JPH029562A - バーニッシュ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気ディスク等の磁気記録媒体の両面を研磨
テープにより研磨するバーニッシュ装置に関するもので
ある。

（従来の技術） 磁気ディスク等の磁気記録媒体の表面に形成された磁性
面の研磨は、水平方向に配設されて回転または走行せし
められる磁気記録媒体に対して、所定の方向（望ましく
は媒体の移送方向と逆方向）に走行せしめられる研磨テ
ープを接触させて行なうのが一般的であり、特開昭６ｌ
−Ｈ８７８４号には、磁気ディスクの上下面に対向して
一対のエアノズルを設けて該ディスクの上下面に加圧エ
アを吹きつけるとともに、研磨を行なうディスク表面と
エアノズルの間に研磨テープを走行させて、この研磨テ
ープをディスク表面に圧接させるようにした研磨方法が
開示されている。すなわち、第５図に示すように、磁気
ディスク１の磁性面が下側に配されている場合には、磁
気ディスク１を介して互いに対向して設けられた上側エ
アノズル１０２と下側エアノズル１０４のうち、下側エ
アノズル１０４と磁気ディスク１の間に、図中矢印方向
に搬送される研磨テープ１０３を介装して、上下エアノ
ズル１０２．１０４から噴出される加圧エナにより研磨
テープ１０３を磁気ディスクに圧接させて研磨を行なう
ようになっている。また、下側エアノズル１０４の先端
は、円筒面状になっており、研磨テープ１０３は磁気デ
ィスク１に略直線状に接触せしめられる。

このように加圧エアにより研磨テープと磁気ディスクを
圧接させて研磨を行なうようにすれば、研磨層は加圧エ
アにより吹き飛ばされて磁性面に付着することがないと
ともに、磁気ディスクの研磨面と反対側の面に微小な凹
凸が生じていても、この反対面は風圧によって平均した
圧力で支持されるので、磁気ディスクを支持板により支
持した場合のように、上記凹凸が研磨状態に悪影響を及
ぼすことがない。

ところで、近年両面に磁性層が形成されてなる磁気ディ
スクが開発されており、かかる磁気ディスクに対しては
、その両面に研磨を行なう必要がある。磁気ディスクの
両面に研磨を行なうためには、第５図に示した手段によ
り磁気ディスクの下面を研磨するとともに、同様な研磨
手段を上下を逆にしてもう１つ設け、上側のエアノズル
と磁気ディスクの間に研磨テープを介装することが考え
られる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した研磨手段と同じ構造の研磨手段
をもう一組上下を逆にして設け、磁気記録ディスクの両
面を同じ条件で研磨すると、上面と下面の研磨状態は同
じにならないという不都合が認められた。すなわち、研
磨テープは、その自重により、上面を研磨する際には下
方に撓みやすく、下面を研磨する際には上方に浮上させ
にくいので、研磨テープの磁気ディクスクに対する接触
状態は必然的に上面側と下面側とで異なったものとなる
。このため磁気ディスクの上面を研磨する際の条件を下
面研磨時と全く同じにすると、上面には研磨による傷が
生じ易く、また傷を付けることを防止するために上面に
対する加圧エアの圧力を下面研磨のための圧力より低く
すると、傷はつきにくくなるものの研磨効果が不十分に
なるという問題がある。

本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、水
平方向に配された磁気記録媒体の上下面を均一な状態に
研磨することのできるバーニッシュ装置を提供すること
を目的とするものである。

（課題を解決するための手段） 本発明のバーニッシュ装置は、水平方向に配された磁気
記録媒体を介して互いに対向して配設された、磁気記録
媒体の上面および下面にそれぞれ加圧エアを噴出する上
側エアノズルと下側エアノズル、および該上側エアノズ
ルと前記上面との間に介装され、磁気記録媒体に対して
相対的に移動する研磨テープからなる上面研磨部と、前
記磁気記録媒体を介して互いに対向して配設された、磁
気記録媒体の上面および下面にそれぞれ加圧エアを噴出
する上側エアノズルと下側エアノズル、および該下側エ
アノズルと前記下面との間に介装され、磁気記録媒体に
対して相対的に移動する研磨テープからなる下面研磨部
を備え、前記上面研磨部の上側エアノズルの先端が水平
面であり、前記下面研磨部の下側エアノズルの先端が上
方に凸の曲面であることを特徴とするものである。なお
、ここで上側エアノズルおよび下側エアノズルの先端と
は、研磨テープを直接磁気記録媒体に圧接させる部分を
意味するものであり、また、先端が曲面であるとは、研
磨テープを略直線状に磁気記録媒体に接触させることの
できる曲率を有する面を意味するものである。

上記のように下面研磨部の下側エアノズルの先端を曲面
にすれば、比較的上方に浮上しにくい研磨テープを効果
的に押し上げて磁気記録媒体に当接させることができる
。一方、上面研磨部については、上側エアノズルの先端
が平面となっているので、研磨テープは比較的広い面積
で磁気記録媒体に接触し、上側エアノズルから噴出され
る加圧エアの圧力を分散させて単位面積当たりの圧力を
小さくし、研磨による傷の発生を防止することができる
。これとともに上面研磨部においては、磁気記録媒体と
研磨テープは広い面積で接触するので、媒体の単位面積
当たりの接触時間が長くなり、研磨効果も十分に確保す
ることができる。

（実　施　例） 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する
。

第１図は本発明の一実施例によるバーニッシュ装置の平
面図、第２図は上記装置を、研磨テープを省略して示す
正面図である。

磁気記録媒体である円盤状の磁気ディスク１は、上下両
面に記録再生部である磁性面１ａが形成されており、こ
の磁性面１ａより内方の最内周部１ｂが回転軸２の先端
のバキュームチャック２ａによって保持され、図示しな
い駆動機構で上記回転軸２が回転駆動され、磁気ディス
ク１が例えば１０００〜３０００ｒｐｍで高速回転され
る。

上記回転軸２の左側には磁気ディスク１の上面の磁性層
１ａを研磨する上面研磨部ｌＯが、回転軸２の右側には
磁気ディスク１の下面の磁性層１ａを研磨する下面研磨
部２０がそれぞれ設けられている。

第３図は上記上面研磨部１０の要部の断面図であり、第
４図は上記下面研磨部２０の要部の断面図である。

両研心部１０．２０は、それぞれ磁気ディスク１の磁性
面１ａに対して研磨テープ３のの砥粒面３ａを圧接して
研磨を行なうものであり、研磨テープ３と磁気ディスク
１との圧接は加圧エアの風圧により行なわれる。

まず、第１図、第２図、第３図により上記上面研磨部１
０について説明すると、上面研磨部において、磁気ディ
スク１の上面側には研磨テープ３をバックアップするた
めの上側エアノズル１４が配設され、この上側エアノズ
ル１４のエア噴出口１４ａが磁気ディスク１の上面に近
接して開口し、エア噴出口１４ａと磁気ディスク１の上
面との間に研磨テープ３が介装されている。また、上記
磁気ディスク１の下面側には上記上側エアノズル１４に
対向して磁気ディスク１の研磨テープ３による研磨圧力
を担持するための下側エアノズル１５が配設され、この
下側エアノズルＩ５のエア噴出口１５ａが研磨テープ３
の接触部の反対面側である磁気ディスク１の下面に近接
して開口している。上記上側エアノズル１４の先端面１
４ｃは水平面となっており、研磨テープ３を磁気ディス
クと比較的広い面積で接触させる。なお、本実施例にお
いて上記水平面の幅は、−例として４ｍ程度となってい
る。

上記上側および下側のエアノズル１４．１５は基板１６
に所定間隔をもって固着され、この基板１Ｂを介して所
定圧力の加圧エアが中心部の導入通路１４ｂ。

１５ｂに導入され、この導入通路１４ｂ、１５ｂからス
リット状のエア噴出口Ｌ４ａ、　１５ａに連通され噴出
される。上記上側および下側のエアノズル１４．１５に
供給される加圧エアの圧力は、例えば６　ｋｇ／　ｃｍ
２以下の範囲で可変であり、この加圧エアの圧力調節に
よって、研磨テープ３と磁気ディスク１との接触圧の変
更による研磨深さの調整ができ、上側エアノズル１４に
対する圧力が１．５〜２．０ｋｇ　／ｃｍ２程度に設定
された際に、下側エアノズル１５に対する圧力は１．５
〜４．０ｋｇ／ｃｍ２程度に設定するのが好ましい。

一方、上記研磨テープ３は上側エアノズル１４の両側に
配設されたガイドローラ１７．１８に掛けられ、一方の
ガイドローラ１７から上側エアノズル１４の先端面１４
ｃを経て他方のガイドローラ１８で屈曲して研磨テープ
３が走行するようになっている。上記研磨テープ３は図
示しない送り機構によって、磁気ディスク１の回転方向
と反対方向に走行するように間歇または定速送りが行わ
れ、走行速度は例えば７Ｉｌｓ／ｓｅｅ程度である。ま
た、この研磨テープ３としては、砥粒面３ａに設けられ
ている砥粒が例えば酸化クロム、炭化ケイ素系、酸化鉄
、酸化アルミナ、ダイヤモンド等の材質のものが使用さ
れる。

一方、第１図、第２図、第４図に示すように、前記下面
研磨部２０においては、磁気ディスクの下面側に研磨テ
ープ３をバックアップするための下側エアノズル２４が
配設され、磁気ディスク１の上面側にはこの下側ノズル
２４と対向して磁気ディスク１の研■テープ３による研
磨圧力を担持するための上側エアノズル２５が配設する
。上記上側エアノズル２５の形状および噴出するエア圧
力は、前記上面研磨部１０の下側エアノズル■５と同じ
であり、また前記下側エアノズル２４は、先端面２４ｃ
が上方に凸の曲面となっている以外は、構造、噴出する
エア圧力共に前記上面研磨部ＩＯの上側エアノズル１４
と同じである。下面研磨部においても上側および下側エ
アノズル２５．２４は基板２６に取り付けられ、研磨テ
ープ３は、下側エアノズル２４の両側に配設されたガイ
ドローラ２７．２８に懇書され、一方のガイドローラ２
７から下側エアノズル２４の先端面２４ｃを経て他方の
ガイドローラ２８により屈曲して走行せしめられる。な
お、下面研磨部２０における研磨テープ３の走行速度も
上面研磨部１０における研磨テープの走行速度と等しく
なってＡ）る。

上記構成の研磨装置において、駆動機構により磁気ディ
スク１が高速回転せしめられつつ上面研磨部ＩＯの上側
エアノズル１４．下側エアノズル１５および下面研磨部
２０の上側エアノズル２５．下側エアノズル２４から所
定圧の加圧エアがそれぞれ噴出されると、所定の速度で
搬送される研磨テープ３が上面研磨部１０において磁気
ディスクの上面と、下面研磨部２０において磁気ディス
クの下面とそれぞれ圧接して各面を研磨する。かかる研
磨は、例えば０．５〜１．０秒間行なわれる。また上面
研磨部１０においては、研磨テープが比較的広い面積で
磁性層１ａに接触するので、該磁性層の単位面積当たり
に加わる加圧力は小さくなり、磁性層の特定の部分に圧
力が集中して磁性面に傷が付くといった不都合が生じな
い。これとともに、上側の磁性面の各部分は、比較的長
時間に亘って研磨テープ３と接触するので、研磨テープ
との接触圧力が小さくても研磨が不十分になることはな
い。一方、下面研磨部２０においては、研磨テープ３の
自重により、上面研磨部１０に比べて研磨テープが磁性
層１９に強く当接しにくいが、下側エアノズル２４の先
端が曲面になっているので、下側エアノズル２４からの
加圧力が比較的幅狭の部分に集中し、研磨テープが接触
している磁性層部分を短時間で効果的に研磨することが
できる。

また、下側研磨部において研磨テープと磁気ディスクの
接触面積を上記のように小さくしておけば、研磨された
結果生じる磁性体の粉が磁気ディスクと研磨テープの間
に挾まって磁性面に傷を付けるという不都合も生じにく
い。

なお、上記研磨テープ３は上記実施例のように磁気ディ
スク１の回転方向と逆方向に走行させた状態で研磨を行
なうほか、同方向に走行させてもよく、また、停止させ
た状態で研磨し、研磨毎に送るようにしてもよい。また
、本発明のバーニッシュ装置は上述した円盤状の磁気デ
ィスクの他、ウェブ状の磁気記録媒体を研磨する装置と
して用いることらできる。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明のバーニッシュ装置によれ
ば、上面研磨部において研磨テープと磁気記録媒体との
接触面積を大きくし、下面研磨部において上記接触面積
を小さくしたことにより、いずれの面にも傷を付けるこ
となく研磨を十分に行なうことができ、両面の研磨後の
面状を均一にすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるバーニッシュ装置の平
面図、 第２図は上記装置を、研磨テープを省略して示す正面図
、 第３図は上面研磨部の断面図、 第４図は下面研磨部の断面図、 第５図は従来のバーニッシュ装置の研磨部の断面図であ
る。 １・・・磁気ディスク　　　　ｌａ・・・磁性面３・・
・研磨テープ　　　　　１０・・・上面研磨部１４．２
５・・・上側エアノズル １４ｃ、２４ｃ　−先端面 １５．２４・・・下側エアノズル　２ｏ・・・下面研磨
部第 図 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 略水平方向に配された磁気記録媒体を介して互いに対向
   して配設された、前記磁気記録媒体の上面および下面に
   それぞれ加圧エアを噴出する上側エアノズルと下側エア
   ノズル、および該上側エアノズルと前記上面との間に介
   装され、前記磁気記録媒体に対して相対的に移動する研
   磨テープからなる上面研磨部と、前記磁気記録媒体を介
   して互いに対向して配設された、前記磁気記録媒体の上
   面および下面にそれぞれ加圧エアを噴出する上側エアノ
   ズルと下側エアノズル、および該下側エアノズルと前記
   下面との間に介装され、前記磁気記録媒体に対して相対
   的に移動する研磨テープからなる下面研磨部を備え、前
   記上面研磨部の上側エアノズルの先端が水平面であり、
   前記下面研磨部の下側エアノズルの先端が上方に凸の曲
   面であるバーニッシュ装置。