内手
段が設けられている。上記研磨テープ３は図示し
ない送り機構によつて、磁気デイスク１の回転方
向と反対方向に走行するように間歇送りが行わ
れ、走行速度は例えば７mm／sec程度である。ま
た、この研磨テープ３としては、砥粒面３ａに設
けられている砥粒が例えば酸化クロム、炭化ケイ
素系、酸化鉄、酸化アルミナ、ダイヤモンド等の
材質のものが使用される。
４の両側に配設されたガイドローラ７，８に掛け
られ、一方のガイドローラ７から第１のエアーノ
ズル４に先端面４ｃを経て他方のガイドローラ８
で屈曲して研磨テープ３が走行するように案内手
段が設けられている。上記研磨テープ３は図示し
ない送り機構によつて、磁気デイスク１の回転方
向と反対方向に走行するように間歇送りが行わ
れ、走行速度は例えば７mm／sec程度である。ま
た、この研磨テープ３としては、砥粒面３ａに設
けられている砥粒が例えば酸化クロム、炭化ケイ
素系、酸化鉄、酸化アルミナ、ダイヤモンド等の
材質のものが使用される。
上記構成により、駆動機構で磁気デイスク１を
高速回転している状態で、第１および第２のエア
ーノズル４，５からそれぞれテープ浮上用におよ
び押圧用に調節した所定圧の加圧エアをそれぞれ
研磨テープ３および磁気デイスク１に対して吹き
付け、これにより研磨テープ３と磁気デイスク１
の磁性面１ａとを所定の接触圧で圧接して、研磨
仕上げを、例えば0.5〜1.0sec程度の時間行うもの
である。
高速回転している状態で、第１および第２のエア
ーノズル４，５からそれぞれテープ浮上用におよ
び押圧用に調節した所定圧の加圧エアをそれぞれ
研磨テープ３および磁気デイスク１に対して吹き
付け、これにより研磨テープ３と磁気デイスク１
の磁性面１ａとを所定の接触圧で圧接して、研磨
仕上げを、例えば0.5〜1.0sec程度の時間行うもの
である。
なお、上記研磨テープ３は上記実施例のように
磁気デイスク１の回転方向と逆方向に走行させた
状態で研磨を行うほか、同方向に走行させてもよ
く、また、停止させた状態で研磨し、研磨毎に送
るようにしてもよい。
磁気デイスク１の回転方向と逆方向に走行させた
状態で研磨を行うほか、同方向に走行させてもよ
く、また、停止させた状態で研磨し、研磨毎に送
るようにしてもよい。
また、磁気デイスク１の研磨は下方から行うほ
か、上方から行うようにしてもよく、さらに上下
から磁気デイスク１の両面を同時に研磨するよう
にしてもよく、その際には上記第１および第２の
エアーノズルおよび研磨テープ３の送り機構をも
う一組配設して行うものである。
か、上方から行うようにしてもよく、さらに上下
から磁気デイスク１の両面を同時に研磨するよう
にしてもよく、その際には上記第１および第２の
エアーノズルおよび研磨テープ３の送り機構をも
う一組配設して行うものである。
よつて、上記のように磁気デイスクの研磨を行
うと、研磨テープによつて研磨された磁性体の粉
末は第１もしくは第２のエアーノズルから噴出さ
れたエアによつて吹き飛ばされ、これが研磨面の
接触部に介在して研磨すじ発生の原因となること
がなく、また、磁気デイスクの研磨面と反対側を
風圧によつて平均した圧力で支持するので、研磨
テープによる摺接が均一に行え、しかも反対側か
らの噴出エアが直接的に作用してクツシヨン性が
得られ、この反対面の磁性体の微細な凹凸が研磨
状態に影響を与えずに高精度に均一な研磨が実施
できる。さらに前記磁気デイスクの磁性材料の変
更、前記研磨テープの変更等に応じて研磨条件等
を変更する際にも、前記第１のエアーノズルから
噴出する加圧エアによる研磨テープの浮上走行制
御と、前記第２のエアーノズルから噴出する加圧
エアによる研磨の押圧制御とを分離して簡易に行
うことができる。
うと、研磨テープによつて研磨された磁性体の粉
末は第１もしくは第２のエアーノズルから噴出さ
れたエアによつて吹き飛ばされ、これが研磨面の
接触部に介在して研磨すじ発生の原因となること
がなく、また、磁気デイスクの研磨面と反対側を
風圧によつて平均した圧力で支持するので、研磨
テープによる摺接が均一に行え、しかも反対側か
らの噴出エアが直接的に作用してクツシヨン性が
得られ、この反対面の磁性体の微細な凹凸が研磨
状態に影響を与えずに高精度に均一な研磨が実施
できる。さらに前記磁気デイスクの磁性材料の変
更、前記研磨テープの変更等に応じて研磨条件等
を変更する際にも、前記第１のエアーノズルから
噴出する加圧エアによる研磨テープの浮上走行制
御と、前記第２のエアーノズルから噴出する加圧
エアによる研磨の押圧制御とを分離して簡易に行
うことができる。
第１図は本発明の一実施例におけるバーニツシ
ユ装置の全体正面図、第２図は駆動機構を省略し
て示す斜視図、第３図はノズル部分の断面図であ
る。 １……磁気デイスク、１ａ……磁性面、２……
回転軸、２ａ……チヤツク、３……研磨テープ、
３ａ……砥粒面、４，５……エアーノズル、４
ａ，５ｂ……エア噴出口、６……基板、７，８…
…ガイドローラ。
ユ装置の全体正面図、第２図は駆動機構を省略し
て示す斜視図、第３図はノズル部分の断面図であ
る。 １……磁気デイスク、１ａ……磁性面、２……
回転軸、２ａ……チヤツク、３……研磨テープ、
３ａ……砥粒面、４，５……エアーノズル、４
ａ，５ｂ……エア噴出口、６……基板、７，８…
…ガイドローラ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 磁気デイスクの表面を研磨テープにより研磨
するバーニツシユ方法において、前記磁気デイス
クを回転駆動させながら、該磁気デイスクの一方
表面に一方のエアーノズルからテープ浮上用に調
節した圧力で噴出した加圧エアによつて浮上させ
た前記研磨テープを摺接させるとともに、前記磁
気デイスクの研磨テープとの摺接域と反対側に位
置する該磁気デイスクの他方表面を他方のエアー
ノズルから前記一方のエアーノズルとは別途に押
圧用に調節した圧力で噴出した加圧エアで直接的
に押出することにより、前記研磨テープとの摺接
域の均一研磨仕上げを行うことを特徴とする磁気
デイスクのバーニツシユ方法。 ２ 前記研磨テープを磁気デイスクの回転方向と
逆方向に走行させることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の磁気デイスクのバーニツシユ方
法。 ３ 磁気デイスクを支持して回転駆動する駆動機
構と、前記磁気デイスクの一方表面に向けてテー
プ浮上用に調節した加圧エアを噴出する固定型の
一方のエアーノズルと、前記一方のエアーノズル
と前記磁気デイスクの一方表面との間にあつて該
エアーノズルの先端部周辺に沿つて浮上支持され
た研磨テープと、前記一方のエアーノズルに対向
して前記磁気デイスクの他方表面に向けて前記一
方のエアーノズルとは別途に押圧用に調節した加
圧エアを直接的に噴出する固定型の他方のエアー
ノズルと、前記研磨テープを前記一方のエアーノ
ズルの先端部周辺に沿つて走行案内する案内手段
とを具備してなることを特徴とする磁気デイスク
のバーニツシユ装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59256290A JPS61136764A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
| US06/801,762 US4656790A (en) | 1984-12-04 | 1985-11-26 | Burnishing method and apparatus for magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP59256290A JPS61136764A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
Publications (2)
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| JPS61136764A JPS61136764A (ja) | 1986-06-24 |
| JPH057146B2 true JPH057146B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=17290598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP59256290A Granted JPS61136764A (ja) | 1984-12-04 | 1984-12-04 | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
Country Status (2)
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1985
- 1985-11-26 US US06/801,762 patent/US4656790A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
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| JPS59110546A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研磨ヘツド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPS61136764A (ja) | 1986-06-24 |
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