JPS62199347A - バ−ニツシユ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＩＪＯ圧エアを利用して磁気材料に研磨テー
プを圧接させて該磁気材料の研磨面を研磨するバーニッ
シュ装置に関するものでおる。

（従来技術） 磁気ディスク等の磁気材料の表面（研磨面）を研磨テー
プによって研磨するバーニック１装置の中には、本出願
人が出願した特願昭５９−２５６２９０＠に記載されて
いる様な、加圧エアを利用して研磨テープと研磨面とを
接触させて研磨する装置かある。かかる装置は、第６図
に示すように、矢印六方向に回転駆動可能な磁気ディス
ク１の両面１ａ。

１ｂ側の相対する位置に２つのエアノズル２２．２３を
設け、磁気ディスクの研磨面１ａの側のエアノズル？２
と研磨面１ａとの間にガイドローラで支持された研磨テ
ープ？４を介装して成る。したがって、このｒＩＪｌ＠
面１ａの側のエアノズル２２のエア噴出口２２ａからエ
アが噴出されると研磨テープ２４が研磨面１ａ側へバッ
クアップされ、研磨面１ａの反対の面１ｂ側のエアノズ
ル２３のエア噴出口２３ａからエアが噴出されると磁気
ディスク１が研磨テープ２４側へバックアップされ、両
バックアップにより研磨チー７２４か研磨面１８に：ｒ
ｉ：接せしめられる。前記研磨テープバックアップ用エ
アノズル２２は先端部が断面半円型に形成され、研磨テ
ープ２４は該ノズル２２の先端部の弧に沿って矢印Ｂ方
向に移送され、矢印へ方向に回転している磁気ディスク
の研磨面１ａに圧接して該面１ａを研磨する。

一般に、このようなバーニッシュ装置のバーニッシュ効
果に影響を及ぼすものは、バーニッシュ時間、研磨面の
回転数、エア圧力の３種類である。

バーニッシュ時間１回転数は磁気ディスク表面の平滑均
一性を左右し、エア圧力はバーニッシュ深ざを左右する
。バーニッシュ時間を短縮することは能率向上につなが
るが、同じバーニッシュ効果を得るためには研磨面の回
転数を多くすることが必要である。

しかし、前記装置においては、磁気ディスクの回転数を
多くした場合、研磨テープと磁気ディスクの研磨面との
間に空気−が形成される。このため加圧エアによる研磨
面と研磨テープの圧接に支障をきたし、研磨効果が低下
してしまう。したがって、磁気ディスクを高速回転させ
て研磨効率をあげるのは不可能でめった。

（発明の目的） 本発明は、前記のような問題点に鑑み、研磨効率がよい
バーニッシュ装置の提供を目的とするものである。

（発明の構成） 本発明によるバーニッシュ装置は、研磨テープバックア
ップ用エアノズルの先端部のうちエア噴出口から磁気材
料の送り方向後方側の部分を、研磨面に対して２Ｑｊ度
以上の角度をなすテーパー面状に形成したことを特徴と
するものである。

このバーニッシュ装置は、磁気ディスク等の磁気材料の
研磨面に対向して研磨テープバックアップ用エアノズル
か配設されざらに、前記磁気材料を挟んで前記エアノズ
ルに相対する位置に磁気材料バックアップ用エアノズル
が配設されている。

前記磁気材料は研磨面の全面的研磨を可能にするために
前記両エアノズルに対して相対移動するように構成され
ている。

前記磁気材料の研磨面と研磨テープバックアップ用エア
ノズルとの間には研磨テープが介装されている。研磨テ
ープバックアップ用エアノズルから加圧エアが噴出され
ると、前記研磨テープがバックアップされ、磁気材料バ
ックアップ用エアノズルからの加圧エアの噴出により磁
気材料がバックアップされ、研磨面と研磨テープとが圧
接される。研磨テープバックアップ用エアノズルは、前
述の如く、その先端部のうちエア噴出口から磁気材料の
送り方向後方側の部分が研磨面と２０度以上をなすテー
パー面状に形成されている。

（実　施　例） 以下図面により本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は磁気ディスク用バーニッシュ装置の全体正面図
、第２図は駆動仮構を省略して示す斜禍図、第３図はノ
ズル部分の断面図でおる。

図示の磁気ディスク１は下側の面１ａと上側の面１ｂの
うち下側の面１ａのみが記録再生を行なう磁性面、すな
わち研磨すべき面（研磨面）として構成されている。か
かる磁気ディスク１は、最内周部１Ｃが回転軸２の先端
のバキュームチャック２ａによって保持され、図示しな
い駆動機構で上記回転軸２が回転駆動され、磁気ディス
ク１が例えば１０００〜３０００ｒｐｍで高速回転され
る。

前記磁気ディスク１の研磨面１ａに対して研磨テープ３
の砥粒面３ａを圧接して研磨を行なう。この研磨テープ
３と磁気ディスク１との圧接は、相対向するエアノズル
４，５から吹き付けられた加圧エアの風圧によって得る
ものであるユ すなわち、磁気ディスク１の下面（研磨面）側には研磨
テープ３をバックアップするための研磨テープバックア
ップ用エアノズル４が配設され、この研磨テープバック
アップ用エアノズル４のエア噴出口４ａが磁気ディス、
り１の研磨面１ａに近接して開口し、エア噴出口４ａと
磁気ディスク１との間に研磨テープ３が介装されている
。また、前記磁気ディスク１の上面側には前記研磨テー
プバックアップ用エアノズル４に対向して磁気ディスク
１の研磨テープ３による研＠圧力を担持するための磁気
ディスクバックアップ用エアノズル５か配設され、この
磁気ディスクバックアップ用エアノズル５のエア噴出口
５ａが研磨テープ３の接触部の反対面側の磁気ディスク
１に近接して開口している。

第３図に示すように前記研磨テープバックアップ用エア
ノズル４は、その先端部が２つのテーパー面４Ｇ、　４
ｄを有する断面山形に形成され、その山形の頂部に前記
エア噴出口４ａが開口せしめられている。上記一方のテ
ーパー面４Ｃ１すなわち研磨テープバックアップ用エア
ノズル先端部のうちエア噴出口４ａより磁気材料１の送
り方向（矢印へ方向、すなわちエアノズル４，５に対し
て相対移動する方向）後方側の部分に形成されたテーパ
ー面４Ｃは磁気材料の研磨面１ａと角度θ１を成し、他
方のテーパー面４ｄは磁気材料の研磨面１ａと角度θ２
を成している。

上記角度θ！は２０’以上であることが必要であり、好
ましくは２０°≦θ１≦５６°になるようにテーパー面
４Ｃを形成すべきで必る。上記角度θ２は、特に限定さ
れないが２５°≦θ２≦４５°でめることか好ましく、
図示のものはθ２＝２９°となるようにテーパー面４ｄ
が形成されている。なお、このエアノズル先端部のうち
エア噴出口４ａより磁気材料１の送り方向前方側の部分
は、必ずしも図示の如きテーパー面４ｄである必要はな
く、例えば従来の様に断面円弧状であっても良い。

また、磁気ディスクバックアップ用エアノズル５の先端
形状は特に限定されるものではなく、任意の適当な形を
取り得るユ 前記エアノズル４，５は基板６に所定間隔をもって固着
され、この基板６を介して所定圧力の７１０圧エアが中
心部の導入通路４ｂ、　５ｂに導入され、この導入通路
４ｂ、　５ｂからスリット状のエア噴出口４ａ。

５ａに連通され噴出される。前記エアノズル４，５に供
恰されるυ０圧エアの圧力は、例えば５８９　／　ｃｍ
以下の範囲で可変であり、この加圧エアの圧力調節によ
って、研磨テープ３と磁気ディスク１との接触圧の変更
による研磨深さの調整ができ、研磨テープバックアップ
用エアノズル４に対する圧力が１．０〜２．ＦＪＬ／ｃ
ｄ程度に限定された際に、磁気ディスクバックアップ用
エアノズル５に対する圧力は１．５〜４．０に９．ＩＣ
屑程度に設定するのか好ましい。

一方、上記研磨テープ３は研磨テープバックアップ用エ
アノズル４の両側に配設されたガイドローラ７．８に掛
けられ、図示しない送り機構によって、磁気ディスク１
の回転方向（送り方向Ａ）と反対方向（矢印Ｂ方向）に
走行するように間歇送りが行なわれ、走行速度は例えば
７ｍｕ、／ｓｅｃ程度であるユまた、この研磨テープ３
としては、砥粒面３ａに設けられている砥粒が例えば酸
化クロム。

炭化ケイ素系、醗化鉄、！！！化アルミナ、ダイヤモン
ド等の材質のものが使用される。

前記構成により、駆動数構で磁気ディスク１を高速回転
している状態で、２つのエアノズル４゜５から所定圧の
ｔｔｏ　圧エアをそれぞれ研磨テープ３および磁気ディ
スク１に対して吹き付け、これにより研磨テープ３と磁
気ディスク１の研磨面１ａとを所定の接触圧で圧接して
、研磨仕上げを、例えば０．５〜１　、０ｓｅｃ程度の
時間性なうものでめる。

なお、前記研磨テープ３は前記実施例のように磁気ディ
スク１の回転方向と逆方向に走行させた状態で研磨を行
なうほか、同方向に走行させてもよく、また、停止させ
た状態で研磨し、研磨毎に送るようにしてもよい。

また、磁気ディスク１の研磨は下方から行なうほか、上
方から行なうようにしてもよく、ざらに、両面が研磨面
である場合は上下から磁気ディスク１の両面を同時に研
磨するようにしてもよく、その際には前記両エアノズル
４，５および研磨テープ３の送り機構をもう一組配設し
て行なうものである。その際にも研磨テープをバックア
ップするエアノズルの先端部のうち磁気ディスクの送り
方向後方側の部分を、磁気ディスクに対して？ＱＩｉ以
上をなすテーパー面状とする必要がある。

磁気ディスク表面の研磨後の光沢は、研磨面の表面粗さ
と反比例の関係におる。また磁気デイスり表面が粗いと
再生装置挿入時、磁気ヘッドと磁気ディスクとに間隙を
生じ、これにより出力低下等の特性の劣化を生ずる。し
たがって、光沢をよくすることにより磁気ディスク表面
の粗さが減少し磁気ディスクの特性が向上する。

第５図は研磨テープバックアップ用エアノズルの先端形
状（前記角度θりと光沢との関係を示す図である。この
図に示されているように、断面が従来のような半円状の
先端部から加圧エアを噴出した場合に比べ、θ１が？Ｏ
°以上をなすテーパー面状に形成した先端部から加圧エ
アを噴出した場合の方が磁気ディスク表面の光沢度が増
す。また、磁気ディスクの回転速度が５０Ｏｒｐｍ等の
遅いものに比べ、２００Ｏｒｐｍ　〜３０００ｒＤｍ等
の高回転数域で特に顕著に光沢度が増し、バーニッシュ
効果があがる。

すなわち、研磨テープバックアップ用エアノズルの磁気
ディスク送り方向後方側の先端部を研磨面に対して２０
度以上をなすテーパー面状に形成することにより、高速
度回転によっても研磨テープと研磨面との間に空気層が
形成されることがなく、研磨効率の上昇が図られ、研磨
表面の光沢度を増大させることかできる。

また、前記実施例の他に、第４図に示すようにウェア状
の磁気材料をバーニッシュする場合にも本装置は適用で
きる。図示装置においては、ガイドローラ１２．１２に
より矢印Ｂ方向に送られるウェア状をなす磁気材料１１
を研磨テープ１３により研磨する際、研磨テープバック
アップ用エアノズル１４と磁気材料バックアップ用エア
ノズル１５により加圧エアが噴出される。研磨テープバ
ックアップ用エアノズル１４の磁気材料１１の送り方向
後方側の先端部を２０度以上のテーパー面状１４ａに形
成することにより、前記磁気ディスク用バーニッシュ装
置と同様に、バーニッシュ効率をめげることができる。

（発明の効果） 本発明によるバーニッシュ装置は、研磨テープバックア
ップ用エアノズルの先端部のうち磁気材料の送り方向後
方側の部分と研磨面に対して２０度以上をなすテーパー
面状に形成したことにより、磁気材料の高速回転による
研磨テープと磁気材料研磨面との間の空気層の形成が防
止できる。このため磁気材料を高速回転させても研磨テ
ープと磁気材料との圧接が常に適切に維持され高速回転
による能率の向上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるバーニッシュ装置の
全体正面図、 第２図は駆！ｌＩ機構を省略して示す斜視図、第３図は
ノズル部分の断面図、 第４図は他の実施例を示す斜視図、 第５図は研磨面の光沢とエアノズル先端形状との関係を
示す図、 第６図は従来例の要部を示す断面図である。 １・・・磁気材料　　　　　１ａ・・・研　磨　面３．
１３・・・研磨テープ ４．１４・・・研１暑テープバックアップ用エアノズル
４Ｃ，１４ａ・・・テーパー面 ５．１５・・・磁気ディスクバックアップ用エアノズル
４ａ、　５ａ・・・エア噴出口 第２図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 磁気材料の研磨面に対向して配設された研磨テープバッ
   クアップ用エアノズルと、該磁気材料を挟んで該研磨テ
   ープバックアップ用エアノズルに相対する位置に配設さ
   れた磁気材料バックアップ用エアノズルとを備え、前記
   研磨テープバックアップ用エアノズルと前記研磨面との
   間に研磨テープを介装し、前記磁気材料を前記両ノズル
   に対して相対移動させると共に前記両ノズルから前記磁
   気材料に向って加圧エアを噴出させて前記研磨面と研磨
   テープとを圧接させることにより前記研磨面の研磨を行
   なうように構成したバーニッシュ装置において、 前記研磨テープバックアップ用エアノズルの先端部のう
   ちエア噴出口から前記磁気材料の送り方向後方側の部分
   が前記研磨面に対して２０度以上をなすテーパー面状に
   形成されていることを特徴とするバーニッシュ装置。