JPH06155271A - 磁気ディスクのバーニッシュ方法および装置 - Google Patents
磁気ディスクのバーニッシュ方法および装置Info
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- JPH06155271A JPH06155271A JP4305167A JP30516792A JPH06155271A JP H06155271 A JPH06155271 A JP H06155271A JP 4305167 A JP4305167 A JP 4305167A JP 30516792 A JP30516792 A JP 30516792A JP H06155271 A JPH06155271 A JP H06155271A
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- magnetic disk
- polishing tape
- air
- polishing
- tape
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
- B24B21/18—Accessories
- B24B21/20—Accessories for controlling or adjusting the tracking or the tension of the grinding belt
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ディスクを効率的にかつ均一に研磨仕上
げするとともに、研磨テープと磁気ディスクとの接触力
の調整を容易化する。 【構成】 矢印Ｃ方向に張力を付与された研磨テープ３
を、エア噴出口4aから加圧エアを噴出するエアノズル４
のテーパ状の斜面4cに沿わせることによって、曲げ剛性
を有する折曲部3cを形成させたうえで矢印Ｂ方向に走行
させる。エアノズル４，５のエア噴出口4a，5aから加圧
エアを噴出させて上記折曲部3cの折曲形状を維持させる
とともに高速回転する磁気ディスク１と研磨テープ３の
折曲部3bとを摺接させる。
げするとともに、研磨テープと磁気ディスクとの接触力
の調整を容易化する。 【構成】 矢印Ｃ方向に張力を付与された研磨テープ３
を、エア噴出口4aから加圧エアを噴出するエアノズル４
のテーパ状の斜面4cに沿わせることによって、曲げ剛性
を有する折曲部3cを形成させたうえで矢印Ｂ方向に走行
させる。エアノズル４，５のエア噴出口4a，5aから加圧
エアを噴出させて上記折曲部3cの折曲形状を維持させる
とともに高速回転する磁気ディスク１と研磨テープ３の
折曲部3bとを摺接させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクいわゆる
フレキシブルディスクの磁性面を、研磨テープにより表
面研磨仕上げするバーニッシュ方法およびその装置に関
するものである。
フレキシブルディスクの磁性面を、研磨テープにより表
面研磨仕上げするバーニッシュ方法およびその装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、磁気ディスク表面を研磨テープ
によって研磨するバーニッシュ方法としては、磁気ディ
スクを回転体基板で保持し、研磨テープの砥粒面をこの
磁気ディスクの磁性面に押圧して研磨し、磁性体の余剰
の突起を研磨除去することによって表面を平滑化するよ
うにしている。
によって研磨するバーニッシュ方法としては、磁気ディ
スクを回転体基板で保持し、研磨テープの砥粒面をこの
磁気ディスクの磁性面に押圧して研磨し、磁性体の余剰
の突起を研磨除去することによって表面を平滑化するよ
うにしている。
【０００３】そして従来、上記磁気ディスクはその全体
を回転体基板で支持し、一方上記研磨テープは、金属あ
るいはゴム等よりなるバッキングロールまたはフェルト
等からなる押し棒を使用してバックアップし、この研磨
テープを磁気ディスク表面に押圧するようにしている。
を回転体基板で支持し、一方上記研磨テープは、金属あ
るいはゴム等よりなるバッキングロールまたはフェルト
等からなる押し棒を使用してバックアップし、この研磨
テープを磁気ディスク表面に押圧するようにしている。
【０００４】しかるに上記方法では、研磨テープの研磨
によって削られた研磨粉あるいは空気中の塵埃、研磨テ
ープ製造中に研磨テープ裏面に付着した異物等が、上記
研磨テープとバッキングロールまたは押し棒の間に入っ
て、バーニッシュされた磁気ディスク表面に研磨すじを
生起する問題を有している。また、磁気ディスクの研磨
面と反対側における磁気ディスクと回転体基板との間に
介在する異物もしくは凸凹が影響して、研磨面に研磨す
じ等の不均一部分が生じる恐れがあった。
によって削られた研磨粉あるいは空気中の塵埃、研磨テ
ープ製造中に研磨テープ裏面に付着した異物等が、上記
研磨テープとバッキングロールまたは押し棒の間に入っ
て、バーニッシュされた磁気ディスク表面に研磨すじを
生起する問題を有している。また、磁気ディスクの研磨
面と反対側における磁気ディスクと回転体基板との間に
介在する異物もしくは凸凹が影響して、研磨面に研磨す
じ等の不均一部分が生じる恐れがあった。
【０００５】そこで本願出願人は、磁気ディスクを回転
駆動させながら、この磁気ディスクの片面に、一方のエ
アノズルからテープ浮上用に調節した圧力で噴出した加
圧エアによって浮上させた研磨テープを摺接させるとと
もに、この磁気ディスクの研磨テープとの摺接域の反対
側に位置するこの磁気ディスクの他面を、他方のエアノ
ズルから上記一方のエアノズルとは別途に押圧用に調節
した圧力で噴出した加圧エアで直接押圧することによ
り、研磨テープの摺接域を均一に研摩仕上げするととも
に、上記異物等を加圧エアで吹き飛ばして上記研磨すじ
が生ずるのを防止するバーニッシュ方法を既に提案して
いる（特開昭61- 136764号公報参照）。
駆動させながら、この磁気ディスクの片面に、一方のエ
アノズルからテープ浮上用に調節した圧力で噴出した加
圧エアによって浮上させた研磨テープを摺接させるとと
もに、この磁気ディスクの研磨テープとの摺接域の反対
側に位置するこの磁気ディスクの他面を、他方のエアノ
ズルから上記一方のエアノズルとは別途に押圧用に調節
した圧力で噴出した加圧エアで直接押圧することによ
り、研磨テープの摺接域を均一に研摩仕上げするととも
に、上記異物等を加圧エアで吹き飛ばして上記研磨すじ
が生ずるのを防止するバーニッシュ方法を既に提案して
いる（特開昭61- 136764号公報参照）。
【０００６】また特開昭59- 110546号、特開平3-276421
号公報などに開示されているように、研磨テープの曲げ
剛性を利用して上記突起を研磨する方法が知られてい
る。この方法によれば、上記研磨テープにたるみを与
え、このたるみにより折曲部を形成させ、この曲げ剛性
を有する折曲部を回転駆動される磁気ディスクの磁性面
に押し当てることによってこの磁気ディスクを研磨する
ものである。このときのテープのディスクへの押圧力
は、テープの曲げ半径や剛性等により定められる。
号公報などに開示されているように、研磨テープの曲げ
剛性を利用して上記突起を研磨する方法が知られてい
る。この方法によれば、上記研磨テープにたるみを与
え、このたるみにより折曲部を形成させ、この曲げ剛性
を有する折曲部を回転駆動される磁気ディスクの磁性面
に押し当てることによってこの磁気ディスクを研磨する
ものである。このときのテープのディスクへの押圧力
は、テープの曲げ半径や剛性等により定められる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記加圧エアを
用いたバーニッシュ方法は、噴出される空気圧によって
研磨テープを磁気ディスクに押し付けるものであるか
ら、研磨テープの剛性が低く、磁気ディスクに十分な接
触圧を与えることができないため、十分な研磨しろを得
るためには研磨時間を長くする必要があり、効率的に研
磨することができないという難点があり、またより高圧
力のエアを噴出させて上記接触圧を増大させると上記研
磨テープがバタついて安定した接触圧を得ることができ
なくなる。
用いたバーニッシュ方法は、噴出される空気圧によって
研磨テープを磁気ディスクに押し付けるものであるか
ら、研磨テープの剛性が低く、磁気ディスクに十分な接
触圧を与えることができないため、十分な研磨しろを得
るためには研磨時間を長くする必要があり、効率的に研
磨することができないという難点があり、またより高圧
力のエアを噴出させて上記接触圧を増大させると上記研
磨テープがバタついて安定した接触圧を得ることができ
なくなる。
【０００８】また研磨テープの曲げ剛性を利用するバー
ニッシュ方法は、磁気ディスクに摺接する折曲部分が磁
気ディスクからの反作用の荷重を受けて、その曲げ半径
が変動し、安定した接触圧を得ることがでず磁気ディス
クを均一に研磨できないという難点がある。
ニッシュ方法は、磁気ディスクに摺接する折曲部分が磁
気ディスクからの反作用の荷重を受けて、その曲げ半径
が変動し、安定した接触圧を得ることがでず磁気ディス
クを均一に研磨できないという難点がある。
【０００９】このように上記従来のバーニッシュ方法に
よれば効率的に均一な研磨ができないという難点があ
る。
よれば効率的に均一な研磨ができないという難点があ
る。
【００１０】本発明の目的は上記事情に鑑みなされたも
のであって、磁気ディスクを効率的にかつ均一に研磨仕
上げするとともに、研磨テープの接触圧力の調整を容易
にして研磨しろの調整が容易な磁気ディスクのバーニッ
シュ方法およびその装置を提供することにある。
のであって、磁気ディスクを効率的にかつ均一に研磨仕
上げするとともに、研磨テープの接触圧力の調整を容易
にして研磨しろの調整が容易な磁気ディスクのバーニッ
シュ方法およびその装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスクの
バーニッシュ方法は、回転する磁気ディスクの表面に、
所定の曲げ剛性を有する折曲形状の研磨テープを摺接さ
せ、この研磨テープの背面に加圧エアを噴流させ、この
研磨テープにある張力を与え、上記加圧エアの圧力と研
磨テープの張力とを調整することによって、上記研磨テ
ープの曲げ剛性の強弱を調整して磁気ディスクの磁性面
を効率的にかつ均一に研磨仕上げすることを特徴とする
ものである。
バーニッシュ方法は、回転する磁気ディスクの表面に、
所定の曲げ剛性を有する折曲形状の研磨テープを摺接さ
せ、この研磨テープの背面に加圧エアを噴流させ、この
研磨テープにある張力を与え、上記加圧エアの圧力と研
磨テープの張力とを調整することによって、上記研磨テ
ープの曲げ剛性の強弱を調整して磁気ディスクの磁性面
を効率的にかつ均一に研磨仕上げすることを特徴とする
ものである。
【００１２】また本発明の磁気ディスクのバーニッシュ
装置は上記磁気ディスクのバーニッシュ方法を実施する
ための装置であって、駆動機構によって回転駆動される
磁気ディスクの両面に相対向して配設された、先端部の
エア噴出口から前記磁気ディスクに加圧エアを噴出する
２つのエアノズルと、この２つのエアノズルのうち少な
くとも一方のエアノズルの先端部に沿わせて介装される
研磨テープと、この研磨テープの長手方向に所定の張力
を付与するテープ支持手段と、この張力と前記加圧エア
の噴出圧力とを調整して研磨テープを磁気ディスクに摺
接させるために適切な剛性を有する折曲形状を形成させ
る調整手段とを備え、前記２つのエアノズルのうち、前
記研磨テープが介装される側のエアノズルの先端部が、
テーパ状の斜面と、この２つの斜面と互いに隣接し、上
記磁気ディスクの磁性面に対して略平行な、上記エア噴
出口を有する面とにより構成されていることを特徴とす
るものである。
装置は上記磁気ディスクのバーニッシュ方法を実施する
ための装置であって、駆動機構によって回転駆動される
磁気ディスクの両面に相対向して配設された、先端部の
エア噴出口から前記磁気ディスクに加圧エアを噴出する
２つのエアノズルと、この２つのエアノズルのうち少な
くとも一方のエアノズルの先端部に沿わせて介装される
研磨テープと、この研磨テープの長手方向に所定の張力
を付与するテープ支持手段と、この張力と前記加圧エア
の噴出圧力とを調整して研磨テープを磁気ディスクに摺
接させるために適切な剛性を有する折曲形状を形成させ
る調整手段とを備え、前記２つのエアノズルのうち、前
記研磨テープが介装される側のエアノズルの先端部が、
テーパ状の斜面と、この２つの斜面と互いに隣接し、上
記磁気ディスクの磁性面に対して略平行な、上記エア噴
出口を有する面とにより構成されていることを特徴とす
るものである。
【００１３】
【作用および発明の効果】本発明のバーニッシュ方法に
よれば、エアノズルのテーパ状の斜面に沿わせた研磨テ
ープの長手方向の張力を調整することにより、この研磨
テープに曲げ剛性を有する、上記磁気ディスクに対して
凸の折曲部を形成させ、この研磨テープの折曲部の背面
に上記エアノズルから加圧エアを吹き付けて、上記折曲
部を一定の形状に維持させたうえで、この折曲部を上記
磁気ディスクの磁性面に押圧することにより、磁気ディ
スクと研磨テープとの接触圧力を安定的に維持させるこ
とができるので、磁気ディスクを均一に研磨仕上げする
ことができる。
よれば、エアノズルのテーパ状の斜面に沿わせた研磨テ
ープの長手方向の張力を調整することにより、この研磨
テープに曲げ剛性を有する、上記磁気ディスクに対して
凸の折曲部を形成させ、この研磨テープの折曲部の背面
に上記エアノズルから加圧エアを吹き付けて、上記折曲
部を一定の形状に維持させたうえで、この折曲部を上記
磁気ディスクの磁性面に押圧することにより、磁気ディ
スクと研磨テープとの接触圧力を安定的に維持させるこ
とができるので、磁気ディスクを均一に研磨仕上げする
ことができる。
【００１４】また上記エア圧力および研磨テープの張力
を各別に調整することにより、研磨テープの折曲部の曲
げ剛性を容易に調整することができ、上記接触圧力を増
減させて効率的な研磨仕上げをすることができるととも
に、種類の異なる磁気ディスクに対しても各別に上記調
整を行なって、常に最適な接触圧力により磁気ディスク
を研磨仕上げすることができる。
を各別に調整することにより、研磨テープの折曲部の曲
げ剛性を容易に調整することができ、上記接触圧力を増
減させて効率的な研磨仕上げをすることができるととも
に、種類の異なる磁気ディスクに対しても各別に上記調
整を行なって、常に最適な接触圧力により磁気ディスク
を研磨仕上げすることができる。
【００１５】一方、本発明の装置によれば、上記バーニ
ッシュ方法の実施が簡易に得られ、効率的かつ安定的に
均一な研磨処理が行なえるものである。
ッシュ方法の実施が簡易に得られ、効率的かつ安定的に
均一な研磨処理が行なえるものである。
【００１６】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例について
説明する。
説明する。
【００１７】図１は本発明にかかる磁気ディスクバーニ
ッシュ装置の全体正面図、図２は駆動機構を省略して示
す斜視図、図３はノズル部分の断面図である。
ッシュ装置の全体正面図、図２は駆動機構を省略して示
す斜視図、図３はノズル部分の断面図である。
【００１８】磁気ディスク（フレキシブルディスク）１
は記録再生部1aすなわち研磨磁性面より内方の最内周部
1bが回転軸２の先端のバキュームチャック2aによって保
持され、図示しない駆動機構で上記回転軸２が回転駆動
され、磁気ディスク１が例えば矢印Ａ方向に1000〜2000
rpm で高速回転される。ここで上記磁気ディスク１を保
持する手段は上記バキュームチャックの他にメカニカル
チャックを使用するものであってもよい。
は記録再生部1aすなわち研磨磁性面より内方の最内周部
1bが回転軸２の先端のバキュームチャック2aによって保
持され、図示しない駆動機構で上記回転軸２が回転駆動
され、磁気ディスク１が例えば矢印Ａ方向に1000〜2000
rpm で高速回転される。ここで上記磁気ディスク１を保
持する手段は上記バキュームチャックの他にメカニカル
チャックを使用するものであってもよい。
【００１９】上記磁気ディスク１の磁性面1aに対して研
摩テープ３の砥粒面3aを圧接して研摩を行なう。
摩テープ３の砥粒面3aを圧接して研摩を行なう。
【００２０】この研磨テープ３と磁気ディスク１との圧
接は、この研磨テープ３に掛けられた矢印Ｃ方向への張
力、エアノズル４から吹き付けられた加圧エアの噴流お
よびエアノズル４の先端部4aの形状により形成された研
磨テープ３の曲げ剛性を有する折曲部3cと、磁気ディス
ク１を介して上記エアノズル４と対向するエアノズル５
から吹き付けられた加圧エアの噴流とによって得るもの
である。
接は、この研磨テープ３に掛けられた矢印Ｃ方向への張
力、エアノズル４から吹き付けられた加圧エアの噴流お
よびエアノズル４の先端部4aの形状により形成された研
磨テープ３の曲げ剛性を有する折曲部3cと、磁気ディス
ク１を介して上記エアノズル４と対向するエアノズル５
から吹き付けられた加圧エアの噴流とによって得るもの
である。
【００２１】すなわち、磁気ディスク１の下面側には研
磨テープ３をバックアップするための第１のエアノズル
４が配設され、この第１のエアノズル４のエア噴出口4a
が磁気ディスク１の研磨する磁性面1aに近接して開口
し、エア噴出口4aと磁気ディスク１との間に研磨テープ
３が介装されている。さらに詳しくは、この第１のエア
ノズル４のエア噴出口4aを有する面は磁性面1aと対向し
て略平面に仕上げられていて、このエア噴出口4aを有す
る面と隣接する２つの斜面4cに沿って研磨テープ３が介
装され、この研磨テープに矢印Ｔ方向への張力を付与す
るテープ送り手段によって上記エア噴出口4aを有する面
の上方において曲げ剛性を有する折曲部3cを形成し、磁
気ディスク１の磁性面1aに圧接している。
磨テープ３をバックアップするための第１のエアノズル
４が配設され、この第１のエアノズル４のエア噴出口4a
が磁気ディスク１の研磨する磁性面1aに近接して開口
し、エア噴出口4aと磁気ディスク１との間に研磨テープ
３が介装されている。さらに詳しくは、この第１のエア
ノズル４のエア噴出口4aを有する面は磁性面1aと対向し
て略平面に仕上げられていて、このエア噴出口4aを有す
る面と隣接する２つの斜面4cに沿って研磨テープ３が介
装され、この研磨テープに矢印Ｔ方向への張力を付与す
るテープ送り手段によって上記エア噴出口4aを有する面
の上方において曲げ剛性を有する折曲部3cを形成し、磁
気ディスク１の磁性面1aに圧接している。
【００２２】また、上記磁気ディスク１を介して第１の
エアノズル４と対向する位置に、磁気ディスク１の研磨
テープ３による研磨圧力を担持するための第２のエアノ
ズル５が配設され、この第２のエアノズル５のエア噴出
口5aが磁気ディスク１に近接して開口している。
エアノズル４と対向する位置に、磁気ディスク１の研磨
テープ３による研磨圧力を担持するための第２のエアノ
ズル５が配設され、この第２のエアノズル５のエア噴出
口5aが磁気ディスク１に近接して開口している。
【００２３】上記第１および第２のエアノズル４，５は
基板６に所定の間隔をもって固着され、この基板６を介
して所定圧力の加圧エアが中心部の導入通路4b，5bに導
入され、この導入通路4b，5bから細いスリット状のエア
噴出口4a，5aに連結されることにより加圧されて噴出さ
れる。
基板６に所定の間隔をもって固着され、この基板６を介
して所定圧力の加圧エアが中心部の導入通路4b，5bに導
入され、この導入通路4b，5bから細いスリット状のエア
噴出口4a，5aに連結されることにより加圧されて噴出さ
れる。
【００２４】さらにこの第１および第２のエアノズル
４，５から噴出される加圧エアのエア圧力は図示しない
変圧手段により各別に任意の圧力値に調整ができるよう
にされていて、その調整の範囲は例えば第１のエアノズ
ル４から噴出される加圧エアのエア圧力は0.5 〜3.0kgf
/cm 2 程度、第２のエアノズル５から噴出される加圧エ
アのエア圧力は1.5 〜5.0kgf/cm 2 程度に設定するのが
望ましい。
４，５から噴出される加圧エアのエア圧力は図示しない
変圧手段により各別に任意の圧力値に調整ができるよう
にされていて、その調整の範囲は例えば第１のエアノズ
ル４から噴出される加圧エアのエア圧力は0.5 〜3.0kgf
/cm 2 程度、第２のエアノズル５から噴出される加圧エ
アのエア圧力は1.5 〜5.0kgf/cm 2 程度に設定するのが
望ましい。
【００２５】一方上記研磨テープ３は第１のエアノズル
４の両側に配設されたガイドローラ７，８に掛けられ、
一方のガイドローラ７から第１のエアノズル４の先端部
の斜面4cを経て他方のガイドローラ８で屈曲して矢印Ｂ
方向に走行するように設けられている。また前述したと
おり、この研磨テープ３は図示しないテープ送り手段に
よって矢印Ｃ方向に付加された張力によって磁気ディス
ク３に向って凸の折曲部3cを形成している。さらに上記
張力は図示しない張力調整手段によって任意の値に設定
できるようにされている。この研磨テープ３の張力は例
えば500gf 〜1500gf程度に設定することが望ましい。上
記研磨テープ３は前記図示しないテープ送り手段によっ
て、磁気ディスク１の回転方向と反対方向に走行するよ
うに間欠送りが行なわれる。
４の両側に配設されたガイドローラ７，８に掛けられ、
一方のガイドローラ７から第１のエアノズル４の先端部
の斜面4cを経て他方のガイドローラ８で屈曲して矢印Ｂ
方向に走行するように設けられている。また前述したと
おり、この研磨テープ３は図示しないテープ送り手段に
よって矢印Ｃ方向に付加された張力によって磁気ディス
ク３に向って凸の折曲部3cを形成している。さらに上記
張力は図示しない張力調整手段によって任意の値に設定
できるようにされている。この研磨テープ３の張力は例
えば500gf 〜1500gf程度に設定することが望ましい。上
記研磨テープ３は前記図示しないテープ送り手段によっ
て、磁気ディスク１の回転方向と反対方向に走行するよ
うに間欠送りが行なわれる。
【００２６】上記構成により、駆動機構で磁気ディスク
１を高速回転している状態で、第１および第２のエアノ
ズル４，５から所定の加圧エアをそれぞれ研磨テープ３
および磁気ディスク１に対して噴出し、これにより磁気
ディスク１の磁性面1aに圧接している研磨テープ３の折
曲部3cの背面（砥粒面3aの裏面）3bを押圧してこの折曲
部3cの折曲形状を一定の形状に維持させてこの折曲部3c
の曲げ剛性を一定に維持させる。そしてこの一定の曲げ
剛性を維持された研磨テープ３の折曲部3cが磁気ディス
ク１の磁性面1aに摺接されることによって、この磁性面
1aを短時間で均一に研磨仕上げすることができる。
１を高速回転している状態で、第１および第２のエアノ
ズル４，５から所定の加圧エアをそれぞれ研磨テープ３
および磁気ディスク１に対して噴出し、これにより磁気
ディスク１の磁性面1aに圧接している研磨テープ３の折
曲部3cの背面（砥粒面3aの裏面）3bを押圧してこの折曲
部3cの折曲形状を一定の形状に維持させてこの折曲部3c
の曲げ剛性を一定に維持させる。そしてこの一定の曲げ
剛性を維持された研磨テープ３の折曲部3cが磁気ディス
ク１の磁性面1aに摺接されることによって、この磁性面
1aを短時間で均一に研磨仕上げすることができる。
【００２７】また、上記テープ送り手段による研磨テー
プ３の張力および上記加圧エアのエア圧力を調整するこ
とによって上記研磨テープ３の折曲部3aの曲げ剛性を増
減させて適切な研磨処理条件を容易に設定することがで
きる。
プ３の張力および上記加圧エアのエア圧力を調整するこ
とによって上記研磨テープ３の折曲部3aの曲げ剛性を増
減させて適切な研磨処理条件を容易に設定することがで
きる。
【００２８】なお上記研磨テープ３は上記実施例のよう
に磁気ディスク１の回転方向と逆方向に走行させた状態
で研磨を行なうほか、同方向に走行させてもよく、また
研摩毎に送るようにしてもよい。
に磁気ディスク１の回転方向と逆方向に走行させた状態
で研磨を行なうほか、同方向に走行させてもよく、また
研摩毎に送るようにしてもよい。
【００２９】また、磁気ディスク１の研磨は下方から行
なうほか、上法から行なうようにしてもよく、さらに上
方および下方の両方から磁気ディスク１の両面を同一工
程において同時に、あるいは上下の各別を別工程におい
て各別に研磨するようにしてもよく、その際には上記第
２のエアノズル５を上記第１のエアノズル４と同一の形
状にして研磨テープ３の送り機構をもう一組配設して研
磨仕上げを行なうものである。
なうほか、上法から行なうようにしてもよく、さらに上
方および下方の両方から磁気ディスク１の両面を同一工
程において同時に、あるいは上下の各別を別工程におい
て各別に研磨するようにしてもよく、その際には上記第
２のエアノズル５を上記第１のエアノズル４と同一の形
状にして研磨テープ３の送り機構をもう一組配設して研
磨仕上げを行なうものである。
【００３０】以下に上記実施例の具体的な実験データを
示す。
示す。
【００３１】図４は上記実施例のエアノズル部分の詳細
を示す詳細図である。上記実施例において研磨テープ３
のベース厚ｄ3 は折曲部3cの曲げ剛性を設定するうえで
重要な要素である。
を示す詳細図である。上記実施例において研磨テープ３
のベース厚ｄ3 は折曲部3cの曲げ剛性を設定するうえで
重要な要素である。
【００３２】図５に示したグラフは下記研磨条件を一定
として、上記ベース厚ｄ3 を25，50，75［μｍ］と変化
させたときの磁気ディスク１の研磨仕上げ後の光沢度を
示すものである。
として、上記ベース厚ｄ3 を25，50，75［μｍ］と変化
させたときの磁気ディスク１の研磨仕上げ後の光沢度を
示すものである。
【００３３】（研磨条件） 研磨テープ側エアノズル４
から噴出される 加圧エアのエア圧力Ｆ：1.5 ［kgf/cm2 ］ 研磨テープの張力Ｔ：500 ［gf］ 研磨時間ｔ：0.8 ［SEC ］ 研磨テープ送りスピードｖ：５［mm/SEC］ 上下エアノズル間クリアランスｄ1 ：0.5 ［mm］ 研磨テープ側エアノズル先端のテーパ角度θ：30［度］ 研磨テープ側エアノズル先端の平坦部長さｄ2 ：４［m
m］ 磁気ディスクの回転数：1500［rpm ］ この図５に示したグラフから研磨テープのベース度ｄ3
が大きくなる程、磁気ディスクの光沢度即ち研磨仕上げ
状態が向上することが判読される。
から噴出される 加圧エアのエア圧力Ｆ：1.5 ［kgf/cm2 ］ 研磨テープの張力Ｔ：500 ［gf］ 研磨時間ｔ：0.8 ［SEC ］ 研磨テープ送りスピードｖ：５［mm/SEC］ 上下エアノズル間クリアランスｄ1 ：0.5 ［mm］ 研磨テープ側エアノズル先端のテーパ角度θ：30［度］ 研磨テープ側エアノズル先端の平坦部長さｄ2 ：４［m
m］ 磁気ディスクの回転数：1500［rpm ］ この図５に示したグラフから研磨テープのベース度ｄ3
が大きくなる程、磁気ディスクの光沢度即ち研磨仕上げ
状態が向上することが判読される。
【００３４】図６はベース厚ｄ3 が75［μｍ」の研磨テ
ープを用い、研磨テープ側エアノズルから噴出する加圧
エアのエア圧力、研磨テープの張力、上下ノズル間クリ
アランスの値を変化させたときの磁気ディスクの光沢度
上昇値の変化を実験計画法によって要因分析したグラフ
である。このグラフから研磨テープ側のエアノズルから
噴出される加圧エアのエア圧力が1.5 ［kgf/cm2 ］、研
磨テープの張力が500［gf］、上下エアノズル間クリア
ランスが0.5 ［mm］以下のときに光沢度上昇値が最適と
なり、その値は52.6であった。
ープを用い、研磨テープ側エアノズルから噴出する加圧
エアのエア圧力、研磨テープの張力、上下ノズル間クリ
アランスの値を変化させたときの磁気ディスクの光沢度
上昇値の変化を実験計画法によって要因分析したグラフ
である。このグラフから研磨テープ側のエアノズルから
噴出される加圧エアのエア圧力が1.5 ［kgf/cm2 ］、研
磨テープの張力が500［gf］、上下エアノズル間クリア
ランスが0.5 ［mm］以下のときに光沢度上昇値が最適と
なり、その値は52.6であった。
【００３５】上述のように本発明の磁気ディスクのバー
ニッシュ方法によれば、磁気ディスクと研磨テープとの
接触圧力を安定的に維持させることができるので、磁気
ディスクを均一に研磨仕上げすることができる。
ニッシュ方法によれば、磁気ディスクと研磨テープとの
接触圧力を安定的に維持させることができるので、磁気
ディスクを均一に研磨仕上げすることができる。
【００３６】また上記エア圧力および研磨テープの張力
を上述のように各別に調整することにより、研磨テープ
の折曲部の曲げ剛性を容易に調整することができ、上記
接触圧力を増減させて効率的な研磨仕上げをすることが
でき、常に最適な接触圧力により磁気ディスクを研磨仕
上げすることができる。
を上述のように各別に調整することにより、研磨テープ
の折曲部の曲げ剛性を容易に調整することができ、上記
接触圧力を増減させて効率的な研磨仕上げをすることが
でき、常に最適な接触圧力により磁気ディスクを研磨仕
上げすることができる。
【図１】本発明にかかる磁気ディスクのバーニッシュ装
置の全体正面図
置の全体正面図
【図２】図１に示したバーニッシュ装置の駆動機構を省
略した斜視図
略した斜視図
【図３】図１に示したバーニッシュ装置のエアノズル部
分の断面図
分の断面図
【図４】図１に示したバーニッシュ装置のエアノズル部
分の詳細図
分の詳細図
【図５】研磨テープのベース厚と磁気ディスクの光沢度
上昇値との関係の実験結果を示すグラフ
上昇値との関係の実験結果を示すグラフ
【図６】エアノズルから噴出される加圧エアのエア圧
力、研磨テープの張力、上下エアノズル間クリアランス
と磁気ディスクの光沢度上昇値との関係の実験結果を示
すすグラフ
力、研磨テープの張力、上下エアノズル間クリアランス
と磁気ディスクの光沢度上昇値との関係の実験結果を示
すすグラフ
１ 磁気ディスク 1a 磁性面 ２ 回転軸 2a バキュームチャック ３ 研磨テープ 3a 砥粒面 ４ 第１のエアノズル 4a，5a エア噴出口 4c，5c テーパ状の斜面 ５ 第２のエアノズル ６ 基板 ７，８ ガイドローラ Ａ 磁気ディスクの回転方向 Ｂ 研磨テープの張力付加方向 Ｃ 研磨テープ走行方向
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気ディスクの表面を研磨テープにより
研磨するバーニッシュ方法において、 前記磁気ディスクを回転駆動させながら、該磁気ディス
クの両面に相対向して加圧エアを噴出し、この両面の加
圧エアの少なくとも一方と前記磁気ディスクとの間に長
手方向に張力を有する前記研磨テープを介装し、この研
磨テープが前記磁気ディスクを押圧するのに適切な剛性
を有する折曲形状となるように前記加圧エアの噴出圧力
と前記研磨テープの張力とを調整して、前記研磨テープ
の折曲形状部分を前記磁気ディスクの磁性面に摺接させ
ることにより、前記研磨テープとの摺接域の均一研磨仕
上げを行うことを特徴とする磁気ディスクのバーニッシ
ュ方法。 - 【請求項２】 磁気ディスクの表面を研磨テープにより
研磨するバーニッシュ装置において、 磁気ディスクを支持して回転駆動する駆動機構と、前記
磁気ディスクの両面に相対向して配設された、先端部の
エア噴出口から前記磁気ディスクに加圧エアを噴出する
２つのエアノズルと、このエアノズルのうち少なくとも
一方の前記先端部に沿わせてこのエアノズルと前記磁気
ディスクとの間に介装される研磨テープと、この研磨テ
ープの長手方向に所定の張力を付与するテープ支持手段
と、前記研磨テープの張力と前記加圧エアの噴出圧力と
を調整して前記研磨テープを前記磁気ディスクに摺接さ
せるために適切な剛性を有する折曲形状を形成させる調
整手段とを備えてなり、前記２つのエアノズルのうち前
記研磨テープが介装される側のエアノズルの先端部が、
テーパ状の斜面と、この２つの斜面と互いに隣接し、上
記磁気ディスクの磁性面に対して略平行な、上記エア噴
出口を有する面とにより構成されていることを特徴とす
る磁気ディスクのバーニッシュ装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4305167A JPH06155271A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法および装置 |
| DE69319067T DE69319067T2 (de) | 1992-11-16 | 1993-09-29 | Verfahren und Vorrichtung zum Polieren von magnetischen Platten |
| EP93115740A EP0598205B1 (en) | 1992-11-16 | 1993-09-29 | Method and apparatus for burnishing magnetic disks |
| US08/132,857 US5431592A (en) | 1992-11-16 | 1993-10-07 | Method and apparatus for burnishing magnetic disks |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4305167A JPH06155271A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155271A true JPH06155271A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=17941876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4305167A Withdrawn JPH06155271A (ja) | 1992-11-16 | 1992-11-16 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5431592A (ja) |
| EP (1) | EP0598205B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06155271A (ja) |
| DE (1) | DE69319067T2 (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6243934B1 (en) * | 1994-06-21 | 2001-06-12 | Appleton Coated, Llc | Paper polishing belt and method of polishing paper |
| US5669804A (en) * | 1994-10-25 | 1997-09-23 | Sony Corporation | Magnetic tape surface treatment method and apparatus |
| US5645471A (en) * | 1995-08-11 | 1997-07-08 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of texturing a substrate using an abrasive article having multiple abrasive natures |
| EP0802017B1 (de) * | 1996-04-19 | 1999-10-27 | Ernst Thielenhaus GmbH & Co. KG | Vorrichtung für die Feinschleifbearbeitung von Wellen, insbesondere Kurbelwellen |
| US5762536A (en) * | 1996-04-26 | 1998-06-09 | Lam Research Corporation | Sensors for a linear polisher |
| US5800248A (en) * | 1996-04-26 | 1998-09-01 | Ontrak Systems Inc. | Control of chemical-mechanical polishing rate across a substrate surface |
| US6230380B1 (en) | 1998-02-17 | 2001-05-15 | Seagate Technology Llc | Slider for burnishing a disc |
| US6322431B1 (en) | 1998-10-13 | 2001-11-27 | Seagate Technology Llc | Burnish head with ion milled aerodynamic pads configured in an elliptical pattern |
| US6283838B1 (en) | 1999-10-19 | 2001-09-04 | Komag Incorporated | Burnishing tape handling apparatus and method |
| JP4135301B2 (ja) * | 2000-07-17 | 2008-08-20 | ソニー株式会社 | 記録媒体の製造方法と製造装置 |
| US6503132B2 (en) | 2000-10-03 | 2003-01-07 | Seagate Technology Llc | Hybrid burnish/glide head with advanced air bearing fly height control rails |
| JP4090247B2 (ja) * | 2002-02-12 | 2008-05-28 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
| US7194802B2 (en) * | 2002-03-26 | 2007-03-27 | Seagate Technology Llc | Tool for certifying a head-gimbal assembly |
| US8808459B1 (en) | 2010-09-01 | 2014-08-19 | WD Media, LLC | Method for cleaning post-sputter disks using tape and diamond slurry |
| US9296082B1 (en) * | 2013-06-11 | 2016-03-29 | WD Media, LLC | Disk buffing apparatus with abrasive tape loading pad having a vibration absorbing layer |
| JP6920849B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-08-18 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理方法および装置 |
| CN112720176B (zh) * | 2021-01-29 | 2022-04-29 | 西安理工大学 | 一种主动顺应轮形砂带机构 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59110546A (ja) * | 1982-12-15 | 1984-06-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 研磨ヘツド |
| JPS61136764A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
| JPS63318255A (ja) * | 1987-06-18 | 1988-12-27 | Y A Shii Kk | 磁気ディスク研磨装置 |
| JPH0754583B2 (ja) * | 1987-09-02 | 1995-06-07 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
| US5018311A (en) * | 1989-06-28 | 1991-05-28 | International Business Machines Corporation | Magnetic disk burnishing method and apparatus |
| JPH03276421A (ja) * | 1990-03-27 | 1991-12-06 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気ディスクの加工方法及び加工装置 |
-
1992
- 1992-11-16 JP JP4305167A patent/JPH06155271A/ja not_active Withdrawn
-
1993
- 1993-09-29 EP EP93115740A patent/EP0598205B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-09-29 DE DE69319067T patent/DE69319067T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-10-07 US US08/132,857 patent/US5431592A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0598205B1 (en) | 1998-06-10 |
| US5431592A (en) | 1995-07-11 |
| EP0598205A1 (en) | 1994-05-25 |
| DE69319067D1 (de) | 1998-07-16 |
| DE69319067T2 (de) | 1998-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000201 |